JPH04132284A - 導波路型リングレーザ及び導波路型リングレーザジャイロ - Google Patents

導波路型リングレーザ及び導波路型リングレーザジャイロ

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JPH04132284A
JPH04132284A JP25390890A JP25390890A JPH04132284A JP H04132284 A JPH04132284 A JP H04132284A JP 25390890 A JP25390890 A JP 25390890A JP 25390890 A JP25390890 A JP 25390890A JP H04132284 A JPH04132284 A JP H04132284A
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JP
Japan
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waveguide
ring laser
light
loop
type ring
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JP25390890A
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English (en)
Inventor
Tomohiro Murakami
知広 村上
Seiji Yasu
安 清治
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SANTETSUKU KK
Sunoco Inc R&M
Original Assignee
SANTETSUKU KK
Sunoco Inc R&M
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野〕 本発明は光ジヤイロの一種である導波路型リングレーザ
及びそのリングレーザを用いたジャイロに関するもので
ある。
(従来技術〕 従来光ジヤイロは機械的なジャイロに比べ高精度で長寿
命なジャイロを構成することができるため、種々の方式
が提案されている。従来の光ジヤイロの中でリングレー
ザジャイロは、ガスレーザ例えばHe−Neレーザを用
いて空間でリング(ループ状の光路)を形成し、サグナ
ック効果によって回転の角速度を検出するようにしたも
のである。ガスレーザを用いたリングレーザジャイロは
高精度で高いダイナミックレンジを有し高いリニアリテ
ィが確保されているため、慣性航法等に実用化されてい
る。
又光ファイバを用いたジャイロとして、位相変調方式、
セロダイン方式、直交偏波方式、パッシブレゾナント方
式等の種々の方式が提案されている。(日経メカニカル
、 1985年6月3日号、第75〜87頁) (発明が解決しようとする課題〕 しかしながらガスレーザを用いたリングレーザジャイロ
では、ガスレーザを使用ししかも空間でループ状の光路
を形成する必要があるため、光学素子に高精度の加工を
必要とする。そのためシステム自体が大型化し高価なも
のになるという欠点があった。又ガスレーザを用いてい
るため寿命が短く、又定期的な点検が必要であった。
−力先レーザジャイロは、パッシブレゾナント方式以外
の方式では数百m以上の光ファイバを使用し、コイル状
に巻いたり光フアイバ同士を融着する必要があり、工数
が複雑で量産性が悪いという欠点があった。又高精度の
信号を得るためには信号処理回路が複雑になり低価格化
が困難であった。又パッシブレゾナント方式の光ファイ
ハシ中イロは光源のループ長を短くすることができるが
、精度を上げるためには光学系及び信号処理系が複雑に
なるという欠点があった。又光源にスペクトル幅の狭い
特殊な光源を必要とするという欠点があった。
本発明はこのような従来のレーザジャイロの問題点に鑑
みてなされたものであって、小型で量産性に冨むレーザ
ジャイロとそのレーザジャイロに用いる導波路型リング
レーザを提供することを技術的課題とする。
〔課題を解決するための手段〕
本願の請求項1の発明は、特定波長に対してゲインを有
する微量元素をドーピングした固体基板に、屈折率が高
いリング状の導波路ループ、該導波路ループに励起光を
導入する導入用導波路、及び該導波路ループから光を出
射させる出射用導波路を有することを特徴とするもので
ある。
又本願の請求項2の発明は、固体基板に、特定波長に対
してゲインを有する微量元素をドーピングして形成され
るリング状の導波路ループ、該導波路ループに励起光を
導入する導入用導波路、及び該導波路ループから光を出
射させる出射用導波路を有することを特徴とするもので
ある。
又本願の請求項4の発明では、リングレーザは第1.第
2の出射用導波路を有し、その一方の導波路に設けられ
るλ/4シフト板と、該λ/4シフト板の出力側に設け
