JPH04134044A - 薄膜形成用金属錯体 - Google Patents
薄膜形成用金属錯体Info
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- JPH04134044A JPH04134044A JP25453490A JP25453490A JPH04134044A JP H04134044 A JPH04134044 A JP H04134044A JP 25453490 A JP25453490 A JP 25453490A JP 25453490 A JP25453490 A JP 25453490A JP H04134044 A JPH04134044 A JP H04134044A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体からな
り、気相堆積法等で用いられる薄膜形成用金属錯体に関
する。
り、気相堆積法等で用いられる薄膜形成用金属錯体に関
する。
〔従来の技術及び発明が解決しようとする課題〕従来、
アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体でフッ素を含まな
いアルキル基を有するバリウムジピバロイルメタネート
については、ＩｎｏＢａｎｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔ「ｙ
Ｖｏｌ、 ２Ｎｏ、 Ｉ、 Ｐ７３１９８３に剣状の形
状をとることが報告されているが、フッ素を含むアルキ
ル基を有するβ−ジケトン化合物を配位子としたアルカ
リ土類金属が繊維状結晶になる例は報告されていない。
アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体でフッ素を含まな
いアルキル基を有するバリウムジピバロイルメタネート
については、ＩｎｏＢａｎｉｃ Ｃｈｅｍｉｓｔ「ｙ
Ｖｏｌ、 ２Ｎｏ、 Ｉ、 Ｐ７３１９８３に剣状の形
状をとることが報告されているが、フッ素を含むアルキ
ル基を有するβ−ジケトン化合物を配位子としたアルカ
リ土類金属が繊維状結晶になる例は報告されていない。
一方、フッ素を含むアルキル基を有するβジケトン化合
物を配位子としたアルカＩＪ 、＝ｌ：、 類金属錯体
については特開昭６４−１６７４２に１１１５５５−ヘ
キサフルオロ−２，４−ペンタンジオナ−１・錯体が白
色の固体であることが、また＾ｎａｌｙｌｉｃａＣｈｉ
ｍｉｃａ Ａｃ１ａ ６０． Ｐ、 １０９〜．１９７
２に１１１２２ペンタフルオロ−６，６−シメチルー３
．５−ペンタンジオナート錯体の二水和物が白色の沈殿
物として得られることが例示されている。しかし、従来
のフッ素を含むアルキル基を有するβ−ジケトン化合物
を配位子とするアルカリ土類金属錯体は熱的に不安定で
一部分解するため気相堆積法での使用中に分解物が原料
供給部に蓄積したり供給量の制御が困難であるなどの問
題を有する。 本発明者は鋭意検討を行った結果、繊維
状結晶のβ−ジケトン化合物を配位子としたアルカリ土
類金属錯体の無水和物が薄膜形成用金属錯体として有用
であることを見いだし本発明を完成するに至った。
物を配位子としたアルカＩＪ 、＝ｌ：、 類金属錯体
については特開昭６４−１６７４２に１１１５５５−ヘ
キサフルオロ−２，４−ペンタンジオナ−１・錯体が白
色の固体であることが、また＾ｎａｌｙｌｉｃａＣｈｉ
ｍｉｃａ Ａｃ１ａ ６０． Ｐ、 １０９〜．１９７
２に１１１２２ペンタフルオロ−６，６−シメチルー３
．５−ペンタンジオナート錯体の二水和物が白色の沈殿
物として得られることが例示されている。しかし、従来
のフッ素を含むアルキル基を有するβ−ジケトン化合物
を配位子とするアルカリ土類金属錯体は熱的に不安定で
一部分解するため気相堆積法での使用中に分解物が原料
供給部に蓄積したり供給量の制御が困難であるなどの問
題を有する。 本発明者は鋭意検討を行った結果、繊維
状結晶のβ−ジケトン化合物を配位子としたアルカリ土
類金属錯体の無水和物が薄膜形成用金属錯体として有用
であることを見いだし本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、
（１）β−ジケトン化合物を配位子としたアルカリ土類
金属錯体の無水和物からなり、繊維状結晶で熱天秤によ
る熱重量減少が９０％以上であることを特徴とする薄膜
形成用金属錯体。
金属錯体の無水和物からなり、繊維状結晶で熱天秤によ
る熱重量減少が９０％以上であることを特徴とする薄膜
形成用金属錯体。
（２）該繊維状結晶が軸比１０以上、直径０．０５〜１
０／Ｚｍである（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
０／Ｚｍである（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
（３）β−ジケトン化合物が一般式
含むアルキル基を示す。）
で表される（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
（４）アルカリ土類金属がバリウムまたはストロンチウ
ムである（１１記載の薄膜形成用金属錯体に存する。
ムである（１１記載の薄膜形成用金属錯体に存する。
以下、本発明について更に詳しく説明する。
