JPH0415345A

JPH0415345A - ロボットアームの回転駆動装置

Info

Publication number: JPH0415345A
Application number: JP2117648A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Sawada; 沢田　康宏; Yusaku Azuma; 雄策我妻; Takeo Tanida; 武雄谷田; Hiroo Karube; 軽部　裕夫
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1990-05-09
Filing date: 1990-05-09
Publication date: 1992-01-20

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野〕本発明は太陽ローラの周囲に複数の遊星ローラを配設し
た遊星ローラ減速機によりロボットアームを駆動するロ
ボットアームの回転駆動装置に関する。

（従来の技術）従来、遊星ローラを２段構造とした遊星ローラ減速機と
しては、特開昭５８−３９８７３号公報、特開昭５８−
５７５５４号公報および特開昭６０−１８６５１号公報
に記載のものがある。

これらにポされた減速機は、出力軸の回転角を検出する
ための回転角検出手段を減速機と一体化して具備してお
らず、回転角検出のためにはモータの出力軸にロータリ
・エンコーダ等の位置検出装置を具備していた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の減速機は、モータの出力軸に取り付けら
れたエンコーダ等の位置検出機で回転角を検出している
ため、ロボットアーム等の高し＼位置決め精度を必要と
する装置に用いると、内部で発生するすべりのために高
鯖度な位置決め再現性を得ることができないという欠点
かある。

本発明は上記欠点のない遊星ローラ減速機でロボットア
ームを駆動するロボットアームの回転駆動装置を提供す
ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のロボットアームの回転駆動装置は、基台に回転
自在に取り付けられ、モータによって駆動される太陽ロ
ーラと、円筒の中央部の径が細くなった外形をし、前記
基台に回転自在に取り付けられた複数の遊星ローラとを
具備し、前記遊星ローラの第１減速部分となる太い径の
部分に太陽ローラが外接し、第２′ｇ速部分となる細い
径の部分に出力軸となる外輪が内接し、さらに、前記基
台に固定され、前記太陽ローラの延長上で前記外輪内に
配設された支持台と、前記支持台と前記外輪との間の回
転角を検出する回転角検出手段とを有する遊星ローラ減
速機の外輪にロボットアームを連結している。

〔作用〕

モータによって太陽ローラが駆動されると、外輪が減速
されて駆動され、外輪に連結されたロボットアームが駆
動されるとともに、ロボットアームの位置は前記外輪の
回転を直接検出させるための回転角検出手段により正確
に検出される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明のロボットアームの回転駆動装置の第１
の実施例を示す構成図、第２図は第１図の実施例に用い
られた遊星ローラ減速機を詳細に示す縦断面図、第３図
は第２図の予圧リング６周辺の拡大断面図、第４図は第
２図のＸ−Ｘ断面図、第５図は予圧リング６を示し、（
ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ断面図である。

まず、遊星ローラ減速機について説明する。駆動用モー
タ１（以降、モータエと記す）は基台となる減速機ベー
ス８のモータ取付フランジ１５に取り付けられ、減速機
ベース８は減速機固定台１４に固定されている。モータ
１の回転出力を伝達する出力軸１ａはカップリング２に
より太陽ローラ３に結合されている。太陽ローラ３は、
表面か平滑な円柱状をしている。さらに３個の遊星ロー
ラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの圧接により、太陽ローラ３がふれ
回らないように太陽ローラ３は上部がヘアリング１６ａ
、下部が１組のベアリング１６ｂの計３個のヘアリング
で回転自在に支持されている（本実施例の場合、ベアリ
ング１６ａは太陽ローラ３に固定されている）。太陽ロ
ーラ３の回転力は太陽ローラ３の周囲に３個配置された
最大外径の等しい遊星ローラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃに摩擦力
により伝達される。

各遊星ローラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃは、一対のベアリング１
８を介して、減速機ベース８に挿入固定された遊星ロー
ラシャフト１７ａに回転自在に取り付けらねている。各
遊星ローラ４Ａ、４Ｂ。

