JPH09207072A - 超音波楕円振動電着砥石 - Google Patents
超音波楕円振動電着砥石Info
- Publication number
- JPH09207072A JPH09207072A JP3910196A JP3910196A JPH09207072A JP H09207072 A JPH09207072 A JP H09207072A JP 3910196 A JP3910196 A JP 3910196A JP 3910196 A JP3910196 A JP 3910196A JP H09207072 A JPH09207072 A JP H09207072A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- electrodeposited
- abrasive grains
- superprecise
- grinding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 楕円振動する砥粒により被削材の超精密研削
加工や超精密研磨加工を可能とすると共に、砥粒の楕円
振動により加工中の切屑の排出を容易にした超音波楕円
振動電着砥石を提供する。 【解決手段】 本発明は、二群の電極を構成した圧電セ
ラミックスのリング１を下面に張り付けた超音波モータ
のステータリング２の上面に砥粒３を電着し、当該砥粒
３を楕円振動させるものである。
加工や超精密研磨加工を可能とすると共に、砥粒の楕円
振動により加工中の切屑の排出を容易にした超音波楕円
振動電着砥石を提供する。 【解決手段】 本発明は、二群の電極を構成した圧電セ
ラミックスのリング１を下面に張り付けた超音波モータ
のステータリング２の上面に砥粒３を電着し、当該砥粒
３を楕円振動させるものである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特定物の超精密研
削加工や超精密研磨加工を行う際に用いるもので、特
に、硬性材料等の難削財の加工に適した超音波楕円振動
電着砥石に関するものである。
削加工や超精密研磨加工を行う際に用いるもので、特
に、硬性材料等の難削財の加工に適した超音波楕円振動
電着砥石に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】各種の振動を用いた研磨加工技術として
は、超音波により縦振動するラップ工具と遊離砥粒によ
る研磨加工が従来より行われている。
は、超音波により縦振動するラップ工具と遊離砥粒によ
る研磨加工が従来より行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ラップ工具と遊離砥粒による研磨加工では、ラップ工具
と被削材との間に適切な量の遊離砥粒を均等に供給する
事が困難であり、いわゆる研磨のむらが生じ易かった。
ラップ工具と遊離砥粒による研磨加工では、ラップ工具
と被削材との間に適切な量の遊離砥粒を均等に供給する
事が困難であり、いわゆる研磨のむらが生じ易かった。
【０００４】そこで、本発明は、楕円振動する砥粒によ
り被削材の超精密研削加工や超精密研磨加工を可能とす
ると共に、砥粒の楕円振動により加工中の切屑の排出を
容易にした超音波楕円振動電着砥石を提供するものであ
る。
り被削材の超精密研削加工や超精密研磨加工を可能とす
ると共に、砥粒の楕円振動により加工中の切屑の排出を
容易にした超音波楕円振動電着砥石を提供するものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、二
群の電極を構成した圧電セラミックスのリングを下面に
張り付けた超音波モータのステータリングの上面に砥粒
を電着し、当該砥粒が楕円振動する事により、上述した
課題を解決した。
群の電極を構成した圧電セラミックスのリングを下面に
張り付けた超音波モータのステータリングの上面に砥粒
を電着し、当該砥粒が楕円振動する事により、上述した
課題を解決した。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の一実施例を図面
に基いて説明する。
に基いて説明する。
【０００７】図３は、超音波モータの原理を示すリング
の一部である。ここでは、ステータリング１１の下面
に、二群の電極を構成した圧電セラミックスのリング１
２を張り付けてある。そして、一方の群（Ａ群）にはＣ
sin ωt の振動を電圧により発生させ、他方の群（Ｂ
群）にはＣ cos ωt の振動を作り出す。ここで、Ｃは
振動の振幅、ωは振動数ｆの二ｘ倍にあたる角周波数の
量である。すると、進行波が右方向に発生する（尚、Ｂ
群に−Ｃ cos ωt の振動を発生させると、進行波の方
向は逆転する）。
の一部である。ここでは、ステータリング１１の下面
に、二群の電極を構成した圧電セラミックスのリング１
２を張り付けてある。そして、一方の群（Ａ群）にはＣ