本発明は、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の無水
和物を繊維状結晶とすることを最も重要な特徴とする。
和物を繊維状結晶とすることを最も重要な特徴とする。
従来の技術とは、結晶の形状が異なる。このように繊維
状結晶にしたアルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の無
水和物は薄膜形成用原料として優れている。特に化学気
相堆積法で使用する場合は、気化特性が良く、従来のも
のに比べて原料の供給量が安定している。
状結晶にしたアルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の無
水和物は薄膜形成用原料として優れている。特に化学気
相堆積法で使用する場合は、気化特性が良く、従来のも
のに比べて原料の供給量が安定している。
ここで、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の無水和
物を例示すれば、 ビス−］ ］ ］ ２２．３．３−ヘプタフルオロ−７
，７ジメチルー４．６−オクタンジオナートバリウム［
Ｂａ （ＦＯＤ） ２コ ビス−１１１２，２−ペンタフルオロ−６，６−シメチ
ルー３５−へブタンジオナートバリウム［Ｂａ（ＰＰＭ
） ２ ］ ビス−Ｉｌｌ）ルフルオロー５，５−ジメチル−２，４
−ヘキサンジオナートバリウム［Ｂａ（ＦＨＤ） ２
］ ビス−１１，１１リフルオロ−２，４−ペンタンジオナ
ートバリウム［Ｂａ（ＴＦＡ）２」ビス−１１１５５，
５−ヘキサフルオロ−２，４−ペンタンジオナートバリ
ウム［Ｂａ（ＨＦＡ） ２ ］］ビス−エチルＡ、４．
４−１−リフルオロアセトアセタ≠−トバリウム［Ｂａ
ｆＴＦＡｃ） ２ ］］ビスー４４４−ルフルオロー
１−フリルー１，３−ブタンジオナートバリウム［Ｂａ
（ＦＦＡ＞ ２１ヒス−１１，１，２，２，３，３−へ
ブタフルオロ−７，７−シメチルー４６−オクタンジオ
ナートストロンチウム［Ｓ＋（ＦＯＤ） ２ ］ ビス−１１，１，２，２−ペンタフルオロ−６，６−シ
メチルー３５−へブタンジオナートストロンチウム［Ｓ
＋（ＰＰＭ） ２ ］ ビス−１１１１−リフルオロ−５，５−ジメチル２４−
ヘキサンジオナートストロンチウム［５ｒ（ＦＨＤ）
２ ］ ビス−１１１４リフルオロ−２，４−ペンタンジオナー
トストロンチウム［５ｒ（ＴＦＡ） ２ ］］ビスー１
，１． ｌ、 ５．５．５−へキサフルオロ−２，４ペ
ンタンジオナートストロンチウム ［Ｓ＋（ｌｌＦ八） ２ コ ビス−エチル−４，４，４−）リフルオロアセトアセタ
ナ−トストロンチウム［５ｒ（ＴＦ八へ）２］ビス−４
４４−）リフルオロ−１−フリル１３−ブタンジオナー
トストロンチウム［、Ｓ＋ｆＦＦＡ） ２ ］ などが挙げられる。
物を例示すれば、 ビス−］ ］ ］ ２２．３．３−ヘプタフルオロ−７
，７ジメチルー４．６−オクタンジオナートバリウム［
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１−フリルー１，３−ブタンジオナートバリウム［Ｂａ
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ブタフルオロ−７，７−シメチルー４６−オクタンジオ
ナートストロンチウム［Ｓ＋（ＦＯＤ） ２ ］ ビス−１１，１，２，２−ペンタフルオロ−６，６−シ
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ヘキサンジオナートストロンチウム［５ｒ（ＦＨＤ）
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ンタンジオナートストロンチウム ［Ｓ＋（ｌｌＦ八） ２ コ ビス−エチル−４，４，４−）リフルオロアセトアセタ
ナ−トストロンチウム［５ｒ（ＴＦ八へ）２］ビス−４
４４−）リフルオロ−１−フリル１３−ブタンジオナー
トストロンチウム［、Ｓ＋ｆＦＦＡ） ２ ］ などが挙げられる。
なお、β−ジケトン化合物の表記は、以後以下の略号を
用いることにする。
用いることにする。
１．１． Ｉ、 ２．２．３．３−ヘプタフルオロ−７
フージメチルー４．６−オクタンジオン Ｆ
ＯＤ＋、 Ｉ、 １．２．２−ペンタフルオロ−６ロー
ジメチルー３．５−ヘプタンジオン ＰＰ
Ｍｌ、 １．１ ）ルフルオロー５．５−ジメチル−２
４−ヘキサンジオン ＦＨｏｌ、
Ｉ、 Ｉ−トリフルオロ−２，４−ペンタンジオンＦ
Ａ ＋、 １． Ｉ、 ５．５．５−ヘキサフルオロ−２４
−ペンタンジオン ＨＦＡ
エチル−４，４Ａ−）リフルオロアセトアセテート
Ｔ
ＦＡＣ４、４，４−）リフルオロ−１−フリル−１３−
ブタンジオン ＦＦＡ繊
維状結晶の直径および軸比は、電子顕微鏡で測定するこ
とにより得られる。繊維状結晶の直径は、０．０５〜Ｉ
Ｏａｍであり、特に０．１〜５μｍが好ましい。
フージメチルー４．６−オクタンジオン Ｆ
ＯＤ＋、 Ｉ、 １．２．２−ペンタフルオロ−６ロー
ジメチルー３．５−ヘプタンジオン ＰＰ
Ｍｌ、 １．１ ）ルフルオロー５．５−ジメチル−２
４−ヘキサンジオン ＦＨｏｌ、
Ｉ、 Ｉ−トリフルオロ−２，４−ペンタンジオンＦ
Ａ ＋、 １． Ｉ、 ５．５．５−ヘキサフルオロ−２４
−ペンタンジオン ＨＦＡ
エチル−４，４Ａ−）リフルオロアセトアセテート
