JP2551860B2 - 薄膜形成用金属錯体 - Google Patents
薄膜形成用金属錯体Info
- Publication number
- JP2551860B2 JP2551860B2 JP2254534A JP25453490A JP2551860B2 JP 2551860 B2 JP2551860 B2 JP 2551860B2 JP 2254534 A JP2254534 A JP 2254534A JP 25453490 A JP25453490 A JP 25453490A JP 2551860 B2 JP2551860 B2 JP 2551860B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- production
- fibrous
- thin film
- experimental example
- crystals
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体から
なり、気相堆積法で用いられる薄膜形成用金属錯体に関
する。
なり、気相堆積法で用いられる薄膜形成用金属錯体に関
する。
従来、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体でフッ素
を含まないアルキル基を有するバリウムジピバロイルメ
タネートについては、Inorganic Chemistry Vol.2 No.
1,P73,1963に針状の形状をとることが報告されている
が、フッ素を含むアルキル基を有するβ−ジケトン化合
物を配位子としたアルカリ土類金属が繊維状結晶になる
例は報告されていない。
を含まないアルキル基を有するバリウムジピバロイルメ
タネートについては、Inorganic Chemistry Vol.2 No.
1,P73,1963に針状の形状をとることが報告されている
が、フッ素を含むアルキル基を有するβ−ジケトン化合
物を配位子としたアルカリ土類金属が繊維状結晶になる
例は報告されていない。
一方、フッ素を含むアルキル基を有するβ−ジケトン
化合物を配位子としたアルカリ土類金属錯体については
特開昭64−16742に1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4
−ペンタンジオナート錯体が白色の固体であることが、
またAnalytica Chimica Acta 60,P.109〜.1972に1,1,1,
2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,5−ペンタン
ジオナート錯体の二水和物が白色の沈殿物として得られ
ることが例示されている。しかし、従来のフッ素を含む
アルキル基を有するβ−ジケトン化合物を配位子とする
アルカリ土類金属錯体は熱的に不安定で一部分解するた
め気相堆積法での使用中に分解物が原料供給部に蓄積し
たり供給量の制御が困難であるなどの問題を有する。本
発明者は鋭意検討を行った結果、繊維状結晶のβ−ジケ
トン化合物を配位子としたアルカリ土類金属錯体の無水
和物が薄膜形成用金属錯体として有用であることを見い
だし本発明を完成するに至った。
化合物を配位子としたアルカリ土類金属錯体については
特開昭64−16742に1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4
−ペンタンジオナート錯体が白色の固体であることが、
またAnalytica Chimica Acta 60,P.109〜.1972に1,1,1,
2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,5−ペンタン
ジオナート錯体の二水和物が白色の沈殿物として得られ
ることが例示されている。しかし、従来のフッ素を含む
アルキル基を有するβ−ジケトン化合物を配位子とする
アルカリ土類金属錯体は熱的に不安定で一部分解するた
め気相堆積法での使用中に分解物が原料供給部に蓄積し
たり供給量の制御が困難であるなどの問題を有する。本
発明者は鋭意検討を行った結果、繊維状結晶のβ−ジケ
トン化合物を配位子としたアルカリ土類金属錯体の無水
和物が薄膜形成用金属錯体として有用であることを見い
だし本発明を完成するに至った。
すなわち本発明は、 （１）β−ジケトン化合物を配位子としたアルカリ土類
金属錯体の無水和物からなり、繊維状結晶で熱天秤によ
る熱重量減少が90以上であることを特徴とする薄膜形成
用金属錯体。
金属錯体の無水和物からなり、繊維状結晶で熱天秤によ
る熱重量減少が90以上であることを特徴とする薄膜形成
用金属錯体。
（２）該繊維状結晶が軸比10以上、直径0.05〜10μｍで
ある（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
ある（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
（３）β−ジケトン化合物が一般式 （式中R1,R2は同一か又は異なるフッ素を含むアルキル
基を示す。） で表される（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
基を示す。） で表される（１）記載の薄膜形成用金属錯体。
（４）アルカリ土類金属がバリウムまたはストロンチウ
ムである（１）記載の薄膜形成用金属錯体に存する。
ムである（１）記載の薄膜形成用金属錯体に存する。
以下、本発明について更に詳しく説明する。
本発明は、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の無
