JPH04145406A

JPH04145406A - オートフォーカス顕微鏡およびオートフォーカス顕微鏡を用いた三次元形状測定装置

Info

Publication number: JPH04145406A
Application number: JP26983690A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Yoshima; 與島　政幸
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1990-10-08
Filing date: 1990-10-08
Publication date: 1992-05-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明はオートフォーカス顕微鏡に関し、特に顕微鏡視
野に対して小さな物体を観察する場合のオートフォーカ
ス顕微鏡およびオートフォーカス顕微鏡を用いた三次元
形状測定装置に関する。

〔従来の技術〕

第１０図は従来のオートフォーカス顕微鏡の一例を示す
構成図である。

対物鏡筒を有する第１の光学系１と、第１の光学系１か
ら前焦点後焦点の状態で結像させる光路差プリズム３を
有する第２の光学系４と、第２の光学系４の２つの結像
面に検出領域が等しくなるように対応して配置された１
組の１次元受光素子４０．４０′と、第１の光学系１．
第２の光学系４および１次元受光素子４０．４０′で構
成された光学ユニット４４を光軸方向に移動する駆動機
構８と、１次元受光素子４０．４０’そｈぞｈの隣り合
う画素の出力差の絶対値を積分する１組のコントラスト
検出回路４１．４１′と、１組のコントラスト検出回路
４１．４１’の出力差を求めるコントラスト差検出回路
４２と、コントラスト差検出回路４２の出力に応じて駆
動機構８により光学ユニット４４を移動させ１組のコン
トラスト検出回路４１．４１’の出力が共に所定のレベ
ル以上であり、かつコントラスト差検出回路４２の出力
が所定のレベル以下になった時に合焦したと判断し光学
ユニット４４を停止させる合焦制御回路４３とを備えて
いる。また、第２の光学系４に設置されているハーフミ
ラ−２は、第１の光学系１からの光を光路差プリズム３
と接眼光学系５に分割するためのものである。

第１１図（ａ）、（ｂ）は第１０図で示したオートフォ
ーカス顕微鏡によるオートフォーカス操作を説明するた
めの平面図である。顕微鏡視野１３のほぼ中央に対応し
て１次元受光素子４０．４０’が位置しているため第１
１図（ａ）のように対象物１４が１次元受光素子４０．
４０’に対応する位置から大きく外れた位置にあると十
分なコントラスト信号が得られず合焦できないため第１
１図（ｂ）のように対象物１４を視野１３の中央部に位
置合わせする必要がある。

第１２図は従来のオートフォーカス顕微鏡を用いた三次
元形状測定装置の一例を示す構成図である。第１２図に
示す三次元形状測定装置は、光学ユニット４４と、駆動
機構８と光学ユニット４４の１対の１次元受光素子４０
．４０’それぞれについて隣り合う画素の出力差の絶対
値を積分する１対のコントラスト検出回路５０と、１対
のコントラスト検圧回路５０の出力差を求めるコントラ
スト差検出回路５１と、コントラスト差検出回路５１の
出力に応じて駆動機構８により光学ユニツ）４４を８動
させ１対のコントラスト検出回路５０の出力が共に所定
のレベイレ以上であり、かつコントラスト差検出回路５
１の出力が所定のレベル以下になった時に合焦信号を出
し光学ユニット４４を停止させる合焦制御回路５２とで
構成されるオートフォーカスコントローラ５３（以下コ
ントローラ５３と称す）と、測定対象物を載せるスケー
ルを有するＸＹステージ５４と（駆動機構８がＺステー
ジに対応）、コントローラ５３の上位に位置しコントロ
ーラ５３に合焦指令を行うと共にコントローラ５３から
の合焦信号によりその時の駆動機構８による２方向の座
標およびＸＹステージ５４の座標を読み取る三次元形状
認識機能と、ＸＹステージ５４を駆動させる機能を有す
る信号処理部５５とを備えている。

第１３図（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、第１４図は第１２図
で示す三次元形状測定装置で形状測定を行う手法を説明
するための平面図である。

