JPH04135173A - 砥石のドレッシング方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、被加工材を研磨・研削する砥石のドレッシン
グ方法及びその装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、液晶用の板硝子、磁気又は光磁気ディスク用の硝
子製円板、又はフォトマスク用の原板等（以下被加工材
と呼す。）を砥石で研磨・研削する場合は、被加工材と
砥石の研磨・研削面との間に、研磨砥粒が含まれている
スラリを供給すると共に、加工面に一定圧力をかけた状
態で砥石の研磨・研削面を回転して被加工材の精密加工
を行う。

ところで、これらの被加工材の研磨・研削、又は面取り
等の精密加工を行う為には研磨・研削面の目が細い砥石
を使用する必要がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、目の細かい砥石を使用すると被加工材の
加工、すなわち研磨・研削で発生した硝゛子粉で砥石が
短時間で目づまりするので、被加工材を連続的に加工す
ることができない。従って生産効率が低いという問題が
ある。

本発明はこのような事情に鑑みて成されたもので、砥石
の目づまりを防止して被加工材を連続的に加工し、生産
性の向上を図ることが出来る砥石のドレッシング方法及
びその装置を提供することを目的とする。

〔課題を解決する為の手段〕 本発明は、前記目的を達成する為に、砥石の研磨・研削
面に液体を供給し、該液体を振動させて砥石の研磨・研
削面をドレッンングすることを特徴とする。

〔作用〕

本発明によれば、液体供給手段で砥石の研磨・研削面に
液体を供給すると共に、発振手段を作動させて液体を振
動させ、振動させた液体を介して研磨・研削面をドレッ
ンングするので、砥石の研磨・研削面に付着した被加工
材の加工粉を振動で除去して、砥石の目づまりを防止す
ることができ、常に目づまりのない研磨・研削面を利用
することができる。

〔実施例〕

以下添付図面に従って本発明に係る砥石のトレシング方
法及びその装置の好ましい実施例を詳説する。

第１図には本発明に係る砥石のドレッシング装置のｊＪ
１実施例が示されている。

同図に示すように砥石のドレッシング装置は超音波発振
装置１０及び液体供給装［１２から構成され、超音波発
振器Ｎ１０及び液体供給装置１２は研磨・研削装置（図
示せず）に設けられている。

この研磨・研削装置には砥石１４がシャフト１６を介し
て回転自在に設けられ、砥石１４の左側にはワーク保持
テーブル１８が設けられている。ワーク保持テーブル１
８はワーク２０を保持し、ワーク２０の端面が砥石１４
の研磨・研削面１４Ａに一定圧力をかけた状態で保持さ
れるように構成されている。この状態で砥石１４がシャ
フト１６を介して回転するとワーク２０の端面は研磨・
研削面１４Ａで加工される。

超音波発振装置１０の超音波発振器１０Ａは第１図上で
砥石１４の右側に配設されている。超音波発振器１０Ａ
には超音波振動板１０Ｂの下端部が設けられていて、超
音波発振器１０Ａが超音波を発振すると超音波振動板１
０Ｂの上端部は超音波振動する。この超音波振動板１０
Ｂの上端部は第１図上で砥石１４の研磨・研削面１４Ａ
の右端面に近接して設けられている。尚、超音波発振器
１０Ａにはピエゾ素子が使用されているが、これに限ら
ず他の発振手段を設けてもよい。

液体供給装置１２のノズル１２Ａは砥石１４及び超音波
振動板１０Ｂの上方に設けられ、砥石１４の研磨・研削
面１４Ｂと超音波振動板１０Ｂ間に研磨・研削液（例え
ば摩擦・研削剤を含有するスラリー液、或いは水）を供
給することができる。

従って、ノズル１２Ａから研磨・研削液を供給すると共
に超音波振動板１０Ｂの上端部を振動させると、超音波
振動板１０Ｂの振動は研磨・研削液を介して研磨・研削
面１４Ａに伝達される。

