JPH04126047U

JPH04126047U - 防振架台の空気バネ交換機構

Info

Publication number: JPH04126047U
Application number: JP4020791U
Authority: JP
Inventors: 和博加藤; 登堀江; 浩一浅見
Original assignee: 日立電子エンジニアリング株式会社
Priority date: 1991-05-01
Filing date: 1991-05-01
Publication date: 1992-11-17
Anticipated expiration: 2006-05-01
Also published as: JP2511707Y2

Abstract

(57)【要約】【目的】防振架台の防振用の空気バネを容易に交換で
きる機構を提供する。【構成】防振架台を構成するフレーム３の上面に設け
られた固定板31に、空気バネ５の底板51と同一の形状
で、空気バネが上下方向に通過できる通過孔311 を設
け、また、フレームの４隅に固定された４個のボルト62
と、各ボルトに噛合したナット63、およびベース盤４に
固定され、４個のボルト62がそれぞれ移動自由に嵌入す
るバカ孔を有する４個のブラケット61とよりなるベース
盤の昇降機構６を設けて構成される。【効果】検査装置の撤去作業と、重量の重いベース盤
を高く持ち上げる作業を必要とせず、容易に空気バネを
交換できる。またバカ孔によりフレームの振動がベース
盤に伝達されないので、空気バネの防振効果に影響しな
い。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は精密な検査装置を支持する防振架台に設けられた空気バネの交換機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

半導体部品の検査装置は精密な構成体であって振動が厳禁されており、防振構造の架台上に載置されて使用される。図２は防振架台の構造の一例を示し、(a) は一部を破断した外観を、(b) は一部の断面をそれぞれ示す。架台１０は方形のフレーム３に、４個の空気バネ５を介してベース盤４を取り付けて構成され、ベース盤の上に載置された精密な検査装置２０を防振して支持するものである。架台の構造を詳しく述べると、各空気バネはフレームを構成する角パイプ32の上面に設けられた固定板31に、固定ボルト33を用いて固定され、フレームの４隅の取り付け孔41の４箇所に配置されて固定ボルト43により頭部がベース盤に固定される。ベース盤４は鋳物製で、下面に補強用のリブ42が平行に設けられ、各空気バネはこのリブの間に介在している。 (c) は空気バネ５の外観を示し、その底板51には対称的な４方向に取り付け部52 が、また頭部にはボルト孔53がそれぞれ設けてある。ここで、ベース盤の防振作用について述べると、ベース盤は鋳物製として重量を重くし、空気バネを併用して防振効果を挙げているもので、その寸法が例えば１メートル角の大きさの場合は重量は百数十キログラム、またはそれ以上に達するものである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記の防振架台において、もし空気バネが故障した場合、これを交換するには、空気バネがベース盤４のリブ42の間に介在しているために直接外側に取り出すことができない。そこで、まず検査装置２０を撤去し、ついで固定ボルト43を取り外してベース盤４を交換可能な高さまで持ち上げることが必要である。しかし、交換のためにわざわざ検査装置を撤去することは非能率であり、また重量の重いベース盤の持ち上げ作業は数人の人手が必要で、これまた非能率である。これに対して、固定板31になんらかの工作を施して、この部分より下側に空気バネを出し入れする方法をとれば、交換作業は極めて容易となる。ただし、空気バネはベース盤の重量により押圧されているので、ベース盤を僅かでも持ち上げることが必要である。この考案は、上記の考えにより架台の空気バネを容易に交換できる機構を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

この考案は、上記の目的を達成する空気バネの交換機構であって、上記の固定板に、空気バネの底板と同一の形状で、空気バネが上下方向に通過できる通過孔を設ける。また、フレームの４隅に固定された４個のボルトと、これにそれぞれ噛合するナット、およびベース盤に固定され、４個のボルトがそれぞれ移動自由に嵌入するバカ孔を有する４個のブラケットとよりなるベース盤の昇降機構を設けて構成される。

