JPH04118019A - ガス中の成分吸着体 - Google Patents

ガス中の成分吸着体

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JPH04118019A
JPH04118019A JP2237806A JP23780690A JPH04118019A JP H04118019 A JPH04118019 A JP H04118019A JP 2237806 A JP2237806 A JP 2237806A JP 23780690 A JP23780690 A JP 23780690A JP H04118019 A JPH04118019 A JP H04118019A
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adsorbent
solvent
adsorption
adsorption tower
honeycomb
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Koki Usui
臼井 光基
Osamu Yoshiguchi
吉口 理
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Kobe Steel Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明はフロン等の溶剤を含有する処理ガスからこの溶
剤を回収する溶剤回収装置又は空気中から水分を除去す
る除湿装置等の分離精製回収装置に使用され、低温で処
理ガス中の特定成分を吸着し、高温で吸着成分を脱着す
るガス中の成分吸着体に関する。
〔従来の技術] 近時、環境汚染に対する関心が高まり、環境保全の見地
から規制が強化されて炭素廃棄物の大気中への放出が禁
止される傾向にある。とりわけ、塩素を有するフロンガ
スによる大気汚染が地球的規模で重大な問題として注目
されており、このためフロンガスの排出規制がなされよ
うとしている。
このフロンガス排出規制においては、将来的にはフロン
ガスの全面使用中止が唱われているものの、その代換品
が開発される迄の現状の期間においては、従来大気に放
散されていたフロンガスを系外へ排出しないように回収
して再使用することを次善策としている。このため、種
々の溶剤回収装置が開発されている。
従来のバッチ式の溶剤回収装置においては、例えばベレ
ット状に成形された活性炭からなる吸着材を貯留した複
数基の吸着塔に、選択的に且つ交互に溶剤含有ガスを通
流させて吸着塔内の吸着材に溶剤を吸着させ、これによ
り清浄ガスを得ている。そして、溶剤吸着後の吸着塔内
の吸着材には高温の水蒸気を通流させ、この水蒸気によ
り吸着材を加熱することにより、吸着材から溶剤を脱着
させて吸着材を再生する。このように、複数基の吸着塔
にて吸着と脱着とを交互に繰り返すことにより、溶剤含
有空気から溶剤が除去されて清掃空気が得られる。なお
、必要に応して、脱着工程を終了した吸着塔には常温等
の低温の冷却ガスを通流させ、吸着材を冷却してその吸
着効率を高めた後に、吸着工程に移るようになっている
しかしながら、このような従来の溶剤回収装置において
は、吸着材の再生に水蒸気を使用するために、溶剤の分
解つまり酸の発生を回避することが困難であるという欠
点がある。即ち、フロン等の溶剤が水蒸気に曝された条
件下で活性炭に吸着されたまま長時間経過すると、溶剤
の一部が分解し、塩酸及びフ・ッ酸が発生する。そうす
ると、回収溶剤中の溶剤純度の低下、並びに排水及び浄
化ガス中への酸の混入等の問題が生じる。また、アルコ
ールを含む共沸混合溶剤を回収する場合は、アルコール
は水分に溶は込み、その殆どの部分が多量に排出される
排水と共に排出されてしまうため、排水中のBOD、C
OD対策を講じる必要がある等の問題点もある。
このため、電気加熱により吸着材を再生することが試み
られている。この場合は、吸着材の周囲にコイル状の電
気ヒータを配設し、このヒータを適宜の電源に接続して
抵抗発熱させ、この熱により吸着材を加熱して吸着材か
ら溶剤を脱着させる。
しかし、この加熱方法は、吸着材を周囲から加熱するた
めに、吸着材の加熱効率が低いという欠点がある。