前記の如く構成された本発明に係る砥石のドレッシング
装置の作用について説明する。

先ず、ノズル１２Ａから研磨・研削液を供給すると共に
シャフト１６を介して砥石１４を回転する。次に、ワー
ク保持テーブル１８でワーク２０を保持し、ワーク２０
の端面を砥石１４の研磨・研削面１４Ａの左端面に一定
の圧力で押圧してワーク２０の端面を加工する。

ワーク２０の加工と同時に超音波発振器１０Ａを発振さ
せて、超音波振動板１０Ｂの上端部に振動を与えると、
超音波振動板１０Ｂの上端部からの振動は、ノズル１２
Ａから供給されている研磨・研削液を介して研磨・研削
面１４Ａに伝達される。従ってワーク２０の加工で発生
して、研磨・研削面１４Ａの目の内、すなわち砥粒と母
材で形成された凹部内に付着した硝子粉が研磨・研削液
を介して伝達された振動で凹部内から除去される。

従って硝子粉は研磨・研削面１４Ａに目づまりしない。

前記第１実施例で、はワーク２０の加工中に振動を与え
て研磨・研削面１４Ａの目づまりを防止したが、これに
限らず、ワーク２０の加工後、又は加工前に振動を与え
て研磨・研削面１４Ａに目づまりした硝子粉を除去して
もよい。

また、前記第１実施例ではワーク２０の端面前二の場合
について説明したが、第２図の第２実施例に示すように
ワーク３０の平面加工に使用してもよい。尚、第２図上
で３２は砥石、３２Ａは研磨・研削面であり、その他第
１実施例と同一、類似部材については同一符号を付し説
明を省略する。

前記第１、第２実施例では液体供給袋［１２のノズル１
２Ａで研磨・研削面１４Ａ、３２Ａに研磨・研削液を供
給したが、第３図の第３実施例のように液溜槽４０に研
磨・研削液４２を供給した液体供給装置４３を使用して
、砥石４４の研磨・研削４４Ａの下端部と、超音波発振
器［１０とを研磨・研削液４２内に浸漬してもよい。こ
れにより研磨・研削液４２を介して研磨・研削面４４Ａ
に超音波振動板１０Ｂの振動を伝達することができる。

尚、第３図上で４６は砥石４４に回転を伝えるシャフト
、４８はワーク、５０はワーク保持テーブルである。

第４図には本発明の第４実施例が示されている。

第４実施例と第１実施例との相違点は、第４実施例には
正の電極に接続されたブラシ６０がシャフト５８に当接
され、更に振動板６２Ｂが負の電極に接続されている点
である。

同図に示すように、導電材料で形成されたブラシ６０は
シャフト５８に当接するように配設され、ブラシ６０は
正の電極に接続されている。このンヤフト５８は導電材
料で形成され、砥石６４の母材は鋳鉄等の導電材料で形
成されている。この母材にはダイヤモンド等の微細な砥
粒が埋め込まれている。更に振動板６２Ｂが導電材料で
形成され、振動板６２Ｂは負の電極に接続されている。

尚、第４図上で６２は超音波発生装置であり、第１図上
の部材と同一類似部材については同一符号を付し説明を
省略する。

前記の如く構成された第４実施例の作用について説明す
る。

まず、ノズル１２Ａから砥石６４の研磨・研削面６４Ａ
に研磨・研削液を供給し、シャフト５８を介して砥石６
４を回転する。次にワーク６６をワーク保持テーブル６
８に保持し、ワーク６６の端面を砥石６４の研磨・研削
面６４Ａに一定圧力で当接する。これにより研磨・研削
面６４Ａでワーク６６の端面が加工される。

同時に、砥石６４にはブラシ６０、シャフト５８を介し
て正の電極から矩形状のパルス電圧が加えられる。従っ
て、研磨・研削液が供給されている研磨・研削面６４Ａ
と振動板６２Ｂとの間で電気分解が生じ、砥石６４の母
材が溶けて、電解ドレッングが行なわれる。この為、砥
石６４の研磨・研削面６４Ａに付着した硝子粉は溶けた
母材と共に負の電極に接続している振動板６２Ｂへ流れ
、研磨・研削面６４Ａから除去される。