４Ｃは外形か円筒の中程を細くした形状、すなわちＨを
９０′横にした形状をしており、第１減速部４Ａａ、４
Ｂａ、４Ｃａ、第２減速部４Ａｂ。

４Ｂｂ、４Ｃｂ、補助ローラ部４Ａｃ、４Ｂｃ。

４Ｃｃ、補助ローラ用固定ボルト４Ａｄ。

４Ｂｄ、４Ｃｄおよび位置決めビン４Ａｅ。

４Ｂｅ、４Ｃｅにより構成されている。各遊星ローラ４
Ａ、４Ｂ、４Ｃの第１減速部４Ａａ。

４Ｂａ、４Ｃａと補助ローラｔｇ５４Ａｃ、４Ｂｃ。

４Ｃｃとはそわぞれ外表面が平滑な円筒形状をし、第２
減速部４Ａｂ、４Ｂｂ、４Ｃｂを介Ｌ７同軸的に結合さ
れている。各第２減速部４Ａｂ。

４Ｂｂ、４Ｃｂも同様に外表面は平滑な円筒形状をして
おり、さらに第１減速部４Ａａ、４Ｂａ。

４Ｃａとは同軸となっている。各遊星ローラの上部に位
置する補助ローラ４Ａｃ、４Ｂｃ、４Ｃｃは、固定ボル
ト４Ａｄ、４Ｂｄ、４Ｃｄおよび位置決めビン４Ａｅ、
４Ｂｅ、４Ｃｅにより、取りはずし可能に組立てられて
いるが、これは出力軸５、予圧リング６、予圧フランジ
７ａをスペーサ７ｂ、ボルト７Ｃによりセットするとき
のためのものである。

太陽ローラ３の回転力は、遊星ローラ４Ａ。

４Ｂ、４Ｃの第１減速部４Ａａ、４Ｂａ、４Ｃａと、そ
れに一体にされた第２減速部４Ａｂ。

４Ｂｂ、４Ｃｂとに伝達され、さらに外輪である出力軸
５へと伝達される。出力軸５は、ねじで結合された上部
５ｄと下部５Ｃとからなり、全体的には中空円筒状をし
ている。その下部５Ｃはベアリング１９を介して減速機
ベース８に回転可能に固定され、中空円筒内側の一部分
が内側方向にくびれ、突出部５ｂを形成し、その端面５
ａは、上に開くテーパ形状すなわち円すい形状となって
いる。出力軸５の円すい形状の端面５ａには、予圧ソン
グ６かセットさねでいる。予圧リング６が遊星ローラ４
Ａ、４Ｂ、４Ｃの第２減速部と接する表面は、平滑な円
柱状をしており、出力軸５の端面５ａと接する部分は、
出力軸の円すい形状にならう形状となっている。さらに
、予圧リング６は予圧を与え易いようにスリ割り６ａか
一カ所入れられている（第５図）。この予圧リング６の
役目は、太陽ローラ３、遊星ローラ４Ａａ。

４Ｂａ、４Ｃａ、出力軸５をただ組付けたたけでは、各
接触部分で滑りを生じ伝達トルクにむらが生じ、動力が
安定に伝達できないので、予圧を加えることにより動力
を正確に伝達させようとすることである。

次に予圧の加え方について説明する。

前述のように減速機ベース８に太陽ローラ３、補助ロー
ラ４Ａｃ、４Ｂｃ、４Ｃｃをはずした遊星ローラ４Ａ、
４Ｂ、４Ｃを仮り組みする。この状態で出力軸５、予圧
リング６、予圧フランジ７ａ、スペーサ７ｂを組み込み
ボルト７Ｃで仮止めする。次に遊星ローラの補助ローラ
部４Ａｃ。

４Ｂｃ、４Ｃｃを組み込み、位置決めビン４Ａｅ、４Ｂ
ｅ、４Ｃｅで位置決めし、固定ボルト４Ａｄ、４Ｂｄ、
４Ｃｄで固定する。最後に環状の予圧フランジ部用のボ
ルト７Ｃを締め付けることにより所望の予圧をかける。

このとき、出力軸５を回転させながらボルト７Ｃを締め
ることにより、予圧リング６に均一に力を加えることが
でき、さらに補助ローラ４Ａｃ、４Ｂｃ、４Ｃｃにかく
れたボルト７Ｃも締めることかできる。また、第６図に
示されるように事前に予圧量とすべり出しトルクの値を
測定しておくことにより、安定駆動に必要なトルクを生
ずる厚さのスペーサ７ｂを用意することができ、ひいて
は適正トルクを得ることかできる。