Ｔ
ＦＡＣ４、４，４−）リフルオロ−１−フリル−１３−
ブタンジオン ＦＦＡ繊
維状結晶の直径および軸比は、電子顕微鏡で測定するこ
とにより得られる。繊維状結晶の直径は、０．０５〜Ｉ
Ｏａｍであり、特に０．１〜５μｍが好ましい。
繊維状結晶の状態は、単体または集合体のいずれでもよ
い。軸比は次式によって示される値である。
い。軸比は次式によって示される値である。
熱天秤による熱重量減少とは、窒素気流下で５°Ｃ／分
の一定速度で室温より ５００℃にＲ温し係を示す。こ
の図より、熱重量減少が９０％以上になるためには軸比
は１０以上であるが、特に２０以上が望ましい。
の一定速度で室温より ５００℃にＲ温し係を示す。こ
の図より、熱重量減少が９０％以上になるためには軸比
は１０以上であるが、特に２０以上が望ましい。
本発明の薄膜形成用金属錯体を使用して薄膜を形成する
場合、液相堆積法または気相堆積法があるが、特に気相
堆積法が好ましい。
場合、液相堆積法または気相堆積法があるが、特に気相
堆積法が好ましい。
本発明の薄膜形成用金属錯体を使用して薄膜を形成する
場合、加圧下または常圧下または減圧下のいずれも可能
であるが、常圧下または減圧下が好ましい。
場合、加圧下または常圧下または減圧下のいずれも可能
であるが、常圧下または減圧下が好ましい。
本発明の薄膜形成用金属錯体を使用して薄膜を形成する
場合、同伴ガスはヘリウム、アルボン、窒素などがあり
、反応ガスは、酸素、硫化水素、アンモニア、フッ化水
素などがある。
場合、同伴ガスはヘリウム、アルボン、窒素などがあり
、反応ガスは、酸素、硫化水素、アンモニア、フッ化水
素などがある。
以下、本発明を実施例によって詳細に説明するが本発明
は、これによりなんら限定されるものではない。
は、これによりなんら限定されるものではない。
製造および実験例１
［Ｂａ（ＰＰＭ） ２ ］の製造例
６．３ｇの水酸化バリウム８水和物を脱気した水に溶解
させ、炭酸バリウムを濾別した。これをＰＰＭｌｌ、５
ｇを加えて撹拌しているアルコール水溶液中に室温で滴
下し、約３時間で反応を終了させた。次に、この溶液の
撹拌を止めた状態で任意の濃度にアルコールで希釈しゆ
っくりと結晶を析出させることで目的の繊維状結晶を得
た。
させ、炭酸バリウムを濾別した。これをＰＰＭｌｌ、５
ｇを加えて撹拌しているアルコール水溶液中に室温で滴
下し、約３時間で反応を終了させた。次に、この溶液の
撹拌を止めた状態で任意の濃度にアルコールで希釈しゆ
っくりと結晶を析出させることで目的の繊維状結晶を得
た。
第１図に繊維状結晶にしたＢａ（ＰＰＭ） ２の軸比と
熱重量減少分析の関係を示す。
熱重量減少分析の関係を示す。
従来のＢａ（ＰＰＭ） ２は、熱重量減少の値が７７％
であった。しかし、結晶の軸比を」二げていくと熱重量
減少の値は急激に増加して軸比１０以上の繊維状結晶に
おいて熱電は減少が９０％になることが確認された。更
に軸比を上げて軸比５０以上になると熱重量減少が１０
０％昇華することが確認された。熱重量減少の測定でバ
リウム化合物が１００％胃華した例はこれまでなかった
。
であった。しかし、結晶の軸比を」二げていくと熱重量
減少の値は急激に増加して軸比１０以上の繊維状結晶に
おいて熱電は減少が９０％になることが確認された。更
に軸比を上げて軸比５０以上になると熱重量減少が１０
０％昇華することが確認された。熱重量減少の測定でバ
リウム化合物が１００％胃華した例はこれまでなかった
。
製造および実験例２
［Ｂ１１（ＦＯＤ） ２ ］の製造例
製造および実験１においてＰＰＭの代りにＦＯＤ１３．
９ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に行い目
的の繊維状結晶を得た。
９ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に行い目
的の繊維状結晶を得た。
平均直径１μｍ、軸比Ｉ１０のＢａ （ＦＯＤ） ２の
繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に
熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱
重量減少が７６％以下であるのに対し該繊維状結晶は９
６％に増加した。
繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に
熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱
重量減少が７６％以下であるのに対し該繊維状結晶は９
６％に増加した。
製造および実験例３
［Ｂａ（ＦＨＤ） ２ ］の製造例
製造および実験例１−においてＰＰＭの代りにＦｌ（Ｄ
９．１６ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に
行いＬＩ的の繊維状結晶を得た。
９．１６ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に
行いＬＩ的の繊維状結晶を得た。
平均直径２ｐｍ、軸比８６のＢａ（ＦＩＩＤ） ２の繊
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
量減少が７３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９２