水和物を繊維状結晶とすることを最も重要な特徴とす
る。従来の技術とは、結晶の形状が異なる。このように
繊維状結晶にしたアルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体
の無水和物は薄膜形成用原料として優れている。特に化
学気相堆積法で使用する場合は、気化特性が良く、従来
のものに比べて原料の供給量が安定している。
水和物を繊維状結晶とすることを最も重要な特徴とす
る。従来の技術とは、結晶の形状が異なる。このように
繊維状結晶にしたアルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体
の無水和物は薄膜形成用原料として優れている。特に化
学気相堆積法で使用する場合は、気化特性が良く、従来
のものに比べて原料の供給量が安定している。
ここで、アルカリ土類金属のβ−ジケトン錯体の無水
和物を例示すれば、 ビス−1,1,1,2,2,3,3−ヘプタフルオロ−7,7−ジメチル
−4,6−オクタンジオナートバリウム［Ba（FOD）２］ ビス−1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,
5−ヘプタンジオナートバリウム［Ba（PPM）２］ ビス−1,1,1−トルフルオロ−5,5−ジメチル−2,4−ヘ
キサンジオナートバリウム［Ba（FHD）２］ ビス−1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオナート
バリウム［Ba（TFA）２］ ビス−1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジ
オナートバリウム［Ba（HFA）２］ ビス−エチル4,4,4−トリフルオロアセトアセタートバ
リウム［Ba（TFAC）２］ ビス−4,4,4−トルフルオロ−１−フリル−1,3−ブタン
ジオナートバリウム［Ba（FFA）２］ ビス−1,1,1,2,2,3,3−ヘプタフルオロ−7,7−ジメチル
−4,6−オクタンジオナートストロンチウム［Sr（FOD）
２］ ビス−1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,
5−ヘプタンジオナートストロンチウム［Sr（PPM）２］ ビス−1,1,1−トリフルオロ−5,5−ジメチル−2,4−ヘ
キサンジオナートストロンチウム［Sr（FHD）２］ ビス−1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオナート
ストロンチウム［Sr（TFA）２］ ビス−1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジ
オナートストロンチウム［Sr（HFA）２］ ビス−エチル−4,4,4−トリフルオロアセトアセタート
ストロンチウム［Sr（TFAC）２］ ビス−4,4,4−トリフルオロ−１−フリル−1,3−ブタン
ジオナートストロンチウム［Sr（FFA）２］ などが挙げられる。
和物を例示すれば、 ビス−1,1,1,2,2,3,3−ヘプタフルオロ−7,7−ジメチル
−4,6−オクタンジオナートバリウム［Ba（FOD）２］ ビス−1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,
5−ヘプタンジオナートバリウム［Ba（PPM）２］ ビス−1,1,1−トルフルオロ−5,5−ジメチル−2,4−ヘ
キサンジオナートバリウム［Ba（FHD）２］ ビス−1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオナート
バリウム［Ba（TFA）２］ ビス−1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジ
オナートバリウム［Ba（HFA）２］ ビス−エチル4,4,4−トリフルオロアセトアセタートバ
リウム［Ba（TFAC）２］ ビス−4,4,4−トルフルオロ−１−フリル−1,3−ブタン
ジオナートバリウム［Ba（FFA）２］ ビス−1,1,1,2,2,3,3−ヘプタフルオロ−7,7−ジメチル
−4,6−オクタンジオナートストロンチウム［Sr（FOD）
２］ ビス−1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,
5−ヘプタンジオナートストロンチウム［Sr（PPM）２］ ビス−1,1,1−トリフルオロ−5,5−ジメチル−2,4−ヘ
キサンジオナートストロンチウム［Sr（FHD）２］ ビス−1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオナート
ストロンチウム［Sr（TFA）２］ ビス−1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジ
オナートストロンチウム［Sr（HFA）２］ ビス−エチル−4,4,4−トリフルオロアセトアセタート
ストロンチウム［Sr（TFAC）２］ ビス−4,4,4−トリフルオロ−１−フリル−1,3−ブタン
ジオナートストロンチウム［Sr（FFA）２］ などが挙げられる。
なお、β−ジケトン化合物の表記は、以後以下の略号
を用いることにする。
を用いることにする。
1,1,1,2,2,3,3−ヘプタフルオロ−7,7−ジメチル−4,6
−オクタンジオン FOD 1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,5−ヘ