そこで、本願発明者等は吸着材の再生に水蒸気を使用し
ないと共に加熱効率が高い溶剤回収装置を提案した(特
願平1−144987号)。この溶剤回収装置は吸着材
をシートヒータにより加熱するようにしたものであり、
第3図にその一例を示す。即ち、2基の吸着塔1,2は
、第4図乃至第6図に示すように、角筒状のハウジング
51内に、吸着体40を収納して構成されている。そし
て、この吸着体40の両端部の近傍には、繊維活性炭の
シート55を夫々パンチング孔を穿設した1対のパンチ
ング板54で挟んだ構造の積層体を、吸着体40の各端
部から若干離隔させて配置しである。
この積層体は吸着塔1(2)内に導入された空気を整流
して吸着材40内に均一な流量分布で通流させる整流部
材である。また、ハウジング51の両端部にはガス導入
口又は排出口を有する夫々蓋52.53が取り付けられ
ている。
吸着体40は複数個の活性炭吸着材41間にシートヒー
タ42を介装させて配置したものである。
そして、このシートヒータ42に通電することにより抵
抗発熱させ、これにより、シートヒータ42に接した吸
着材41を加熱するようになっている。/−トヒータ4
2に対する通電を停止することにより吸着材41は放冷
される。
処理ブロア3には、配管21を介してフロン等の溶剤を
含有する空気が供給される。そして、この処理ブロア3
は配管22を介して冷却器4に連結され、冷却器4は配
管23と、この配管23から分岐した配管23a、23
bとにより夫々第1及び第2の吸着塔1,2に連結され
ている。溶剤含有空気は処理ブロア3により配管22,
23゜23a、23bを介して第1及び第2の吸着塔1
゜2に選択的に送り込まれる。冷却器4には冷却水が供
給され、これにより吸着塔1,2内に送り込まれる溶剤
含有空気を予め冷却するようになっている。なお、配管
23a、23bには、夫々開閉弁Vl、V3が介装され
ている。
第1及び第2の吸着塔1,2から排出された浄化空気は
配管24a、24b及びこれらの配管24a、24bが
連結された基幹配管24を介して大気中に排出される。
この配管24a、24bには夫々開閉弁V2.V4が介
装されている。
また、配管24は配管26a、27aと配管26b、2
7bとを介して夫々第1及び第2の吸着塔1,2の各一
方の端部に連結されている。配管26a、26bには夫
々大気開放弁v6.V8が介装されており、配管27a
、27bには夫々キャリア空気の流量調整弁V IO+
 V IQが介装されている。そして、第1及び第2の
吸着塔1,2の各他方の端部には夫々配管25a、2,
5bと配管28a、28bとが連結されている。配管2
5a。
25bは配管25に合流しており、この配管25は配管
22に連結されている。そして、配管25には配管25
a、25bを介して吸着塔1,2内の空気を吸引する冷
却ブロア5が介装されており、配管25a、25bには
夫々開閉弁V5.V7が介装されている。
更に、配管28a、28bは配管28に合流し、この配
管28を介して分離器8に連結されている。
そして、この配管28には真空ポンプ6と冷却器7とが
介装されており、配管28a、28b、28を介して真
空ポンプ6により吸着塔1,2内の空気を吸引し、冷却
器7によりこの吸引空気を冷却した後、分離器8に送給
するようになっている。
冷却器7にはチル冷却水が供給され、真空ポンプ6によ
り吸引された吸着塔1,2内の溶剤含有空気はこのチル
冷却水により冷却されてその溶剤含有空気中の溶剤及び
水分か凝縮され、これらの凝縮した溶剤液及び水が、未
凝縮溶剤を含む空気と共に分離器8に供給される。
分離器8においては、水と溶剤液とが分離され、溶剤液
はタンク9に集められて回収される。水分は分離器8か
ら排出される。一方、未凝縮の溶剤を含有する空気は、
配管29を介して配管21に返戻され、処理空気と共に
再度吸着及び脱着工程に供される。
次に、上述の如く構成された溶剤回収装置の動作につい
て説明する。
先ず、第1の吸着塔1に収納されている吸着体が再生後
のもので活性状態にあり、第2の吸着塔2に収納されて
いる吸着体か吸着後のもので溶剤を十分に吸着している
状態にあるとする。従って、第1の吸着塔1が吸着工程
、第2の吸着塔2が脱着工程を実施することになる。こ
の場合は、開閉弁V1.V2 を開、開閉弁V、、V6
及びV、 を閉にする。流量調整弁V、。+VI。は、
