JPH04136810A - 回折格子パターンを有するディスプレイおよびその作製方法 - Google Patents
回折格子パターンを有するディスプレイおよびその作製方法Info
- Publication number
- JPH04136810A JPH04136810A JP2259101A JP25910190A JPH04136810A JP H04136810 A JPH04136810 A JP H04136810A JP 2259101 A JP2259101 A JP 2259101A JP 25910190 A JP25910190 A JP 25910190A JP H04136810 A JPH04136810 A JP H04136810A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- display
- image
- substrate
- images
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 description 24
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 241000270281 Coluber constrictor Species 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- OQZCSNDVOWYALR-UHFFFAOYSA-N flurochloridone Chemical compound FC(F)(F)C1=CC=CC(N2C(C(Cl)C(CCl)C2)=O)=C1 OQZCSNDVOWYALR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0476—Holographic printer
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0476—Holographic printer
- G03H2001/0482—Interference based printer
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/0493—Special holograms not otherwise provided for, e.g. conoscopic, referenceless holography
- G03H2001/0497—Dot matrix holograms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
め要約のデータは記録されません。
Description
微小なドツトを配置することにより、回折格子パターン
からなる複数の画像が形成されたディスプレイおよびそ
の作製方法に係り、特に複数の画像(あるいはメツセー
ジ、警告等)中の任意の画像をクリアーに表現し得るよ
うにした回析格子パターンを有するディスプレイおよび
その作製方法に関するものである。
変化する画像を、平面状の基板上に表現する方法として
、ホログラフィック・ステレオグラムや、ホログラムの
チエンリンクと称される技術がある。また、最近では、
レンチキュラレンズを使用することも考えられてきてい
る。
ダラムや、ホログラムのチエンリンクでは、複数の画像
が同時に目に入ったり、ボケが生じたりと、クリアーな
画像を表現することができなかった。また、光源の位置
の移動についても、直線上を動かすなど、比較的単純な
範囲での動きしか許されなかった。さらに、レンチキュ
ラー・レンズを使用するものでは、光源の位置を変えて
も、観察者が移動しなければ画像の変化を観察すること
ができないという問題があった。
ので、光源、または観察者、もしくは基板の3つの要素
の相対的な位置を変えることにより、複数の画像(ある
いはメツセージ、警告等)中の任意の画像をクリアーに
表現することが可能な回折格子パターンを有するディス
プレイおよびその作製方法を提供することを目的とする
。
の表面に回折格子からなる複数の微小なドツトを配置す
ることにより、回折格子パターンからなる複数の画像が
形成されたディスプレイにおいて、一つ一つの画像を(
111成する各ドツトが、同一方向の回折格子から成っ
ている。
子パターンを有するディスプレイの作製方法は、まず、
ある角度で任意の空間周波数の微小な回折格子のドツト
を用いて、最初の画像を基板上に形成し、次に、上記角
度と異なった角度で任意の空間周波数の微小な回折格子
を用いて次の画像を同一の基板上に形成し、以後、所望
する画像の数だけ上記と同様の操作を繰り返し、次々と
画像を同一の基板上に形成するようにしている。
画像を構成する各ドツトが、同一方向の回折格子から成
っていることにより、観察者が視点を変えた場合に、異
なった画像を観察することができる。また、静止した観
察者の場合にも、光源の位置を変えることによって、光
源の位置に応じた異なる画像を観察することができる。
ィスプレイを観察する場合でも、ディスプレイを移動、
回転させることによって、異なる画像を観察することが
できる。
、複数のメツセージの表現等をすることも可能となる。
む)が存在することにより意味を持つ一連の画像を回折
格子を用いて表現するディスプレイにおいて、一つ一つ
の画像がある一定の方向の回折格子から成っていること
を特徴とする(空間周波数は一定でなくても良い)もの
である。これにより、観察時には、観察者、光源、デイ
スプレイの3つの要素の相対的な位置が変わることによ
り、観察者の目にはいる画像も変化する。
ばレーザビームを用い、2光束干渉による微小な干渉縞