プタンジオン PPM 1,1,1−トルフルオロ−5,5−ジメチル−2,4−ヘキサン
ジオン FHD 1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオン TFA 1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオンHF
A エチル−4,4,4−トリフルオロアセトアセテート TFAC 4,4,4−トリフルオロ−１−フリル−1,3−ブタンジオン
FFA 繊維状結晶の直径および軸比は、電子顕微鏡で測定す
ることにより得られる。繊維状結晶の直径は、0.05〜10
μｍであり、特に0.1〜５μｍが好ましい。
−オクタンジオン FOD 1,1,1,2,2−ペンタフルオロ−6,6−ジメチル−3,5−ヘ
プタンジオン PPM 1,1,1−トルフルオロ−5,5−ジメチル−2,4−ヘキサン
ジオン FHD 1,1,1−トリフルオロ−2,4−ペンタンジオン TFA 1,1,1,5,5,5−ヘキサフルオロ−2,4−ペンタンジオンHF
A エチル−4,4,4−トリフルオロアセトアセテート TFAC 4,4,4−トリフルオロ−１−フリル−1,3−ブタンジオン
FFA 繊維状結晶の直径および軸比は、電子顕微鏡で測定す
ることにより得られる。繊維状結晶の直径は、0.05〜10
μｍであり、特に0.1〜５μｍが好ましい。
繊維状結晶の状態は、単体または集合体のいずれでも
よい。軸比は次式によって示される値である。
よい。軸比は次式によって示される値である。
熱天秤による熱重量減少とは、窒素気流下で５℃／分
の一定速度で室温より500℃に昇温した際の重量減少の
値である。
の一定速度で室温より500℃に昇温した際の重量減少の
値である。
第１図に繊維状結晶の軸比と熱重量減少の関係を示
す。この図より、熱重量減少が90％以上になるためには
軸比は10以上であるが、特に20以上が望ましい。
す。この図より、熱重量減少が90％以上になるためには
軸比は10以上であるが、特に20以上が望ましい。
本発明の薄膜形成用金属錯体を使用して薄膜を形成す
る場合、液相堆積法または気相堆積法があるが、特に気
相堆積法が好ましい。
る場合、液相堆積法または気相堆積法があるが、特に気
相堆積法が好ましい。
本発明の薄膜形成用金属錯体を使用して薄膜を形成す
る場合、加圧下または常圧下または減圧下のいずれも可
能であるが、常圧下または減圧下が好ましい。
る場合、加圧下または常圧下または減圧下のいずれも可
能であるが、常圧下または減圧下が好ましい。
本発明の薄膜形成用金属錯体を使用して薄膜を形成す
る場合、同伴ガスはヘリウム，アルゴン，窒素などがあ
り、反応ガスは、酸素，硫化水素，アンモニア，フッ化
水素などがある。
る場合、同伴ガスはヘリウム，アルゴン，窒素などがあ
り、反応ガスは、酸素，硫化水素，アンモニア，フッ化
水素などがある。
以下、本発明を実施例によって詳細に説明するが本発
明は、これによりなんら限定されるものではない。
明は、これによりなんら限定されるものではない。
製造および実験例１ ［Ba（PPM）２］の製造例 6.3gの水酸化バリウム８水和物を脱気した水に溶解さ
せ、炭酸バリウムを濾別した。これにPPM11.5gを加えて
撹拌している。500mlアルコール水溶液中に室温下で滴
下し、約３時間で反応を終了させた。つぎに70℃に加熱
して減圧でアルコールを除去して白色の固体を析出させ
た。この固体を濾別してフィルター上で窒素気流により
乾燥した。この時点での結晶形状は軸比１未満の板状結
晶であった。乾燥した固体を脱水したヘキサン500mlに
分散させ加熱リフラックスさせた。数時間で板状結晶を
繊維状結晶に成長した。これを濾別し、70℃で減圧乾燥
して繊維状結晶のBa（PPM）２を7g得た。
せ、炭酸バリウムを濾別した。これにPPM11.5gを加えて
撹拌している。500mlアルコール水溶液中に室温下で滴
下し、約３時間で反応を終了させた。つぎに70℃に加熱
して減圧でアルコールを除去して白色の固体を析出させ
た。この固体を濾別してフィルター上で窒素気流により
乾燥した。この時点での結晶形状は軸比１未満の板状結
晶であった。乾燥した固体を脱水したヘキサン500mlに
分散させ加熱リフラックスさせた。数時間で板状結晶を
繊維状結晶に成長した。これを濾別し、70℃で減圧乾燥
して繊維状結晶のBa（PPM）２を7g得た。
第１図に繊維状結晶にしたBa（PPM）２の軸比と熱重
量減少分析の関係を示す。
量減少分析の関係を示す。
従来のBa（PPM）２は、熱重量減少の値が77％であっ
た。しかし、結晶の軸比を上げていくと熱重量減少の値
は急激に増加して軸比10以上の繊維状結晶において熱重
量減少が90％になることが確認された。更に軸比を上げ
て軸比50以上になると熱重量減少が100％昇華すること
が確認された。熱重量減少の測定でバリウム化合物が10
0％昇華した例はこれまでなかった。
た。しかし、結晶の軸比を上げていくと熱重量減少の値
は急激に増加して軸比10以上の繊維状結晶において熱重
量減少が90％になることが確認された。更に軸比を上げ
て軸比50以上になると熱重量減少が100％昇華すること
が確認された。熱重量減少の測定でバリウム化合物が10
0％昇華した例はこれまでなかった。
製造および実験例２ ［Ba（FOD）２］の製造例 製造および実験１においてPPMの代りにFOD13.9gを用
いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
平均直径１μm,軸比40のBa（FOD）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が76％