２つのユニッ）Ａ、Ｂで構成された対象物５７のユニッ
）Ａ、Ｂ間の段差を測定する場合、顕微鏡視野５６のほ
ぼ中央に置かれたフォーカシング用１次元受光素子４０
．４０’に対して第１３図（ａ）、（ｂ）＋７）Ｊ：’
）にユニッ）Ａ、ユニットＢがそれぞれ重なるように位
置合わせしたのちオートフォーカスをかけ、この２つの
場合のＺ座標の差からユニツ）Ａ、Ｂ間の段差を求める
。この場合、第１３図（ｃ）のように１次元受光素子４
０゜４０′に対してユニッ）Ａ、Ｂ両ユニットが重なる
とユニッ）Ａ、Ｂ間の中間位置で合焦するため１次元受
光素子４０．４０’に対して対象物５７の位置調整が必
要である。

また、第１４図に示すリードフレーム５８の高さを測定
する場合は、従来の技術では何本かの平均的な高さ測定
となり、個々のリードフレーム５８の高さを測定するた
めには隣接するリードフレーム５８と重ならない程度ま
で倍率を上げる必要が出てくる。但し、高倍率だと対象
リードフレームの認識が困難となってくる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のオートフォーカス顕微鏡は、コントラス
ト信号検出用１次元受光素子が顕微鏡視野内のほぼ中央
に対応して配置され検出領域が限定されているため、対
象物が１次元受光素子から外れた位置にセットされると
十分なコントラスト信号が得られず合焦できない上、対
象物の位置調整を行う場合もピントがずれているため対
象物の認識か困難で目的とする対象物に合焦させるため
に時間と労力を要するとし・う欠点があった。

また、上述した従来の三次元測定装置は、オートフォー
カス用１次元受光素子が顕微鏡視野内のほぼ中央に対応
して配置され検出領域が限定されているため、顕微鏡視
野内における対象物の各場所の高さを測定するためには
、測定箇所を顕微鏡視野のほぼ中央に常に位置合わせす
る必要がある上、１次受光素子で検出する領域内でのコ
ントラスト出力で合焦させるため１次元受光素子の検圧
領域内で隣接する物がいくつかあった場合、それら個々
の高さ測定ができないという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のオートフォーカス顕微鏡は、対物鏡筒部を有す
る第１の光学系と、前記第１の光学系から前焦点後焦点
の状態で結像させる光路差プリズムを有する第２の光学
系と、前記第２の光学系の２つの結像面におのおの検出
領域が等しくなるように配置された１対の２次元受光素
子と、前記第１の光学系、第２の光学系および２次元受
光素子で構成された光学ユニットを光軸方向に移動させ
る駆動機構と、前記１対の２次元受光素子から任意の同
一領域を抽出する１対の画像抽出回路と、前記１対の画
像抽出回路それぞれで抽出された画像に対して隣り合う
画素の出力差の絶対値を積分する１対のコントラスト検
出回路と、前記１対のコントラスト検出回路の出力差を
求めるコントラスト差検出回路と、前記コントラスト差
検出回路の出力に応じて前記光学ユニットを移動させ前
記１対のコントラスト検出回路の出力が共に所定のレベ
ル以上でありかつ前記コントラスト差検出回路の出力が
所定のレベル以下になった時に合焦したと判断し前記光
学ユニットを停止させる合焦制御回路とを含んで構成さ
れる。

本発明のオートフォーカス顕微鏡は、対物鏡筒部を有す
る第１の光学系と、前記第１の光学系から前焦点後焦点
の状態で結像させる光路差プリズムを有する第２の光学
系と、前記第２の光学系の２つの結像面におのおの検出
領域が等しくなるように配置された１対の２次元受光素
子と、前記第１の光学系、第２の光学系おおび２次元受
光素子で構成された光学ユニットを光軸方向に移動され
る駆動機構と、前記１対の２次元受光素子それぞれの検
圧エリアを格子状に等分割し対応する同領域を順次抽出
する１対の画像抽出回路と、前記１対の画像抽出回路そ
れぞれで抽出された画像に対して隣り合う画素の出力差
の絶対値を積分する１対のコントラスト検出回路と、前
記１対のコントラスト検圧回路の出力差を求めるコント
ラスト差検出回路と、前記コントラスト差検出回路の出
力に応じて前記光学ユニットを移動させ前記コントラス
ト差検出回路の出力が所定のレベル以下になった時に合
焦信号を出力し前記画像抽出回路に次の画像抽出指令を
行う合焦制御回路と、前記合焦制御回路の合焦信号に同
期して前記１対のコントラスト検出回路の出力和とその
時の前記画像抽出回路が選択抽出した画像領域を同時に
メモリしていき前記２次元受光素子の全分割領域での合
焦操作終了後に得られた出力和の中でその出力が最大と
なる画像領域に再度合焦させるように前記合焦制御回路
に指令を比す合焦判定回路とを含んで構成される。