を、そのピッチ、方向、および光強度を変化させて、感
光性フィルム上に次々と露光する方法、あるいは電子ビ
ーム露光装置を用い、コンピューター制御により平面上
の基板が載置されたX−Y−θステージを移動させて基
板の表面に回折格子からなる複数の微小なドツトを配置
する方法を用いる。
ついて、図面を参照して詳細に説明する。
格子のドツトを作製する方法を例として述べろ。
を有するディスプレイを作製する方法を説明するための
斜視図である。本実施例は、コンピューター上の画像情
報にそって、2本のレーザ−ビームを操作し、赤(R)
、緑(G)、青(B)のドツトを直接感光材料の上に露
光していき、そのドツトの組み合わせによって回折格子
パターンを有するディスプレイを作製するものである。
0.12を乾板(感光材料を塗布したガラス板)14上
でドツト状に交わらせると、ドツト16に干渉縞18が
生じる。この干渉縞18の周期は、2本のレーザビーム
10.12の交わる角度を変えることにより、変化させ
ることが可能である。コンピュータの指示に従って、X
−Y−θステージ20を移動させながら、この干渉縞1
8のドツト16を乾板14上に形成する。この場合、赤
(R)、緑(G)、青(B)の3色を表わす3種のドツ
ト16を形成するために、3通りの角度を有するレーザ
ビームを準備する。このようにして、赤(R)、緑(G
)、青(B)の3色のスポットを、コンピュータの指示
に従って乾板14上の任意の位置に形成する。
学系の構成例を示す図である。すなわち、第2図におい
て、レーザ光源22より発したレーザビームは、全反射
ミラー24.26により光路を変えて、ハーフミラ−3
2,34,36に入射し、4本のレーザビームBl、B
2.B3.B4に分けられる。この時、4本のレーザビ
ームBl。
定される。そして、3本のレーザビームB1、B2.B
3は、スリット38によって1本に選択され、レンズ4
0、ミラー42を通って乾板14上に入射される。また
、リファレンス光となるレーザビームB4は、ミラー4
4.46を通って乾板14上に入射される。この場合、
4本のレーザビームBl、B2.B3.B4は、1点に
集まるように調整されている。また、これらの4本のレ
ーザビームBl、B2.B3.B4が乾板14上に入射
する角度は、回折格子からの回折光が赤(R)、緑(G
)、青CB)の3色の色を表わすように、予め計算され
た値に設定されている。
、ざらにX−Y−θステージ20は、コンピュータ制御
により移動できるようになっている。また、4本のレー
ザビームBl、B2.B3゜B4は、乾板14に入射す
る直前でシャッター48を通過するようになっており、
シャッター48の開閉によって露光または非露光を制御
する。
子パターンを有するディスプレイの作製方法について説
明する。
の画像の画像データを用意し、まずステップAに示すよ
うに、この画像データの中から1枚分の画像のデータを
読み込み、コンピューター30内で拡大縮小などの必要
な画像処理を施した後、画像データをR,G、Bの各色
に分解してそれぞれ記憶させておく。
して光学系のスリット38を移動させ、レーザービーム
Bl、B2.B3のうちで指定されたレーザービームだ
けをスリット38を通過させる。
する位置に、X−Y−θステージ20のx−yステージ
を移動させる。
8を開き、乾板14に露光して、指定した色に対応する
回折格子を形成する。そして、ステップFに示すように
、1枚の画像に相当する全ドツトの露光が終了したかど
うかを判定する。その結果、全ドツトの露光が終了して
いない時にはステップBに戻り、ステップB、C,D、
E、Fの各処理を繰り返しくステップH)、1枚の画像
に相当する複数のドツト状の回折格子パターンを形成す
る。
時にはステップGに移行し、X−Y−θステージ20の
θステージを移動させる。そして、ステップHで、全画
像について露光が終了したかどうを判定し、全画像につ
いて露光が終了していない時にはステップAに戻り、ス
テップAからスチップHの各処理を繰り返す。このよう
にして、全画像について露光が終了すれば、本実施例の
回析格子パターンを有するディスプレイが完成する。
かつコンピュータ制御により平面状の基板14が載置さ
れたX−Y−θステージ20を移動させて、基板14の
表面に回折格子からなる複数の微小なドツトを配置する
ことにより、回折格子パターンが形成されたディスプレ
イを作製するに場合に、まずある角度で任意の空間周波
数の微小な回折格子のドツトを用いて、第5図に示すよ
うに最初の画像を基板14上に形成し、次に上記の角度
と異なった角度で任意の空間周波数の微小な回折格子を
用いて次の画像を同一の基板14上に形成し、以後新型
する必要な画像の数だけ、同様の操作を繰り返して行な
うことにより、一つ一つの画像を構成する各ドツトが、
同一方向の回折格子から成るようにしたものである。
観察者が視点を変えた場合に、異なった画像を観察する
ことができる。また、静止した観察者の場合にも、光源
の位置を変えることによって、光源の位置に応じた異な
る画像を観察することができる。さらに、静止した光源
によって静止した観察者がこのディスプレイを観察する
場合でも、ディスプレイを移動、回転させることによっ
て、異なる画像を観察することができる。
者が、光源を動かしながら観察すると、第6図(a)、
(b)に示すように、回折格子の角度の異なる画像か次
々に見える。また、元の画像が連続したものならば、ア
ニメーションの効果も見られる。さらに、同一の位置に
複数のメツセージを順次表示することや、複数の画像を
同時に表示することによって、様々な画像表現が可能と
なる。
、と観察される画像との関係は、その画像のグレーティ
ング(回折格子)の方向に依存し、観察される画像の色
はそのグレーティングのピッチ(空間周波数)に依存す
