JPH04128662A - Ｉｃの測定方法 - Google Patents
Ｉｃの測定方法Info
- Publication number
- JPH04128662A JPH04128662A JP2250862A JP25086290A JPH04128662A JP H04128662 A JPH04128662 A JP H04128662A JP 2250862 A JP2250862 A JP 2250862A JP 25086290 A JP25086290 A JP 25086290A JP H04128662 A JPH04128662 A JP H04128662A
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- strobes
- strobe
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 5
- 240000007320 Pinus strobus Species 0.000 claims abstract description 38
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ＩＣの測定方法に関し、
出カバレス幅の測定方法に関する。
特にＩＣの
〔従来の技術〕
従来この種のＩＣの測定方法は、ＩＣが多数形成された
ウェーハとブロービング装置のステージに載置し、プロ
ーブでＩＣの入出力端子と接触させ、テスタからＩＣへ
パルスを入力し、ＩＣからの出力データがテスタの期待
値と一致するか否かを、設定したスプリット毎にストロ
ーブを立てて良否判定を行っていた。
ウェーハとブロービング装置のステージに載置し、プロ
ーブでＩＣの入出力端子と接触させ、テスタからＩＣへ
パルスを入力し、ＩＣからの出力データがテスタの期待
値と一致するか否かを、設定したスプリット毎にストロ
ーブを立てて良否判定を行っていた。
上述した従来のＩＣ測定方法では、サイクル内の入力パ
ルスに対し任意の位置にストローブを設定するという方
法をとっているため、入力パルスに対する出力データの
アクセス時間の測定等には適しているが、基準となる入
力パルスに対する出力パルスの遅延時間を測定するＩＣ
の場合、測定条件等によって差があるために、単に複数
のストローブを使用しても出力パルス幅が期待通りの幅
を有しているかどうかの判定は出来ないという欠点があ
る。
ルスに対し任意の位置にストローブを設定するという方
法をとっているため、入力パルスに対する出力データの
アクセス時間の測定等には適しているが、基準となる入
力パルスに対する出力パルスの遅延時間を測定するＩＣ
の場合、測定条件等によって差があるために、単に複数
のストローブを使用しても出力パルス幅が期待通りの幅
を有しているかどうかの判定は出来ないという欠点があ
る。
本発明の目的は、かかる欠点を解消し、ＩＣの出力パル
ス幅を正確に測定出来るＩＣの測定方法を提供すること
である。
ス幅を正確に測定出来るＩＣの測定方法を提供すること
である。
本発明のＩＣ測定方法は、複数のストローブを設定し、
初めにストローブの間隔を期待する出力パルス幅に固定
し、所定の時間又は実際に出力されているパルス幅が見
つかるまで各々の前記ストローブを所定のステップで移
動させながら前記出力パルス幅を測定することを特徴と
している。
初めにストローブの間隔を期待する出力パルス幅に固定
し、所定の時間又は実際に出力されているパルス幅が見
つかるまで各々の前記ストローブを所定のステップで移
動させながら前記出力パルス幅を測定することを特徴と
している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。第１図
（ａ）及び（ｂ）は、本発明のＩＣの測定方法の一実施
例を説明するための入力波形及び出力波形とストローブ
を示す図、第２図は被測定物であるＩＣの模式平面図、
第３図はテスタに設定されるプログラムのタイミングを
示す図である。ここで、説明し易いように、第２図に示
すＩＣＩを被測定物として使用した。として仮定する。
（ａ）及び（ｂ）は、本発明のＩＣの測定方法の一実施
例を説明するための入力波形及び出力波形とストローブ
を示す図、第２図は被測定物であるＩＣの模式平面図、
第３図はテスタに設定されるプログラムのタイミングを
示す図である。ここで、説明し易いように、第２図に示
すＩＣＩを被測定物として使用した。として仮定する。