％に増加した。
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
量減少が７３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９２
％に増加した。
製造および実験例４
［Ｂａ（ＴＦＡ） ２ ］の製造例
製造および実験例１においてＰＰＭの代りにＴＦＡ７．
２ ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に行い
目的の繊維状結晶を得た。
２ ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に行い
目的の繊維状結晶を得た。
平均直径８ｐｍ、軸比４６のＢａ（ＴＦＡ）２の繊維状
結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱重量
減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重量減
少が７３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９３％に
増加した。
結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱重量
減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重量減
少が７３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９３％に
増加した。
製造および実験例５
［Ｂａ ｆＴＦＡｃ） ２ 」の製造例製造および実験
例１においてｌ’ＰＭの代りにＴＦＡＣ７，８ｇを用い
た以外は製造」６よひ実験例１と同様に行い１−１的の
繊維状結晶を得た。
例１においてｌ’ＰＭの代りにＴＦＡＣ７，８ｇを用い
た以外は製造」６よひ実験例１と同様に行い１−１的の
繊維状結晶を得た。
平均直径３．５μｍ、軸比７１のＢＲ（ＴＦＡＣ） ２
の繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様
に熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の
熱重量減少か７０％以下であるのに対し該繊維状結晶は
９１％に増加した。
の繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様
に熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の
熱重量減少か７０％以下であるのに対し該繊維状結晶は
９１％に増加した。
製造および実験例６
Ｊ［ｔａ（ＦＦＡ） ２ ］の製造例
製造および実験例１においてＩｌｌ’Ｍの代りにＦＦＡ
９．６ ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に
行い１・１的に繊維状結晶を得た。
９．６ ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に
行い１・１的に繊維状結晶を得た。
平均直径５μＩＴＩ、軸比６５のＢａ（ＦＦＡ） ２の
繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に
熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱
重量減少が６３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９
２％に増加した。
繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に
熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱
重量減少が６３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９
２％に増加した。
製造および実験例７
［Ｂａ（ｌｔＦ八）２］の製造例
製造および実験例１においてＰＰＭＯ代りにＩＩＦ八９
へ７ｇから製造および実験例１と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
へ７ｇから製造および実験例１と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
平均直径４μｍ、軸比５２のＢａ（ＨＦＡ） ２（Ｄ繊
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
量減少が６２％以下であるのに対し該繊維状結晶は８９
％に増加した。
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
量減少が６２％以下であるのに対し該繊維状結晶は８９
％に増加した。
製造および実験例８
［ＳＩ（ＰＰＭ） ２−１の製造例
製造および実験例１において水酸化バリラムの代りに５
．３ｇの水酸化ストロンチウム８水和物とＰＰＭ］１．
５ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に行いＬ
