JPH04142058A - ウェーハキャリア洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電荷により回路が破壊されないように表面が
導電性をもつウェーハキャリアを洗浄するウェーハキャ
リア洗浄装置に間する。

〔従来の技術〕

第２図は従来のウェーハキャリア洗浄装置の一例の概略
を示す図である。従来、この種のウェーハキャリア洗浄
装置は、例えば、第２図に示すように、台座６に載置さ
れたウェーハキャリア４をブラシ２をモータ１で回転さ
せて付着するごみを吹き取り、純水を吹き出すノズル３
をもつブラシ洗浄部１４と、純水をウェーハキャリア４
に噴出するノズル３をもつ水洗部１５と、ウェーハキャ
リア４を付ける洗浄層５及び純水に超音波振動を与える
超音波振動子１１とを有する超音波洗浄部１６と、ウェ
ーハキャリアを高速回転させ、表面の水分を飛散させて
乾燥するスピンドライヤ１３とで構成されていた。また
、ブラシ洗浄部１４と水洗部１５と超音波洗浄部１６と
は一つの基台１８に取付けられ、スピンドライヤー１３
は、その回転部の面と基台１８の面とほぼ一致するよう
に配置されていた。

このウェーハキャリア洗浄装置の動作は、まず、ブラシ
洗浄部１８により、ウェーハキャリアに付着しているご
みをブラシ２で吹き取ると同時にノズル３により純水を
噴出させ、ごみを洗い落す０次に、さらに水洗部１５に
より、ノズル３より純水をウェーハキャリア４に浴びせ
、洗い落しを行う。次に、ウェーハキャリア４を洗浄槽
５に付け、超音波振動を与え、洗い流せなかったごみを
洗い落す。次に、スピントライア１３にウェーハキャリ
ア４を乗せ、高速回転し、表面の水分を飛散させ、乾燥
する。

また、別の従来例のウェーハキャリア洗浄装置では、ス
ピンドライヤーの代りに、赤外線ランプによる乾燥機構
部を設けた例がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、上述した従来のウェーハキャリア洗浄装
置では、ウェーハキャリア表面に、界面活性剤かにじみ
出て形成された導電性膜が、ブラシ等の摩擦により、除
去されるという欠点がある。このため、更めて、ウェー
ハキャリアを加熱して界面活性剤をにじみ出させ、導電
膜を形成する必要がある。また、乾燥機構として赤外線
ランプによるものでは、表面に導電膜を形成するのに本
体の軟化する温度以下で行うなめ、約８０〜１２０時間
という長時間を要する。さらに、この導電膜が完全に形
成されているか否かを検査する機構をもっていないので
、ウェーハキャリア毎に導電度がばらつくという欠点が
ある。

本発明の目的は、かかる欠点を解消し、帯電防止効果を
維持させて、洗浄出来るウェーハキャリア洗浄装置を提
供することである。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のウェーハキャリア洗浄装置は、導電性のある表
面をもつウェーハキャリアを洗浄する洗浄機構と、洗浄
後に前記ウェーハキャリアを加熱して乾燥する加熱機構
とを有するウェーハキャリア洗浄装置において、前記ウ
ェーハキャリアの帯電圧を測定する測定手段を備え、前
記加熱機構の加熱温度及び加熱時間を制御することを特
徴としている。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明のウェーハキャリア洗浄装置の一実施例
の概略を示す図である。このウェーハキャリア洗浄装置
は、同図に示すように、乾燥機構であるウェーハキャリ
ア加熱機構として、赤外線を発生する赤外線ランプ９と
、ウェーハキャリア４の温度を測定する温度センサ８と
、ウェーハキャリア４に帯電電圧を測定する電圧測定子
７と、ウェーハキャリアを収納し、室内のほこりを除去
するフィルタ１０を備え、かつ赤外線ランプ９を取付け
るシュラウド１０ａとを設けたことである。それ以外は
、従来例と同じである。

次に、このウェーハキャリア洗浄装置の動作について説
明する。まず、超音波洗浄部１６迄は、従来と同様に動
作する。次に、ウェーハキャリア４は、シュラウド１０
ａ内に挿入され、絶縁体である台座６に載置される。次
に、ウェーハキャリア４はフィルター１０を通した清浄
な空気を赤外線ランプ９で加熱し乾燥される。このとき
、ポリプロピレン製のウェーハキャリアの本体が変形し
ない程度の温度１例えば、５０〜１５０’Ｃ範囲内に維
持されるように、温度センサ８により温度を測定し、温
度・加熱時間制御部１２により赤外線ランプの放射エネ
ルギーを制御する。また、これと同時にウェーハキャリ
アに帯電される電荷の電圧を電圧測定子７（ウェーハキ
ャリアと距離が２０〜３０ｃｍ１ｉれている）で測定し
、ウェーハキャリアの導電性回復度をチエツクする。次
に、あらかじめコントローラー１２にセットされた電圧
以下になっていれば乾燥終了となる。もし、なっていな
ければ、コントローラー１２の指示により再乾燥、電圧
測定を繰り返し帯電のしないウェーハキャリアを得る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明は、ウェーハキャリア乾燥
の際にウェーハキャリアの帯電電圧をモニターしながら
、加熱温度時間をコントロールするので、帯電量のばら
つきを少なく、かつ帯電防止効果を維持して洗浄出来る
ウェーハキャリア洗浄装置が得られるという効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のウェ−ハキャリア洗浄装置の一実施
例における概略を示す図、第２図は、従来のウェーハキ
ャリア洗浄装置の一例における概略を示す図である。 １・・・モータ、２・・・ブラシ、３・・・ノズル、４
・・・ウェーハキャリア、５・・・洗浄槽、６・・・台
座、７・・・電圧測定子、８・・・温度センサ、９・・
・赤外線ランプ、１０・・・フィルタ、１０ａ・・・シ
ュラウド、１１・・・超音波振動子、１２・・・温度・
加熱時間制御部、１３・・・スピンドライヤー　１４・
・・ブラシ洗浄部、１５・・・水洗部、１６・・・超音
波洗浄部、１８．１８ａ・・・基台。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　導電性のある表面をもつウェーハキャリアを洗浄する
   洗浄機構と、洗浄後に前記ウェーハキャリアを加熱して
   乾燥する加熱機構とを有するウェーハキャリア洗浄装置
   において、前記ウェーハキャリアの帯電圧を測定する測
   定手段を備え、前記加熱機構の加熱温度及び加熱時間を
   制御することを特徴とするウェーハキャリア洗浄装置。