更に、ワーク６６の加工と同時に超音波発振器６２Ａを
発振させて、超音波振動板６２Ｂの上端部に振動が与え
られているので、この振動が研磨・研削液を介して研磨
・研削面６４Ａに伝達される。従って研磨・研削面６４
Ａに付着した硝子粉はこの振動で研磨・研削面６４Ａか
ら除去される。

このように第４実施例によれば、超音波振動による砥石
のドレッシングと共に電解ドレッシングを行うので、第
１、第２、第３実施例以上に、硝子粉による研磨・研削
面６４Ａの目づまりを防止することができる。

前記第４実施例ではワーク６６の加工中に電解ドレッシ
ングと共に研磨研削面６４Ａに振動を与えて研磨・研削
面６４Ａの目づまり讐防止したが、これに限らず、ワー
ク６６の加工後、又は加工前に振動を与えて研磨・研削
面６４Ａに目づまりした硝子粉を除去してもよい。

前記第１乃至第４実施例では超音波振動で研磨研削面の
非加工部をドレッシングしたが、これに限らず高周波振
動等の他の振動でドレッシングしてもよい。

尚、前記第１乃至第４実施例では被加工材として板硝子
について説明したが、本発明はこれに限らず、セラミッ
ク、シリコン等の硬脆材料やＡｌ板、金属板、プラスチ
ック板等の精密研磨・研・削にも使用することが出来る
。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明に係る砥石のドレッシング
方法及びその装置によれば、振動で砥石の目づまりを防
止して砥石が被加工材を連続的に加工することができる
ので生産性の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る砥石のトレシング装置の第１実施
例を示す要部拡大図、第２図はその第２実施例を示す要
部拡大図、第３図はその第３実施例を示す要部拡大図、
第４図はその第４実施例を示す要部拡大図である。 １０．６２・・・超音波発振装置、 １０Ａ、６２Ａ・・・超音波発振器、 １０Ｂ、６２Ｂ・・・超音波振動板、 １２．３８・・液体供給装置、　１２Ａ・・ノズル、１
４．３２．４４．６４・・砥石、 １４Ａ、３２Ａ、４４Ａ、６４Ａ・・・研磨・研削面、
２０．３０．４８．６６・・ワーク、 ６０・・・ブラシ。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）砥石の研磨・研削面に液体を供給し、該液体を振
   動させて砥石の研磨・研削面をドレッシングすることを
   特徴とする砥石のドレッシング方法。
2. （２）砥石を回転させて砥石の研磨・研削面で被加工材
   を加工すると共に前記研磨・研削面の非加工部に液体を
   供給し、該液体を振動させて砥石の研磨・研削面をドレ
   ッシングすることを特徴とする砥石のドレッシング方法
   。
3. （３）前記砥石の母材を導電材料で形成して前記母材を
   正極にすると共に前記液体に振動を与える部材を負極に
   し、両極間に電圧をかけて電気分解で前記砥石の研磨・
   研削面をドレッシングすることを特徴とする請求項（１
   ）又は（２）記載の砥石のドレッシング方法。
4. （４）砥石の研磨・研削面に液体を供給する手段と、前
   記砥石の研磨・研削面に近接して設けられ、前記研磨・
   研削面に供給された液体に振動を与え、前記砥石の研磨
   ・研削面をドレッシングする発振手段と、 を備えたことを特徴とする砥石のドレッシング装置。
5. （５）前記砥石の母材及び発振手段を導電材料で形成し
   て前記母材が正極に接続されると共に前記発振手段が負
   極に接続され、両極間に電圧をかける手段が備えられた
   ことを特徴とする請求項（４）記載の砥石のドレッシン
   グ装置。