吸着塔内減圧時に所定の再生ガスが通流するように設定
しておく。マタ、開閉弁v3.v4.v7.v、を閉、
開閉弁V++を開にし、流量調整弁V12を所定の開度
に設定してこの流量調整弁v1□を介して所定の流量の
再生ガスを通流させる。また、処理ブロア3は常に駆動
されており、真空ポンプ6及び冷却洗浄ブロア5は選択
的に駆動される。なお、この工程の当初は真空ポンプ6
が動作状態、冷却洗浄ブロア5が動作停止状態にある。
そうすると、溶剤含有空気は配管21を介してブロア3
により吸引され、配管22を介して冷却器4に供給され
て冷却される。これにより、溶剤含有空気は吸着材によ
る吸着効率が高い低温に降温した後、ブロア3により配
管23.23aを介して第1の吸着塔1に送り込まれる
。吸着塔1内には吸着体40が収納されていて、溶剤含
有空気は吸着体40の吸着材41を通流してその含を溶
剤が吸着材41に吸着される。溶剤が除去されて浄化さ
れた清浄空気は配管24a、24を介して大気に排出さ
れる。
一方、第2の吸着塔2においては、真空ポンプ6により
配管28,28bを介して吸着塔2内が吸引され、配管
24を通流している浄化空気が流量調整弁V12を介し
て所定の流量で導入される。
そして、吸着塔2内の吸着体40においては、そのシー
トヒータ42に通電することによりシートヒータ42を
抵抗発熱させ、このシートヒータ42に接する吸着材4
1を加熱する。これにより、この吸着材41に吸着され
ていた溶剤が脱着され、流量調整弁VI2を介して吸着
塔2内に導入された浄化空気をキャリアガスとして吸着
材41から脱着された溶剤が真空ポンプ6により吸引さ
れて冷却器7に供給される。この溶剤が濃縮された吸着
塔2の排出空気は冷却器7にてチル水により冷却され、
排出空気中の溶剤及び水分が凝縮されて溶剤液及び水と
なって分離器8に供給される。未凝縮溶剤を含有する空
気は分離器8から配管29を介して配管21に返戻され
、配管21を介して送り込まれた溶剤含有空気と共に、
処理ブロア3により吸着工程を実施している第1の吸着
塔1に導入される。従って、冷却器8にて溶剤濃縮空気
から溶剤及び水分を凝縮させた後の未凝縮溶剤を含有す
る空気は第1の吸着塔1に供給されて未凝縮溶剤が吸着
除去される。分離器8においては、溶剤液と水とが比重
分離され、水は排出されると共に、溶剤液はタンク9に
回収される。
次いで、第2の吸着塔2内の吸着材から溶剤を十分に脱
着した後、第1の吸着塔1は吸着工程を実施したままの
状態で、第2の吸着塔2を脱着工程から冷却工程に移行
させる。即ち、弁Vl+V2.V5.V6.Ve 及び
弁V3 、 V4 LLソノままで、開閉弁■8を開、
開閉弁v、Iを閑にする。
こうすることによって、それまで減圧されていた吸着塔
2内に、配管26bを介して空気が供給されて常圧とな
る。次いで、他の開閉弁はそのままで開閉弁■8を開、
開閉弁V4.V7を閑とする。
また、真空ポンプ6は動作を停止させ、冷却洗浄ブロア
5は動作を開始させる。そうすると、第2の吸着塔2内
には、配管24を通流している浄化空気が冷却洗浄ブロ
ア5に吸引されて、配管24bを介して導入される。こ
の浄化空気は冷却ガスとして第2の吸着塔2内の吸着材
を冷却した後、配管25b、25を介して配管22に返
戻され、溶剤含有空気と共に第1の吸着塔1に供給され
る。
これにより、第2の吸着塔2内を通流したときに冷却ガ
ス中に混入した溶剤を第1の吸着塔1内の吸着材に吸着
させて除去する。
その後、第1の吸着塔1を脱着工程、第2の吸着塔2を
吸着工程に切り替え、爾後このような動作を交互に繰り
返して溶剤含有空気から溶剤を回収する。
このようにして、酸の発生の虞がある水蒸気を使用せず
に、且つ、比較的高効率で吸着材を再生することができ
る。
而して、このような溶剤回収装置に使用する吸着体40
は、凹凸面を有するハニカム吸着材41と、シートヒー
タ42との間を処理ガスが通過することを防止するため
、通常、ハニカム吸着材41とシートヒータ42とは接
着剤により接着固定されている。また、シートヒータ4
2は絶縁平板の内部に加工されているため、その熱分散
性を高めるために更にその表面に金属製薄板を接着加工
する場合もある。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、上述した溶剤回収装置等に使用される吸