また、このＩＣＩは、入力端子２から入力されたパルス
を分周して、出力端子３から分周されたパルスを出力す
るという機能をもっている。第１図（ａ＞に示すφ１Ｎ
は、ＩＣテスタからＩＣＩの入力端子２に入力されるパ
ルスである。また、ストローブ４，４ａ、４ｂは第３図
に示すＩＣテスタのスプリット１におけるコンパレータ
判定用のストローブ、ストローブ５．５ａ、５ｂはスプ
リット２におけるコンパレータ判定用のストローブであ
り、第１図（ｂ）に示すＩＣの出力パルスφＯＵＴの出
力値をＩＣテスタの期待値と比較して良否判定するもの
である。
を分周して、出力端子３から分周されたパルスを出力す
るという機能をもっている。第１図（ａ＞に示すφ１Ｎ
は、ＩＣテスタからＩＣＩの入力端子２に入力されるパ
ルスである。また、ストローブ４，４ａ、４ｂは第３図
に示すＩＣテスタのスプリット１におけるコンパレータ
判定用のストローブ、ストローブ５．５ａ、５ｂはスプ
リット２におけるコンパレータ判定用のストローブであ
り、第１図（ｂ）に示すＩＣの出力パルスφＯＵＴの出
力値をＩＣテスタの期待値と比較して良否判定するもの
である。
一方、テスタには、第３図に示すようにプログラム上で
入力波形、ストローブの値をスプリット毎に設定し、ス
プリットを組合せたテストパターンを実行させるように
なっている。さらに、スプリット１とスプリット２を交
互に組合せたテストパターンで、ストローブ４，４ａ、
４ｂ、５．５ａ、５ｂのコンパレータの期待値は、Ｈｉ
ｇｈレベルであり、出力パルスのＨｉｇｈ区間幅が規格
値を満足するかを測定するものである６次に、このＩＣ
の測定方法の手順を説明する。
入力波形、ストローブの値をスプリット毎に設定し、ス
プリットを組合せたテストパターンを実行させるように
なっている。さらに、スプリット１とスプリット２を交
互に組合せたテストパターンで、ストローブ４，４ａ、
４ｂ、５．５ａ、５ｂのコンパレータの期待値は、Ｈｉ
ｇｈレベルであり、出力パルスのＨｉｇｈ区間幅が規格
値を満足するかを測定するものである６次に、このＩＣ
の測定方法の手順を説明する。
入力φＩＮに対し、予想される出力φＯｔ＋Ｔの変化時
間の少し前にスプリット１のストローブ４を設定する。
間の少し前にスプリット１のストローブ４を設定する。
また、スプリット２のストローブ５は、ストローブ４に
対し出力バルスφＯＵ丁のＨｉｇｈ区間の規格幅６の間
隔を取って設定する。この状態でテストパターンを実行
させテストすると、第１図のようにストローブ４の期待
値Ｈｉｇｈに対して出力φ。υＴはＬｏｗであり判定は
Ｆａｉｌとなる０次に、Ｌａ１ｌを解除してストローブ
４，５の値に任意のステップ値を各々加えて、再度テス
トパターンを実行する。
対し出力バルスφＯＵ丁のＨｉｇｈ区間の規格幅６の間
隔を取って設定する。この状態でテストパターンを実行
させテストすると、第１図のようにストローブ４の期待
値Ｈｉｇｈに対して出力φ。υＴはＬｏｗであり判定は
Ｆａｉｌとなる０次に、Ｌａ１ｌを解除してストローブ
４，５の値に任意のステップ値を各々加えて、再度テス
トパターンを実行する。
上記のテストパターンの実行を繰り返し、スプリット１
，２のストローブがそれぞれ４ａ、５ａの位置に設定さ
れたとき、出力φＯＵＴは、ストローブがそれぞれ４ａ
、５ａの両方に対してＨｉｇｈ出力となりテストパター
ンの判定はＰａ５ｓとなり、出力φ０υＴのＨｉｇｈ区
間が規定値６を満足していることが確認できる。よって
この測定はＰａ５ｓとＩＣテスタに判定させる。もし、
出力パルス幅が規定値６を満足しない場合は、あらかじ
め設定した範囲ストローブ４ｂ、５ｂまでテストパター
ンの実行を繰り返し、Ｐａｓ ｓする場所がないことを
確認する。そして、この場合はＦａｉｌとＩＣテスタに
判定をさせる。
，２のストローブがそれぞれ４ａ、５ａの位置に設定さ
れたとき、出力φＯＵＴは、ストローブがそれぞれ４ａ
、５ａの両方に対してＨｉｇｈ出力となりテストパター
ンの判定はＰａ５ｓとなり、出力φ０υＴのＨｉｇｈ区
間が規定値６を満足していることが確認できる。よって
この測定はＰａ５ｓとＩＣテスタに判定させる。もし、
出力パルス幅が規定値６を満足しない場合は、あらかじ
め設定した範囲ストローブ４ｂ、５ｂまでテストパター
ンの実行を繰り返し、Ｐａｓ ｓする場所がないことを
確認する。そして、この場合はＦａｉｌとＩＣテスタに
判定をさせる。
このように、複数の判定ストローブを利用し、従来のＩ
