JPH0395916A - 露光データ転送方法および転送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［目冫欠コ 概要 産業上の利用分野 従来の技術・・第７図 発明が解決しようとする課題 課題を解決するための手段 第１の発明・・第１図 第２の発明・・第２図 第３の発明・・第３図 作用 第１の発明の作用・・第１図 第２の発明の作用・・第２図、第４図 第３の発明の作用・・第３図 実施例・・第５図、第６図 実施例の構成 実施例の動作 実施例の効果 発明の効果 ［概要］ 半導体製造プロセス等において使用される電子ビーム露
光装置に使用して好適な露光データ転送方法に関し、 バッファメモリにおける露光データの書込み及び読出し
を同時に行うことができるようにし、データ転送の高速
化を達或し、露光処理時間の短縮化によるスループット
の向上を図ることを目的とし、 バッファメモリを介して露光部に転送する露光データ転
送方法において、前記バッファメモリを複数のページに
区分し、・前記バッファメモリに対する露光データの書
き込み制御及び読み出し制御を別個の手段によってペー
ジごとに行うように構成する。

［産業上の利用分野］ 本発明は、半導体製造プロセス等において使用される電
子ビーム露光装置に使用して好適な露光データ転送方法
及び転送装置に関する．一般に、この種、電子ビーム露
光装置において、露光データ（描画データ、パターンデ
ータ）の転送は、■データ変換システムから磁気ディス
ク装置への転送、■磁気ディスク装置から露光制御部の
バッファメモリ（ＩＣメモリ）への転送、■バッファメ
モリから露光部への転送に区分することができる。ここ
に、バッファメモリにおける露光データの書込み及び読
出しを効率的に行うことは、データ転送時間の短縮化、
即ち、露光処理時間の短縮化によるスルーブットの向上
につながる。

［従来の技術コ 従来、電子ビーム露光装置のバッファメモリ装置として
第７図にそのブロック図を示すようなものが提案されて
いる． かかるバッファメモリ装置は、電磁偏向方式と、ｎｔ偏
向方式とを併用する電子ビーム露光装置に使用されるも
のであって、露光部に設けられる電磁偏向器く主偏向器
〉用の露光データ（主偏向データ．以下、メインデフデ
ー夕という）と、同じく露光部に設けられる静電偏向器
（副偏向器）用の露光データ（副偏向データ。以下、サ
ブデフデー夕という）の格納、転送を行うものである．
図中、１はメインデフデータ及びサブデフデー夕が入力
されるデータ入力端子、２は切換えゲート、３及び４は
ＦＩＦ○［ｆｉｒｓｔ−ｉｎ　ｆｉｒｓｔ−ｏｕｔ］レ
ジスタであって、ＦＩＦＯレジスタ３はメインデフデー
タ用のＦＩＦＯレジスタ、ＦＩＦＯレジスタ４はサブデ
フデータ用のＦＩＦＯレジスタである。

また、５はＣ　Ｐ　Ｕ　［ｃｅｎｔｒａｌ　ｐｒｏｃｅ
ｓｓｉｎｇ　ｕｎｉｔｌ、６はメインデフデータ用のバ
ッファメモリをなすメインデフメモリ、７は加算・減算
回路、８はバッファ回路、９はＦＩＦＯレジスタ、１０
はサブデフデータ用のバッファメモリをなすサブデフメ
モリ、１１はＣＰＵ、１２は補助メモリである。

