JPH0413596A - 自動ラインにおける状態表示システム - Google Patents
自動ラインにおける状態表示システムInfo
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- JPH0413596A JPH0413596A JP11625590A JP11625590A JPH0413596A JP H0413596 A JPH0413596 A JP H0413596A JP 11625590 A JP11625590 A JP 11625590A JP 11625590 A JP11625590 A JP 11625590A JP H0413596 A JPH0413596 A JP H0413596A
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- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 16
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は自動生産ラインのロボット等に適用されて異常
か発生した場合に、該異常の発生の原因となった箇所を
明確に表示させることができるモニタリング装置に関す
る。
か発生した場合に、該異常の発生の原因となった箇所を
明確に表示させることができるモニタリング装置に関す
る。
「従来の技術とその課題」
自動車生産ラインのような多くの工程から構成された自
動ラインにあっては、実行すべき処理か確実に行われて
いるかか常時監視されるとともに、異常か発生した場合
には該異常に即座に対応する必要かある。
動ラインにあっては、実行すべき処理か確実に行われて
いるかか常時監視されるとともに、異常か発生した場合
には該異常に即座に対応する必要かある。
つまり、一つの異常か基になって生産ラインが全て停止
してしまう可能性もあり、作業者か異常を引き起こした
箇所を即座に知り、これに迅速に対応する必要かある。
してしまう可能性もあり、作業者か異常を引き起こした
箇所を即座に知り、これに迅速に対応する必要かある。
この発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって
、異常発生の原因を作業者に視覚を通じて直に認識させ
ることができ、かつ該異常原因に対して迅速に対応する
ことができる自動ラインにおける状態表示ノステムの提
供を目的とする。
、異常発生の原因を作業者に視覚を通じて直に認識させ
ることができ、かつ該異常原因に対して迅速に対応する
ことができる自動ラインにおける状態表示ノステムの提
供を目的とする。
「課題を解決するための手段」
上記目的を達成するために、本発明では、自動ラインに
配置されたロボットの動作を監視する状態表示システム
であって、前記ロボットの各構成部を動作させる複数の
アクチュエータと、前記ロボットの各構成部の位置を検
出する検出手段と、前記アクチュエータの動作状態と前
記検出手段により検出されるロボットの構成部の位置と
を対応させて表示する状態表示画面と、前記アクチーエ
ータを駆動させる駆動信号を出力するとともに、前記駆
動信号と前記検出手段の検出信号とに基づき、前記アク
チュエータの動作状態と前記ロボットの構成部の位置と
を前記状態表示画面に対応して表示させる制御部とを具
備するようにしている。
配置されたロボットの動作を監視する状態表示システム
であって、前記ロボットの各構成部を動作させる複数の
アクチュエータと、前記ロボットの各構成部の位置を検
出する検出手段と、前記アクチュエータの動作状態と前
記検出手段により検出されるロボットの構成部の位置と
を対応させて表示する状態表示画面と、前記アクチーエ
ータを駆動させる駆動信号を出力するとともに、前記駆
動信号と前記検出手段の検出信号とに基づき、前記アク
チュエータの動作状態と前記ロボットの構成部の位置と
を前記状態表示画面に対応して表示させる制御部とを具
備するようにしている。
「作用」
この発明によれば、アクチュエータを駆動させる駆動信
号を出力した場合に、該アクチュエータが駆動して、該
当するロボットの構成部が動作し、これによって該当す
る検出手段かこの動作を検出するとともに、この状態(
駆動信号か出力されていること、リミットスイッチ等の
検出手段がONとなっていること)か状態表示画面に表
示される。
号を出力した場合に、該アクチュエータが駆動して、該
当するロボットの構成部が動作し、これによって該当す
る検出手段かこの動作を検出するとともに、この状態(
駆動信号か出力されていること、リミットスイッチ等の
