JPH0415593A - 高分解能時間差計測装置 - Google Patents

高分解能時間差計測装置

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JPH0415593A
JPH0415593A JP2118993A JP11899390A JPH0415593A JP H0415593 A JPH0415593 A JP H0415593A JP 2118993 A JP2118993 A JP 2118993A JP 11899390 A JP11899390 A JP 11899390A JP H0415593 A JPH0415593 A JP H0415593A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pulse
clock pulse
reference clock
counter
stop
Prior art date
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Pending
Application number
JP2118993A
Other languages
English (en)
Inventor
Yasunaga Kayama
泰永 加山
Toshihiro Tanaka
智弘 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nikon Corp
Original Assignee
Nikon Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Nikon Corp filed Critical Nikon Corp
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Publication of JPH0415593A publication Critical patent/JPH0415593A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Measurement Of Unknown Time Intervals (AREA)
  • Optical Radar Systems And Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、複数のパルス信−冒の時間差を高分解能かつ
高精度に4測する装置に関するものである。
〔従来の技術〕
従来この種の装置は、第3図に示す様な構成がよく知ら
れている。又第4図はその動作原理図である。第3図、
第4図において、111測開始時スタ1−パルス、発生
器2によって出力3トれろスタトパルス(B)と計測終
了■、〜にスタートパルス発生」二器5によって出力さ
れろストア・ブパルス(C)とのb開蓋をスター 1パ
ルス(B)とスI・ノブパルス(C)間のノに準りl:
l ツクパルス発生器1から出力される)−、l; g
jpりし+ツクパルス(■〕)をカウンタ3’r、i(
数するJ二とに、Lり時間差を求めている。しかしなが
ら、L2力式では、スター1〜パルスやスタートパルス
とクロックパルスのズレ時間に伴なう時間差誤差か生し
、又、りml 、7クパルスの周1v1以−ドの時間分
解能が得られないため、高分解能を得るために、クロッ
クパルスの周波数を高くしたり、クロックパルスとスタ
ー1−信号を、周期させ1こ上で、複数回の計測を行な
いその結果を平均したりして高分解能化、高精度化を計
っていた。
(発明が解決しようとする課題] −1−記の如き計測方式においては、りIコックパルス
の周波数や計測時間に限界があるため、ある程度以十の
分解能をfiすることは困難となるのでそれ以りの))
・解能を要求さJする場合には、その対応か出来ないと
いう問題点があった。。−らG真よ、種々の手法により
、クロ・クパルスを時間的にズレしたり、周3v1を変
動さ−lる等により、より^′11分解能をめざし7た
ものも知られているが、これら6オ少なくとも式数回の
M t Ntllを必要と1−またり 回路規模が人き
くな、Iたり、さらには肋間的なズし・や周回変動の誤
差がそのまま精度に悪影舌を及ばず問題点があった。本
発明はごの様な従来の問題点に鑑めてなされたもので、
比較的周波数の低いりI」ツクパルスを用いて、1回の
計測で高い時間差分解能を有する高分解能時間差51測
装置を(是供1ろごとを目的としている。
〔課題を解決する為の手段] 1記目的のために本発明では、計測開始のスタートパル
スを出力させろスタートパルス発生Rg 2と計測終了
のストップパルスを出力さ已るスター1〜パルス発生器
5と基準クロックパルスを出力させる基準クロックパル
ス発振器1とを有すると共に前記各パルスを入力して前
記スターI・パルスと前記スター1〜パルス間の前記基
準クロックパルスを計測処理するカウンタ3と前記4数
処理されたデータ漬けを受iJて処理するデータ処理装
置とを有する時間差計測装置において、 前記基【シクロックパルスと周波数の異なる第2クロッ
クパルスを前記スタートパルスに同期させて出力させる
第2クロックパルス発振器6と、前記1<1gクロック
パルスと前記第2クロンクパルスとが一致するまで前記
クロックパルスを計数処理する第2カウンタ7と、 前記カウンタ3と前記第2カウンタ7によって計数処理
されたデータに基づいて、前記スタートパルスと前記ス
1ノブパルスとの時間差を演算するデータ処理装置10
と、 を有することを課題解決の手段とするものである。
〔作用〕
L記の9Hさ構成に於いては、基〈1tクロックパルス
と第2ご70ツクパルスの+v]!IJI差に等価な周
波数りし17りを使用した場合と同様な効果が得られろ
ため、IQシクロックパルス第2クロックパルスとの周
波数を近接させることで比較的低い周波数の信号を用い
て、高い周波数の信号を用いたのと同様な効果を得るこ
とが出来るので従来の如き不都合は解消する。
又、第2クロンクパルスを被測定パルスに同期させて発
振させることで、−回の測定で高分解能の計測が出来る
〔実施例] 第1図は本発明の実施例であり、例えば光の往復時間を
計測してその値から距離を求める場合に応用したもので
ある。又第2図は本発明の動作説明図である。第1図、
第2図において、外部操作によって測定開始信号(A)
がスタートパルス発生器2に入力されると、基準クロッ
クパルス発振器1の出力(B)に同!!JI してスタ
ー1〜パルス(D)が発生し、カウンタ3および光パル
ス発生器4に人力される。光パルス発生器4では、スタ
ートパルス(D)を光パルスに変換し、被測定点(図示
せず)に出射する。その後被測定点からの反I・1光は
、0[そそ、・換器(ス1−・ブバルス発kV器)5(