支持台は、一端が減速機ベース８に固定され、遊星ロー
ラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃ間を立ち上がる複数の柱９と５出力
軸５の回転軸上に突出部を有し、各社９に取り外し可能
に固定された支持プレート１０とからなり、さらに支持
プレート１０は、ねじで取り外し可能に結合された上部
ｔＯａと下部１０ｂとからなる。エンコーダ１２は、入
力軸１２ａが支持プレート１０の上部１０ａに設けられ
、出力軸５の回転軸と同軸な突出部にカップリング１１
を介して結合され、本体はねじで結合された連結部材１
２ｂ、１２ｃを介して出力軸５に固定されている。連結
部材１２ｃと出力軸５とはねしで取り外し可能とされて
いる。

次に第１図の実施例に用いられている遊星ローラ減速機
の動作について説明する。

モータ１が起動し、出力軸１ａが回転すると、出力１ｉ
ｋｌａにカップリング２て結合された太陽ローラ３も出
力軸１ａの回転数と同一の回転数で回転する。太陽ロー
ラ３の回転は、接触している遊星ローラ４Ａ、４Ｂ、４
Ｃを摩擦力によって回転させる。太陽ローラ３と接触し
ている遊星ローラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの第１ｇ速部４Ａａ
。

４Ｂａ、４Ｃａおよび補助ローラ部４Ａｃ。

４Ｂｃ、４Ｃｃの径は太陽ローラ３の径より大きいので
、遊星ローラ４Ａ、４Ｂ、４Ｃの回転は太陽ローラ３の
回転より減速される。

出力軸５は、突出部５ｂの端面５ａと遊星ローラ４Ａ、
４Ｂ、４Ｃの第２減速部４Ａｂ。

４Ｂｂ、４Ｃｂとに挟まれた予圧リング６を介して第２
減速部４Ａｂ、４Ｂｂ、４Ｃｂから摩擦により駆動力を
得て回転する。第１減速部４Ａａ。

４Ｂａ、４Ｃａより径の小さな第２減速部４Ａｂ　　４
Ｂｂ、４Ｃｂにより予圧リング６を介して駆動される出
力軸５の実質的な内径は第２ｇ速部４Ａｂ、４Ｂｂ、４
Ｃｂの径より大きいので出力軸５の回転はさらに減速さ
れる。

太陽ローラ３の直径をｄｌ、遊星ローラ第１減速部４Ａ
ａ、４Ｂａ、４Ｃａの直径をｄｌ、遊星ローラの第２減
速部４Ａｂ、４Ｂｂ、４Ｃｂの直径をｄ３、出力軸５の
実質的内径をｄ４とすると、減速比は式（１）で求めら
れる。

圧力軸５が回転すると、ロータリ・エンコーダ！２の本
体は接続部材１２ｂ、１２ｃで出力軸５に固定されてい
るので、ロータリ・エンコーダ１２は出力軸５とともに
回転する。一方、ロータリ・エンコーダ１２の入力軸１
２ａは、カップリング１１により支持プレート】０の上
部Ｊｏｂの突出部に結合されているので回転しない。し
たかって、ロータリ・エンコーダ１２は支持台の支持プ
レート１０と出力軸５との間の回転角を検出することと
なる。支持プレート１０の上部１０ｂの突出部とロータ
リ・エンコーダ１２の入力軸１２ａとは出力軸５０回転
軸上に配置されているので、出力軸５の回転に何ら妨害
を与えない。

本実施例に用いられた遊星ローラ減速機は、出力軸５の
回転角を直接ロータリ・エンコーダにより検出する構造
となっているため、モータ１から出力軸５に至る伝達経
路のすべり等による回転角の伝達誤差を無視できる。こ
の構造のためロータリ・エンコーダを高精度化するのみ
で高精度なロボットアームの位置決め制御が可能であり
、さらに遊星ローラ減速機を用いると、伝達トルクが複
数のローラに均等に分散されて伝えられるため、ローラ
面圧を低下でき摩耗により短くなるべき寿命を延ばすこ
とができる。また、遊星ローラを２段化形状とすること
により減速機の外径を大きくせずに高減速比が得られモ
ータに加えられる負荷イナーシャも小さくされている。

