JPH04148815A - しきい値算出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明はスリット光全用いた変位計測装置に関する。

〈従来の技術〉 コンピュータ、ワードプロセッサ、テレビ等の電子機器
の表示装置として液晶パネルが用いられ也 ている。この番晶パネルの製造行程における検査の一つ
に線欠陥検査がある。線欠陥検査とは液晶パネル上のパ
ターンの欠け、ズレ、曲がりなどの検査である。パター
ン画像のピンボケヲ防りためヌリット光を用いた変位計
測全行う。

第５図はスリット光を画像メモリに入力したものである
。この画像で画素ごとに濃度敞を読み出し、第６図のヒ
ストグラムを求める。このヒストグラムから２つのピー
クの間の谷の部分全スリット光画像のしきＡ値とする。

〈発明が解決しようとする課題〉 通常の画像メモリの画素数は、水平方向５１２、垂直方
向４８０となっているため、制御・演算部から合計２４
５７６．０回読み出しを行う必要があり、処理時間が長
く々る。特に、オートフォーカスに用いる変位計測では
短時間で処理全行う必要があった。

本発明は上述の点に鑑みてなされたものであって、スリ
ット光と背景を区別するためのしきい値を短時間で効率
よく求めることのできるしきい値算出方法を提供するこ
とを目的とする。

〈課題全解決するだめの手段〉 上記の目的全達成するために本発明に係るしきい値算出
方法は、ヌ！Ｊ　ｙ　Ｉ−ｆ通過した光を被測定体上に
照射し、該照射によって得られる画像を斜め方向に走査
して濃度値データの最大値と平均値と金求め、前記最大
値と平均値とからしきい値を求めることを特徴とするも
のである。

〈作　用〉 スリットヲ通過した光を被測定体上に照射し、これによ
って得られる画像を斜め方向に走査して濃度値データの
最大値と平均値とを求め、この最大値と平均値とから、 しきい値−平均値＋（最大値−平均値）／２としてしき
い値を求める。

〈実施例〉 以下、図面全参照して本発明に係る一実施例全説明する
。

第２図は本発明のスリット光画像のしきい値算出手法の
一実施例としての測定装置の全体構成を示すブロック図
である。同図に示すように装置のブロック図は、スリッ
ト光源１１からのスリット光１２が被測定物の一例とし
てのカラー液晶パネル１３で反射し、ビデオカメラ１４
に入射するように構成されている。ビデオカメラ１４は
画像入力部１５に接続されている１１画像入力部１５は
画像メモリ１６に接続され、画像メモリ１６は表示部１
７に接続されている。制御演算部１８は画像入力部１５
、画像メモリ１６に接続されている。

スリット光源１１はスリット光１２を発生する装置で、
例えば図示しないスリット板と光源とで構成されている
。スリット板は光源と一体となっており、スリット光１
２を発生するための部材である。

ビデオカメラ１４はスリット光１２を取り込み、ビデオ
信号に変換する装置である。ビデオカメラ１４は例えば
光学系とＣ０Ｄ（電荷結合素子）等で構成されている。

ｌｒｉ　像入力部１５はビデオカメラ１４からのビデオ
信号全デジタル信号に変換する回路であり、例、ｔば、
Ａ／Ｄ　（アナログ／デジタ）Ｖ）コンバータで構成さ
れている。

画像メモリ１６は画像入力部１５からのデジタル信号を
格納し、制御演算部１８から画像情報の読み出しを行う
ためのもので、例えばＲＡＭ（ランダムアク七ヌメモリ
）で構成されている。

表示部１７は画像メモリの内容を表示し、処理結果など
を人間の視覚で確認するためのものであり、ＣＲＴ（カ
ソードレイチューブ）デイスプレィで構成されている。

制御演算部１８は画像入力部１５を制御し、予め登録さ
れたプログラムに基づきスリット光画像のしきい値を求
め、スリンｌ−光１２の中心の位置全計算する回路であ
り、例えばマイクロプロセッサが適用される。

第１図のようなスリット光画像が画像メモリ１６に格納
されたとする。制御演算部１８により画像メモリ１６の
内容金回図のようにＬ１〜Ｌ４の方向に濃度値を読み出
す。Ｌｌの場合を例に具体的に示したのが第３図で、Ｘ
方向２画素、Ｙ方向１画素ステップで走査する。この読
み出した濃度値データの最大値と平均値を求め、しきい
値は次の計算式により求める。

しきい値二平均値＋（最大値−平均値）／２この後、濃
度値データのピークが上記のしきい値を起える位置と割
る位置との中間の位置をスリット光の中心位置として求
め、この中心位置の変位からＺ方向変位に変換し、第２
図制御演算部１８により図示していない機構部をＺ方向
に移動させ、パターン画像入力ビデオカメラ１０の画像
が合焦状態になるようにする。パターン画像入力ビデオ
カメラ１０は画像入力部１９、それからさらに画像メモ
リ２０に接続され、この情報全制御演算部１８から読み
出し欠陥位置の特定など全行う。

〈発明の効果〉 斜め方向に読み出すため、第４図のようにスリット光が
液晶パターンの凹凸などの影響により水平方向に欠けて
いる場合でも、スリット光部分の画素を読み出せる確率
が高い。短時間で効率よくスリット光と背景を区別する
しきい値を求めるととが可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るしきい値算出方法の画素読み出し
方向全説明する図、第２図は本発明に係る方法全実施す
る装置の全体構成を示すブロック図、第３図は画素読み
出し順番全説明する図、第４図はスリット光の欠落のあ
る部分の拡大図、第５図はスリット光画像の全体図、第
６図はヌリッｌ−光画像の濃度値の分布を示す図である
。 １０・・・パターン画像入力ビデオカメラ、　１１・・
・スリット光源、　１２−・・スリット光、　　１３・
・・カラー液晶パネル、　１４・・ヌリット光画像入力
ビデオカメラ、　１５・・・画像入力部、１６・・・画
像メモリ、　　１７・・・表示部、　１８・・・制御演
算部、　１９・・・画像入力部、　２０・・・画像メモ
リ、　　２１・・・表示部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、スリットを通過した光を被測定体上に照射し、該照
   射によって得られる画像を斜め方向に走査して濃度値デ
   ータの最大値と平均値とを求め、前記最大値と平均値と
   からしきい値を求めることを特徴とするしきい値算出方
   法。