られ該一対の出射路を交叉させる合波部と、を有するこ
とを特徴とするものである。
又本願の請求項5の発明は、請求項1又は2記載のリン
グレーザの励起光の導入用導波路に光を入射する光源と
、出射用導波路内の光信号の合波によって得られる周波
数差を検出する検出手段と、を有することを特徴とする
ものである。
更に本願の請求項6の発明は、請求項4記載のリングレ
ーザの励起光の導入用導波路に光を入射する光源と、リ
ングレーザの出射光をその偏光面によって分離する偏光
ビームスプリッタと、偏光ビームスプリッタより得られ
る相異なる偏光面のレーザ光を夫々電気信号に変換する
一対の受光素子と、一対の受光素子の出力の位相差によ
って方向を判別する方向判別回路と、方向判別回路の出
力によっていずれか一方の出力をアップカウント又はダ
ウンカウントするアップダウンカウンタと、を有するこ
とを特徴とするものである。
〔作用] このような特徴を有する本願の請求項1〜4の発明によ
れば、外部から導入用導波路に励起光を与えることによ
ってリングレーザ自体で一定の周波数でレーザ発振を行
う。そしてリングレーザジャイロ自体がリング状のルー
プの面に垂直な軸に沿って回転しているときには、出射
用導波路から得られるレーザ光の波長はその回転方向と
角速度に応じて変化することとなる。従ってこれらの周
波数差によって回転角速度を検出することができる。又
本願の請求項4の発明では、このリングレーザの一方の
導波路にλ/4のシフト板を設けて直線偏光を円偏光に
変換している。そして本願の請求項5.6の発明では、
その信号を偏光ビームスプリッタによって分離して出力
させることによって方向の判別を可能としている。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例によるリングレーザジャイロ
の主要構成要素である導波路型のリングレーザの構造を
示す図である。本図においてリングレーザlは平板状の
レーザガラス基板2、例えば石英ガラス、ソーダガラス
又はYIG結晶やガラスレーザ用ガラス上に、図示のよ
うな導波路が形成される。導波路は円形のループ3と、
その−端に接して光を入射させる導波路4、これと対象
な位置に円の接線方向に光を出射させるための導波路5
,6が形成される。これらの導波路は例えば希土類金属
、エルビウム(Er)やイツトリウム(Y)、ネオジウ
ム(Nd)等をレーザガラス基板2に微量ドーピングす
ることによって形成される。
そしてこの導波路型リングレーザの一端、側ち導波路4
の端面にリングレーザにエネルギーを与えるための励起
光を照射することによって、導波路ループを構成するド
ーピング媒質に応じた周波数でレーザ発振を起こさせる
ことができる。レーザ発振は励起光の波長とドーピング
物質の吸収波長、及び発光する波長とが一定の関係を満
足するときに生しる。例えば励起光の波長を802nm
、  ドーピング物質をネオジウム(Nd)とすると、
レーザ発光する波長は11054nとなる。この波長は
導波路型リングレーザ1の導波路やループ3の大きさに
無関係に定まる。そしてこのリングレーザ1が静止して
いる場合には、導波路5及び6より出射するレーザ光の
周波数は同一となるが、リングレーザ1自体が矢印A又
はB方向に回転しているときには出射するレーザ光の周
波数差はその回転角速度に比例して大きくなる。従って
その周波数差を何らかの形で取り出すことによってリン
グレーザジャイロとして用いることができる。例えば図
示の導波路5及び6の端面から出射される左回り及び右
回りの光を混合して干渉させることによりそのビート周
波数から回転角速度や回転角を検出することができる。
又導波路型リングレーザは、レーザガラス基板自体に希
土類金属等の微量元素をドーピングして特定波長に対し
てゲインを有する基板とし、この基板上又は基板内に第
1図と同様に円形のループ3と導光用導波路4、出射用
導波路5,6を形成してもよい。この場合にはループ3
や入射用及び出射用の導波路4〜6は基板よりも高い屈
折率を有するように構成する。例えばガラス基板上にチ
タンTiを蒸着し、フォトリソグラフィ法等によって導
波路のマスクパターンを設け、更に拡散源であるAg金
属を蒸着する。そして電気炉内で一定電圧を印加してT
i膜の隙間を通してAgイオンをガラス基板上に拡散さ
せることによって、導波路パターンを形成する。又高屈
折率を有する導波路の形成はこの方法に限らず、導波路
部分のみの屈折率を上昇させる種々の方法によって実現
することができる。
第2図は導波路型リングレーザに方向を判別するための
検出手段を付加して構成したリングレーザジャイロの構
成を示すブロック図である。本実施例におけるリングレ
ーザIAは第1図のリングレーザIと異なりリング3か
ら出力される出力用の導波路5.6を第2図に示すよう
に分離しており、その一方の導波路、例えば導波路6に
λ/4のシフト板11を取付けている。λ/4シフト板
11は、例えば複屈折材料をガラスレーザ基板lに密着