以下であるのに対し該繊維状結晶は96％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が76％
以下であるのに対し該繊維状結晶は96％に増加した。
製造および実験例３ ［Ba（FHD）２］の製造例 製造および実験例１においてPPMの代りにFHD9.16gを
用いた以外は製造および実施例１と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
用いた以外は製造および実施例１と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
平均直径２μm,軸比86のBa（FHD）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が73％
以下であるのに対し該繊維状結晶を92％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が73％
以下であるのに対し該繊維状結晶を92％に増加した。
製造および実験例４ ［Ba（TFA）２］の製造例 製造および実験例１においてPPMの代りにTFA7.2gを用
いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
平均直径８μm,軸比46のBa（TFA）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が73％
以下であるのに対し該繊維状結晶は93％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が73％
以下であるのに対し該繊維状結晶は93％に増加した。
製造および実験例５ ［Ba（TFAC）２］の製造例 製造および実験例１においてPPMの代りにTFAC7.8gを
用いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
用いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
平均直径3.5μm,軸比71のBa（TFAC）２の繊維状結晶
が得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少
を測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が70
％以下であるのに対し該繊維状結晶は91％に増加した。
が得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少
を測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が70
％以下であるのに対し該繊維状結晶は91％に増加した。
製造および実験例６ ［Ba（FFA）２］の製造例 製造および実験例１においてPPMの代りにFFA9.6gを用
いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的に繊維
状結晶を得た。
いた以外は製造および実験例１と同様に行い目的に繊維
状結晶を得た。
平均直径５μm,軸比65のBa（FFA）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が63％
以下であるのに対し該繊維状結晶は92％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が63％
以下であるのに対し該繊維状結晶は92％に増加した。
製造および実験例７ ［Ba（HFA）２］の製造例 製造および実験例１においてPPMの代りにHFA9.7gから
製造および実験例１と同様に行い目的の繊維状結晶を得
た。
製造および実験例１と同様に行い目的の繊維状結晶を得
た。
平均直径４μm,軸比52のBa（HFA）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が62％
以下であるのに対し該繊維状結晶は89％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が62％
以下であるのに対し該繊維状結晶は89％に増加した。
製造および実験例８ ［Sr（PPM）２］の製造例 製造および実験例１において水酸化バリウムの代りに
5.3gの水酸化ストロンチウム８水和物とPPM11.5gを用い
た以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊維状
結晶を得た。
5.3gの水酸化ストロンチウム８水和物とPPM11.5gを用い
た以外は製造および実験例１と同様に行い目的の繊維状
結晶を得た。
平均直径３μm,軸比100のSr（PPM）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が80％
以下であるに対し該繊維状結晶は98％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が80％
以下であるに対し該繊維状結晶は98％に増加した。
製造および実験例９ ［Sr（FOD）２］の製造例 製造および実験例８においてPPMの代りにFOD13.8gを
用いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
用いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