Ｉ的の繊維状結晶を得た。
．３ｇの水酸化ストロンチウム８水和物とＰＰＭ］１．
５ｇを用いた以外は製造および実験例１と同様に行いＬ
Ｉ的の繊維状結晶を得た。
平均直径３７１ｍ 、軸比１００のＳ ｔ （Ｐ ＰＮ
ｉ） ２の繊維状結晶が得られたのて製造および実験例
１と同様に熱重臣減少を測定した。軸」、１０未満の従
来の結晶の熱重量減少が８０％以下であるのに対し該繊
維状結晶は９８％に増加した。
ｉ） ２の繊維状結晶が得られたのて製造および実験例
１と同様に熱重臣減少を測定した。軸」、１０未満の従
来の結晶の熱重量減少が８０％以下であるのに対し該繊
維状結晶は９８％に増加した。
製造および実験例９
［ＳＩ （ＦＯＤ） ２ ］の製造例
製造および実験例８においてＰＰＭの代りにＦＯＤＩ３
．８ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行い
「１的の繊維状結晶を得た。
．８ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行い
「１的の繊維状結晶を得た。
甲均直径１μｍ、軸比５０のＳ「（ＦＯＤ）、の繊維状
１２１品が得られたのて製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
臣減少が７８％以下であるのに対し該繊維状結晶は９４
％に増加した。
１２１品が得られたのて製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
臣減少が７８％以下であるのに対し該繊維状結晶は９４
％に増加した。
製造および実験例１０
［Ｓｔ（ＦＨＤ） ２ ］の製造例
製造および実験例８においてＰＰＭの代りにＦＨＤ９．
１５ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行い
目的の繊維状結晶を得た。
１５ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行い
目的の繊維状結晶を得た。
平均直径０．５μｍ、軸比 １４０の
Ｓ「（ＨＦＤ） ２の繊維状結晶が得られたので製造お
よび実験例１と同様に熱重量減少を測定した。軸比１０
未満の従来の結晶の熱重量減少が７２％以下であるのに
対し該繊維状結晶は９３％に増加した。
よび実験例１と同様に熱重量減少を測定した。軸比１０
未満の従来の結晶の熱重量減少が７２％以下であるのに
対し該繊維状結晶は９３％に増加した。
製造および実験例１１
［５ｔ（ＴＦＡ） ２ ］の製造例
製造および実験例８においてＰＰＭの代りにＴＦＡ ７
，２ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行い
目的の繊維状結晶を得た。
，２ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行い
目的の繊維状結晶を得た。
平均直径６μｍ、軸比４２のＳ「（ＴＦＡ） ２の繊維
状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱重
量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重量
減少が７３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９０％
に増加した。
状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱重
量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重量
減少が７３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９０％
に増加した。
製造および実験例１２
［Ｓｔ （ＴＦＡＣ） ２ ］の製造例製造および実験
例８においてＰＰＭの代りにＴＦＡＣ７，８ｇを用いた
以外は製造および実験例８の方法に従い１」的の繊維状
結晶を得た。
例８においてＰＰＭの代りにＴＦＡＣ７，８ｇを用いた
以外は製造および実験例８の方法に従い１」的の繊維状
結晶を得た。
平均直径２ｐｍ、軸比９０のＳｔ （ＴＦＡＣ） ２の
繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に
熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱
重量減少が７０％以下であるのに対し該繊維状結晶は９
１％に増加した。
繊維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に
熱重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱
重量減少が７０％以下であるのに対し該繊維状結晶は９
１％に増加した。
製造および実験例１３
［Ｓｔ（ＦＦＡ） ２ ］の製造例
製造および実験例８においてＰＰＭの代りにＦＦＡ
９．６ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行
い目的の繊維状結晶を得た。
９．６ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行
い目的の繊維状結晶を得た。