して取付けることにより構成される。そして導波路4の
端面より励起用光を入射するための光源、例えばレーザ
ダイオード12を取付ける。更に導波路6と導波路5と
を交差させて干渉させた状態で光をリングレーザIAよ
り出力するようにしている。導波路5及び6の交差部分
から出射されるレーザ光はレンズ13を介して偏光ビー
ムスプリッタ14に与えられる。偏光ビームスプリッタ
14はP偏光及びS偏光のレーザ光を分離するものであ
って、出射光の光軸に対して45°傾けて取付けられて
いる。そしてP偏光側及びS偏光側の出射部分に一対の
受光素子であるフォトダイオード15.16が配置され
る。フォトダイオード15゜16はレーザ光をその強度
に対応した電気信号に変換するものであって、その出力
はコンパレータ17.18に与えられる。コンパレータ
I7,18は入力信号を二値信号として方向判別回路1
9に与える。この例での方向判別回路19は2つの人力
の位相差に基づいて方向を判別するものであり、判別結
果に基づいてコンパレータ17の出力をアップダウンカ
ウンタ20のアップカウント/ダウンカウントの切換入
力端子(tJ/D)に与える。アップダウンカウンタ2
0はコンパレータ17の出力をアップカウント又はダウ
ンカウントするものである。尚アップダウンカウンタ2
oは、判別結果に基づいてコンパレータ17の出力をア
ップカウント端子又はダウンカウント端子のいずれか一
方に選択的に入力することによって、アップカウント又
はダウンカウントするものを用いてもよい。
次に本実施例の動作について説明する。まず励起用のレ
ーザダイオード12を駆動して導波路型リングレーザI
Aにエネルギーを与える。こうすれば前述したように左
回り及び右回りの光が両側の導波路5.6より得られる
。そして一方の導波路5では図示のように直線偏光のレ
ーザ光が合波部に与えられ、この直線偏光の光は45°
傾いた偏光ビームスプリッタI4に与えられるため直線
偏光E1の光はX、Yの直行成分を用いて以下のように
記述される。
Elに=A、cos(ω1 L+δ、)E 1y= A
 1 cos(ω1  t+δ+)     −−−−
(1)他方の導波路6からも直線偏光のレーザ光が得ら
れ、この信号がλ/4シフト板11によって円偏光E2
に変換される。この円偏光E2はXX方向の成分に分離
して以下のように表現される。
Ezx=A2 cos(ωz  む+62)E 2 y
 :A 2 CO3(ωzt+62+π/2) −−(
2)これらの2つの光を合波部によって合波し偏光ビー
ムスプリッタ14によりX方向(S偏光成分)とX方向
(P偏光成分)の成分1x、Iyに分離すると、以下の
ようになる。
lx =  EIX+EZK  ” =A、”+A2”+ 2 AIA2cos[(ω+ −ωz) t +(δ、
−δ2)1Iy  = l E、、 + E2y i 
2= A 1 ” + A 2 ” + 2 A + A zcO3[((d +  (t) z
) L+(δ8−δ2+π/2]      ・・・・
・−(4)ここでδ、−62を0としても一般性を失わ
ないためこれを0とし、信号の強度A + ” + A
 2 ”を無視してビート信号成分のみを示すと以下の
ようになる。
lx 、、t= 2 At  Az Cos[((dt
  (t)z) t ]・−(5) IVs*、= 2 At  AHCos[((II)l
−(L)Z) t + π/2]= 2 At  At
 sin [(az  adz) t ]・= (6) 従って偏光ビームスプリッタ14によりS偏光及びP偏
光成分が分離されP偏光の信号は偏光ビームスプリッタ
I4を透過してフォトダイオード15により、S偏光成
分は偏光ビームスプリッタ14で反射されフォトダイオ
ード16によって夫々検波されビート周波数の信号が得
られる。従ってビート信号の位相関係は第3図ら)に示
すように右回りのときにはP偏光の波形成形出力を基準
としてS偏光の出力の位相が進んでおり、左回りのとき
にはこの位相が遅れた信号が得られることとなる。従っ
て方向判別回路19によってその方向を判別し、コンパ
レータ17の出力をアップカウント又はダウンカウント
する。そしてこのアップダウンカウンタ20を所定周期
毎にリセットすればリセットする直前のアップダウンカ
ウンタの計数値が角速度信号を示している。又リングレ
ーザが回転を開始して以後アップダウンカウンタ20を
リセットしなければ、回転角度信号が得られる。
第4図は本発明のリングレーザジャイロの他の実施例を
示す図である。本実施例のリングレーザIBは合波部か
ら再び2つの方向に分離した点を除いて第2実施例と同
様である。そして導波路7の出力側にはP偏光成分を透
過させる偏光板21を有するフォトダイオード22を配
置する。又導波路8の出力側にはS偏光成分を透過させ
る偏光板23を介してフォトダイオード24を配置する
こうすればフォトダイオード22はP偏光成分、フォト
ダイオード24はS偏光成分のみが受光される。その他