Ｃテスタの測定方法では困難であった出力パルス幅の測
定が可能となる。また、この実施例では分周機能をもつ
ＩＣについて説明したが、遅延機能をもつＩＣやその他
パルスを出力するＩＣのパルス幅の測定に対し有効であ
る。さらに、ストローブの振り幅を入力に対する出力の
アクセス時間の規格値と組合せることにより、ＩＣが決
められたアクセス時間内に、規格を満すパルス幅を出力
できるか等の測定も可能であるとともに同一スプリット
内で複数のストローブを有するテスタにおいても同様の
測定方法が可能である。
Ｃテスタの測定方法では困難であった出力パルス幅の測
定が可能となる。また、この実施例では分周機能をもつ
ＩＣについて説明したが、遅延機能をもつＩＣやその他
パルスを出力するＩＣのパルス幅の測定に対し有効であ
る。さらに、ストローブの振り幅を入力に対する出力の
アクセス時間の規格値と組合せることにより、ＩＣが決
められたアクセス時間内に、規格を満すパルス幅を出力
できるか等の測定も可能であるとともに同一スプリット
内で複数のストローブを有するテスタにおいても同様の
測定方法が可能である。
以上説明したように本発明は、複数のストローブを設定
し、これらストローブの間隔を規定の出力パルス幅に固
定し、これらストローブを所定のステップに移動させ、
ＩＣの出力パルス幅を見つけることによって、正確な出
力パルス幅が測定出来るＩＣの測定方法が得られるとい
う効果がある。
し、これらストローブの間隔を規定の出力パルス幅に固
定し、これらストローブを所定のステップに移動させ、
ＩＣの出力パルス幅を見つけることによって、正確な出
力パルス幅が測定出来るＩＣの測定方法が得られるとい
う効果がある。
第１図（ａ）及び（ｂ）は、本発明のＩＣの測定方法の
一実施例を説明するための入力波形及び出力波形とスト
ローブを示す図、第２図は被測定物であるＩＣの模式平
面図、第３図はテスタに設定されるプログラムのタイミ
ングを示す図である。 １・・・ＩＣ１２・・・入力端子、３・・・出力端子、
４゜４ａ、４ｂ、５．５ａ、５ｂ−ストローブ、６・・
・規格値。
一実施例を説明するための入力波形及び出力波形とスト
ローブを示す図、第２図は被測定物であるＩＣの模式平
面図、第３図はテスタに設定されるプログラムのタイミ
ングを示す図である。 １・・・ＩＣ１２・・・入力端子、３・・・出力端子、
４゜４ａ、４ｂ、５．５ａ、５ｂ−ストローブ、６・・
・規格値。
Claims (1)
- テスタの試験プログラムを設定し、ＩＣにパルスを入力
して出力パルス幅を測定するＩＣの測定方法において、
複数の出力判定用ストローブ（以下ストローブと云う）
を設定し、初めに前記ストローブの間隔を期待する出力
パルス幅に固定し、所定時間又は、実際に出力されてい
る前記出力パルス幅が見つかるまで各々の前記ストロー
ブを所定のステップで移動させながら前記出力パルス幅
を測定することを特徴とするＩＣの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2250862A JPH04128662A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Ｉｃの測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2250862A JPH04128662A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Ｉｃの測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04128662A true JPH04128662A (ja) | 1992-04-30 |
Family
ID=17214121
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2250862A Pending JPH04128662A (ja) | 1990-09-20 | 1990-09-20 | Ｉｃの測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04128662A (ja) |
-
1990
- 1990-09-20 JP JP2250862A patent/JPH04128662A/ja active Pending
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