平均直径１μｍ、軸比１６０の５ｒ（ＦＦＡ） ２の繊
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
量減少が６３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９１
％に増加した。
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未満の従来の結晶の熱重
量減少が６３％以下であるのに対し該繊維状結晶は９１
％に増加した。
製造および実験例１４
［Ｓｔ（ＨＦＡ） ２ ］の製造例
製造および実験例８においてＰＰＭの代りにＨＦＡ
９．７ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行
い目的の繊維状結晶を得た。
９．７ｇを用いた以外は製造および実験例８と同様に行
い目的の繊維状結晶を得た。
平均直径４ｐｍ、軸比５２のＳ「（ＩＩＦＡ） 、の繊
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未１１５：ｉの従来の結
晶の熱重量減少が７９％以下であるのに対し該繊維状結
晶は９３％に増加した。
維状結晶が得られたので製造および実験例１と同様に熱
重量減少を測定した。軸比１０未１１５：ｉの従来の結
晶の熱重量減少が７９％以下であるのに対し該繊維状結
晶は９３％に増加した。
実施例１
有機金属化学気相堆積法（以下ｈＩＯｃＶＤ法という）
用の装置を用い、Ｍｇ０ＪＪｉ板を反応室で８００℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてＢａ（ＰＰ＼
１）２の繊維状結晶を気化させて導入した。さらにこの
反応室に同時に酸素を導入することで良好なりａＯ薄膜
を形成することか出来た。
用の装置を用い、Ｍｇ０ＪＪｉ板を反応室で８００℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてＢａ（ＰＰ＼
１）２の繊維状結晶を気化させて導入した。さらにこの
反応室に同時に酸素を導入することで良好なりａＯ薄膜
を形成することか出来た。
成膜速度は１０〜３０μｍ／ｈであった。
繊維状結晶と従来法によって得られた粉体を用いてＢａ
Ｏ薄膜を形成したときの堆積速度の経時変化を比較した
結果を第２図に示す。この結果より繊維状結晶にしたも
のは堆積速度の経時変化が明かに少ないことがわかる。
Ｏ薄膜を形成したときの堆積速度の経時変化を比較した
結果を第２図に示す。この結果より繊維状結晶にしたも
のは堆積速度の経時変化が明かに少ないことがわかる。
このことは繊維状結晶にしたもののほうか気化特性か向
上しており熱的にも安定であることを示している。
上しており熱的にも安定であることを示している。
使用したＢａ （ＰＰに１）、繊維状結晶の平均軸比、
１００平 均 直 径；０．１μｍ 従来法により得られたＢａ （ＰＰＭ） ２μｍの不定
形粒子 Ｂａ（ＰＰＭ） ２容器温度・２００°Ｃキャリアーガ
ス流量： １５０ｓｅｃｍ酸素ガス流量・２００＋ｃ
ｃｍ ＊ｉｃｃｍとは、５ｔａｎｄａｒｄ Ｃｕｂｉｃ Ｃｅ
ｎｌｉｍｅｌｅ＋５〜３０ ｐｅ「Ｍｉｎｕｔｅの略でＯ’Ｃ，１気圧における１分
間に流れるガスの容積（ｃｄ）テアル。
１００平 均 直 径；０．１μｍ 従来法により得られたＢａ （ＰＰＭ） ２μｍの不定
形粒子 Ｂａ（ＰＰＭ） ２容器温度・２００°Ｃキャリアーガ
ス流量： １５０ｓｅｃｍ酸素ガス流量・２００＋ｃ
ｃｍ ＊ｉｃｃｍとは、５ｔａｎｄａｒｄ Ｃｕｂｉｃ Ｃｅ
ｎｌｉｍｅｌｅ＋５〜３０ ｐｅ「Ｍｉｎｕｔｅの略でＯ’Ｃ，１気圧における１分
間に流れるガスの容積（ｃｄ）テアル。
実施例２
Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、フッ化カルシウム基板を
反応室で３００°Ｃに加熱してアルゴンをキャリアーガ
スとしてＢａ （ＦＯＤ） ２の繊維状結晶を気化させ
て導入した。ここで同時にフッ化水素を導入することで
良好なりａ Ｆ２薄膜を形成することが出来た。
反応室で３００°Ｃに加熱してアルゴンをキャリアーガ
スとしてＢａ （ＦＯＤ） ２の繊維状結晶を気化させ
て導入した。ここで同時にフッ化水素を導入することで
良好なりａ Ｆ２薄膜を形成することが出来た。
成膜速度は５〜３０μｍ／ｈであった。
使用したＢａ（Ｆｏｉｌ） ２繊維状結晶の平均軸比
６゜平 均 直 径、 ０５μｍ ｔｌａ （ＦＯＤ） ２容器温度；１８０〜２３０°Ｃ
キャリアーガス流量； １５０ｓｅｃｍフッ化水素流
ｔｕ； １２０ｓｃｃｎ＋実施例３ ｋ１０ｃＶＤ法用の装置を用い、石英基板を反応室で７
００ ”Ｃに加熱してアルゴンをキャリアーカスとして
Ｂａ（ＦＯＤ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した
。ここで同時に硫化水素を導入することで良好なりｕｓ
薄膜を形成することか出来た。
６゜平 均 直 径、 ０５μｍ ｔｌａ （ＦＯＤ） ２容器温度；１８０〜２３０°Ｃ
キャリアーガス流量； １５０ｓｅｃｍフッ化水素流
ｔｕ； １２０ｓｃｃｎ＋実施例３ ｋ１０ｃＶＤ法用の装置を用い、石英基板を反応室で７
００ ”Ｃに加熱してアルゴンをキャリアーカスとして