本発明のオートフォーカス顕微鏡は、下記Ａ〜Ｅを含ん
で構成される。

Ａ、　接眼鏡筒部を有する第１の光学系と、前記第の１の光学系から前焦点後前点前状態で結像させる光路差
プリズムを有する第２の光学系と、前記第２の光学系の
２つの結像面におのおの検出領域が等しくなるように配
置された１対の２次元受光素子とで構成された光学ユニ
ツ）Ｂ、前記光学ユニットを光軸方向に移動するスケー
ルを有するＺステージＣ前記光学ユニットの１対の２次元受光素子から任意の
同一領域を抽出する１対の画像抽出回路と、前記１対の
画像抽出回路それぞれで抽出された画像に対して隣り合
う画素の出力差の絶対値を積分する１対のコントラスト
検出回路と、前記１対のコントラスト検出回路の出力差
を求めるコントラスト差検出回路と、前記コントラスト
差検出回路の出力に応じて前記光学ユニットを移動させ
前記１対のコントラスト検出回路の出力が共に所定のレ
ベル以上であり、かつ前記コントラスト差検出回路の出
力が所定のレベル以下になった時に合焦信号を比す合焦
制御回路とを有するオートフォーカスコントローラＤ　
測定対象物を載せスケールを有するＸＹステーンＥ、　前記オートフォーカスコントローラに合焦領域の
指定および合焦指令を行うと共に前記オドフォーカスコ
ントローラからの合焦信号に同期してその時のＺステー
７の座標および合焦領域のＸＹ座標を読み取り、前記Ｘ
Ｙステージを駆動させる信号処理部〔実施例〕次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。

第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。

本実施例は第１の光学系１．第２の光学系４および第２
の光学系４の２つの結像面におのおの検出領域が等しく
なるように配置された１組の２次元受光素子６，６′で
構成された光学ユニット７と、駆動機構８と、１対の２
次元受光素子６゜６′から顕微鏡視野の同一領域を抽出
する１対の画像抽出回路９，９′と、１対の画像抽出回
路９．９′で抽出された画像それぞれに対して隣り合う
画素の出力差の絶対値を積分する１対のコントラスト検
出回路１０．１０’　と、１対のコントラスト検圧回路
１０．１０′の出力差を求めるコントラスト差検出回路
１１と、コントラスト差検出回路１１の出力に応じて光
学ユニット７を移動させ１対のコントラスト検出回路１
０．１０’の出力が共に所定のレベル以上であり、かつ
コントラスト差検出回路１１の出力が所定のレベル以下
になった時に合焦したと判断し光学ユニット７を停止さ
せる合焦制御回路１２とを備えている。

第２図は、第１図で示したオー　トフォーカス顕微鏡に
よるオートフォーカス操作を説明するための平面図であ
る。

顕微鏡視野１３の中央からずれた位置に対象物１４があ
った場合、例えば画像抽出回路９，９′それぞれで顕微
鏡視野１３を１６分割し分割されたそれぞれの領域６−
１〜６−１６で順次オートフォーカス動作を行っていく
と領域６−１〜６−５では領域内に占める対象物１４の
面積が小さいため十分なコントラスト信号が得られず合
焦できないが、領域６−６又は６−７では領域内に占め
る対象物１４の面積が大きいため合焦させることができ
る。従って顕微鏡視野１３内に存在する対象物であれば
、画像抽出回路９，９′で分割する顕微鏡視野の分割数
を予め対象物の大きさに合わせて適当に設定しておくこ
とによりいずれの分割領域で確実に対象物に応じて合焦
させることが可能である。