sin ωt の振動を電圧により発生させ、他方の群（Ｂ
群）にはＣ cos ωt の振動を作り出す。ここで、Ｃは
振動の振幅、ωは振動数ｆの二ｘ倍にあたる角周波数の
量である。すると、進行波が右方向に発生する（尚、Ｂ
群に−Ｃ cos ωt の振動を発生させると、進行波の方
向は逆転する）。
【０００８】この状態で、ステータリング１１の上面に
もう一つの金属リング１３を強い圧力で押し当てる。波
が走っているステータリング１１の表面の各点は、振幅
が１ミクロン程度の楕円運動をしている。もう一つの金
属リング１３の表面は波動の頭と接触しているため、楕
円運動に引き摺られて金属リング１３は回転する。ここ
で、一回の楕円運動では１ミクロン程度しか移動しない
が、一秒に４万回楕円運動を行うとすると、金属リング
が一秒に４センチメートル移動する事になる。
もう一つの金属リング１３を強い圧力で押し当てる。波
が走っているステータリング１１の表面の各点は、振幅
が１ミクロン程度の楕円運動をしている。もう一つの金
属リング１３の表面は波動の頭と接触しているため、楕
円運動に引き摺られて金属リング１３は回転する。ここ
で、一回の楕円運動では１ミクロン程度しか移動しない
が、一秒に４万回楕円運動を行うとすると、金属リング
が一秒に４センチメートル移動する事になる。
【０００９】尚、超音波というのは、人間の耳で聞く事
のできない音波や機械的振動で、周波数でいうと、２０
キロヘルツ以上のものである。
のできない音波や機械的振動で、周波数でいうと、２０
キロヘルツ以上のものである。
【００１０】本発明に係る超音波楕円振動電着砥石は、
前記超音波モータの原理を利用したもので、図１に示す
ように、二群の電極を構成した圧電セラミックスのリン
グ１を下面に張り付けたステータリング２の上面に砥粒
３を電着したものである。
前記超音波モータの原理を利用したもので、図１に示す
ように、二群の電極を構成した圧電セラミックスのリン
グ１を下面に張り付けたステータリング２の上面に砥粒
３を電着したものである。
【００１１】この状態で進行波を発生させると、図２に
示すように、砥粒３を電着しているステータリング２表
面の各点が楕円運動を行う。
示すように、砥粒３を電着しているステータリング２表
面の各点が楕円運動を行う。
【００１２】そして、楕円運動を行う砥粒３により特定
物の超精密研削加工や超精密研磨加工を行うのである。
物の超精密研削加工や超精密研磨加工を行うのである。
【００１３】
【発明の効果】本発明は、二群の電極を構成した圧電セ
ラミックスのリング１を下面に張り付けた超音波モータ
のステータリング２の上面に砥粒３を電着したことか
ら、当該砥粒３が楕円振動する。
ラミックスのリング１を下面に張り付けた超音波モータ
のステータリング２の上面に砥粒３を電着したことか
ら、当該砥粒３が楕円振動する。
【００１４】その結果、楕円振動する砥粒３を特定物に
当接したときは、その超精密研削加工や超精密研磨加工
を行う事が可能となる。
当接したときは、その超精密研削加工や超精密研磨加工
を行う事が可能となる。
【００１５】また、砥粒３が楕円振動するため、特定物
を研削しつつ、加工中の切屑を容易に排出できる。
を研削しつつ、加工中の切屑を容易に排出できる。
【００１６】本発明は、特定物を加工するあらゆる場面
で利用されるが、近年の電子機器産業の発達と市場の拡
大にともない、その利用分野が広がっている。即ち、本
発明らにより、電磁気的特性や機械的性質に優れた電子
デバイス素子材料としてのシリコンその他の高硬度・高
強度の硬脆材料等の新素材の超精密研削加工に適した装
置を提供できるのである。
で利用されるが、近年の電子機器産業の発達と市場の拡
大にともない、その利用分野が広がっている。即ち、本
発明らにより、電磁気的特性や機械的性質に優れた電子
デバイス素子材料としてのシリコンその他の高硬度・高
強度の硬脆材料等の新素材の超精密研削加工に適した装
置を提供できるのである。
【００１６】
【図１】ステータリングに砥粒を電着している超音波モ
ータの一部を示す側面図である。
ータの一部を示す側面図である。
【図２】ステータリングに電着している砥粒の一点が楕
円運動をしている状態を示す平面図である。
円運動をしている状態を示す平面図である。
【図３】超音波モータの原理を示すリングの一部の斜視
図である。
図である。
１ 圧電セラミックスのリング ２ ステータリング ３ 砥粒 １１ ステータリング １２ 圧電セラミックスのリング １３ 金属リング
Claims (1)
- 【請求項１】 二群の電極を構成した圧電セラミックス
のリングを下面に張り付けた超音波モータのステータリ
ングの上面に砥粒を電着し、当該砥粒が楕円振動する事