前記実施例に用いられた遊星ローラ減速機では、入力軸
１２ａを支持プレート１０に固定したロータリ・エンコ
ーダ１２を用いたが、ロータリ・エンコーダを支持プレ
ート１０側に取り付けてもよいし、支持プレーヒエ０上
にエンコーダ等のスリット円板に対応する複数の反射板
を配設し、出力軸に発光素子および受光素子を配設して
、反射板に反射される発光素子からの光を受光素子で受
光して回転角を非接触で検出してもよい。

次に、第１図の実施例の制御系について第７図を参照し
つつ説明する。

制御部１２０は、速度制御部１２１、位置制御部１２２
、メモリ１２３、操作部１２４、Ｉ１０制御回路１２５
およびＣＰＵ１２６を有し、ロボットアーム１３が結合
された遊星ローラ減速機の出力軸５を制御すべく駆動用
モータ１に指令を出力する。指令に従って出力軸５がモ
ータ１によって駆動され、モータ１からはロータリ・エ
ンコーダ１ｂおよびＦ／Ｖ変換器１ｃを介して速度デー
タが速度制御部１２１にフィードバックされ、出力軸５
からはロータリ・エンコータ１２を介して位置データか
位置制御部１２２にフィードバックされる。従って、こ
の制御系は位置ループに関して完全なりローズドループ
（ｃｌｏｓｅｄ　１ｏｏｐ）となっており、モータ１か
ら出力軸５に至る駆動力伝達経路において、たとえすべ
りが発生したとしても、すべりにはまったく影響されな
いで出力軸５の回転位置を正確に制御できる。尚、出力
軸５の位置制御は、公知の数値制御手段を用いることに
より問題なく制御可能であり、鯖度を高めるためにはロ
ータリ・エンコーダ１２を高精度化するのみで、ロボッ
トアームが結合された出力軸を高精度に回転させること
が可能である。

次に本発明の第２の実施例について説明する。

第８図は複数の遊星ローラ減速機が用いられた多関節ロ
ボットを示す構成図、第９図は第８図の実施例の制御系
を示すブロック図、第１０図は第９図の制御系に用いら
れる各バラン〜りを示す図、第１！図は第９図に示され
た制御系の制御内容を示すフローチャートである。

多関節ロボットの制御系は、制御ユニットとしてのＣＰ
Ｕ８２を備えている。このＣＰＵ８２には、パスライン
８４を介して、第１の水平アーム３１の回転駆動制御を
行う第１の制御回路８６と、第２の水平アーム３２の回
転駆動制御を行う第２の制御回路８８と、垂直アーム３
３の上下駆動制御を行う第３の制御回路９０と、垂直ア
ーム３３の回転駆動制御を行う第４の制御回路９２とが
接続されている。ここで、第１の制御回路８６は、第１
の駆動モータ５１に接続され、第２の制御回路８８は、
第２の駆動モータ５２に接続され、第３及び第４の制御
回路９０．９２は、第３及び第４の駆動モータ５３，５
４にそわぞれ接続されている。

また、このＣＰＵ８２には、同じパスライン８４を介し
て、記憶手段としてのメモリ９４と、ＣＰＵ８２に対し
て、制御動作を指示するための操作部９６と、信号の入
・出力を制御するための１１０制御回路９８とが接続さ
れている。更に、二のＣＰＵ８２には、同じパスライン
８４を介してインターフェイス回路１００が接続されて
あり、このインターフェイス回路１００には、第１及び
第２のロータリ・エンコータ７２．７８が接続されると
共に、Ｆ／Ｖ及びＡ／Ｄ変換器１０２を介してロータリ
・エンコーダ８０が接続されている。