着体においては、その原理上、加熱効率が吸着体の周囲
に電気ヒータを配設したものに比して向上するものの、
十分に高い加熱効率が得られているとはいえない。
即ち、吸着材41とシートヒータ42とは、両者間の間
隙を埋めるために、接着剤で固定されているが、この接
着剤を構成する樹脂は熱伝導性が悪い。このため、シー
トヒータ42の熱が迅速に吸着材41に伝達されない。
また、ハニカム活性炭は金属に比して成形が容易ではな
いため、吸着材41の成形精度が十分でなく、このため
、多数の吸着材41の相互間にシートヒータ42を吸着
材41との間で隙間が生じないように配置することは極
めて困難である。このため、熱伝導性が悪い接着剤を大
量に使用することになり、また吸着体組み立て時の作業
工数が増大する。
更に、吸着材41を加熱することにより、ステンレスか
らなるハウジング51も加熱されるため、エネルギーロ
スが大きいと共に、吸着材41の昇温に時間がかかる。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、
シートヒータから吸着材への熱伝導性を向上させること
ができ、ハニカム成形体の寸法公差にも拘らず、シート
ヒータと吸着材との間を処理ガスが通流しないように遮
蔽することができ、従来よりも更に一層加熱効率が高い
と共に、低コストで実用性が高いガス中の成分吸着体を
提供することを目的とする。
[課題を解決するための手段] 本発明に係るガス中の成分吸着体は、複数個のハニカム
吸着材と、この複数個のハニカム吸着材を収納するベー
クライト製の収納ケースと、前記ハニカム吸着材の相互
間に配置されたシートヒータと、このシートヒータと前
記ハニカム吸着体との間に介装され前記ハニカム吸着材
よりも熱伝導性が高い伝熱性緩衝材とを有することを特
徴とする。
〔作用] 本発明においては、シートヒータと、ハニカム吸着材と
の間に、熱伝導性が高い緩衝材を介在させて複数個のハ
ニカム吸着材を配置しである。この緩衝材は前記ハニカ
ム吸着材よりも熱伝導性が高いため、7−トヒータから
発生した熱は迅速にハニカム吸着材に伝達される。即ち
、緩衝材における熱伝達はハニカム吸着材における熱伝
達よりも速いため、シートヒータにて発生した熱は緩衝
材にて滞留することはなく、その熱伝達はハニカム吸着
材内部で律速される。このため、吸着材の迅速な昇温か
可能である。
また、この吸着材はベークライト製の収納ケースに収納
されている。このため、ベークライトの断熱効果により
、/−トヒータから発生した熱のハウジングへの伝達が
抑制され、吸着材の昇温速度がより一層向上する。
更に、この緩衝材は可視性を有し、/−トヒータと、吸
着材との間に、この両者間の隙間の形状に合わせて変形
して介在するので、シートヒータと吸着材との間には隙
間が実質的に存在しない。
このため、処理ガスが吸着材を通過せずに吸着塔の内部
を通流してしまうことを防止できる。なお、この緩衝材
としては、炭素繊維からなるフェルト状シートを使用す
ると、このフェルト状シートの内部を通気するときの圧
力損失が高いために、上述の効果を確実に得ることがで
きる。
更にまた、この緩衝材が介在しているために、ハニカム
吸着材の成形時に発生する寸法公差が緩衝材の変形によ
り吸収される。従って、この複数個のハニカム吸着材を
吸着塔のハウジング内に配置する作業が容易になり、作
業工数の削減及び処理コストの低減を図ることができる
次に、収納ケースの材質の限定理由について説明する。
本発明においては、ハニカム吸着材を緩衝材に密着させ
ることにより熱伝導効率を改善するため、ハニカム吸着
材を適宜の圧力で押圧する必要がある。従って、収納ケ
ースの材質としては、この適宜の圧力により変形しない
程度の強度を有している必要がある。また、収納ケース
はフロン等の溶剤及びこれらが僅かに分解して生成され
る塩酸、フッ酸等の酸に曝されるため、収納ケースの材
質としては、耐溶剤性及び耐酸性が良好であることが必
要である。更に、吸着材の再生時には150°C以上の
温度に曝されるため、この再生時の温度以上の温度にお
ける耐熱性を有していることが必要である。更にまた、
収納ケースには断熱性が要求されるため、収7納ケース
