JPH04126059U - 真空容器開口部用ドアのヒンジ機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 真空容器のドアによりＯリングの全周が均等
に圧縮され、安定したシールの実現と、ドア開閉操作が
容易な真空容器のドアのヒンジ機構を提供する。 【構成】 真空容器４に固定した固定ブロック３に断面
で略長円の長穴５を形成し、回転軸６を挿入してドア１
と連結し、前記固定ブロック３内に回転軸６を長穴５内
でドア１の開放方向に押圧する手段７を設けた真空容器
開口部用ドアのヒンジ機構。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、真空容器開口部を密着シールするドアのヒンジ機構に関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、真空容器に装着されたドアのヒンジ機構として、図４に示す構造が一般 的に知られている。 上記図面で示すドアのヒンジ機構は、真空容器４の側壁に固定ブロック３と真 空容器開口部を密閉シールするＯリング２が装着されたドア１に固着した回転軸 受５とを回転軸６にて連結し、前記回転軸６を回転中心としてドア１を開閉させ る。一方、前述したヒンジ機構と反対側に配置されたドアロックは、真空容器壁 ４に固定された固定ブロック７と、先端にネジ結合したツマミ８を有するロック 軸９を回転軸１０で連結しドア１と一体化されたブロック１１を前記ツマミ１０ を回転させることにより、ドア１を真空容器面に押し付け、よって、ドア１に装 着されたＯリング２を真空容器面に密着シールする構造である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】

しかし、従来の構造ではドアを閉じるとき、図５で示す状態となる。 すなわち、Ｏリングのヒンジ側が真空容器面に接し、Ｏリングのロック側は、 真空容器面とＯリングは完全に離れている。その状態にて、ロック軸をドアと一 体化されたブロックの溝に入れ、ツマミを回転しＯリングを徐々にヒンジ側から ロック側へ圧縮させ、真空容器面へＯリングを全面密着させる。

【０００４】 一般的に真空シールに必要なＯリングのツブシ代はＯリング太さの２０％であ り、Ｏリングの反撥力は真空容器の開口部が大きくなるほど過大な力となる。Ｏ リングのヒンジ側はモーメント的に小さな力で簡単に圧縮できるが、ロック機構 側に近づくにつれて、その反撥力は大きくなる。 このため、ツマミの回転力と過大な力を要し、Ｏリング全周が均等に圧縮出来 ず、かつ、完全にＯリングを圧縮出来ず、一般的にいう片締めの状態となり、リ ークの可能性が発生する。

【０００５】 さらに、ドアの開閉の都度、ロック軸をドアと一体となっているブロックに着 脱しなければならず、かつ、過大な力でツマミを回転させるなどドアの開閉が容 易ではない。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記の課題を解決するため、ドアの端部に形成した穴と、真空容器に 固定した固定ブロックに形成した長穴に回転軸を挿入し、ドアと固定ブロックを 連結せしめ、前記回転軸の直下に回転軸を押圧する手段を設けることにより、ド アに装着されたＯリングが真空容器面に均等に接するとともにＯリングの圧縮量 もＯリング全周にわたり均一となり、真空容器開口部が完全密着シールされ、か つ、ドアの開閉操作が容易に実行可能とした。

【０００７】

【作用】

上記のように構成した真空容器ドアのヒンジ機構において、回転軸を押圧する 手段により、ドアの穴に挿入された回転軸は、固定ブロックの長穴の上面へ押し 付けられている。ドアを閉めたとき、ドアに装着されているＯリングが真空容器 面に全周にわたり接しているか、あるいは、Ｏリング太さの数％圧縮した状態と なるように、固定ブロックが真空容器へ固定されている。上記のようにセットさ れたドアを閉める力は微少である。次に、真空容器を真空引きすると、ドアには 真空容器開口部面積に容器内外の圧力差圧が加わり、前記力によりドアは押され て、真空容器面へ密着しＯリングは全周にわたり均一に圧縮され、真空容器開口 部は完全にシールされる。このとき、ドアの穴に挿入されている回転軸は固定ブ ロックの長穴に沿って下移動する。

【０００８】 次に真空容器を大気圧に戻し、ドアを開けるときはドアを真空容器面へ押し付 ける力は働かない。回転軸は押圧されているため、ドアは回転軸が固定ブロック の長穴上面に当たるまで押し上げられ、初期の状態、すなわちＯリングが真空容 器面に全周にわたり接している状態かＯリングを数％圧縮している状態となる。

【０００９】

【実施例】

以下、この考案の実施例を図１〜図３を用いて説明する。 図１は、本考案の真空容器開口部用ドアのヒンジ機構の正面図であり、図２は 図１の左側面図、図３は図１のＡ−Ａ′断面図である。 図１〜図３に於いて、１はＯリング２を装着したドア、３は真空容器４の側壁 に固定されたＴ字形状の固定ブロックである。この固定ブロック３の突出部には 、貫通孔５が形成され、この貫通孔５に回転軸６が挿通されてドア１と固定ブロ ック３は回転軸６により連結されている。

【００１０】 そして、貫通孔５は断面で回転軸６のほぼ軸幅の略長円となっている。 さらに固定ブロック３には、回転軸６を長孔５内で長手方向に押圧するプラン ジャー７が装着され、回転軸６をドア１の開放方向に押圧している。 前述したヒンジ機構の反対側には、ドアロック機構が配置されている。 すなわち、ドア１に装着されたピン８に挿入され、引張りバネ９にて回転力を 与えられたツメ１０が真空容器４の側壁に装着されたロックピン１１に係合し、 ドア１はロックされている。

【００１１】 図３は、真空容器４内が大気圧の状態を示した図であり、ドア１に装着された Ｏリング２が真空容器面へ全周にわたり接している。従って、Ｏリングは圧縮さ れておらず、ドア１と真空容器面にはスキＳが存在する。 真空容器４内を真空にすると、ドアには真空容器開口部面積に外圧（矢印）が 加わり、Ｏリング２を均等に圧縮し、真空容器４の開口部を密着シールする。こ のとき、プランジャ７にて押圧されている回転軸６は、固定ブロック３に形成さ れた長穴５に沿って移動する。

【００１２】 真空容器４内を大気圧に戻すと、ドア１に加わる外力は無くなり、Ｏリング２ の反撥力及び、プランジャ７の力により、図３に図示した状態へ復帰する。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したようにドアを閉め、真空容器の開口部を密着シールするとき、Ｏ リング全周が均等に圧縮され、安定したシールが実現出来るとともに、ドアを閉 める力を必要とせず、極めて簡単に操作可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の実施例を示す正面図である。

【図２】図１の側面図である。

【図３】図１のＡ−Ａ′断面図である。

【図４】従来例の構造図である。

【図５】従来例の動作説明図である。

【符号の説明】

１ ドア ２ Ｏリング ３ 固定ブロック ４ 真空容器 ５ 長孔 ６ 回転軸 ７ プランジャ ８ ピン ９ 引張りバネ １０ ツメ １１ ロックピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 渡邊 幸弥 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内 (72)考案者 中村 忠 東京都江東区亀戸６丁目31番１号 セイコ ー電子工業株式会社内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器の開口部をシール材を介して密
   閉するドアのヒンジ機構において、ドアの端部に形成さ
   れた穴と、真空容器に固定した固定ブロックに形成した
   断面略長円の長孔に回転軸を挿入して前記ドアと固定ブ
   ロックを連結し、前記回転軸を前記長孔の長手方向に押
   圧する手段を前記固定ブロック内に設け、この押圧する
   手段によりドアを開放方向に押圧するようにしたことを
   特徴とした真空容器開口部用ドアのヒンジ機構。