ここで、この制御系においては、例えば、フィンガ装置
６６（第８図参照）を、第１０図に示すように、符合α
で示す初期位置から、符合βで示す目的位置まで移動さ
せる場合において、第１１図に示すフローチャートに従
い、制御動作を実行するよう設定されている。また、フ
ィンガ装置６６が初期位置αに位置する状態において、
基準軸として機能するＸ軸と第１の水平アーム３１とは
、角度θ１を成しており、第１の水平アーム３！と第２
の水平アーム３２とは、角度θ２を成しているものとす
る。また、フィンガ装置６６が目的位置βに位置する状
態においで、Ｘ軸と第１の水平アーム３１とは、角度θ
３を成しており、第１の水平アーム３１と第２の水平ア
ーム３２とは、角度θ４を成しているものとする。

このような条件の下で、この制御系は第１２図に示すよ
うな手順で制御動作を実行するものである。即ち、この
制御手順がスタートすると、ステップＳＩＯにおいて、
初期位置α及び操作部９６を介して人力された目的位置
βの読み込みが実行される。この後、ステップ５１２に
おいて、初期位置α及び目的位置βに基づき、メモリ９
４に予め記憶された相関関係に基ついて、初期位置αと
目的位置βとにおける第１及び第２の水平アーム３１．
３２の角度データθ５．θ２゜θ３．θ４を夫々読み込
む。そして、ステップＳ１４において、第１の水平アー
ム３１の必要移動角度Δθ１　（＝０１−〇、）と第２
の水平アーム３２の必要移動角度Δθ２　（＝０２−０
４）を演算する。この後、このステップＳ１４における
演算結果に基ついて、ステップ５１６において、第１及
び第２の水平アーム３１．３２の回動速度Ｖ、、Ｖ２が
、これら第１及び第２の水平アーム３１．３２の動作か
同時に終了するように演算される。

この後、ステップ５１８において、タイマ（タウンカウ
ンタ）に５　ｍ５ｅｃをセットするリモして一ステップ
Ｓｈｏにおいて、フィンガ装置６６の現在位置γを演算
する。この演算は第１の駆動用子−タ５１に駆動される
出力軸に接続さゎた第１のロータリ・エンコーダ７２と
、第２の駆動モータ５２に接続された第２のロータリ・
エンコータ７８とからの夫々の検出結果に基つい−Ｃ演
算する。そして、ステップ３２２において、この演算さ
れた現在位置γに基づいて、メモリ９４を介して、この
現在位置γに位置するために必要な第１及び第２の水平
アーム３１．３２の夫々の角度θ５．θ６を読み込む。

尚、この角度θ５．θ６を、以下において現在値として
定義する。また、角度θ３．θ４を、以下において目標
値として定義する。尚、この制御手順において、最初に
このステップＳ２０が実行される際において、初期位置
αと現在位置γとは一致する。

この後、ステップＳ２４において、目的値と現在値との
差の絶対偵から、偏差ΔＳが演算される。そして、ステ
ップＳ２６において、この偏差ΔＳが、所定の閾値ＴＨ
よりも小さいかが判別される。このステップＳ２６にお
いて、ＮＯと判断された場合、即ち、現在値が閾値ＴＨ
で現される所の、目的値にあると判別される許容範囲に
無いと判断された場合には、ステップ５２８において、
上述したステップＳ１６で演算した回動速度ｖ、、Ｖｚ
に夫々基づき、第１及び第２の駆動モータ５１，５２に
、駆動制御信号を出力する。

この後、ステップＳ３０において、タイマが零に至った
か否かを判別する。このステップＳ３０において、Ｎｏ
と判断ざわた場合、即ち、未だタイマが零に到達してい
ないと判断される場合には、このステップＳ３０が繰り
返し実行される。

そして、このステップＳ３０において、ＹＥＳと判断さ
れる場合、即ち、タイマが零に至フたと判断されると、
上述したステップ５１８に進み、再び、タイマに５　ｎ
＋ｓｅｃを設定して、上述した手順を繰り返す。

一方、上述したステップＳ２６において、ＹＥＳと判断
された場合、即ち、偏差ΔＳが閾値ＴＨよりも小さくな
り、目的値の許容範囲内に至ったと判断される場合には
、ステップＳ３２に進み、ここで、駆動制御信号の出力
を停止し、連の制御手順を終了する。

（発明の効果）以上説明したように本発明は、二段構成の遊星ローラと
、出力軸である外輪の回転角を直接検出できる回転角検
出手段とを具備した遊星ローラ減速機の外輪にロボット
アームを連結して、ロボットアームを駆動することによ
り、正確なロボットアームの制御ができる効果がある。