Ｂａ（ＦＯＤ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した
。ここで同時に硫化水素を導入することで良好なりｕｓ
薄膜を形成することか出来た。
成膜速度は２〜１５μｍ／ｈであった。
使用したＢａ （ＦＯＤ） ２繊維状結晶の平均軸比：
６０平 均 直 径：０，５μｍ １１８（ＦＯＤ） ２容器温度；１８０〜２３０℃キャ
リアーガス流１ｉ； １５［１ｓｃｃｍ硫化水素流−
ＩＦｔ； ２００ｓｃｃｍ実施例４ Ｍ ＯＣＶ Ｄ法用の装置を用い、石英基板を反応室で
８００℃に加熱してアルゴンをキャリアーカスとしてＢ
ａ（Ｉ’ＰＭ） 、の繊維状結晶を気化さｌ゛て導入し
た。ここで同時にアンモニアガスを導入することで良好
なりａ、Ｎ、薄膜を形成することが出来た。
６０平 均 直 径：０，５μｍ １１８（ＦＯＤ） ２容器温度；１８０〜２３０℃キャ
リアーガス流１ｉ； １５［１ｓｃｃｍ硫化水素流−
ＩＦｔ； ２００ｓｃｃｍ実施例４ Ｍ ＯＣＶ Ｄ法用の装置を用い、石英基板を反応室で
８００℃に加熱してアルゴンをキャリアーカスとしてＢ
ａ（Ｉ’ＰＭ） 、の繊維状結晶を気化さｌ゛て導入し
た。ここで同時にアンモニアガスを導入することで良好
なりａ、Ｎ、薄膜を形成することが出来た。
成膜速度は２〜１３μｍ／ｈてあった。
使用したＢａ（ＰＰＭ） ２繊維状結晶の平均軸比；１
００平 均 直 径；０．１μｍ Ｂａ（ＰＰＭ） ２容器温度；１９０〜２４０°Ｃキャ
リアーガス流ＫＬ： １５０ｓｃｃｍアンモニアガス
流量； ４００＋ｃｃｍ実施例５ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、ＭｇＯ基板を反応室で８
００℃に加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてＢａ
（ＨＦＡ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。
００平 均 直 径；０．１μｍ Ｂａ（ＰＰＭ） ２容器温度；１９０〜２４０°Ｃキャ
リアーガス流ＫＬ： １５０ｓｃｃｍアンモニアガス
流量； ４００＋ｃｃｍ実施例５ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、ＭｇＯ基板を反応室で８
００℃に加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてＢａ
（ＨＦＡ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。
ここで同時に四塩化チタンと酸素を導入することで良好
なりａＴｌｏ、ｌ薄膜を形成することが出来た。
なりａＴｌｏ、ｌ薄膜を形成することが出来た。
成膜速度は２〜２５μｍ／ｈてあった。
使用したｔｌａ（ＩＩＦＡ） ２繊維状結晶の平均軸比
：５０平 均 直 径；Ｑ、３ＩｚｍＢａ
（ＨＦＡ） ２容器温度； １８０〜２３０ ’Ｃキ
ャリアーガス流限： １５０ｓｃｃｍ酸素ガス流量；
２００ｓｅｃｍ 四塩化チタンガス流量； ＩＯｈｃｃｍ実施例６ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、ＭｇＯ基板を反応室で８
００°Ｃに加熱してアルゴンをキレリアーガスとしてＳ
「（ＦＯＤ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。
：５０平 均 直 径；Ｑ、３ＩｚｍＢａ
（ＨＦＡ） ２容器温度； １８０〜２３０ ’Ｃキ
ャリアーガス流限： １５０ｓｃｃｍ酸素ガス流量；
２００ｓｅｃｍ 四塩化チタンガス流量； ＩＯｈｃｃｍ実施例６ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、ＭｇＯ基板を反応室で８
００°Ｃに加熱してアルゴンをキレリアーガスとしてＳ
「（ＦＯＤ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。
ここで同時に酸素カスを導入することで良好なＳｒＯ薄
膜を形成することが出来た。
膜を形成することが出来た。
成膜速度は１〜１０μｍ／ｈであった。
使用した５Ｔ（ＦＯＤ） 、繊維状結晶の平均軸比、５
０平 均 直 径；０．５μｍ ５Ｔ（ＦＯＤ） ２容器温度；１８０〜２２０°Ｃキャ
リアーガス流量・ １５０ｓｅｃｍ酸素ガス流量・２Ｑ
Ｑ＋ｃｃｍ 実施例７ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、石英基板を反応室で７０
０“Ｃに加熱してアルゴンをキトリアーカスとしてＳ「
（ＰＰＭ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。こ
こで同時にフッ化水素を導入することて良好なＳｒＦ、
薄膜を形成することか出来た。
０平 均 直 径；０．５μｍ ５Ｔ（ＦＯＤ） ２容器温度；１８０〜２２０°Ｃキャ
リアーガス流量・ １５０ｓｅｃｍ酸素ガス流量・２Ｑ
Ｑ＋ｃｃｍ 実施例７ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、石英基板を反応室で７０
０“Ｃに加熱してアルゴンをキトリアーカスとしてＳ「
（ＰＰＭ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。こ
こで同時にフッ化水素を導入することて良好なＳｒＦ、