の材質としては、熱抵抗が大きいことが必要である。更
にまた、シートヒータは絶縁されているが、ハニカム吸
着材及び炭素繊維からなるフェルト状シートは導電体で
あるため、ヒータの絶縁が破壊された場合には漏電する
虞れがある。従って、収納ケースの材質としては、電気
絶縁性が高いことが好ましい。
ところで、−船釣なプラスチック系の材料は、強度、熱
抵抗及び電気絶縁性は良好であるものの、耐溶剤性及び
耐熱性が十分ではない。また、−船釣なゴム系の材料は
、耐熱性、熱抵抗及び電気絶縁性は良好であるものの、
強度、耐酸性及び耐溶剤性が十分ではないという欠点が
ある。更に、テフロンはこれらの条件を満たしているも
のの、材料コストが高いという欠点がある。一方、ベー
クライト(フェノール樹脂)は、上述の条件を満たして
いると共に、材料コストが低い。従って、収納ケースの
材質はベークライトとする。
[実施例コ 次に、本発明の実施例について添付の図面を参照して説
明する。
第1図は本発明の実施例に係る吸着体を示す平面図、第
2図は同しくその一部を拡大して示す斜視図である。
吸着体30は複数個の吸着材31及びこの吸着材31を
収納する収納ケース35等により構成されている。収納
ケース35は2枚の仕切り板にょりその内部が3つの部
屋に分割されており、各部屋には夫々複数個の吸着材3
1が配列されて装入されている。また、この吸着材31
は、収納ケース35内において、縦方向に例えば3段に
積み重ねられている。
吸着材31は主成分が活性炭からなり、ハニカム状に成
形されている。そして、各列において、隣接する吸着材
31の相互間に、シートヒータ32と緩衝材としてのフ
ェルト状シート33との積層体が介装されている。この
積層体はシートヒータ32を1対のフェルト状シート3
3により挟み込んだ構造ををする。従って、シートヒー
タ32とハニカム吸着材31との間には夫々フェルト状
シート33が介装されている。
シートヒータ32は、例えば絶縁基板に抵抗体をプリン
ト成形した後、この抵抗体をシリコンゴム等で被覆して
電気的に絶縁して形成されている。
そして、このシートヒータ32には適宜の電源に接続す
るためのリード線34が接続されている。
一方、フェルト状シート33はこの7−トヒータ32よ
りも熱伝導性が晶い材料で作られている。
このフェルト状シート33としては、活性炭繊維をフェ
ルト状にしたものがある。
収納ケース35はベークライト製の4枚の側板と2枚の
仕切り板とにより組み立てられている。
そして、複数個の吸着材31をその厚さ方向の両側から
挟み込み、適宜の圧力で押圧するようにして組み立てら
れている。これにより、吸着材31、シートヒータ32
及び、フェルト状シート33が相互に密着される。収納
ケース35は、側板及び仕切り板を例えばL字型の金具
で接合することにより組み立ててもよいし、側板及び仕
切り板同士を直接ねじ止めして組み立ててもよい。また
、ノ1ウジング内面と収納ケース35との間には/リコ
ンコーキング材が充填されており、処理ガスは全てこの
吸着体30内を通過するようになっている。
このように構成された吸着体30においては、溶剤含有
空気等の処理ガスは、吸着体30をその長手方向に通流
する。これにより、吸着材31にフロン等の処理空気中
の除去すべき成分が吸着する。一方、シートヒータ32
に通電することにより、シートヒータ32が抵抗発熱す
る。そして、この/−トヒータ32の発熱により吸着材
31が加熱されると、吸着材31はそれまで吸着してい
た溶剤を脱着する。この場合に、フェルト状シート33
は吸着材31よりも熱伝導性が高い材料で形成されてい
るので、シートヒータ32からの熱はこのフェルト状シ
ート33で滞留することはなく、吸着材31に迅速に伝
達される。また、吸着材31に伝達された熱は、収納ケ
ース35により移動が抑制されるため、吸着材31内に
留まって吸着材31を昇温する。従って、吸着材31は
シートヒータ32への通電により優れた立ち上がり性で
昇温する。また、活性炭繊維からなるフェルト状シート
33は可視性を有し、容易に変形するので、吸着材31
とシートヒータ32との間に両者に密着して介在する。
このため、処理空気が吸着材31を通過せずに、吸着材
31とシートヒータ32との間の空間を通流してしまう
事態を回避することができる。更に、フェルト状シート