る。その数学的な記述は、第7図(a)、(b)を参照
して説明すると、以下のようになる。
レーティングのピッチ、φは入射光の角度(すなわち光
源の位置)、βは回折光の角度(すなわち観察される方
向)のY−Z平面へ投影した角度を示す。また、(u、
v、z)系は、(x。
り、入射光のX−Y平面への投影がY軸に一致するよう
にする。
] ]d=λcosθ/(sinα+stnβ)ただし
、 awarc tan (tan φ l c
os Ω 1 )θ−arc tan (si
n Ω/ c o s Ω+ tan
−φ))尚、上記実施例では、レーザビームを用い、2
光束干渉による微小な干渉縞を、そのピッチ、方向、お
よび光強度を変化させて、感光性フィルム上に次々と露
光する方法によりディスプレイを作製する場合について
述べたが、電子ビーム露光装置を用い、コンピューター
制御により平面上の基板が載置されたX−Y−θステー
ジ(θステージは固定とする)を移動させて、基板の表
面に回折格子からなる複数の微小なドツトを配置する方
法によりディスプレイを作製するようにしてもよい。
パターンを有するディスプレイの作製方法について、第
8図ないし第10図を参照して説明する。
0と、アライメント52と、ブランカ54と、コンデン
サレンズ56と、ステイグメータ58と、ディフレクタ
−60と、対物レンズ62と、x−y−θステージ20
とからなる。そして、X−Y−θステージ20上には、
乾板(EBレジスト)14が載置されている。また、ブ
ランカー54、ディフレクタ−60、およびX−Yθス
テージ20は、コントロールインターフェイス64を介
してコンピュータ66に接続されている。さらに、電子
銃50から発射された電子ビームは、コンピュータ66
に制御されて乾板14上を走査する。
14を示している。第9図に示すように、電子銃50か
ら発射された電子ビーム70は、ドツト16を単位にし
て回折格子パターン18を描画する。X−Y−θステー
ジ(θステージは固定とする)20を移動させることに
より、ドツト毎に次々と回折格子パターン18を描画す
る。
作製方法について説明する。
ャナーを用いて読み取った複数の画像の画像データの中
から、1枚分の画像のデータを読み込み、コンピュータ
ー30内で拡大縮小などの必要な画像処理を施した後、
画像データをコンピューター30内に記憶させておく。
する。
定する。
する位置に、X−Y−θステージ20のX−Yステージ
を移動しくθステージは固定とする)、ステップMにお
いてそのドツトの回折格子の描画を行なう。
全ドツトの露光が終了したかどうかを判定する。その結
果、全ドツトの露光が終了していない時にはステップK
に戻り、ステップL、Mの各処理を繰り返しくステップ
N)、1枚の画像に相当する複数のドツト状の回折格子
パターンを形成する。
時にはステップOに移行し、全画像について露光が終了
したかどうを判定する。その結果、全画像について露光
が終了していない時にはステツブIに戻り、ステップ■
からステップOの各処理を繰り返す。このようにして、
全画像について露光が終了すれば、本実施例の回折格子
パターンを有するディスプレイが完成する。
えた場合に、異なった画像を観察することができる。ま
た、静止した観察者の場合にも、光源の位置を変えるこ
とによって、光源の位置に応じた異なる画像を観察する
ことができる。さらに、静止した光源によって静止した
観察者がこのディスプレイを観察する場合でも、ディス
プレイを移動、回転させることによって、異なる画像を
観察することができる。
意の空間周波数の微小な回折格子のドツトを用いて最初
の画像を基板上に形成し、次に上記の角度と異なった角
度で任意の空間周波数の微小な回折格子を用いて次の画
像を同一の基板上に形成し、以後所望する必要な画像の
数だけ同様の操作を繰り返して行なうことにより、一つ
一つの画像を構成する各ドツトが、同一方向の回折格子
から成るようにしたので、光源、または観察者、もしく
は基板の3つの要素の相対的な位置を変えることにより
、複数の画像(あるいはメツセージ、警告等)中の任意
の画像をクリアーに表現することが可能な回折格子パタ
ーンを有するディスプレイおよびその作製方法が提供で
きる。
有するディスプレイの作製方法の一実施例を示す斜視図
、 第2図は本発明のディスプレイの作製方法を実施するた
めの光学系の構成例を示す図、第3図は同実施例におけ
るディスプレイの作製方法を説明するための概略図、 第4図は同実施例におけるディスプレイの作製方法を説
明するためのフロー図、 第5図ないし第7図は同実施例におけるディスプレイを
説明するための図、 第8図は本発明の電子ビーム露光装置を用いた回折格子
パターンを有するディスプレイの作製方法の一実施例を
示す概略図、 第9図は同実施例におけるX−Y−〇ステージ上に載置
されたEBレジストを示す図、第10図は同実施例にお
けるディスプレイの作製方法を説明するためのフロー図
である。 10.1.2・・・レーザビーム、14・・乾板、15
・・EBレジスト乾板、16・・ドツト、18・・・回
折格子、20・・・X−Y−θステージ、22・・・レ
ーサー光源、30・・・コンピュータ、38・・・スリ
ット、48・・・シャッター 50・・・電子銃、54
・・・プランカー 60・・・ディフレクタ−62・・
・対物レンズ、64・・・コントロールインターフェイ
ス、66・・・コンピュータ、70・・・電子ビーム。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦81〜B4レ
ーザビーム X−Y−e ステージ 第 図 五丁#テ゛ゝ夕 基 板 画 像
Claims (2)
- (1)平面状の基板の表面に回折格子からなる複数の微
小なドットを配置することにより、回折格子パターンか