平均直径１μm,軸比50のSr（FOD）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が78％
以下であるのに対し該繊維状結晶は94％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が78％
以下であるのに対し該繊維状結晶は94％に増加した。
製造および実験例10 ［Sr（FHD）２］の製造例 製造および実験例８においてPPMの代りにFHD9.15gを
用いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
用いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊
維状結晶を得た。
平均直径0.5μm,軸比140のSr（FHD）２の繊維状結晶
が得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少
を測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が72
％以下であるのに対し該繊維状結晶は93％に増加した。
が得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少
を測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が72
％以下であるのに対し該繊維状結晶は93％に増加した。
製造および実験例11 ［Sr（TFA）２］の製造例 製造および実験例８においてPPMの代りにTFA7.2gを用
いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
平均直径６μm,軸比42のSr（TFA）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が73％
以下であるのに対し該繊維状結晶は90％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が73％
以下であるのに対し該繊維状結晶は90％に増加した。
製造および実験例12 ［Sr（TFAC）２］の製造例 製造および実験例８においてPPMの代りにTFAC7.8gを
用いた以外は製造および実施例８の方法に従い目的の繊
維状結晶を得た。
用いた以外は製造および実施例８の方法に従い目的の繊
維状結晶を得た。
平均直径２μm,軸比90のSr（TFAC）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が70％
以下であるのに対し該繊維状結晶は91％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が70％
以下であるのに対し該繊維状結晶は91％に増加した。
製造および実験例13 ［Sr（FFA）２］の製造例 製造および実験例８においてPPMの代りにFFA9.6gを用
いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
いた以外は製造および実験例８と同様に行い目的の繊維
状結晶を得た。
平均直径１μm,軸比160のSr（FFA）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が63％
以下であるのに対し該繊維状結晶は91％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が63％
以下であるのに対し該繊維状結晶は91％に増加した。
製造および実験例14 ［Sr（HFA）２］の製造例 製造および実験例８においてPPMの代りにHFA9.7gを用
いた以外は製造おび実験例８と同様に行い目的の繊維状
結晶を得た。
いた以外は製造おび実験例８と同様に行い目的の繊維状
結晶を得た。
平均直径４μm,軸比52のSr（HFA）２の繊維状結晶が
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が79％
以下であるのに対し該繊維状結晶は93％に増加した。
得られたので製造および実験例１と同様に熱重量減少を
測定した。軸比10未満の従来の結晶の熱重量減少が79％
以下であるのに対し該繊維状結晶は93％に増加した。
実施例１ 有機金属化学気相堆積法（以下MOCVD法という）用の
装置を用い、MgO基板を反応室で800℃に加熱してアルゴ
ンをキャリアーガスとしてBa（PPM）２の繊維状結晶を
気化させて導入した。さらにこの反応室に同時に酸素を
導入することで良好なBaO薄膜を形成することが出来
た。
装置を用い、MgO基板を反応室で800℃に加熱してアルゴ
ンをキャリアーガスとしてBa（PPM）２の繊維状結晶を
気化させて導入した。さらにこの反応室に同時に酸素を
導入することで良好なBaO薄膜を形成することが出来
た。
成膜速度は10〜30μm/hであった。
繊維状結晶と従来法によって得られた粉体を用いてBa
O薄膜を形成したときの堆積速度の経時変化を比較した
結果を第２図に示す。この結果より繊維状結晶にしたも
のは堆積速度の経時変化が明らかに少ないことがわか
る。このことは繊維状結晶にしたもののほうが気化特性
が向上しており熱的にも安定であることを示している。
O薄膜を形成したときの堆積速度の経時変化を比較した
結果を第２図に示す。この結果より繊維状結晶にしたも
のは堆積速度の経時変化が明らかに少ないことがわか
る。このことは繊維状結晶にしたもののほうが気化特性
が向上しており熱的にも安定であることを示している。
