JPH04158547A - ウェーハ入替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、カセットに収納されたウェーハを他のカセッ
トに入れ替えるウェーハ入れ替え装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種のウェーハ入替え装置は、運搬用のカセッ
トから処理用のカセットにウェーハを移し替えたり、逆
に処理用カセットから運搬用カセットに移し替えたりす
る装！である。

このウェーハ入替え装置は、図面には示さないが、ウェ
ーハが複数枚収納されたカセットを載置する台と、この
台の下部に配置されるとともに、ウェーハを端面を保持
し、かつ上下動するロッドをもつプッシャーと、前記台
の上部に配置されるとともに前記プッシャーにより押し
上げられる前記ウェーハを保持するホルダーとを有して
いた。

次に、このウェーハ入替え装置の動作を説明する。まず
、台にウェーハが収納されたカセットを乗せる０次に、
プッシャーが上昇し、カセットの各角穴にロッドの矢端
が挿入され、各ウェーハを保持する０次に、プッシャー
が更に上昇し、ウェーハをカセットより排出させる０次
に、台の上部にあるホルダーがウェーハの端面を把み保
持する０次に、ブツシャ−が下降し、元の位置に戻る８
次に、空になったカセットを他に移し、ウェーハを収納
しようとす、るカセットを台上に乗せる０次に、プッシ
ャーが上昇し、ロッドがカセットの各角穴を通過する９
次に、ブツシャ−のロッドがホルダに保持されているウ
ェーハの端面を保持する６次に、ホルダはウェーハを解
放するとともにブツシャ−が下降する。次に、ロッドに
保持されなウェーハはカセッ）・に収納され、更にブツ
シャ−の下降により、ウェーハはカセットの溝の底部に
接触し、ウェーハはカセットに収納されたま埜、ブツシ
ャ−のロッドは元の位置で停止する。

〔発明が解決しようとする課題〕 しかしながら、上述した従来のウェーハ入替え装！では
、ウェーハの処理される面あるいは処理されない面とが
向き合っていても、その′ｉまの状態で、ウェーハを移
し替えるので、例えば、処理される面と処理されない面
とが向き合って収納された場合、薬液処理時、薬液処理
槽及び水洗槽内で、処理されない面に付着したパーティ
クルが処理されるウェーハ面に転写し、歩留りを低下さ
せる問題がある。

本発明の目的は、かかる問題を解消するウェーハ入替え
装置を提供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェ−ハ入替え装置は、ウェーハが収納される
第１のカセットとウェーハが収納されない第２のカセッ
トを並べて載置するとともに台上を一方向に往復移動す
る往復台と、前記台の下部に配置されるとともに先端に
ウェーハを支持する第１の爪をもつロッドと、このロッ
ドを上下動させるプッシャーと、このブツシャ−を前記
一方向と直交する方向に間欠移動させるブツシャ−移動
機構と、前記ロッドを１８０’回転させる回転機構と、
前記第１のカセットから前記第１の爪により排出される
前記ウェーハを保持する第２の爪と、前記ウェーハの表
裏面がいずれに向いているかを判定する検知器と、前記
第２の爪を前記第１の爪の移動と同期して間欠移動させ
るホルダ移動機構とを備え、前記第１のカセットより前
記第２のカセットに前記ウェーハをその主面が同一方向
に向くように移し替えすることを特徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明のウェーハ入替え装置の一実施例にお
ける概略を示す正面図、第２図は第１図の一部分を拡大
して示す側面図である。このウェーハ入替え装置は、第
１図及び第２図に示すように、台３に起立するボール１
０に取付けられるホルダー移動機構２と、ホルダー移動
機構２のナツト１３ａに取付けられるとともにウェーハ
８の端面部を保持する爪１ａと、この爪１ａと並べてナ
ツト１３に取付けられるとともにウェーハ８の端面部を
保持する爪１ａと、この爪１ａと並べてナツト１３ａに
取付けられるとともにウェーハ面が表裏のいずれかであ
るが判定する検知器２ａと、台３の下部に配置されると
ともにロッド６を上下動するブツシャ−１と、このロッ
ド６の矢端に取付けられるとともにウェーハを支持する
爪１ｂと、ブツシャ−１のロッド６にカップリング１５
ａを介して取付けられているとともにロッド６を１８０
°回転させるモータ７ｃと、ブツシャ−１を移動させる
プッシャー移動機構４とを有している。

また、ホルダー移動機構２は、送りねじ１２ａ、ナツト
１３ａ、レール１４ａ及び送りねじ回転用のモータ７ａ
で構成されており、ナツト１３ａに取付けられた爪１ａ
及び検出器２ａを一方向に移動させる駆動機構である。

さらに、プ・ンシャー移動機構は、送りねじ１２ｂ、ナ
ツト１３ａ。

カップリング１５ｂ及び送りねじ回転用のモータ７ｂよ
り構成され、ナツト１３ｂに取付けられたブツシャ−１
をホルダー移動機構２と同期して同じ方向に移動させる
駆動機構である。

一方、ウェーハ８を保持する爪１ａは、図示していない
ソレノイド及びスプリングからなる爪開閉駆動機構を有
し、二枚の爪でウェーハ８の端面部を挟み保持する構造
になっている。また、爪１ｂは単にウェーハを挟み保持
する溝が形成されており、特にウェーハに挟み力を与え
ずに保持する構造になっている。