らなる複数の画像が形成されたディスプレイにおいて、
一つ一つの画像を構成する各ドットが、同一方向の回折
格子から成っていることを特徴とする回折格子パターン
を有するディスプレイ。 - (2)平面状の基板の表面に回折格子からなる複数の微
小なドットを配置することにより、回折格子パターンか
らなる複数の画像が形成されたディスプレイを作製する
方法において、 まず、ある角度で任意の空間周波数の微小な回折格子の
ドットを用いて、最初の画像を基板上に形成し、 次に、前記角度と異なった角度で任意の空間周波数の微
小な回折格子を用いて次の画像を前記基板上に形成し、 以後、所望する画像の数だけ前記と同様の操作を繰り返
し、次々と画像を前記基板上に形成するようにしたこと
を特徴とする回折格子パターンを有するディスプレイの
作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2259101A JP2630047B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 回折格子パターンを有するディスプレイおよびその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2259101A JP2630047B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 回折格子パターンを有するディスプレイおよびその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04136810A true JPH04136810A (ja) | 1992-05-11 |
JP2630047B2 JP2630047B2 (ja) | 1997-07-16 |
Family
ID=17329339
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2259101A Expired - Lifetime JP2630047B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 回折格子パターンを有するディスプレイおよびその作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2630047B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011218620A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Toppan Printing Co Ltd | 画像表示体及び情報媒体 |
US9557457B2 (en) | 2009-08-13 | 2017-01-31 | Toppan Printing Co., Ltd | Image display and labeled article |
WO2017119492A1 (ja) | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 凸版印刷株式会社 | 光学素子、および光学素子付き物品 |
EP3572852A1 (en) | 2015-10-19 | 2019-11-27 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display, article with display, and method of observing display |
WO2021206163A1 (ja) | 2020-04-10 | 2021-10-14 | 凸版印刷株式会社 | カラー表示体、認証媒体、および、カラー表示体の真贋判定方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272319A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 |
JPH0272320A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP2259101A patent/JP2630047B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0272319A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 |
JPH0272320A (ja) * | 1988-09-07 | 1990-03-12 | Toppan Printing Co Ltd | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9557457B2 (en) | 2009-08-13 | 2017-01-31 | Toppan Printing Co., Ltd | Image display and labeled article |
US9931883B2 (en) | 2009-08-13 | 2018-04-03 | Toppan Printing Co., Ltd. | Image display and labeled device |
JP2011218620A (ja) * | 2010-04-07 | 2011-11-04 | Toppan Printing Co Ltd | 画像表示体及び情報媒体 |
EP3572852A1 (en) | 2015-10-19 | 2019-11-27 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display, article with display, and method of observing display |