躬入力さ;lq、被Ntl+定点まての)1−のtl復
時間に相当する時間おく、1′)を持った′に気的なス
ト7ブバルス(E)、と1で、第2・クロ・クバル・ス
発振器6およびカウンタ3(に入力される。
第1シクし1ンクバルス発振器6B#’、、入力された
ス1ノブパルス(E )に同;!J+ Lだ、第2.′
ノロツクパルス列(C)を発律さml、第2カウンク7
−・入力させる。第2カウンク7は一致検出部ε(と1
1数部9(から成り、 一致検出部13には基準りlコ
ックパルス列(1,3) 、第2クロックパルス列(C
)、およびストップパルス(E)が入力されろ。
第2図において、スター1パルス(1))およびスl”
 ツノ°パルス(E)がカウンタ3に人力されると、5
1数・イネーブル信号(F )か’t−成さ扛その間の
基【1!クロンクパルス列(G)を81数1−7、デー
タ処理装置]、 (+ −・、結果を出力する。
又、ス1ノブパルス(+=: )に同期し−(、第2り
Ll、クバルス発振器6から出力される第2りし1)/
7 パルス列(C)と基準クロア′!ペルス列(n)が
・致検出部8ζ、こ入力。される、!:、スI・77°
パルス(ド)をさ′1(、十がりと124(十り11 
・イノパルス列(t3)、!:第2クロッツノパルス列
(〔゛)の−+y L、 タ時間を)ノち[・がりと−
4゛ろ1:1数イネーブル(、”、−;(+−1)を計
数部9・\出力し7.1,1数部911:、’−の間の
基【1(り〔1ンクバルス列(1)を:;1数り、、デ
ータ処理装置10・\結果を出力する。
以上の構成においては、スター 1〜パルス([〕)は
基!′ILクロ・7クパルス列(B)4;−同1す1さ
廿ているが、基準り■ツクパルス(シ3)とスタートパ
ルス([))とのスl/@を同様な力弐で測定−づる構
成にすれば必ずしも同期させる必要がないことはいうま
でもない。又ス1ツブパルス(P、)はスタ−トパルス
(D)と時間差のあるパルス信ぢであれば、特にこの実
施例に限定されるもので(、■ない。
第5図は、第2クロックパルス発振器の−・実り缶例で
あって、ストップパルスが人力されると遅延素子及び各
素子の遅延IL%間によって決定され?)周波数で発振
がなされる。発振器の安定爪は回路の9廷時間の変動に
よるが、発振直後&;t t”:’ ウj、y ’rr
も安定度か良くないので、例えばスタートパルスの基【
1(りI−1ンクバルスに対する位相を(ビ、18(ピ
可変にU、て第2クロックパルスが定振安定後に−・致
する方を選IRするように構成ずろごとが精度ト望まし
い。
〔発明の効果〕
以上の様に本発明によれば、旧数部5〕の出力活眼と、
基準クロックパルスとスター1パルスとの時間的スし一
量が比例するため、拮tgりml ンクパルス以下の微
少時間の計測が1回の測定で可能となる利点がある。又
基11F−クロックパルス(A)と第2クロ・7クパル
ス(B)の周波数を近接さ−lIる、二とて、容易に時
間開側分解能4川i:j、−<するご点かiJ能となる
効果もある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による装置の一実施例のブロック図、 第2図は本発明による装置の動作を説明する図、第3図
は従来装置のブD :/りV、 第4し1は従来装置の動作を説明する図、第5図番4本
発明による第2クロックパルス発振器を説明する回路回
である。 (r要部分の符ルJの説明〕 1・・・・・・基べ(/77日ツクベル:発振器、ζ3
・・・カウンタ、 5・・・・第2クロックパルス発(7j J+i、((
・・・・・・第2カウンク、 7・・・・−・致検出部、 8・・・・・・・・計数部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、計測開始のスタートパルスを出力させるスタートパ
    ルス発生器と計測終了のストップパルスを出力させるス
    トップパルス発生器と基準クロックパルスを出力させる
    基準クロックパルス発振器とを有すると共に、前記各パ
    ルスを入力して、前記スタートパルスと前記ストップパ
    ルス間の前記基準クロックパルスを計数処理するカウン
    タと、前記計数処理されたデータ信号を受けて処理する
    データ処理装置とを有する時間差計測装置において、 前記基準クロックパルスと周波数の異なる第2クロック
    パルスを前記ストップパルスに同期させて出力させる第
    2クロックパル発振器と、 前記基準クロックパルスと前記第2クロックパルスとが
    一致するまで前記クロックパルスを計数処理する第2カ
    ウンタと、 前記カウンタと前記第2カウンタによって計数処理され
    たデータに基づいて前記スタートパルスと前記ストップ
    パルスとの時間差を演算するデータ処理装置と、を有す
    ることを特徴とする高分解能時間差計測装置。 2、前記第2カウンタは前記基準クロックパルスと前記
    第2クロックパルスとの一致を検出する一致検出部と、
    該検出部によって前記基準クロックパルスと前記第2ク
    ロックパルスとの一致が検出されるまで、前記第2クロ
    ックパルスのスタートから前記基準クロックパルスを計
    数する計数部とを有することを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の高分解能時間差計測装置。
JP2118993A 1990-05-09 1990-05-09 高分解能時間差計測装置 Pending JPH0415593A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6587187B2 (en) 2001-01-18 2003-07-01 Denso Corporation Time measuring system and related distance measuring system
JP2020085537A (ja) * 2018-11-19 2020-06-04 株式会社東芝 半導体装置及び距離計測装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6587187B2 (en) 2001-01-18 2003-07-01 Denso Corporation Time measuring system and related distance measuring system
JP2020085537A (ja) * 2018-11-19 2020-06-04 株式会社東芝 半導体装置及び距離計測装置
JP2022186902A (ja) * 2018-11-19 2022-12-15 株式会社東芝 半導体回路及び距離計測装置

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