第３図は本発明の他の実施例を示す構成図である。

本実施例は光学ユニット７と駆動機構８と、２次元受光
素子６，６′の検出エリアを格子状の領域６−１〜６−
１６に等分割し対応する同一領域を順次抽出する１対の
画像抽出回路１５と、１対の画像抽出回路１５それぞれ
で抽出された画像に対して隣り合う画素の出力差の絶対
値を積分する１組のコントラスト検出回路１６と、１対
のコントラスト検出回路１６の出力差を求めるコントラ
スト差検出回路１７と、コントラスト差検出回路１７の
出力に応じて光学ユニット７を移動させコントラスト差
検出回路１７の出力が所定のレベル以下になった時に合
焦信号を出力し画像抽出回路１５に次の画像抽出指令を
行う合焦制御回路１８と、合焦制御回路１８の合焦信号
に同期して１対のコントラスト検出回路１６の出力和と
その時の画像抽出回路１５の選択画像領域６−１〜６−
１６を同時にメモリしていき２次元受光素子６゜６′の
全分割領域６−１〜６−１６での合焦操作終了後に得ら
れた出力和の中でその出力が最大となる画像領域に再度
合焦させるように合焦制御回路１８に指令を出す合焦判
定回路Ｉ９とを備えている。

第４図は、第２図におけるコントラスト検出回路１６お
よびコントラスト差検出回路１７の合焦操作時における
出力特性を説明するためのブラフを示す図である。

光学ユニット７を移動させ作動距離を変えると前焦点に
おけるコントラスト出力２０および後焦点におけるコン
トラスト出力２１がそれぞれ増減し、合焦位置２４にお
いてコントラスト差出力２２はゼロ、またコントラスト
和出力２３は最大となる。

第５図は、第３図で示したオートフォーカス顕微鏡のオ
ートフォーカス操作を説明するための平面図である。

顕微鏡視野１３の中央からずれた位置にある対象物１４
に対して例えば、顕微鏡視野１３を１６分割して分割さ
れたそれぞｈの領域６−１〜６−１６で順次合焦させて
いくと、合焦時における２つのコントラスト出力の和は
領域６−７で最大となり、合焦判定回路１９の動作によ
り最終的な焦点合わせは領域６−７で行うことになる。

これにより、顕微鏡視野１３の中央からずれた位置にあ
る対象物１４に対しても正確に合焦させることができる
。

第６図は本発明のさらに他の実施例のオートフォーカス
顕微鏡を用いた三次元形状測定装置を示す構成図である
。

本実施例は光学ユニット７と、光学ユニット７を光軸方
向に移動するスケールを有するＺステージとして作用す
る駆動機構８と、光学ユニット７０１対の２次元受光素
子６，６′から任意の同一領域を抽出する１対の画像抽
出回路３０と、１対の画像抽出回路３０それぞれで抽出
された画像に対して隣り合う画素の出力差の絶対値を積
分する１組のコントラスト検出回路３１と、１対のコン
トラスト検出回路３１の出力差を求めるコントラスト差
検出回路３２と、コントラスト差検出回路３２の出力に
応じて光学ユニット７を移動させコントラスト検出回路
３１の出力が共に所定のレベル以上でありかつコントラ
スト差検出回路３２の出力が所定のレベル以下になった
時に合焦信号を出す合焦制御回路３３とで構成されるオ
ートフォーカスコントローラ３４（以下コントローラ３
４と称す）と、測定対象物を載せるスケールを有スるＸ
Ｙステージ３５と、コントローラ３４の上位に位置しコ
ントローラ３４に合焦領域の指定および合焦指令を行う
と共にコントローラ３４からの合焦信号に同期してその
時の駆動機構８によるＺ軸座標および合焦領域のＸＹ座
標を読み取る三次元座標認識機能と、ＸＹステージ３５
を駆動させる機能を有する信号処理部３６とを備えてい
る。

第７図は、第６図で示す三次元形状測定装置で形状測定
を行う測定対象物の一例の斜視図、第８図は第７図で示
す対象物３７の顕微鏡撮影図を示した平面図である。

いくつかの段差をもつ対象物３７に対して顕微鏡視野１
３を例えば１６分割して分割したそれぞれの領域６−１
〜６−１６で合焦させその時の２座標を読み取ることに
より三次元形状を測定できる。

第９図は第７図で示す三次元形状測定装置で測定できる
測定対象物の他の一例であるリードフレーム３８の顕微
鏡撮影の平面図である。リードフレーム３８の各足の高
さ測定を行う場合、リードのピッチに合わせて隣りのリ
ードと重ならない適当な画像抽出領域３９を設定し順次
合焦させることによりリードフレーム３８のそれぞれの
リードの高さを測定することができる。