検出手段がONとなっていること)か状態表示画面に表
示される。
つまり、前記アクチュエータを駆動させる駆動信号の出
力と、前記検出手段により検出されたロボットの動作状
態との対応関係を、状態表示画面を参照することて知る
ことができ、これにより、例°えばアクチュエータを駆
動させる駆動信号か出力された表示かなされているにも
拘わらず、該当する検出手段がONの状態となる表示が
なされていない場合には、異常な状態となっている(ア
クチュエータの動作不良、ロボットの動作不良)と判断
することができる。
力と、前記検出手段により検出されたロボットの動作状
態との対応関係を、状態表示画面を参照することて知る
ことができ、これにより、例°えばアクチュエータを駆
動させる駆動信号か出力された表示かなされているにも
拘わらず、該当する検出手段がONの状態となる表示が
なされていない場合には、異常な状態となっている(ア
クチュエータの動作不良、ロボットの動作不良)と判断
することができる。
「実施例」
まず、第1図によりシステム全体の概略構成を説明する
。
。
符号1は操作表示部であって、この操作表示部1は、モ
ード設定、画面表示切換等の各種命令を出力する操作盤
2と、データを表示する状態表示画面としてのCRT3
と、該CRT3を駆動するCRT表示用CPU4とがら
構成されている。
ード設定、画面表示切換等の各種命令を出力する操作盤
2と、データを表示する状態表示画面としてのCRT3
と、該CRT3を駆動するCRT表示用CPU4とがら
構成されている。
前記操作盤2の出力は、自動ラインのステー/ヨシ(S
T)毎に設けられた自動機5a・5b51を制御するマ
スターコントローラとしてのCPU6へ供給されており
、該CPU6は、供給された命令を各自動機5a・5
b −5iへ供給し、あるいは、自動機5a・5b・・
・・51から供給された種々の情報に所定の判断を加え
た後、前1ilICRT表示用CPU4へ供給してCR
T3に表示させるようになっている。
T)毎に設けられた自動機5a・5b51を制御するマ
スターコントローラとしてのCPU6へ供給されており
、該CPU6は、供給された命令を各自動機5a・5
b −5iへ供給し、あるいは、自動機5a・5b・・
・・51から供給された種々の情報に所定の判断を加え
た後、前1ilICRT表示用CPU4へ供給してCR
T3に表示させるようになっている。
前記自動機5a〜51は、各種組み立て部品を搬送する
フンベア、前記各種組み立て部品を加工するための工業
用ロボット(例えばハンドリングロボット、ンーリング
ロポノト、溶接ロボット、塗装ロボットなど)等により
それぞれ構成され、かつ前記CPU6から供給される命
令に応じてこれに対応するモードで動作を行うもので、
各種の動作を行うための駆動源としての電動モータM、
あるいは、油圧、空圧機器を制御するソレノイドSQL
を有するとともに、所定のストロークにわたる動作を検
知するセンサとしてリミットスイッチLS、あるいは、
その他の動作状況を示すデータを採取するセンサS(S
、−3,)を備えている。
フンベア、前記各種組み立て部品を加工するための工業
用ロボット(例えばハンドリングロボット、ンーリング
ロポノト、溶接ロボット、塗装ロボットなど)等により
それぞれ構成され、かつ前記CPU6から供給される命
令に応じてこれに対応するモードで動作を行うもので、
各種の動作を行うための駆動源としての電動モータM、
あるいは、油圧、空圧機器を制御するソレノイドSQL
を有するとともに、所定のストロークにわたる動作を検
知するセンサとしてリミットスイッチLS、あるいは、
その他の動作状況を示すデータを採取するセンサS(S
、−3,)を備えている。
また、これらの機器は、いずれらリモートI10ボート
7を介して前記cPU6との間で信号を授受するように
なっている。
7を介して前記cPU6との間で信号を授受するように
なっている。
次に、上記CPU6の制御内容について説明する。前記
CPU6は、 (−)操作盤2からの命令か入力され、(ニ)操作盤2
からの命令に基づき自動機5a〜51の構成部(例えば
、アーム、溶接・塗装等の作業装置、クランプなど)を
動作させる駆動信号を、対応する自動機5a〜51に対
して出力する、つまり、アクチュエータの一部である電
動モータM1ソレノイドSQLを動作させる駆動信号を
、対応する自動機5a〜51に対して出力する、(三)
前記自動機5a〜5Iの構成部の位置を示す検出信号が
、検出手段として設けられたセンサS、リミットスイッ
チLSから入力される、(四)前記(ニ)で示すように
、自動機5a〜51に対して操作盤2からの命令に基づ
き電動モータM、ソレノイドSOLを動作させる駆動信