使用したBa（PPM）２繊維状結晶の平均軸比;100 平均直径;0.1μｍ 従来法により得られたBa（PPM）2;5〜30μｍの不定形粒
子 Ba（PPM）２容器温度;200℃ キャリアーガス流量;150sccm 酸素ガス流量;200sccm ＊sccmとは、tandard ubic entimeterper in
uteの略で０℃、１気圧における１分間に流れるガスの
容積（cm3）である。
子 Ba（PPM）２容器温度;200℃ キャリアーガス流量;150sccm 酸素ガス流量;200sccm ＊sccmとは、tandard ubic entimeterper in
uteの略で０℃、１気圧における１分間に流れるガスの
容積（cm3）である。
実施例２ MOCVD法用の装置を用い、フッ化カルシウム基板を反
応室で300℃に加熱してアルゴンをキャリアーガスとし
てBa（FOD）２の繊維状結晶を気化させて導入した。こ
こで同時にフッ化水素を導入することで良好なBaF2薄膜
を形成することが出来た。
応室で300℃に加熱してアルゴンをキャリアーガスとし
てBa（FOD）２の繊維状結晶を気化させて導入した。こ
こで同時にフッ化水素を導入することで良好なBaF2薄膜
を形成することが出来た。
成膜速度は５〜30μm/hであった。
使用したBa（FOD）２繊維状結晶の平均軸比;60 平均直径;0.5μｍ Ba（FOD）２容器温度;180〜230℃ キャリアーガス流量;150sccm フッ化水素流量;120sccm 実施例３ MOCVD法用の装置を用い、石英基板を反応室で700℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてBa（FOD）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に硫化
水素を導入することで良好なBaS薄膜を形成することが
出来た。
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてBa（FOD）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に硫化
水素を導入することで良好なBaS薄膜を形成することが
出来た。
成膜速度は２〜15μm/hであった。
使用したBa（FOD）２繊維状結晶の平均軸比;60 平均直径;0.5μｍ Ba（FOD）２容器温度;180〜230℃ キャリアーガス流量;150sccm 硫化水素流量;200sccm 実施例４ MOCVD法用の装置を用い、石英基板を反応室で800℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてBa（PPM）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時にアン
モニアガスを導入することで良好なBa3N2薄膜を形成す
ることが出来た。
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてBa（PPM）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時にアン
モニアガスを導入することで良好なBa3N2薄膜を形成す
ることが出来た。
成膜速度は２〜13μm/hであった。
使用したBa（PPM）２繊維状結晶の平均軸比;100 平均直径;0.1μｍ Ba（PPM）２容器温度;190〜240℃ キャリアーガス流量;150sccm アンモニアガス流量;400sccm 実施例５ MOCVD法用の装置を用い、MgO基板を反応室で800℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてBa（HFA）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に四塩
化チタンと酸素を導入することで良好なBaTiO3薄膜を形
成することが出来た。
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてBa（HFA）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に四塩
化チタンと酸素を導入することで良好なBaTiO3薄膜を形
成することが出来た。
成膜速度は２〜25μm/hであった。
使用したBa（HFA）２繊維状結晶の平均軸比;50 平均直径;0.3μｍ Ba（HFA）２容器温度;180〜230℃ キャリアーガス流量;150sccm 酸素ガス流量;200sccm 四塩化チタンガス流量;100sccm 実施例６ MOCVD法用の装置を用い、MgO基板を反応室で800℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてSr（FOD）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に酸素
ガスを導入することで良好なSrO薄膜を形成することが
出来た。
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてSr（FOD）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に酸素
ガスを導入することで良好なSrO薄膜を形成することが
出来た。
成膜速度は１〜10μm/hであった。