【０００５】

【作用】

上記の交換機構においては、昇降機構のブラケットに設けたバカ孔により、フレームの振動がベース盤に伝達されることがなくて空気バネの防振効果に影響しない。次に、空気バネを交換するには、まず、空気バネの頭部の固定ボルトを取り外してから、昇降機構の４個のナットを順次に少しづつ回転して上昇すると、これらがブラケットを上方に押圧してベース盤が少し持ち上がる。ついで、固定ボルトを取り外すと空気バネは通過孔を通して下方に抜き出すことができる。空気バネを取り付ける場合は、上記の逆方向に行う。なおこの場合、検査装置を撤去する必要がないことは言うまでもない。

【０００６】

【実施例】

図１はこの考案の一実施例を示し、(a) はフレーム３の固定板31に設けた通過孔311 の形状、(b) はベース盤４の昇降機構６をそれぞれ示す。図１(a) において、固定板31の通過孔311 は、空気バネ５の底板51とほぼ同一の直径の円形とし、空気バネの４個の取り付け部52に対応した切り欠き部312 を設ける。固定板には、切り欠き部と直角方向に空気バネの取り付け部に対する４個の取り付け孔313 を設ける。空気バネは取り付け孔の下側より固定ボルト54を通して固定する。次に、(b) の昇降機構６は、フレーム３の４隅の適当な位置に昇降用の４本のボルト62を固定し、それぞれにナット63を噛合する。また、ベース盤４には各ボルト62に対応したブラケット61を固定し、それぞれにボルト62が自由に移動できるバカ孔を設ける。このバカ孔により、フレームの振動はベース盤に伝達されず、空気バネの防振効果に影響しない。

【０００７】空気バネの交換作業は、まず、各固定ボルト43を緩めて取り外し、各ナット63 を順次に回転してベース盤を少し持ち上げる。ついで、取り付け部52より固定ボルト54を取り外して空気バネをフリーとし、９０°回転すると取り付け部52が切り欠き部312 の位置に来るから、空気バネは通過孔を通って下方に抜き出される。次に、上記の逆方向の作業により、新しい空気バネを通過孔より挿入して回転し、固定ボルト54により固定板に固定し、ベース盤を下降して固定ボルト43により空気バネの頭部をベース盤に固定する。以上により空気バネは交換される。

【０００８】

【考案の効果】

以上の説明のとおり、この考案による交換機構によれば、検査装置の撤去作業と、重量の重いベース盤を高く持ち上げる作業を必要とせず空気バネが容易に交換され、また昇降機構は空気バネの防振効果に影響しないように考慮されたもので、防振架台の保全作業に寄与するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の一実施例を示し、(a) は固定板31
に設けた通過孔311の形状、(b) はベース盤４の昇降機
構６をそれぞれ示す。

【図２】防振架台の構造の一例を示し、(a) は一部を
破断した外観図、(b) は一部の断面図、(c) は空気バネ
の外観図をそれぞれ示す。

【符号の説明】

１０…防振架台、２０…検査装置、３…フレーム、31…
固定板、311…通過孔、312 …切り欠き、313 …取り付
け孔、32…角パイプ、33…固定ボルト、４…ベース盤、
41…取り付け孔、42…リブ、43…固定ボルト、５…空気
バネ、51…底板、52…取り付け部、53…ボルト孔、54…
固定ボルト、６…昇降機構、61…ブラケット、62…ボル
ト、63…ナット。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】上面に固定板を有するフレームと、該フ
レームの４隅で、底面の対称的な４方向に設けられた取
り付け部により、該固定板に固定ボルトにより固定され
た４個の防振用の空気バネと、該４個の空気バネの頭部
に固定ボルトによりそれぞれ固定され、下面に補強用の
リブを有する鋳物製のベース盤とよりなり、該ベース盤
上に精密な検査装置を載置して支持する防振架台におい
て、前記固定板に、前記空気バネの底板と同一の形状を
有し、前記空気バネが上下方向に通過できる通過孔を設
け、かつ、前記フレームの４隅に固定された４個のボル
トと、該ボルトにそれぞれ噛合したナット、および前記
ベース盤に固定され、該４個のボルトがそれぞれ移動自
由に嵌入するバカ孔を有する４個のブラケットよりなる
前記ベース盤の昇降機構を設けて構成されたことを特徴
とする、防振架台の空気バネ交換機構。