号を出力した場合に、いずれの電動モータM、ソレノイ
ドSQLを動作させたかを第2図の状態表示画面に表示
させる表示信号(後述する)をCRT表示用CPU4に
対して出力する、 (五)前記(三)で示すように、自動機58〜51に設
けられたセンサS1 リミットスイッチLSから、該自
動機5a〜51の各構成部の位置を示す検出信号か入力
された場合に、該検出信号に基づき、いずれのセンサS
、リミットスイッチLSが0N10FFしたかを、第2
図の状態表示画面に表示させる表示信号(後述する)を
CRT表示用CPU4に対して出力するものである。
CPU6は、 (−)操作盤2からの命令か入力され、(ニ)操作盤2
からの命令に基づき自動機5a〜51の構成部(例えば
、アーム、溶接・塗装等の作業装置、クランプなど)を
動作させる駆動信号を、対応する自動機5a〜51に対
して出力する、つまり、アクチュエータの一部である電
動モータM1ソレノイドSQLを動作させる駆動信号を
、対応する自動機5a〜51に対して出力する、(三)
前記自動機5a〜5Iの構成部の位置を示す検出信号が
、検出手段として設けられたセンサS、リミットスイッ
チLSから入力される、(四)前記(ニ)で示すように
、自動機5a〜51に対して操作盤2からの命令に基づ
き電動モータM、ソレノイドSOLを動作させる駆動信
号を出力した場合に、いずれの電動モータM、ソレノイ
ドSQLを動作させたかを第2図の状態表示画面に表示
させる表示信号(後述する)をCRT表示用CPU4に
対して出力する、 (五)前記(三)で示すように、自動機58〜51に設
けられたセンサS1 リミットスイッチLSから、該自
動機5a〜51の各構成部の位置を示す検出信号か入力
された場合に、該検出信号に基づき、いずれのセンサS
、リミットスイッチLSが0N10FFしたかを、第2
図の状態表示画面に表示させる表示信号(後述する)を
CRT表示用CPU4に対して出力するものである。
次に、第2図及び第3図を参照して、アクチュエータを
駆動させる駆動信号の出力の有無と、センサにより検出
されたロホットの動作状態との関係を示す状態表示画面
について説明する。
駆動させる駆動信号の出力の有無と、センサにより検出
されたロホットの動作状態との関係を示す状態表示画面
について説明する。
まず、第2図を参照して状態表示画面の概略について説
明すると、 前記(四)で示すように、自動機58〜51に対して操
作盤2からの命令に基つき、アクチュエータ(後述する
)の電動モータM1ソレノイドSQLを動作させる駆動
信号を出力した場合に、いずれの電動モータM1ソレノ
イ)” S Q Lを動作させたかを示す表示信号をC
RT表示用CPU4に対して出力し、これによって、符
号100で示す「SOL」群の内の該当するr S O
L 、Jを点灯表示させる。
明すると、 前記(四)で示すように、自動機58〜51に対して操
作盤2からの命令に基つき、アクチュエータ(後述する
)の電動モータM1ソレノイドSQLを動作させる駆動
信号を出力した場合に、いずれの電動モータM1ソレノ
イ)” S Q Lを動作させたかを示す表示信号をC
RT表示用CPU4に対して出力し、これによって、符
号100で示す「SOL」群の内の該当するr S O
L 、Jを点灯表示させる。
また、(五)で示すように、自動機5a〜51に設けら
れたセンサS2 リミットスイッチLSから、該自動機
5a〜5jの各構成部の位置を示す検出信号が入力され
た場合に、該検出信号に基つき、いずれのセンサS、リ
ミットスイッチLSがONとなったかを示す表示信号を
CRT表示用CPU4に対して出力し、これによって、
符号101で示すrLsj群の内の該当するrLsjを
点灯表示させる。
れたセンサS2 リミットスイッチLSから、該自動機
5a〜5jの各構成部の位置を示す検出信号が入力され
た場合に、該検出信号に基つき、いずれのセンサS、リ
ミットスイッチLSがONとなったかを示す表示信号を
CRT表示用CPU4に対して出力し、これによって、
符号101で示すrLsj群の内の該当するrLsjを
点灯表示させる。
なお、第2図では、ソレノイドrsOLJとリミットス
イッチrLsJとの関係についてのみ記載したが、これ
に限定されず、ソレノイドかモータの換わった場合、リ
ミットスイッチかセンサに換わった場合であってもその
点灯、消灯は同様に行われる。
イッチrLsJとの関係についてのみ記載したが、これ
に限定されず、ソレノイドかモータの換わった場合、リ
ミットスイッチかセンサに換わった場合であってもその
点灯、消灯は同様に行われる。
ここで、自動機58〜51の構成部を動作させる前記ア
クチュエータとじてシリンダ機構を想定する。このシリ