次にこのウェーハ入替え装置の動作を説明する。まず、
ウェーハ８が収納されたカセット５ａと空のカセットら
ｂを往復台３ａに乗せる。次に、プッシャー移動機Ｗ４
４及びホルダ移動機構が同期作動し、爪１ａ及び爪１ｂ
がカセット５の一番端の位置にあるウェーハ８の位置ま
で移動する。次に、ブツシャ−１が作動し、ロッド６が
上昇し、爪１ｂがウェーハ８を拾う０次に、ロッド６が
更に上昇し、ウェーハ８の他の端部を爪１ａが把み保持
する０次に、検出器２ａがウェーハの面が表か裏かを判
定する。もし、裏であれば、検出器２ａの判定信号を図
示してない記憶装置に記憶させる６次に、ブツシャ１が
作動し、ロッド６が下降し、元の位１に戻る。このとき
、ウェーハ８は爪１ａに保持されたままになる０次に、
往復台３ａを移動させ、空のカセット５ｂを爪１ｂの上
の位置に位置決めする。

次に、ブツシャ−１のロッド６が上昇し、空のカセット
５ｂの抜穴５ｄを通過し、爪１ｂにウェーハ８の端部を
保持する０次に、爪１ａがウェーハを解放し、ロッド６
が下降し、ウェーハ８が反転領域Ａで停止する０次に、
記憶装置に記憶された判定信号によりモータ７Ｃを回転
させ、ウェーハ８を１８０°回転させる６次に、ロッド
６が下降し、ウェーハ８をカセット５ｂに挿入し、ウェ
ーハ８を溝底５Ｃに載せ、爪１ｂより離脱する。

そして、ロッド６は元の位置に戻る。

次に、往復台３ａが再び元の位置に移動し、ロッド６の
上にカセット５ａを位置決めする０次に、ブツシャ−移
動機構４及びホルダ移動機構２が作動し、爪１ａ及び爪
１ｂの位置とカセット５ａの端から２番目のウェーハと
位！合せする。次に、ロッド６が上昇し、爪１ｂがウェ
ーハ８を載置し、ロッド６が上昇する０次に、爪１ａが
ウェーハ８の他の端部を把み、検出器２ａがウェーハ８
の表裏を判定する。この判定が表であれば、検出器２ａ
は信号を発生せず、ロッド６は下降し、元の位置に戻る
０次に往復台３ａを移動し、−枚のウェーハ８のみ収納
したカセット５ｂをロッド６の上に位置決めする０次に
、ロッドが上昇し、カセット５ｂを通過した爪１ｂがウ
ェーハ８を支持する０次に爪１ａがウェーハ８を解放し
、ロッド６が下降し、ウェーハ８をカセット５ｂの端か
ら二番目の溝内に収納する。ロッドは、更に下降し、元
の位置に戻る。

このように、プッシャー移動機構４及びホルダー移動機
構２を順次移動させ、ウェーハ８をカセット５ａからカ
セット５ｂに移し替える。そして、移し替え毎にウェー
ハの表裏を判定し、いずれかに反転させ、同一面に整列
するように反転して収納する。

なお、この実施例では、検知器２は光を透光し、その反
射率で表裏面のいずれかに判定する光電変換素子を使用
した。また、この実施例では一枚ずつウェーハを移し替
える機構で説明したが、ウェーハの反転時に、ウェーハ
が互いに干渉しない範囲で、複数個の爪とロッドを設け
れば、移し替え時間がより短縮する利点がある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェーハの表裏判定する
検知器と、この検知器の判定によりウェーハを１８０度
回紙回転る反転機構とを設け、ウェーハをカセットから
取出して、ウェーハの表裏を判定し、ウェーハを同一面
に揃うように他のカセットに収納するので、ウェーハの
処理されない面からのパーティクルの転写によるウェー
ハ処理面の汚れを発生することのないウェーハ入替え装
置が得られるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のウェーハ入替え装置の一実肺例におけ
る概略を示す正面図、第２図は第１図の一部分を拡大し
て示した側面図である。 １・・・プッシャー、ｌａ、ｌｂ・・・爪、２・・・ホ
ルダー移動機構、２ａ・・・検出器、３・・・台、３ａ
・・・往復台、４・・・プッシャー移動機構、５ａ、５
ｂ・・・カセット、５ｃ・・・溝底、５ｄ・・・抜穴、
６・・・ロッド、７ａ、７ｂ、７ｃ・・・モータ、８・
・・ウェーハ、９・・・エアシリンダ、１０・・・ボー
ル、１２ａ、１２ｂ・・・送りねじ、１３ａ、１３ｂ・
・・ナツト、１４・・・レール、１５ａ、１５ｂ・・・
カップリング。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェーハが収納される第１のカセットとウェーハが収納
   されない第２のカセットを並べて載置するとともに台上
   を一方向に往復移動する往復台と、前記台の下部に配置
   されるとともに先端にウェーハを支持する第１の爪をも
   つロッドと、このロッドを上下動させるプッシャーと、
   このプッシャーを前記一方向と直交する方向に間欠移動
   させるプッシャー移動機構と、前記ロッドを１８００回
   転させる回転機構と、前記第１のカセットから前記第１
   の爪により排出される前記ウェーハを保持する第２の爪
   と、前記ウェーハの表裏面がいずれに向いているかを判
   定する検知器と、前記第２の爪を前記第１の爪の移動と
   同期して間欠移動させるホルダ移動機構とを備え、前記
   第１のカセットより前記第２のカセットに前記ウェーハ
   をその主面が同一方向に向くように移し替えすることを
   特徴とするウェーハ入替え装置。