使用したSr（FOD）２繊維状結晶の平均軸化;50 平均直径;0.5μｍ Sr（FOD）２容器温度;180〜220℃ キャリアーガス流量;150sccm 酸素ガス流量;200sccm 実施例７ MOCVD法用の装置を用い、石英基板を反応室で700℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてSr（PPM）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時にフッ
化水素を導入することで良好なSrF2薄膜を形成すること
が出来た。
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてSr（PPM）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時にフッ
化水素を導入することで良好なSrF2薄膜を形成すること
が出来た。
成膜速度は６〜27μm/hであった。
使用したSr（PPM）２繊維状結晶の平均軸比;100 平均直径;0.3μｍ Sr（PPM）２容器温度;190〜240℃ キャリアーガス流量;150sccm フッ化水素流量;130sccm 実施例８ MOCVD法用の装置を用い、MgO基板を反応室で800℃に
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてSr（PPM）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に四塩
化チタンと酸素を導入することで良好なSrTiO3薄膜を形
成することが出来た。
加熱してアルゴンをキャリアーガスとしてSr（PPM）２
の繊維状結晶を気化させて導入した。ここで同時に四塩
化チタンと酸素を導入することで良好なSrTiO3薄膜を形
成することが出来た。
成膜速度は３〜30μm/hであった。
使用したSr（PPM）２繊維状結晶の平均軸比;100 平均直径;0.3μｍ Sr（PPM）２容器温度;190〜230℃ キャリアーガス流量;150sccm 酸素ガス流量;200sccm 四塩化チタンガス流量;100sccm 〔発明の効果〕 本発明の繊維状結晶のアルカリ土類金属のβ−ジケト
ン錯体を用いることにより、化学気相堆積法において、
高速でかつ安定した薄膜形成が可能となり、産業上極め
て有利である。
ン錯体を用いることにより、化学気相堆積法において、
高速でかつ安定した薄膜形成が可能となり、産業上極め
て有利である。
第１図は本発明の製造例１におけるBa（PPM）２結晶の
軸比と熱重量減少（％）との関係を示す図表である。 第２図は本発明の実施例繊維状結晶と従来法によって得
られた粉末を用いてBaO薄膜を形成したときの堆積速度
の経時変化を比較した結果を示す図表である。
軸比と熱重量減少（％）との関係を示す図表である。 第２図は本発明の実施例繊維状結晶と従来法によって得
られた粉末を用いてBaO薄膜を形成したときの堆積速度
の経時変化を比較した結果を示す図表である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−16742（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−257194（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】β−ジケトン化合物を配位子としたアルカ
リ土類金属錯体の無水和物からなり、繊維状結晶で熱天
秤による熱重量減少が90％以上であることを特徴とする
薄膜形成用金属錯体。 - 【請求項２】該繊維状結晶が軸比10以上、直径0.05〜10
μｍである請求項１記載の薄膜形成用金属錯体。 - 【請求項３】β−ジケトン化合物が一般式 （式中R1,R2は同一か又は異なるフッ素を含むアルキル
基を示す。） で表される請求項１又は２記載の薄膜形成用金属錯体。 - 【請求項４】アルカリ土類金属がバリウムまたはストロ
ンチウムである請求項１〜３までのいずれか１項記載の
薄膜形成用金属錯体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254534A JP2551860B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 薄膜形成用金属錯体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2254534A JP2551860B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 薄膜形成用金属錯体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04134044A JPH04134044A (ja) | 1992-05-07 |
| JP2551860B2 true JP2551860B2 (ja) | 1996-11-06 |
Family
ID=17266384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2254534A Expired - Fee Related JP2551860B2 (ja) | 1990-09-25 | 1990-09-25 | 薄膜形成用金属錯体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2551860B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000026362A (ja) * | 1998-07-10 | 2000-01-25 | Daicel Chem Ind Ltd | β−ジケト化合物のアルカリ土類金属塩の製造方法 |