33は前述の如く可視性を有するので、吸着材31に成
形寸法上の公差が存在しても、これを吸収して、収納ケ
ース35内に吸着材31を容易に密に配置することがで
きる。
[発明の効果コ 以上説明したように本発明によれば、シートヒータと吸
着材との間に、フェルト状シート等の圧力損失が高い緩
衝材を配置したから、シートヒータと吸着材との間の隙
間を処理ガスが通流することを防止でき、処理ガス中の
除去成分を極めて高効率で除去することができる。また
、この緩衝材は吸着材よりも熱伝導性が高いので、従来
のように接着剤でシートヒータと吸着材とを接着してい
た場合と異なり、シートヒータの熱が迅速に吸着材に伝
達されるため、吸着材を迅速に昇温させることかできる
。更に、これらの吸着材、シートヒータ及び緩衝材がベ
ークライト製の収納ケース内に収納されているため、ヒ
ータからの熱が吸着塔のハウジングに吸収されることを
抑制できる。このため、溶剤回収装置又は除湿装置等に
おける吸着及び脱着工程を高効率化することができる。
更にまた、吸着材における寸法公差を緩衝材の変形によ
り吸収することができるので、吸着体の組み立てが容易
である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の実施例に係る吸着体を示す平面図、第
2図は同じくその一部を拡大して示す斜視図、第3図は
脱着に蒸気を使用しない溶剤回収g置を示すブロック図
、第4図は従来の吸着塔を示す縦断面図、第5図は同じ
くその吸着塔に収納された従来の吸着体を示す斜視図、
第6図は吸着塔内に設置されるガス整流部材を示す斜視
図である。 1.2;吸着塔、3;処理ブロア、4,7;冷却器、5
;冷却ブロア、6;真空ポンプ、8;分離器、9;タン
ク、21.22,23,24.25.28,29;配管
、30.40;吸着体、31.41;吸着材、32,4
2;シートヒータ、33.55;シート、34;リード
線、35:収納ケース、51;ハウジング、52.53
;蓋、54;パンチング板

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)複数個のハニカム吸着材と、この複数個のハニカ
    ム吸着材を収納するベークライト製の収納ケースと、前
    記ハニカム吸着材の相互間に配置されたシートヒータと
    、このシートヒータと前記ハニカム吸着体との間に介装
    され前記ハニカム吸着材よりも熱伝導性が高い伝熱性緩
    衝材とを有することを特徴とするガス中の成分吸着体。
  2. (2)前記伝熱性緩衝材は、炭素繊維からなるフェルト
    状のシートであることを特徴とする請求項1に記載のガ
    ス中の成分吸着体。
  3. (3)前記ハニカム吸着材は、溶剤の吸着及び脱着作用
    を有する活性炭からなることを特徴とする請求項1又は
    2に記載のガス中の成分吸着体。
JP2237806A 1990-09-07 1990-09-07 ガス中の成分吸着体 Expired - Lifetime JPH0685851B2 (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2009231073A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Toyota Motor Corp 燃料電池システム
CN105944498A (zh) * 2016-06-15 2016-09-21 海湾环境科技(北京)股份有限公司 油气回收系统及油气回收方法
JP2020189282A (ja) * 2019-05-23 2020-11-26 日立造船株式会社 除湿装置および除湿方法
WO2021240781A1 (ja) * 2020-05-29 2021-12-02 東洋紡株式会社 吸着ユニット、吸着処理装置、および、処理システム

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WO2021240781A1 (ja) * 2020-05-29 2021-12-02 東洋紡株式会社 吸着ユニット、吸着処理装置、および、処理システム

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