US11427025B2 (en) | 2015-10-19 | 2022-08-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | Display, article with display, and method of observing display |
WO2017119492A1 (ja) | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 凸版印刷株式会社 | 光学素子、および光学素子付き物品 |
US10921500B2 (en) | 2016-01-07 | 2021-02-16 | Toppan Printing Co., Ltd. | Optical element, and optical element-equipped article |
WO2021206163A1 (ja) | 2020-04-10 | 2021-10-14 | 凸版印刷株式会社 | カラー表示体、認証媒体、および、カラー表示体の真贋判定方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2630047B2 (ja) | 1997-07-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2508387B2 (ja) | 回折格子パタ―ンを有するディスプレイの作製方法 | |
US5991078A (en) | Display medium employing diffraction grating and method of producing diffraction grating assembly | |
EP0357837B1 (en) | Method for producing a display with a diffraction grating pattern and a display produced by the method | |
DE69635804T2 (de) | Grosse zusammengesetzte anzeigenhologramme und verfahren | |
JPH07287192A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイ | |
JP2920971B2 (ja) | 回析格子パターンを良するディスプレイの作製方法 | |
JPH0272320A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 | |
JPH04136810A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイおよびその作製方法 | |
JP2602554B2 (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 | |
JP2001183962A (ja) | ホログラム作成方法 | |
JPH0272319A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイの作製方法 | |
JP3608747B2 (ja) | 多面付けホログラム及びその作成方法 | |
JPH01102492A (ja) | カラーホログラフィックステレオグラムの製造方法 | |
JPH0667006A (ja) | 回折格子集合体の作製方法 | |
JP3380838B2 (ja) | 転写用回折素子の製造方法、及びそれを用いた回折素子パネルの製造方法 | |
JPH05241008A (ja) | 回折格子プロッター | |
JP3171013B2 (ja) | 回折格子からなる物品の作製方法および作製装置 | |
JP3518051B2 (ja) | 回折格子パターンの作製方法及び装置 | |
JP2830530B2 (ja) | 回折格子プロッター | |
JPH0339701A (ja) | 回折格子パターンを有するディスプレイ | |
JPH0422954A (ja) | マスク、マスクを用いた露光装置及びマスクを用いた露光方法 | |
JP3287472B2 (ja) | ホログラフィック光学素子の作製方法 | |
Matsushima et al. | Fabrication of High-Definition CGH | |
JPH09185315A (ja) | 回折格子パターン | |
JPH05241007A (ja) | 回折格子プロッター |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S202 | Request for registration of non-exclusive licence |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R315201 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080418 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090418 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100418 Year of fee payment: 13 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110418 Year of fee payment: 14 |