ンダ機構は、第3図に示すように、シリンダ10内に移
動自在に設けられたピストン11に、自動機5a〜51
の構成部に先端部が連結されたロッド12を固定してな
るものであって、前記ピストン11は、ポンプPから供
給される作tll流体を、該ピストン11により仕切ら
れた二つの室13・14に選択的に供給することにより
矢印(イ)−(ロ)方向に移動させられるものである。
クチュエータとじてシリンダ機構を想定する。このシリ
ンダ機構は、第3図に示すように、シリンダ10内に移
動自在に設けられたピストン11に、自動機5a〜51
の構成部に先端部が連結されたロッド12を固定してな
るものであって、前記ピストン11は、ポンプPから供
給される作tll流体を、該ピストン11により仕切ら
れた二つの室13・14に選択的に供給することにより
矢印(イ)−(ロ)方向に移動させられるものである。
つまり、前記ピストン11により仕切られた二つの室1
3・14と、作動流体を供給するポンプP、作動流体を
排出する排出部EXとの間には、前記室13・14に対
して選択的に作動流体を供給させ、また、前記室13・
14から選択的に作動流体を排出させる切換弁15が設
けられている。
3・14と、作動流体を供給するポンプP、作動流体を
排出する排出部EXとの間には、前記室13・14に対
して選択的に作動流体を供給させ、また、前記室13・
14から選択的に作動流体を排出させる切換弁15が設
けられている。
また、前記切換弁15には、前記作動流体の流路を切り
換える駆動手段としてソレノイl” S Q L(A−
B)かそれぞれ設けられ、また、前記前記ソレノイド5
QL(A−B)により動作させられるロッド12に移動
経路近傍には、該ロッド12の位置を検知するリミット
スイッチLS(A−B)かそれぞれ設けられている。
換える駆動手段としてソレノイl” S Q L(A−
B)かそれぞれ設けられ、また、前記前記ソレノイド5
QL(A−B)により動作させられるロッド12に移動
経路近傍には、該ロッド12の位置を検知するリミット
スイッチLS(A−B)かそれぞれ設けられている。
そして、このような/リンク機構の構成によって、ソレ
ノイドSO1,,(A)かONの状態にあるとき(この
ときソレノイド5QL(B)はOFFの状態にある)に
は、図に示すようにロット12はリミットスイッチBを
ONさせる位置(作動端)にあり、また逆に、ソレノイ
ドBかONの状態にあるとき(このときソレノイドAは
OFFの状態にある)には、口、ド12はリミットスイ
ッチAをONさせる位置(原位置)にあると想定される
。
ノイドSO1,,(A)かONの状態にあるとき(この
ときソレノイド5QL(B)はOFFの状態にある)に
は、図に示すようにロット12はリミットスイッチBを
ONさせる位置(作動端)にあり、また逆に、ソレノイ
ドBかONの状態にあるとき(このときソレノイドAは
OFFの状態にある)には、口、ド12はリミットスイ
ッチAをONさせる位置(原位置)にあると想定される
。
このことを第2図の状態表示画面と第3図のアクチュエ
ータの構成図とを対応させて説明すると、前記アクチュ
エータとしてのシリンダ機構が、例えば第2図に示す「
カンシフト」に相当するものであるとすれば、ソレノイ
ド5QL(A)をONさせる駆動信号を出力し、この駆
動信号の出力を示すl5OLjを点灯させた場合には、
ロットか矢印(ロ)方向に移動し、これによって、リミ
ットスイッチLS(A)がOFFとなり、かつ第2図の
状態表示画面として示される原位置の「Ls(A)Jが
OFFとなって消灯し、更に、リミットスイッチLS(
B)がONとなり、かつ第2図の状態表示画面として示
される作動端の[LS(B)jがONとなって点灯表示
されることになる。
ータの構成図とを対応させて説明すると、前記アクチュ
エータとしてのシリンダ機構が、例えば第2図に示す「
カンシフト」に相当するものであるとすれば、ソレノイ
ド5QL(A)をONさせる駆動信号を出力し、この駆
動信号の出力を示すl5OLjを点灯させた場合には、
ロットか矢印(ロ)方向に移動し、これによって、リミ
ットスイッチLS(A)がOFFとなり、かつ第2図の
状態表示画面として示される原位置の「Ls(A)Jが
OFFとなって消灯し、更に、リミットスイッチLS(
B)がONとなり、かつ第2図の状態表示画面として示
される作動端の[LS(B)jがONとなって点灯表示
されることになる。
しかしながら、このときこのような組み合わせのrLs
(A)J及びrLs(B)、Jの消灯、点灯がなされな
い場合には何らかの異常が生じていることになる。
(A)J及びrLs(B)、Jの消灯、点灯がなされな
い場合には何らかの異常が生じていることになる。