を特徴とする超音波楕円振動電着砥石。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3910196A JPH09207072A (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | 超音波楕円振動電着砥石 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3910196A JPH09207072A (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | 超音波楕円振動電着砥石 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09207072A true JPH09207072A (ja) | 1997-08-12 |
Family
ID=12543691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3910196A Withdrawn JPH09207072A (ja) | 1996-02-02 | 1996-02-02 | 超音波楕円振動電着砥石 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09207072A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005219162A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ダイヤモンドの加工方法 |
| CN102229109A (zh) * | 2011-04-28 | 2011-11-02 | 南京航空航天大学 | 磨具及采用弹性行波驱动磨具的控制方法 |
-
1996
- 1996-02-02 JP JP3910196A patent/JPH09207072A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005219162A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | ダイヤモンドの加工方法 |
| CN102229109A (zh) * | 2011-04-28 | 2011-11-02 | 南京航空航天大学 | 磨具及采用弹性行波驱动磨具的控制方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5935743B2 (ja) | 超音波研削加工装置 | |
| US5187899A (en) | High frequency vibrational polishing | |
| US4071385A (en) | Ultrasonic inlaid article | |
| JP2011183510A (ja) | 超音波振動援用研削法及びその装置 | |
| JP4155872B2 (ja) | ラップ盤の製造方法 | |
| CN206344031U (zh) | 一种轴向超声振动辅助杯形砂轮 | |
| JPH09207072A (ja) | 超音波楕円振動電着砥石 | |
| CN106493647A (zh) | 一种轴向超声振动辅助杯形砂轮及其使用方法 | |
| JP2808501B2 (ja) | 放電加工変質層の除去方法 | |
| JP2005001096A (ja) | 超音波振動テーブル | |
| US5551907A (en) | System for ultrasonic lap grinding and polishing | |
| RU1836206C (ru) | Способ полировани свободным абразивом | |
| CN112188938B (zh) | 超声波振动赋予用具、行进波产生装置及超声波加工装置 | |
| JPH06506157A (ja) | 穴の内面を加工するための方法及びその装置並びにホーニング工具 | |
| JPH03234451A (ja) | ねじり振動を利用した研摩法 | |
| JPH0120035B2 (ja) | ||
| JPH0624691B2 (ja) | 砥石の複合振動によるワーク表面の精密表面研摩加工方法 | |
| JPH11347894A (ja) | 超音波を用いた金型磨き装置 | |
| JP2682796B2 (ja) | 研削砥石のドレッシング方法 | |
| JPH0624692B2 (ja) | 砥石の複合振動による精密溝研削加工方法 | |
| JPH0624693B2 (ja) | 砥石の複合振動によるセラミック等の精密研削加工方法 | |
| JP2000317815A (ja) | 圧電素子およびその加工方法 | |
| JP2000317782A (ja) | 圧電素子およびその加工方法 | |
| JPH04135173A (ja) | 砥石のドレッシング方法及びその装置 | |
| JP2008238398A (ja) | ラップ盤の製造装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030506 |