薄膜を形成することか出来た。
成膜速度は６〜２７μｍ／ｈであった。
使用したＳ「（ＰＰＭ） ２繊維状結晶の平均軸比；１
００平 均 直 径；０．３μｍ Ｓｒ（ＰＰＭ） ２容器温度；１９０〜２４０℃キャリ
アーガス流量； １５０ｓｅｃｍフッ化水素流量；
１３０ｓｅｃｍ 実施例８ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、ＭｇＯ基板を反応室で８
００℃に加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてＳｒ
（ＰＰＭ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。こ
こで同時に四塩化チタンと酸素を導入することで良好な
Ｓ「Ｔ１０う薄膜を形成することが出来た。
００平 均 直 径；０．３μｍ Ｓｒ（ＰＰＭ） ２容器温度；１９０〜２４０℃キャリ
アーガス流量； １５０ｓｅｃｍフッ化水素流量；
１３０ｓｅｃｍ 実施例８ Ｍ０ＣＶＤ法用の装置を用い、ＭｇＯ基板を反応室で８
００℃に加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてＳｒ
（ＰＰＭ） ２の繊維状結晶を気化させて導入した。こ
こで同時に四塩化チタンと酸素を導入することで良好な
Ｓ「Ｔ１０う薄膜を形成することが出来た。
成膜速度は３〜３０μｍ／ｈであった。
使用したＳｒ（ＰＰＭ） ２繊維状結晶の平均軸比；１
００平 均 直 径；０，３μｍＳｒ（Ｐ
ＰＭ） ２容器温度、１９０〜２３０°Ｃキャリアーガ
ス流量； １５０ｓｅｃｍ酸素ガス流量； ２００ｓ
ｅｃｍ 四塩化チタンガス流量； ］ＯＯｓｃｃｍ〔発明の効
果〕 本発明の繊維状結晶のアルカリ土類金属のβ−ジケトン
錯体を用いることにより、化学気相堆積法において、高
速でかつ安定した薄膜形成が可能となり、産業上極めて
有利である。
００平 均 直 径；０，３μｍＳｒ（Ｐ
ＰＭ） ２容器温度、１９０〜２３０°Ｃキャリアーガ
ス流量； １５０ｓｅｃｍ酸素ガス流量； ２００ｓ
ｅｃｍ 四塩化チタンガス流量； ］ＯＯｓｃｃｍ〔発明の効
果〕 本発明の繊維状結晶のアルカリ土類金属のβ−ジケトン
錯体を用いることにより、化学気相堆積法において、高
速でかつ安定した薄膜形成が可能となり、産業上極めて
有利である。
第１図は本発明の製造例１における
Ｂａ（ＰＰＭ） ２結晶の軸比と熱重量減少（％）との
関係を示す図表である。 第２図は本発明の実施例繊維状結晶と従来法によって得
られた粉末を用いてＢａＯ薄膜を形成したときの堆積速
度の経時変化を比較した結果を示す図表である。 手続補正書 （自 発） 平成２年１千月ｔ’１日 １、事件の表示 平成２年 特許願 第２５４５３４号 ２０．発明の名称 薄膜形成用金属錯体 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区赤坂８丁目１１番３７号（漆間
興和ビル） 名称 東ソー・アクゾ株式会社
関係を示す図表である。 第２図は本発明の実施例繊維状結晶と従来法によって得
られた粉末を用いてＢａＯ薄膜を形成したときの堆積速
度の経時変化を比較した結果を示す図表である。 手続補正書 （自 発） 平成２年１千月ｔ’１日 １、事件の表示 平成２年 特許願 第２５４５３４号 ２０．発明の名称 薄膜形成用金属錯体 補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都港区赤坂８丁目１１番３７号（漆間
興和ビル） 名称 東ソー・アクゾ株式会社
Claims (4)
- （１）β−ジケトン化合物を配位子としたアルカリ土類
金属錯体の無水和物からなり、繊維状結晶で熱天秤によ
る熱重量減少が９０％であることを特徴とする薄膜形成
用金属錯体。 - （２）該繊維状結晶が軸比１０以上、直径０．０５〜１
０μｍである請求項１記載の薄膜形成用金属錯体。 - （３）β−ジケトン化合物が一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼ （式中Ｒ＿１，Ｒ＿２は同一か又は異なるフッ素を含む
アルキル基を示す。） で表される請求項１又は２記載の薄膜形成用金属錯体。 - （４）アルカリ土類金属がバリウムまたはストロンチウ
ムである請求項１〜３までのいずれか１項記載の薄膜形
成用金属錯体。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000002838A1 (fr) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | Daicel Chemical Industries, Ltd. | PROCEDE DE PREPARATION DE SELS DE COMPOSES β-DICETO DE METAUX ALCALINO-TERREUX |
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1990
- 1990-09-25 JP JP2254534A patent/JP2551860B2/ja not_active Expired - Fee Related
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