【図面の簡単な説明】第１図は本発明のロボットアームの回転駆動装置の第１
の実施例を示す構成図、第２図は第１図の実施例に用い
られた遊星ローラ減速機を詳細に示す縦断面図、第３図
は第２図の予圧リングの周辺の拡大断面図、第４図は第
２図のＸ−Ｘ断面図、第５図は予圧リングを示し、（ａ
）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＹ−Ｙ断面図、第６図は
予圧リングの調整に対する特性を示す図、第７図は第１
の実施例の制御系を示すブロック図、第８図は第２の実
施例を示す多関節ロボットを示す構成図、第９図は第２
の実施例の制御系を示すブロック図、第１０図は第９図
の制御系に用いられる各パラメータを示す図、第１１図
は第９図に示された制御系の制御内容を示すフローチャ
ートである。１・・・駆動モータ、１ａ・・・モータ出力軸、Ｉｂ、１２・・・ロータリ・エンコーダ、１ｃ・・・Ｆ
／Ｖ変換器。２．１１・・・カップリング、３・　・・太陽ローラ、４Ａ、４Ｂ、４Ｃ・・・遊星ローラ、４Ａａ、４Ｂａ、４Ｃａ　−−−第１減速部、４Ａｂ、
４Ｂｂ、４Ｃｂ・・・第２減速部、４Ｂｃ、４Ｃｃ−・
・補助ローラ、４Ｂｄ、４Ｃｄ・・・固定ボルト、４Ｂｅ、４Ｃｅ　−−−ビン、一出力軸、・・端面、・・突出部、・予圧リング、・　・スリ割り、・・予圧フランジ、・・スペーサ、・・ボルト、・ペース、・柱、・支持プレート、・・入力軸、１２ｃ・・・連結部材、・第１アーム、・減速機固定台、・モータ取付７ランジ、１６ｂ、１９・・・ベアリング、４Ａｃ。４Ａｄ。４Ａｅ。５　・　・５　ａ　・５　ｂ　・６　・　・６　ａ　・７　ａ　・７　ｂ　・７　ｃ　・８　・　・９　・　・１０　・　・１２ａ　　・１２ｂ。１３　・　・１４　・　・１５　・　・１６ａ。１７　・　・１８　・　・３１　・　・３２　・　・３３　・　・５１　・　・５２　・　・５３　・　・５４　・　・６６　・　・７２　・　・８０　・　・８２　・　・８６　・　・１００　・　・１０２　・　・１２０　・　・・遊星ローラシャフト、・遊星ローラ用ベアリング、・第１の水平アーム、・第２の水平アーム、・垂直アーム、・第１の駆動モータ、・第２の駆動モータ、・第３の駆動モータ、・第４の駆動モータ、・フィンガ装置、・第１のロータリ・エンコーダ、・ロータリ・エンコーダ、・ＣＰＵ。・第１の制御回路、・インターフェース回路、・Ｆ／ＶおよびＡ／Ｄ変換機、・制御回路。特許出願人　　キャノン株式会社

Claims

【特許請求の範囲】１、基台に回転自在に取り付けられ、モータによって駆
動される太陽ローラと、円筒の中央部の径が細くなった
外形をし、前記基台に回転自在に取り付けられた複数の
遊星ローラとを具備し、前記遊星ローラの第１減速部分
となる太い径の部分に太陽ローラが外接し、第２減速部
分となる細い径の部分に出力軸となる外輪が内接し、さ
らに、前記基台に固定され、前記太陽ローラの延長上で
前記外輪内に配設された支持台と、前記支持台と前記外
輪との間の回転角を検出する回転角検出手段とを有する
遊星ローラ減速機の外輪にロボットアームを連結し、ロ
ボットアームを駆動するロボットアームの回転駆動装置
。２、前記遊星ローラ減速機を水平多関節スカラー形ロボ
ットのアームの駆動に用いたことを特徴とする前記第一
項記載のロボットアームの回転駆動装置。３、前記遊星ローラ減速機を水平多関節スカラー形ロボ
ットの第１アームの駆動に用いたことを特徴とする前記
第一項記載のロボットアームの回転駆動装置。