| JP3309808B2 (ja) | 1998-08-04 | 2002-07-29 | 株式会社デンソー | 圧力検出装置 |
| JP6093323B2 (ja) | 2014-03-26 | 2017-03-08 | 長野計器株式会社 | 物理量測定装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6416742A (en) * | 1987-07-08 | 1989-01-20 | Toyo Stauffer Chem Co | Thin film-forming material |
| JPH01257194A (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-13 | Ube Ind Ltd | 単結晶薄膜の製造法 |
-
1990
- 1990-09-25 JP JP2254534A patent/JP2551860B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04134044A (ja) | 1992-05-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6126996A (en) | Metal complex source reagents for chemical vapor deposition | |
| US6110529A (en) | Method of forming metal films on a substrate by chemical vapor deposition | |
| KR100539206B1 (ko) | 폴리아민계 전구체를 사용하는 ＢａＳｒＴｉＯ３의 성장 방법 | |
| KR101138130B1 (ko) | 금속화합물, 박막 형성용 원료 및 박막의 제조방법 | |
| US5591483A (en) | Process for the preparation of metal nitride coatings from single source precursors | |
| US6504015B2 (en) | Tetrahydrofuran-adducted group II β-diketonate complexes as source reagents for chemical vapor deposition | |
| US6669990B2 (en) | Atomic layer deposition method using a novel group IV metal precursor | |
| JP2004507551A (ja) | ソース材料組成物および化学的蒸着法による基板上への金属膜形成方法 | |
| KR100418164B1 (ko) | 고순도 티탄착체 및 그의 제조방법과 티탄산 바륨 스트론튬막 형성용 액체조성물 | |
| Berry et al. | OMCVD of thin films from metal diketonates and triphenylbismuth | |
| US5641540A (en) | Preparation method for lead-zirconium-titanium based thin film | |
| JP2002302473A (ja) | 非対称型β−ケトイミネートリガンド化合物、その製造方法及びそれを含む有機金属前駆体 | |
| JP2551860B2 (ja) | 薄膜形成用金属錯体 | |
| JP4022662B2 (ja) | ジルコニウムアルコキシトリス（β−ジケトネート）とその製造方法およびＰＺＴ膜形成用液体組成物 | |
| US4982019A (en) | Volatile divalent metal alkoxides | |
| US6037485A (en) | CVD precursors and film preparation method using the same | |
| JP3511228B2 (ja) | エチルシクロペンタジエニル（１，５−シクロオクタ ジエン）イリジウムとその製造方法及びそれを用いた イリジウム含有薄膜の製造方法 | |
| JPH01257194A (ja) | 単結晶薄膜の製造法 | |
| JP4745137B2 (ja) | 薄膜形成用原料、薄膜の製造方法及びハフニウム化合物 | |
| JP2001181840A (ja) | 化学気相成長用銅原料及びこれを用いた薄膜の製造方法 | |
| JP2002069027A (ja) | ハフニウムアルコキシトリス（β−ジケトネート）とその製造方法およびそれを用いた酸化物膜の製法 | |
| KR20050025973A (ko) | 화학 기상 증착 방법에 사용되는 지르코늄 착물 및 이를이용한 박막 제조 방법 | |
| JPH06101049A (ja) | 金属複合酸化物膜の製造方法 | |
| JPH04257592A (ja) | 新規薄膜形成用金属錯体 | |
| JP2004026764A (ja) | 有機チタン化合物及びこれを含む溶液原料並びにこれから作られるチタン含有誘電体薄膜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080822 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |