JPH0398457A - リニアモータ - Google Patents

リニアモータ

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JPH0398457A
JPH0398457A JP23423089A JP23423089A JPH0398457A JP H0398457 A JPH0398457 A JP H0398457A JP 23423089 A JP23423089 A JP 23423089A JP 23423089 A JP23423089 A JP 23423089A JP H0398457 A JPH0398457 A JP H0398457A
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Hiroshi Nakagawa
洋 中川
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、例えば、産業用ロボットなどのように比較
的大きな推力が要求されるFA(ファクトリーオートメ
ーション)機語に用いて好適なリニアモータに関するも
のである。
「従来の技術」 周知のように、リニアパルスモー夕は一次側の各コイル
に供給されるパルス信号に基づき、一次側または二次側
スケールをスデップ状に歩進動作させるものであり、そ
の磁気回路の構戊は、箪5図に示す通りである。この図
において、lは長尺板状の磁性体によって構戊された二
次側スケールであり、その上面には、南部1 a, l
 a,・・が長手方向(図面左右方向)に沿って等間隔
に形或されている。この二次側スケール1の上面に(よ
一次側2が図示せぬローラ等からなる支持機構によって
スケールIの長手方向へ移動自在に支持された状態で載
置されている。一次側2は、コ字状の鉄心・1才3よび
5と、鉄心4の各磁極4aおよび4 bに各々巻回され
たコイル6aおよび6bと、鉄心5の各磁極5aおよび
5bに各々巻回されたコイル7aおよび7bと、鉄心1
および5の上面に図示する杯性て取り付けられた永久磁
石8および9と、永久磁石8わよび9の上而に取り付け
られた仮秋の磁?’L!偶によって構成されるバックプ
レートIOとから構成されている。そして、磁極4aの
下端面には、二次側スケールlの歯郎1aのピッチPと
同一ピッチの極歯14aが3g形成されており、磁極4
b,5 a. 5 bの各下端面にも同様に極l14b
,15a,15bが各々形成されている。これらの極歯
15b,+4b,15aは、極歯14aに対して順次P
/4ずつずらして配置され、これにより各磁極4a,4
b5 a, 5 bは互いに位相が90度ずつ異なった
位置関係となっている。また、極歯1 4a,1 4b
,I 5a,+5bの各下端面と歯郎1aの上面との間
には、所定の間隙Gが各々形成されている。そして、コ
イル6 a, 6 b. 7 a. 7 bに所定のパ
ルス信号を順次供給することにより、コイル6 a, 
6 b, 7 a, 7 bが発生する磁束と、永久磁
石8.9が発生する磁束とが各磁極4a,4b.5a,
5bにおいて、順次加減され、二次側スケールlに対す
る一次側2の磁気的安牢位置が順次移動し、これにより
、一次側2が二次側スケールlの長手方向に沿って移動
する。
なお、一次側2を固定すれば、二次側スケー/P1が移
動することになる。
「発明が解決しようとする課題」 ところで、一般に、リニアパルスモータはオーブンルー
ブで高精度な位置決めが可能なことから、OA(オフィ
スオートメーション)機器のプリンタのキャリッジ駆動
等に用いられているものの、余り大きな推力が得られな
いため、産業用ロボットなどのように比較的大きな推力
が要求されるFA機器には、適用することが困難であっ
た。そこで、第6図および第7図に示すように、4個の
ローラ1 6.+ 6,・・によって二次側スケールl
の長手方向へ移動自在に支持された一次側2を2組用意
し、これら2組の一次側2.2を同一の二次側スケール
l上に直列的に載置し、連結板17とボルトおよびナッ
トを介して連結することによって推力の増大を図ること
が考えられていた。しかしながら、このような構造では
、2組の一次側2.2の磁極間距HLの設定に高い精度
が要求され、組み立て作業時における各部の寸法調整が
極めて煩雑であるという問題があった。さらに、一次側
2と二次側スケールlとの間の間隙Gの寸法は、ローラ
l6,16,・・の取り付け精度に依存して変化するた
め、2組の一次側2.2の各間隙Gを一致させることは
困難であり、これにより一次側2.2毎に発生推力が異
なり、円滑な動作を実現し得ないという問題もあった・ この発明は上連した小情に鑑みてなされたもので、複数
の一次側を設けた場合において、各一次側毎の発生推力
の均一化を図ることができると共に、組み立て作業時に
おける各部の寸法調整も容易なりニアモー夕を提供する
ことを目的としている。
「課題を解決するための手段」 この発明は、襟敢の一次側を、所定の間隙を隔てて対向
する二次側に対して直線的に相対移動させるリニアモー
タにおいて、前記複数の一次側がJ+lj人される開口
部が形成されていると共に、押入された前記各一次側の
両端部と各々嵌合する嵌合部が形成された単一のフレー
ムと、前記フレームを111記二次側に設けられた軌道
に沿って直線移動自在に支持する支持機構とを具備する
ことを特徴としている。
「作用」 上記、構成によれば、二次側の軌道に沿って直線移動自
在に支持された単一のフレームに形成された開口郎に、
複数の一次側を挿入し、これら各一次側の両端部をフレ
ームの嵌合部に各々嵌合させるようにしたので、フレー
ムの嵌合部の平面度を管理するだけで、複数の一次側と
二次側との間の間隙の寸法を全て一致させることができ
る。
「実施例」 以下、図面を参照し、この発明の実施例について説明す
る。
第1図はこの発明の第1実施例の構成を示す図である。
この図において、20は単一の金8部材等によって構成
され、スケール1の長手方向にit′iって移動自在に
支持されたフレーl・である。このフレーム20の移動
方向両端部にはシャフト212lが各々固定され、これ
らシャフト21.21の両端郎に(本ベアリング(図示
略)を介してローラ1 6,1 6,・・が回転自在に
取り付けられている。
7L/−ム20の一側面に位置するローラ1 B,16
には鍔部16a,16aが形成されており、これら鍔部
16a,16aがスケールlの側郎に沿って形成された
溝!bに係合することにより、フレーム20がスケール
lの長手方向に沿って案内されるようになっている。ま
た、フレーム20には、その移動方向に対して並列に配
置された2組の一次側22.22が歯郎1aと所定の空
隙を隔てて対向するように挿入される開口部20aが形
成されていると共に、挿入された2組の一次側22.2
2の両端郎に各々形成された凸郎22a,22bと各々
嵌合する嵌合郎20b,20b,・・が形成されている
一次側22は、その両端部に凸部22aおよび22bが
形成されている以外は、第5図〜第7図に示した一次側
2と同様に構成され、互いに位州が90度ずつ異なる4
個の磁極4a,4b,5a,jpとコイル6 a. 6
 b, 7 a. 7 bが設けられている。この場合
、凸q 2 2 gおよび22bは、鉄心4および5と
一体に形威され、鉄心4および5の各磁極4m, 4 
b, 5 a. 5 b(第5図参照)と平行に、すな
わち二次側スケール1へ向けて突出するように形成され
ている。
このような実施例によれば、2組の一次側22,22の
各両端郎の凸部22a.22bを、単一のフレーム20
に形成された嵌合部20b,20b,・・に各々嵌合さ
せる構造であるので、2組の一次側22.22の形状寸
法が同じであれば、フレーム20の嵌合郎20b,20
b,・・の平面度を管理するたけで、2組の一次側22
.22と二次側スケール1との間の間隙を一致させるこ
とができ、これにより、複数の一次側22.22を設け
て推力の均大を図る際に問題となる各一次側22.22
毎の発生推力の均一化を実現することができる。
次に、第2図はこの発明の第2実施例の構成を示す図で
ある。この図において、31は上面に5本のレール32
.32,・・・が平行に配設されると共に、各レール3
2.32.・・・間に4列の歯部31a31a.・・が
各々肝成された二次側スケールである。
これら5本のレール32.32,・・・には、その長手
方向に沿って移動自在な10個のガイド33.33,・
・・が2個ずつ設けられており、これらのガイド33,
33,・・・の上に単一のフレーム34が取り付けられ
ている。このフレーム34には、その移動方向に対して
並列に配置された4組の一次側35,35,・・が4列
の歯部31a,31a,・・・と所定の空隙を隔てて対
向するように挿入される開口部34a,34a,・・が
各々形成されていると共に、挿入された4組の一次ml
35,35,・・の両端部に形成された凸郎35aおよ
び35bと各々嵌合する嵌合部34b,34b.・・・
が形成されている。なお、一次側35は、互いに位相が
120度ずつ異なる3個の磁極とコイル3 6a,3 
6b,3 6cを有する構造となっている。
次に、第3図はこの発明の第3実施例の構成を示す図で
ある。この図において、二次側スケール4lの上而には
、l列の歯郎4 1 a,4 ’1 a,・・・が形成
されている共に、その側部に沿って、2本のレール42
.42が平行に配設されている。これらのレール42.
42には、その艮手方向に沿って移動自在な6個のガイ
ド43,43,・・・が3個ずつ設けられており、これ
らのガイド43,43,・・・の上に単一のフレーム4
4が取り付けられている。
このフレーム44には、その移動方向に対して直列に配
置された3組の一次側4 5,4 5.4 5が山部4
1aと所定の空隙を隔てて対向するように揮入される開
口部4 4a,4 4a,4 4aが形成されていると
共に、仲人された3組の一次側45,45.45の両端
部に形成された凸部45aおよび451)と各々嵌合す
る嵌合部44b,44b.・・・が形威されている。な
お、一次側45は、互いに位相が120度ずつ異なる3
個の磁極とコイル46a,46b,46cを有する構造
となっている。
次に、第4図はこの発明の第4実施例の構成を示す図で
ある。この図において、二次側スケール5lの上と下面
には、それらの両側部に沿って歯部51aと5lbが各
々形成され、その中央部に沿って歯部51a,5lbと
位相が90度ずれた歯部51cが形成さ{tている。ま
た二次fllllスケール51の両側而には、2本のレ
ール52.52が各々取り付けられ、これらのレール5
2.52には、その長手方向に沿って移動自在な4個の
ガイド53.53.・・が2個ずつ設けられており、こ
れらのガイド53,53,・・・に対して、上方からフ
レーム54Aが取り付けられ、下方からフレーム54B
が取り付けられている。これら各々単一のフレーム54
Aおよび54I3には、その移動方向に対して直列に配
置された2組の一次側55.55が歯部5 1a,5 
lb,5 1cと所定の空隙を隔てて対向するように挿
入される開口部54aが各々形戊されていると共に、挿
入された2組の一次側55.55の両端部に形成された
凸部55aおよび55bと各々嵌合する嵌合郎54b,
54b.・・が形成されている。上記一次側55は、略
E字状の分割鉄心56aと56bで略E字状の永久磁石
57を挾み、歯・部5lcと対向する中央の磁極55c
にコイル58を巻回した構造となっており、両端の磁極
が凸部55a.55bを春ねている。
なお、この発明は、上述した各種リニアパルスモー夕に
限定されるものではなく、コイルが設けられた一次側が
、二次側に対して相対的に直線移動するものであれば、
リニアインダクションモー夕等の種々のりニアモー夕に
も適用することが可能である。
「発明の効果」 以上説明したように、この発明によれば、二次側の軌道
に沿って直線移動自在に支持された単一のフレームに形
成された開口部に、複数の一次側を押入し、これら各一
次側の両端部をフレームの嵌合部に各々嵌合させるよう
にしたので、フレームの嵌合郎の平面度を管理するだけ
で、複数の一次側と二次側との間の間隙の寸法を全て一
致させることができ、これにより、複数の一次側を設け
て推力の増大を図る際に問題となる各一次側毎の発生推
力の均一化を図ることができ、また組み立て作業時にお
ける各部の寸法調整も容易に行うことができるという効
果が得られる。
【図面の簡単な説明】
第重図叫この発明の第l実施例の構成を一部切り欠いて
示した分解斜視図、第2図はこの発明の第2実施例の構
成を示す分解斜視図、第3図はこの発明の第3実施例の
構成を一部切り欠いて示した分解斜視図、第4図はこの
発明の第4実施例の構成を示す分解斜視図、第5図は従
来のリニアパルスモー夕の磁気回路構成を示す図、第6
図および第7図は推力増大を図った従来リニアパルスモ
ークの構成を示す図であり、第6図は正面図、第7図は
側面図である。 1,3 1.4 1.5 1・・・・・・二次側スケー
ル、1b・・・・・l酵(軌道)、 l6・・・・・・ローラ(支持機構)、2 0 ,3 
4 ,4 4 .5 4 A,5 4 B・・・・・・
フレーム、2 0a,3 4a.4 4a,5 4a・
・・・・開口部、20b,34b.44b,54b・・
・・・・嵌合部、2 2,3 5,4 5.5 5・・
・・・一次側、22a, 22b, 35a, 35b
. 45a, 45b, 55a, 55b−−−−凸
部、3 2,4 2.5 2・・・・・・レール(軌道
)、33,43.53・・・・・ガイド(支持機構)。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数の一次側を、所定の間隙を隔てて対向する二次側に
    対して直線的に相対移動させるリニアモータにおいて、 前記複数の一次側が挿入される開口部が形成されている
    と共に、挿入された前記各一次側の両端部と各々嵌合す
    る嵌合部が形成された単一のフレームと、 前記フレームを前記二次側に設けられた軌道に沿って直
    線移動自在に支持する支持機構とを具備することを特徴
    とするリニアモータ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006028461B4 (de) * 2005-08-16 2014-01-23 Bahr Modultechnik Gmbh Positioniervorrichtung mit einem Führungsschlitten

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5937886U (ja) * 1982-09-03 1984-03-09 株式会社アマダ リニアパルスモ−タ
JPS59153458A (ja) * 1983-02-22 1984-09-01 Canon Inc リニヤモ−タ
JPS6073385U (ja) * 1983-10-25 1985-05-23 松下電器産業株式会社 リニアステツピングモ−タ
JPS6237055A (ja) * 1985-08-03 1987-02-18 Fujitsu Ltd リニアパルスモ−タの製造方法
JPH0164984U (ja) * 1987-10-20 1989-04-26

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5937886U (ja) * 1982-09-03 1984-03-09 株式会社アマダ リニアパルスモ−タ
JPS59153458A (ja) * 1983-02-22 1984-09-01 Canon Inc リニヤモ−タ
JPS6073385U (ja) * 1983-10-25 1985-05-23 松下電器産業株式会社 リニアステツピングモ−タ
JPS6237055A (ja) * 1985-08-03 1987-02-18 Fujitsu Ltd リニアパルスモ−タの製造方法
JPH0164984U (ja) * 1987-10-20 1989-04-26

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102006028461B4 (de) * 2005-08-16 2014-01-23 Bahr Modultechnik Gmbh Positioniervorrichtung mit einem Führungsschlitten

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