の構成は前述した第2実施例と同様であり、リングレー
ザジャイロの系がA又はB方向のいずれかに回転すると
きに、その回転角速度や回転角を検出することができる
〔発明の効果〕
以上詳細に説明したように本発明では、ガラス基板上に
導波路によってリング状のレーザを構成している。従っ
て従来の光ジヤイロと異なり、光ファイバを用いること
なくモノリシック化を行うことができる。そのため従来
の光ジヤイロの欠点であった量産性の悪さを大幅に改善
することができる。又信号処理系もパッシブレゾナント
方式のレーザジャイロに比べて簡単で、A/D変換器等
の信号処理系を用いることなくリニアリティが優れた出
力を得ることができる。更に励起用の光源に半導体レー
ザを用いることにより、システム全体を大幅に小型化す
ることができ、低価格化を実現することも可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例によるリングレーザの構成を
示す図、第2図は本発明の第2の実施例によるリングレ
ーザとこのリングレーザを用いたレーザジャイロの全体
構成を示すブロック図、第3図(a)は第2実施例のリ
ングレーザの偏光方向を示す図、第3図(b)はこの実
施例のリングレーザジャイロの出力信号の位相を示すタ
イムチャート、第4図は本発明の第3実施例によるリン
グレーザジャイロを示すブロック図である。 第1図 ノ 1 、  I A、  1 B−−−−−リングレーザ
  2−−一−−レーザガラス基板  3−・−・−ル
ープ  4−−一〜入射用導波路  5,6,7.8−
・−・・−出射用導波路11−−−−−λ/4シフト板
  12−−〜−−レーザダイオード  13−一一−
−レンズ  14−・・−偏光ビームスプリッタ  1
5. 16. 22. 24−一一−−−−フォトダイ
オード  17,1B−・−・−コンパレータ19−−
−−一方向判別回路  20−−−−−−−アップダウ
ンカウンタ21. 23−−−一偏光板 1−−−−・−リンク゛し一寸゛ 2−−−−−−−  L−”j”tfラス幕1艮3−−
−−−−−ルーア 4−−−一・−・X墳1弔4表終 5.6−・−m−と4jl!14農椿 第 図 第 図 (a) 第 図 (b)

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)特定波長に対してゲインを有する微量元素をドー
    ピングした固体基板に、屈折率が高いリング状の導波路
    ループ、該導波路ループに励起光を導入する導入用導波
    路、及び該導波路ループから光を出射させる出射用導波
    路を有することを特徴とする導波路型リングレーザ。
  2. (2)固体基板に、特定波長に対してゲインを有する微
    量元素をドーピングして形成されるリング状の導波路ル
    ープ、該導波路ループに励起光を導入する導入用導波路
    、及び該導波路ループから光を出射させる出射用導波路
    を有することを特徴とする導波路型リングレーザ。
  3. (3)前記微量元素は希土類元素であることを特徴とす
    る請求項1又は2記載の導波路型リングレーザ。
  4. (4)前記リングレーザは第1、第2の出射用導波路を
    有し、その一方の導波路に設けられるλ/4シフト板と
    、該λ/4シフト板の出力側に設けられ該一対の出射路
    を交叉させる合波部と、を有することを特徴とする請求
    項1〜3項のいずれか1項に記載の導波路型リングレー
    ザ。
  5. (5)前記請求項1又は2記載のリングレーザの励起光
    の導入用導波路に光を入射する光源と、前記出射用導波
    路内の光信号の合波によって得られる周波数差を検出す
    る検出手段と、を有することを特徴とする導波路型リン
    グレーザジャイロ。
  6. (6)前記請求項4記載のリングレーザの励起光の導入
    用導波路に光を入射する光源と、前記リングレーザの出
    射光をその偏光面によって分離する偏光ビームスプリッ
    タと、 前記偏光ビームスプリッタより得られる相異なる偏光面
    のレーザ光を夫々電気信号に変換する一対の受光素子と
    、 前記一対の受光素子の出力の位相差によって方向を判別
    する方向判別回路と、 前記方向判別回路の出力によっていずれか一方の出力を
    アップカウント又はダウンカウントするアップダウンカ
    ウンタと、を有することを特徴とする導波路型リングレ
    ーザジャイロ。
JP25390890A 1990-09-21 1990-09-21 導波路型リングレーザ及び導波路型リングレーザジャイロ Pending JPH04132284A (ja)

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Cited By (1)

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