〔発明の効果〕

本発明のオートフォーカス顕微鏡は、オートフォーカス
用コントラスト信号検出のために顕微鏡視野に対応して
２次元の受光素子を設け、さらに画像抽出回路により顕
微鏡視野内の任意の領域でオートフォーカス動作を行う
ことにより中央部から位置ずれした対象物に対しても位
置調整することなく確実に合焦させることができるとい
う効果がある。

本発明のオートフォーカス顕微鏡は、オートフォーカス
用コントラスト信号検出のために顕微鏡視野に対応して
２次元受光素子を設け、画像抽出回路により顕微鏡視野
を分割しそれぞれの領域で順次オートフォーカス動作を
行い最も強いコントラスト信号の得られる領域に合焦さ
せることにより顕微鏡視野に対して小さな物体において
も位置調整することなく正確に合焦させることができる
という効果がある。

本発明のオートフォーカス顕微鏡を用いた三次元形状測
定装置は、オートフォーカス用コントラスト信号検出に
２次元受光素子を用い、さらに２次元受光素子の任意の
領域で合焦させることにより顕微鏡視野内における対象
物の三次元形状を微細に測定できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す構成図、第２図は第１
図に示す実施例を説明するための顕微鏡の視野の図、第
３図は本発明の他の実施例を示す構成図、第４図は第３
図に示すコントラスト検出回路１６およびコントラスト
差検出回路１７の合熱操作時の出力特性を説明するため
の図、第５図は第３図で示す実施例のオートフォーカス
操作を説明するための顕微鏡の視野の図、第６図は本発
明のさらに他の実施例を示す構成図、第７図は第６図に
示す三次元形状測定装置で形状測定を行う測定対象物の
一例を示す斜視図、第８図は第７図に示す測定対象物３
７の顕微鏡撮影の平面図、第９図は第６図の実施例の測
定対象物の他の例を示す平面図、第１０図は従来のオー
トフォーカス顕微鏡の構成図、第１１図（ａ）および（
ｂ）は第１０図の光学ユニット４４の顕微鏡視野を示す
図でそれぞれ対象物１４が中央から外れた図および中央
に位置した図であり、第１２図は従来のオートフォーカ
ス顕微鏡を用いた三次元形状測定装置の構成図、第１３
図（ａ）〜（ｃ）は第１２図の光学ユニット７の顕微鏡
視野を示す図でそれぞれ１次元受光素子４０．４０’に
対応してユニットＡが位置した図、ユニッ）Ｂが位置し
た図およびユニットＡ、Ｂが位置した図、第１４図は第
１２図に示す三次元測定装置でリードフレーム５８の形
状測定を行う場合の顕微鏡視野を示す図である。ｌ・・・・第１の光学系、２・・・・・・ハーフミラ−
３・・・−光路差プリズム、４・・・・・・第２の光学
系、５・・・・・接眼光学系、６，６′・・・・・：２
次元受光素子、７．４４・・・・・光学ユニット、８・
・・・・・駆動機構、９゜９′　　１５・・・・画像抽
出回路、１０．１０’　、１６゜４１．４１’　、５０
・・・・・・コントラスト検出回路、１１．１７，４２
．５１・・・・・・コントラスト差検出回路、１２．１
８，４３．５２・・・・・・合焦制御回路、１３・・・
顕微鏡視野、１４．３７・・・・・対象物、２０・・前
焦点におけるコントラスト出力、２１・・・・・・後焦
点におけるコントラスト出力、２２・・・・・・＝ｉ７
トラスト差出力、２３・・・・・コントラスト和出力、
２４・・・合焦位置、３４．５３・・・・・・オートフ
ォーカスコントローラ、３５．５４・・・・・・ＸＹス
テージ、３６．５５・・・・・・信号処理部、３８・・
・・・・リードフレーム、３９・・・・・画像抽出領域
。代理人　弁理士　　内　原　　　晋箒図早４艮茅房早？圓弗閃第１ρ 叫埠／ｌ艮（α）（ｂ）第肥

Claims

【特許請求の範囲】

（１）対物鏡筒部を有する第１の光学系と、前記第１の
光学系から前焦点後焦点の状態で結像させる光路差プリ
ズムを有する第２の光学系と、前記第２の光学系の２つ
の結像面におのおの検出領域が等しくなるように配置さ
れた１対の２次元受光素子と、前記第１の光学系、第２
の光学系および２次元受光素子で構成された光学ユニッ
トを光軸方向に移動させる駆動機構と、前記１対の２次
元受光素子から任意の同一領域を抽出する１対の画像抽
出回路と、前記１対の画像抽出回路それぞれで抽出され
た画像に対して隣り合う画素の出力差の絶対値を積分す
る１対のコントラスト検出回路と、前記１対のコントラ
スト検出回路の出力差を求めるコントラスト差検出回路
と、前記コントラスト差検出回路の出力に応じて前記光
学ユニットを移動させて前記１対のコントラスト検出回
路の出力が共に所定のレベル以上であり、かつ前記コン
トラスト差検出回路の出力が所定のレベル以下になった
時に合焦したと判断し前記光学ユニットを停止させる合
焦制御回路とを含むことを特徴とするオートフォーカス
顕微鏡。
（２）対物鏡筒部を有する第１の光学系と、前記第１の
光学系から前焦点後焦点の状態で結像させる光路差プリ
ズムを有する第２の光学系と、前記第２の光学系の２つ
の結像面におのおの検出領域が等しくなるように配置さ
れた１対の２次元受光素子と、前記第１の光学系、第２
の光学系および２次元受光素子で構成された光学ユニッ
トを光軸方向に移動させる駆動機構と、前記１対の２次
元受光素子それぞれの検出エリアを格子状に等分割し対
応する同一領域を順次抽出する１対の画像抽出回路と、
前記１対の画像抽出回路それぞれで抽出された画像に対
して隣り合う画素の出力差の絶対値を積分する１対のコ
ントラスト検出回路と、前記１対のコントラスト検出回
路の出力差を求めるコントラスト差検出回路と、前記コ
ントラスト差検出回路の出力に応じて前記光学ユニット
を移動させ前記コントラスト差検出回路の出力が所定の
レベル以下になった時に合焦信号を出力し前記画像抽出
回路に次の画像抽出指令を行う合焦制御回路と、前記合
焦制御回路の合焦信号に同期して前記１対のコントラス
ト検出回路の出力和とその時の前記画像抽出回路が選択
抽出した画像領域を同時にメモリしていき前記２次元受
光素子の全分割領域での合焦操作終了後に得られた出力
和の中でその出力が最大となる画像領域に再度合焦させ
るように前記合焦制御回路に指令を出す合焦判定回路と
を含むことを特徴とするオートフォーカス顕微鏡。
（３）Ａ、接眼鏡筒部を有する第１の光学系と、前記第
１の光学系から前焦点後焦点の状態で結像させる光路差
プリズムを有する第２の光学系と、前記第２の光学系の
２つの結像面におのおの検出領域が等しくなるように配
置された１対の２次元受光素子とで構成された光学ユヒ
ットＢ、前記光学ユニットを光軸方向に移動するスケールを
有するＺステージＣ、前記光学ユニットの I 対の２次元受光素子から任
意の同一領域を抽出する１対の画像抽出回路と、前記１
対の画像抽出回路それぞれで抽出された画像に対して隣
り合う画素の出力差の絶対値を積分する１対のコントラ
スト検出回路と、前記１対のコントラスト検出回路の出
力差を求めるコントラスト差検出回路と、前記コントラ
スト差検出回路の出力に応じて前記光学ユニットを移動
させ前記１対のコントラスト検出回路の出力が共に所定
のレベル以上でありかつ前記コントラスト差検出回路の
出力が所定のレベル以下になった時に合焦信号を出す合
焦制御回路とを有するオートフォーカスコントローラＤ
、測定対象物を載せスケールを有するＸＹステージＥ、前記オートフォーカスコントローラに合焦領域の指
定および合焦指令を行うと共に前記オートフォーカスコ
ントローラからの合焦信号に同期してその時のＺステー
ジの座標および合焦領域のＸＹ座標を読み取り、前記Ｘ
Ｙステージを駆動させる信号処理部上記Ａ−Ｅを含むことを特徴とするオートフォーカス顕微鏡を用いた三次元形状測定装置。