つまり、本実施例に示す自動ラインにおける状態表示シ
ステムによれば、アクチュエータに設けられたソレノイ
ド5QL(A)又はソレノイド5OL(B)を駆動させ
たことと、リミットスイッチLS(A)又はリミットス
イッチLS(B)かON状態にあるかとを対応させて、
第2図に示す状態表示画面に表示させることができ、こ
れにより、例えばガン/フトを駆動させる駆動信号か出
力された表示かなされているにも拘わらず、該当するリ
ミットスイッチLSかON状態となる表示かなされてい
ない場合には、異常な状態となっている(アクチュエー
タの動作不良、ロボットの動作不良)と判断することが
できる。
ステムによれば、アクチュエータに設けられたソレノイ
ド5QL(A)又はソレノイド5OL(B)を駆動させ
たことと、リミットスイッチLS(A)又はリミットス
イッチLS(B)かON状態にあるかとを対応させて、
第2図に示す状態表示画面に表示させることができ、こ
れにより、例えばガン/フトを駆動させる駆動信号か出
力された表示かなされているにも拘わらず、該当するリ
ミットスイッチLSかON状態となる表示かなされてい
ない場合には、異常な状態となっている(アクチュエー
タの動作不良、ロボットの動作不良)と判断することが
できる。
従って、実施例に示す自動ラインにおける状態表示シス
テムによれば、アクチュエータか正常に動作しているか
、ロボットの各構成部か正常に動作しているか否かを第
2図の状態表示画面により常時監視することができ、こ
れによって自動ラインにおいて異常が発生した場合に、
該異常の発生箇所を作業者か直に認識することができ、
該異常に対して迅速に対応できる効果か得られる。
テムによれば、アクチュエータか正常に動作しているか
、ロボットの各構成部か正常に動作しているか否かを第
2図の状態表示画面により常時監視することができ、こ
れによって自動ラインにおいて異常が発生した場合に、
該異常の発生箇所を作業者か直に認識することができ、
該異常に対して迅速に対応できる効果か得られる。
なお、前記CRT表示用CPU4はCRT6を駆動させ
る駆動手段として設けられたものであるが、その駆動は
CPU6の制御内容に基づいて行われるものであり、前
記CPU6による制御機能の一部を代行するものである
。また、本実施例では、一つのCRT3により画面表示
を行ったか、表示部はCRTに限定されず、予め文字に
より記載しておいた複数のロボット構成部の箇所、例え
ば[カン/フトj、「ガンスイング」、「ワーク」なと
の項目と、これら項目のソレノイドとりミツトスイッチ
との0N10FF状態を選択的に指すランプとにより構
成しても良い。
る駆動手段として設けられたものであるが、その駆動は
CPU6の制御内容に基づいて行われるものであり、前
記CPU6による制御機能の一部を代行するものである
。また、本実施例では、一つのCRT3により画面表示
を行ったか、表示部はCRTに限定されず、予め文字に
より記載しておいた複数のロボット構成部の箇所、例え
ば[カン/フトj、「ガンスイング」、「ワーク」なと
の項目と、これら項目のソレノイドとりミツトスイッチ
との0N10FF状態を選択的に指すランプとにより構
成しても良い。
「発明の効果」
以上詳細に説明したように、この発明によれば、アクチ
ュエータを駆動させる駆動信号の出力と、センサにより
検出されたロボットの動作状態との対応関係を、状態表
示画面を参照することで知ることができ、これにより、
例えばアクチュエータを駆動させる駆動信号が出力され
た表示かなされているにも拘わらず、該当するセンサが
ONの状態となる表示がなされていない場合には、異常
な状態となっている(アクチュエータの動作不良、ロボ
ットの動作不良)と判断することができる。
ュエータを駆動させる駆動信号の出力と、センサにより
検出されたロボットの動作状態との対応関係を、状態表
示画面を参照することで知ることができ、これにより、
例えばアクチュエータを駆動させる駆動信号が出力され
た表示かなされているにも拘わらず、該当するセンサが
ONの状態となる表示がなされていない場合には、異常
な状態となっている(アクチュエータの動作不良、ロボ
ットの動作不良)と判断することができる。
従って、本発明に示す自動ラインにおける状態表示シス
テムによれば、アクチュエータか正常に動作しているか
、ロボットか正常に動作しているか否かを状態表示画面
により常時監視することができ、これによって自動ライ
ンにおい−C異常か発生した場合に、該異常の発生箇所
を作業者か直に認識することができ、該異常に対して迅
速に対応できる効果か得られる。
テムによれば、アクチュエータか正常に動作しているか
、ロボットか正常に動作しているか否かを状態表示画面
により常時監視することができ、これによって自動ライ
ンにおい−C異常か発生した場合に、該異常の発生箇所
を作業者か直に認識することができ、該異常に対して迅
速に対応できる効果か得られる。
第1図〜第3図は本発明の一実施例を示す図であって、
第1図は機能ブロック図を含むシステムのブロック図、
第2図はCRTに表示される状態表示画面の例を示す図
、第3図はアクチュエータの具体的構成を示す図である
。 3・ ・CRT(状態表示画面)、4・ CPU(制御
部)、6 ・CPIJ(制御部)、LS −リミット
スイッチ(検出手段)、S・・ ・センサ(検出手段)
、5QL−・・ ソレノイドぐアクチュエータ)、M・
・・モータ(アクチュエータ)。
第1図は機能ブロック図を含むシステムのブロック図、
第2図はCRTに表示される状態表示画面の例を示す図
、第3図はアクチュエータの具体的構成を示す図である
。 3・ ・CRT(状態表示画面)、4・ CPU(制御
部)、6 ・CPIJ(制御部)、LS −リミット
スイッチ(検出手段)、S・・ ・センサ(検出手段)
、5QL−・・ ソレノイドぐアクチュエータ)、M・
・・モータ(アクチュエータ)。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 自動ラインに配置されたロボットの動作を監視する状態
表示システムであって、 前記ロボットの各構成部を動作させる複数のアクチュエ
ータと、前記ロボットの各構成部の位置を検出する検出
手段と、 前記アクチュエータの動作状態と前記検出手段により検
出されるロボットの構成部の位置とを対応させて表示す
る状態表示画面と、 前記アクチュエータを駆動させる駆動信号を出力すると
ともに、前記駆動信号と前記検出手段の検出信号とに基
づき、前記アクチュエータの動作状態と前記ロボットの
構成部の位置とを前記状態表示画面に対応して表示させ
る制御部とが具備されていることを特徴とする自動ライ
ンにおける状態表示システム。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11625590A JPH0413596A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 自動ラインにおける状態表示システム |
US07/677,239 US5241482A (en) | 1990-04-13 | 1991-03-29 | Monitoring system for automated assemblies |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11625590A JPH0413596A (ja) | 1990-05-02 | 1990-05-02 | 自動ラインにおける状態表示システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0413596A true JPH0413596A (ja) | 1992-01-17 |
Family
ID=14682593
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11625590A Pending JPH0413596A (ja) | 1990-04-13 | 1990-05-02 | 自動ラインにおける状態表示システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0413596A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010212662A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-09-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理装置に於ける異常表示方法 |
-
1990
- 1990-05-02 JP JP11625590A patent/JPH0413596A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010212662A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-09-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理装置に於ける異常表示方法 |
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