かかるバッファメモリ装置においては、データ入力端子
■に転送されてきたメインデフデー夕は切換えゲート２
及びＦＩＦＯレジスタ３を介してＣＰＵＳ内に取り込ま
れ、ＣＰＵＳ内でデータ処理されてメインデフメモリ６
に格納される．他方、サブデフデー夕は、切り換えゲー
ト２及びＦ　Ｉ　ＦＯレジスタ４を介して加算・減算回
路７に供給され、この加算・減算回路７においてデータ
処理をされた後、バッファ回路８及びＦＩＦ○レジスタ
９を介してサブデフメモリ１０に格納される． また、ＣＰＵ１１は露光時のシーケンスを実行する機能
を有しており、ＣＰＵ５に対してメインデフメモリ６に
格納されているメインデフデー夕の読み出しをコールし
、更に、そのメインデフデー夕に対応するサブデフデー
夕をサブデフメモリ１０から読出し、これらメインデフ
データ及びサブデフデータを、例えばパターンジュネレ
ー夕、パターン補正回路、Ｄ／Ａコンバータ等を介して
露光部に供給する．ここに、メインデフデータ及びサブ
デフデー夕に基づく露光が行われる。

［発明が解決しようとする課題］ かかる従来のバッファメモリ装置においては、ＣＰＵ５
において、メインデフデータのメインデフメモリ６への
書込み及び読出しを行っているため、メインデフデー夕
の書込み及び読出しを同時に行うことができない。この
ため、一定量の、例えば１ウエハ分のメインデフデータ
及びサブデフデータをそれぞれメインデフメモリ６及び
サブデフメモリ１０に格納した後、これらメインデフデ
ータ及びサブデフデー夕の読出しを行っていた．ここに
、露光データの書込み及び読出しを同時に行うことがで
きれば、即ち、メインデフデータ及びサブデフデー夕が
或る量、例えば１チップ分、書き込まれた段階で、更に
、書込みを続行するとともに、メインデフデータ及びサ
ブデフデータの読出しを行うことができれば、データ転
送の高速化を図り、露光処理時間の短縮化によるスルー
プットの向上を図ることができる。

本発明は、かかる点に鑑み、バッファメモリにおける露
光データの書込み及び読出しを同時に行うことができる
ようにし、データ転送の高速化を達戊し、露光処理時間
の短縮化によるスループットの向上を図ることができる
ようにした露光データ転送方法及び転送装置を提供する
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段コ 上記の目的は、以下に述べる第ｌの発明ないし第３の発
明によってそれぞれ達威される。

第１エｕ１辻 本発明中、第１の発明は露光データ転送方法を提供する
ものである． かかる第１の発明の露光データ転送方法は、第１図にそ
の原理説明図を示すように、露光データ供給部（例えば
磁気ディスク装置）１３から供給される露光データを、
バッファメモリ１４を介して露光部１５に転送する露光
データ転送方法において、バッファメモリ↓４を複数の
ページ１６、１６・・・１６に区分し、かかるバッファ
メモリ１４に対する露光データの書込み制御及び読出し
制御を別個の千段（Ｎ光データ書込み制御手段１７、露
光データ読出し制御手段１８）によってページ１６ごと
に行うことにより、露光データ供給部１３から供給され
る露光データを露光部】５に転送する、というものであ
る． 策λ！ｕ１及 本発明中、第２の発明は第１の発明による露光データ転
送方法を実行するための装置の一例である。

かかる第２の発明の露光データ転送装置は、第２図にそ
の原理説明図を示すように、バッファメモリ１４、ペー
ジアドレス選択手段１９、ページ管理用メモリ２０．露
光データ書込みシーケンス手段２１、露光データ読出し
シーゲンス手段２２及び露光データ書込み・読出し指示
手段２３を設けてｔＩＩ戒される。

ここに、バッファメモリｌ４は、複数のページ１６、１
６・・・１６を設けて構戒され、露光データ供給部、例
えば磁気ディスク装置から供給される露光データが格納
される。

また、ページアドレス選択手段１９は、複数のページ１
６、１６・・・１６から露光データを書込むべきページ
及び露光データを読出すべきページを選択するものであ
る。

なお、露光データを読出すページの選択は、露光データ
書込みシーケンス手段２１の指示によって行われ、また
、露光データを読出すべきページの選択は、露光データ
読出しシーゲンス千段２２の指示によって行われる． また、ページ管理用メモリ２０は、バッファメモリ１４
の複数のページ１６、１６・・・１６につき、露光デー
タ書込み可能ページか、露光データを読出すべきページ
かを示すデータ及び各ページのつながりを示すデータを
記憶するものである．なお、各ページ１６につき、露光
データを読出すべきページであることのデータ及び各ペ
ージ１６のつながりを示すデータは、露光データ書込み
シーケンス手段２ｌによって書き換えられ、また、各ペ
ージｌ６につき、露光データを書き込むべきページであ
ることのデータは、露光データ読出しシーケンス手段２
２によって書き換えられる．また、露光データ書込みシ
ーケンス手段２１はページ管理用メモリ２０を参照して
、バッファメモリ１４に対する露光データの書込みをシ
ーケンス制御するものである。ここに、露光データの書
込みをシーケンス制御するとは、露光データ書込み・読
出し指示千段２３からの露光データ書込み指示に基づき
、ページ管理用メモリ２０を参照して、書込み可能なペ
ージを検索し、ページアドレス選択手段ｌ９に対して、
露光データを書込むべきページを指定し、ページアドレ
ス選択手段１９をして、指定したページに露光データを
書込ませ、このページにスペースがなくなったときは、
このページは露光データを読出すべき領域である旨をペ
ージ管理用メモリ２０に書込み、その後、更に書込み可
能ページを検索し、新たに書込み可能ぺ一ジを選定し、
ページ管理用メモリ２０にページのつながりを示すデー
タを書き込み、その後、この選定したページを次ページ
としてページアドレス選択手段１９に指示し、以後、全
露光データの書込みが終了するまで、この手順を繰り返
す動作を含むものである。

また、露光データ読出しシーケンス手段２２はバッファ
メモリ１４からの露光データの読出しをシーケンス制御
するものである。ここに、露光データの読出しをシーケ
ンス制御するとは、露光データ書込み・読出し指示手段
２３からの露光データ読出し指示に基づき、ページ管理
用メモリ２０を参照して、露光データを読出すべきペー
ジを検索し、ページアドレス選択手段１９に対して、露
光データを読出すべきページを指定して、露光データの
読出しを実行させ、指示したページからの露光データの
読み出しか．ｌ４了したときは、そのページは書込み可
能ページであることをページ管理用メモリ２０に書込み
、その後、次に読出すべきページをページ管理用メモリ
２０から読み出し、このページを次ページとしてページ
アドレス選択手段１９に指示し、以後、全露光データの
講み出しが終了するまで、この手順を繰り返す動作を含
むものである。

また、露光データ書込み・読出し指示千段２３は、露光
データ書込みシーケンス手段２１及び露光データ読出し
シーケンス手段２２に対して、それぞれ露光データの書
込み指示及び読出し指示を行うものである。

策ユヱ０１狸 本発明中、第３の発明は、第１の発明による露光データ
の転送方法を実行するための装置の他の例であって、露
光データがメインデフデータとサブデフデータからなる
電子ビーム露光装置に適用されるものである。

かかる第３の発明の露光データ転送装置は、第３図にそ
の原理説明図を示すように、露光データ書込み・読出し
指示千段２３と、メインデフデータ用のバッファメモリ
２４、ページアドレス選択手段２５、ページ管理用メモ
リ２６、露光データ書込みシーケンス手段２７及び露光
データ読出しシーケンス手段２８と、サブデフデー夕用
のバッファメモリ２９、ページアドレス選択手段３０、
ページ管理用メモリ３１、露光データ書込みシーケンス
手段３２及び露光データ読出しシーケンス手段３３とを
設けて構成される。

ここに、メインデフデータ用のバッファメモリ２４は、
複数のページ３４、３４・・・３４を設けて構成され、
また、サブデフデー夕用のバッファメモリ２つも、複数
のページ３５、３５・・・３５を設けて構成される． また、この第３の発明においては、露光データ書込み・
読出し指示手段２３は、露光データ書込みシーケンス手
段２７及び３２に対してそれぞれメインデフデータ及び
サブデフデー夕の書込み指示を行い、露光データ読出し
シーケンス手段２８及び３３に対してそれぞれメインデ
フデータ及びサブデフデー夕の読出し指示を行う。

なお、サブデフデータ系については、必要に応じて、加
算・減算・比較手段３６を設けることにより、データの
加工を行うことができる。

［作用］ 匙七ユ免竪α艷肚 第１の発明においては、バッファメモリ１４を複数のペ
ージ１６、１６・・・１６に区分し、かかるバッファメ
モリ１４に対する露光データの書き込み制御及び読み出
し制御を別個の手段１７及び１８によって、ページごと
に行うようにしているので、露光データを書き込めるペ
ージと、露光データを読み出せるページとを並存させ、
一のページに対する露光データの書込みを実行中に、他
のページからの露光データの読出しを行うことができる
，即ち、この第１の発明によれば、バッファメモリ１４
に対する露光データの書込みと、バッファメモリ１４か
らの露光データの読出しとを同時に行うことができる。

箋１！と虜吸２』り生 第４図は第２の発明の動作を示すフローチャートであり
、ステップＰ１〜Ｐ４は、露光データの書込み動作、ス
テップＮ１〜Ｎ４は、露光データの読出し動作を示して
いる。

まず、露光データの書込み動作について説明すると、始
めに、露光データ書込み・読出し指示手段２３から露光
データ書込みシーケンス手段２ｌに対して露光データ書
込みの指示が出される（ステップＰ１）．これに応答し
て露光データ書込みシーケンス手段２１は、ページ管理
用メモリ２０を参照して、書込み可能なページを検索し
、べ一ジアドレス選択手段１９に対して、露光データを
書き込むべきページを指示する （ステップＰ２）． ページアドレス選択手段１９は、指示されたページを選
択し、露光データの書込みを行い（ステップＰ３）、こ
のページに書込みのスペースがなくなった場合には、露
光データ書込みシーケンス手段２１に対して次ページの
指示要求を行い、露光データ書込みシーケンス手段２１
は、これに応答して、書込みのスペースがなくなったペ
ージは露光データを読出すべきページである旨をページ
管理用メモリ２０に書込み、その後、更に、書込み可能
なページを検索し、ページアドレス選択手段１９に対し
て、露光データを書き込むべき次ページの指示を行う（
ステップＰ４）． 以下、全露光データにつき書込みが終了するまで、ステ
ップＰ２からステップＰ４の動作が繰り返される． 次に、露光データの読出し動作について説明すると、始
めに、露光データ書込み・読出し指示手段２３から露光
データ読出しシーケンス手段２２に対して露光データ読
出しの指示が出される（ステップＮｌ）。これに対応し
て露光データ読出しシーケンス手段２２は、ページ管理
用メモリ２０を参照して、読出すべきページを検索し、
ページアドレス選択手段１９に対して、露光データを読
出すべきページを指示する（ステップＮ２）．ページア
ドレス選択手段１９は、指示されたページを選択し、露
光データの読出しを行い（ステップＮ３）、そのページ
の読出しが終了したときは、露光データ読出しシーケン
ス手段２２に対して次ページの指示要求を行う（ステッ
プＮ４）。

以下、全露光データについて、読出しが終了するまで、
ステップＮ２からステップＮ４の動作が繰り返される。

このように、第２の発明においては、バッファメモリ１
４を複数のページ１６、１６・・１６に区分し、これら
ページ１６、１６・・・１６の管理をページ管理用メモ
リ２０で行い、そして、かかるページ管理用メモリ２０
を参照して、露光データ書込みシーケンス手段２工及び
露光データ読出しシーケンス手段２２により、書込み制
御及び読出し制御を行うようにしているので、露光デー
タを書込めるページ及び読出せるページを並存させ、露
光データのバッファメモリ１４に対する書込み及び読出
しを同時に行うことができる。

第』！と４堕力』り生 第３の発明においては、メインデフデータ系、即ち、バ
ッファメモリ２４、ページアドレス選択手段２５、ペー
ジ管理用メモリ２６、露光データ書込みシーケンス手段
２７、露光データ読出しシーケンス手段２８及び露光デ
ータ書込み・読出し指示手段２３並びにサブデフデータ
系、即ち、バッファメモリ２９、ページアドレス選択手
段３０、ページ管理用メモリ３１、露光データ書込みシ
ーケンス手段３２、露光データ読出しシーケンス千段３
３及び露光データ書込み・読出し指示手段２３において
、それぞれ第２の発明と同様の動作が行われる。

［実施例コ 以下、第５図及び第６図を参照して、本発明の一実施例
につき説明する。なお、本実施例は、露光データとして
、メインデフデータ及びサブデフデー夕を有する電子ビ
ーム露光装置に適用される露光データ転送装置の例であ
って、具体的には、第３の発明（第３図〉の実施例に該
当するものである。

夾施』肘ｌ創え 第５図は本実施例中、メインデフデータ系の構成を示す
ブロック図、第６図はサブデフデー夕系の構成を示すブ
ロック図である。

■，メインデフデータ系の構成（第５図）（１〉バッフ
ァメモリ２４ バッファメモリ２４は、ダイナミック・ランダム・アク
セス・メモリ（　Ｄ　Ｒ　Ａ　Ｍ　）やスタティック・
ランダム・アクセス・メモリ（ＳＲＡＭ）で楕或される
。なお、ページ３４、３４・・・３４の容量は、設計事
項である。

（２）ページアドレス選択手段２５ ページアドレス選択手段２５は、ページセレクタ２５！
、書込みアドレス入力ゲート２　５２　−　２１．出し
アドレス入力ゲート２５３、データ入力ゲー｝２５４　
、データ出力ゲート２５５を設けて構成されている。

ここに、メインデフデータの書込みが実行される場合に
は、ページセレクタ２５、によって書込みを行うべきペ
ージの書込みアドレス入力ゲート２５２及びデータ入力
ゲート２５４がそれぞれオン状態とされる． また、メインデフデータの読出しが実行される場合には
、読出しを行うべきページの読出しアドレス入力ゲート
２５３及びデータ出力ゲート２５，がそれぞれオン状態
とされる。

なお、ページセレクタ２５＋は、バッファメモＩＪ２４
をデコードする際に、同一ページを同時に書込み領域又
は読出し領域として選択することがないように構成され
る。

（３）ページ管理用メモリ２６ ページ管理用メモリ２６はデュアルボートメモリ２６．
及びデュアルボートメモリＩ　／　Ｏ　２　６　２、２
６３を設けて構成されており、デュアルボートメモリ２
６１にページごとに、そのページが書込み可能ページか
、読出すべきページかを示すデータと、書き換えられる
ページとのつながりを示すデータとが記憶される。かか
るデータは後述するプロセッサ・シーケンス回路２７１
　、２８１によって書き換えられる． （４〉露光データ書込みシーケンス手段２７露光データ
書込みシーケンス手段２７は、プロセッサ・シーケンス
回路２７ｌ、ページレジスタ２７２、ベースアドレスレ
ジスタ２７３及びアドレスカウンタ２７４を設けて楕戒
されている。

ここに、プロセッサ・シーケンス回路２７＋はマイクロ
プロセッサや、Ｐ　Ｌ　Ｄ　（　ｐｒｏｇｒａＩＩＩｍ
ａｂｌｅｌｏｇｉｃ　ｄｅｖｉｃｅ）により構成され、
デュアルボートメモリＩ　／　Ｏ　２　６　２を介して
デュアルボートメモリ２６１をアクセスできるようにさ
れている。

即ち、露光データ書込み・読出し指示手段２３を楕戒す
るＭ　Ｐ　Ｕ　（ｍｉｃｒｏ　ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　
ｕｎｉｔ）　２　３　Ｈからメインデフデータの書込み
の指示を受けたときは、デュアルボートメモリ２６．が
ら書込み可能なページ及びその先頭アドレスに関する情
報を読出し、また、ページアドレス選択手段２５をして
、指定したページにメインデフデータを書込ませ、この
ページに書込みのスペースがなくなった？きは、このペ
ージはメインデフデータを読出すべきページである旨を
デュアルボートメモリ２６１に書込むという動作を行う
ことができるようにされている。

ここに、デュアルボートメモリ２６■から読み出された
情報のうち、書込みを行うべきページについては、ペー
ジレジスタ２７２を介してページセレクタ２５、に供給
され、先頭アドレスについての情報は、ベースアドレス
レジスタ２７３を介してページセレクタ２５１に供給さ
れる。これら情報によって、ページセレクタ２５，は、
ページ及び先頭アドレスを選択することができる．なお
、書込みアドレスは、アドレスカウンタ２７４を介して
書込みアドレス入力ゲート２５■に供給される。

？５〉露光データ読出しシーケンス手段２８露光データ
読出しシーケンス手段２８は、プロセッサ・シーケンス
回路２８，、ページレジスタ２８■、ベースアドレスレ
ジスタ２８３、アドレ？カウンタ２８４を設けて構或さ
れている。

ここに、プロセッサ・シーケンス回路２８■はマイクロ
１ロセッサや、ＰＬＤによりｆ＃Ｉ或され、デュアルボ
ーＩ・メモリＩ　／　Ｏ　２　６　３を介してデュアル
ボートメモリ２６１をアクセスできるようにされている
． 即ち、露光データ書込み・読出し指示手段２３を楕戒す
るＭ　Ｐ　Ｕ　２　３　１がらメインデフデータの読出
しの指示を受けたときは、メインデフデー夕を読出すべ
きページ及びその先頭アドレスに関する情報をデュアル
ボートメモリ２６！がら読出し、また、ページアドレス
選択手段２５をして、指定したページからのメインデフ
データの読出しを実行させ、このページからの読出しが
終了したときは、このページは書込み可能ページである
旨をデュアルボートメモリ２６１に書込むという動作を
行うことができるようにされている． ここに、デュアルポートメモリ２６，から涜み出された
情報のうち、メインデフデータを読出すべきページにつ
いては、ページレジスタ２８■を介してページセレクタ
２５１に供給され、先頭アドレスについての情報はベー
スアドレスレジスタ２８３を介してページセレクタ２５
ｌに供給される。これら情報によって、ページセレクタ
２５１は、ページ及び先頭アドレスを選択することがで
きる。なお、読出しアドレスはアドレスカウンタ２８４
を介して読出しアドレス入力ゲート２５３に供給される
． ク６）露光データ書込み・読出し指示手段２３露光デー
タ書込み・読出し指示手段２３は、いわゆるＭＰＵ２３
ｌ．ローカｌレ・メモリ（ｌｏｃａｌｍｅｍｏｒｙ）　
２　３　２及びＩ／Ｏレジスタ２３３を設けて構或され
ている． ■，サブデフデー夕系の構戒（第６図〉（１）バッファ
メモリ２９ バッファメモリ２９は、ＤＲＡＭやＳＲＡＭで構成され
る．なお、ページ３５、３５・・・３５の容量は、設計
事項である。

？２）ページアドレス選択千段３０ ページアドレス選択手段３０は、ページセレクタ３０ｌ
、書込みアドレス入力ゲート３０■、読出しアドレス入
力ゲート３０３、データ入カゲート３０４及びデータ出
力ゲー｝３０５を設けて構戒されている． ここに、サブデフデー夕の書込みが実行される場合には
、ページセレクタ３０Ｉにより、書込みを行うべきペー
ジの書込みアドレス入力ゲート３０２及びデータ入力ゲ
ート３０４がそれぞれオン状態とされる． また、サブデフデー夕の読出しが実行される場合には、
読出しを行うべきページの読出しアドレス入力ゲート３
０３及びデータ出力ゲート３０５がそれぞれオン状態と
される． なお、ページセレクタ３０１は、バッファメモリ２９を
デコードする際に、同一ページを同時に書込み領域又は
読出し領域として選択することがないように構成される
。

（３）ページ管理用メモリ３１ ページ管理用メモリ３１はデュアルボートメモリ３１１
及びデュアルボートメモリＩ　／　０　３　１　２、３
１３を設けて楕戒されており、デュアルボートメモリ３
１１にページごとに、そのページが書込み可能ページか
、読出すべきページかを示すデータと、書き換えられる
ページのつながりを示すデータとが記憶される。かかる
データは後述するプロセッサ・シーケンス回路３２１　
．３３１によって書き換えられる。

（４）露光データ書込みシーケンス手段３２露光データ
書込みシーケンス手段３２は、プロ′セッサ・シーケン
ス回路３２ｌ、ページレジスタ３２２、ベースアドレス
レジスタ３２３及びアドレスカウンタ３２４を設けて構
戊されている．ここに、プロセッサ・シーケンス回路３
２１はマイクロプロセッサや、ＰＬＤにより楕戒され、
デュアルボートメモリＩ　／　０　３　１　２を介して
デュアルボートメモリ３１１をアクセスできるように？
れている。

即ち、露光データ書込み・読出し指示手段２３を構成す
るＭＰＵ２３■からサブデフデータの書込みの指示を受
けたときは、デュアルボートメモリ３１＋から書込み可
能なページ及びその先頭アドレスに関する情報を読出し
、また、ページアドレス選択手段３０をして、指定した
ページにサブデフデー夕を書込ませ、このページに書込
みのスペースがなくなったときは、このページは露光デ
ータを読出すべきページである旨をデュアルボートメモ
リ３１１に書込むという動作を行うことができるように
されている． ここに、デュアルボートメモリ３１１がら読み出された
情報のうち、書込みを行うべきページについては、ペー
ジレジスタ３２２を介してページセレクタ３０、に供給
され、先頭アドレスについての情報は、ベースアドレス
レジスタ３２３を介してページセレクタ３０！に供給さ
れる．これら情報によって、ページセレクタ３０，は、
ページ及び先頭アドレスを選択することができる．なお
、書込みアドレスは、アドレスカウンタ３２４を介して
書込みアドレス入力ゲート３０２に供給される。

？５）露光データ読出しシーケンス手段３３露光データ
読出しシーゲンス手段３３は、プロセッサ・シーケンス
回路３３ｌ、ページレジスタ３３２、ベースアドレスレ
ジスタ３３３及びアドレスカウンタ３３４を設けて構成
されている。

ここに、プロセッサ・シーケンス回路３３＋はマイクロ
プロセッサや、ＰＬＤにより構戒され、デュアルポート
メモリＩ／０３１３を介してデュアルボートメモリ３１
１をアクセスできるようにされている。

即ち、露光データ書込み・読出し指示手段２３を構或す
るＭＰＵ２３■からサブデフデータの読出しの指示を受
けたときは、サブデフデー夕を読出すべきページ及びそ
の先頭アドレスに関する情報をデュアルボートメモリ３
１ｌから読出し、また、ページアドレス選択手段３０を
して、指定したページからのサブデフデー夕の読出しを
実行させ、このページからの読出しが終了したときは、
このページは書込み可能領域である旨をデュアルボート
メモリ３１＋に書込むという動作を行うことができるよ
うにされている。

ここに、デュアルボートメモリ３１１から読み出された
情報のうち、サブデフデー夕を読出すべきページについ
ては、ページレジスタ３３２を介してページセレクタ３
０ｈに供給され、先頭アドレスについての情報は、ベー
スアドレスレジスタ３３３を介してページセレクタ３０
＋に供給される．これら情報によって、ページセレクタ
３０＋はページ及び先頭アドレスを選択することができ
る．なお、読出しアドレスは、アドレスカウンタ３３４
を介して読出しアドレス入力ゲート３０３に供給される
． （６）露光データ書込み・読出し指示手段２３露光デー
タ書込み・読出し指示手段２３は、メインデフデータ系
と共有される． なお、サブデフデー夕系には、加算・減算・比較手段３
６が設けられ、サブデフデー夕の加工を行うことができ
るようにされている。

尤施』眩リ魁竺 本実施例は、前述した第３の発明と同様に動作する。即
ち、第４図に示した第２の発明の動作がメインデフデー
タ系及びサブデフデー夕系について行われる， ｍ朦１魁邊 本実施例においては、メインデフデータ系について、バ
ッファメモリ２４を複数のページ３４、３４・・３４に
区分し、これらページ３４、３４・・・３４の管理をペ
ージ管理用メモリ２６で行い、そして、かかるページ管
理用メモリ２６を参照して、露光データ書込みシーケン
ス手段２７及び露光データ読出しシーケンス手段２８に
よってメインデフデータの書込み制御及び読出し制御を
行うようにしているので、メインデフデー夕を書込める
ページと、読出せるページとを並存させ、メインデフデ
ータのバッファメモリ２４に対する書込みと、読出しと
を同時に行うことができる。

また、サブデフデー夕系についても、バッファメモリ２
９を複数のページ３５、３５・・・３５に区分し、これ
らページ３５、３５　・・３５の管理をページ管理用メ
モリ３１で行い、そして、かかるページ管理用メモリ３
１を参照して、露光データ書込みシーケンス手段３２及
び露光データ読出しシーケンス手段３３よってサブデフ
データの書込み制御及び読出し制御を行うようにしてい
るので、サブデフデータを書込めるページと、読出せる
ページとを並存させ、サブデフデー夕のバッファメモリ
２つに対する書込みと、読出しとを同時に行うことがで
きる。

したがって、本実施例によれば、データ転送の高速化を
図り、露光処理時間の短縮化によるスルーブットの向上
を図ることができる。

［発明の効果］ 本発明によれば、以下のような効果を得ることができる
。

まず、第１の発明（請求項１記載の露光データの転送方
法）によれば、バッファメモリに対する露光データの書
き込みと、バッファメモリからの露光データの読み出し
とを同時に行うことができるので、データ転送の高速化
を図り、露光処理時間の短縮化によるスルーブットの向
上を図ることができる． また、第２の発明（請求項２記載の露光データの転送装
置）によれば、露光データが１種類、例えば、電磁偏向
器用のデータ又は静電偏向器用のデータからなる場合に
、第１の発明を実行し、データ転送の高速化を図り、露
光処理時間の短縮化によるスルーブットの向上を図るこ
とができる。

また、第３の発明（請求項３記載の露光データの転送装
置）によれば、露光データが２種類、例えば、電磁偏向
器用のデータ及び静電偏向器用のデータからなる場合に
、第１の発明を実行し、データ転送の高速化を図り、露
光処理時間の短縮化によるスルーブットの向上を図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明中、第１の発明の原理説明図、第２図は
本発明中、第２の発明の原理説明図、第３図は本発明中
、第３の発明の原理説明図、第４図は本発明中、第２の
発明（第２図例〉の動作を示すフローチャート、 第５図は本発明の一実施例中、メインデフデータ系の楕
戒を示すブロック図、 第６図は本発明の一実施例中、サブデフデー夕系の構成
を示すブロック図、 第７図は従来の電子ビーム露光装置のバッファメモリ装
置を示すブロック図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、露光データ供給部（１３）から供給される露光デー
   タを、バッファメモリ（１４）を介して露光部（１５）
   に転送する露光データ転送方法において、 前記バッファメモリ（１４）を複数のページ（１６、１
   ６・・・１６）に区分し、前記バッファメモリ（１４）
   に対する露光データの書込み制御及び読出し制御を別個
   の手段（１７、１８）によってページ（１６）ごとに行
   うことを特徴とする露光データ転送方法。 ２、複数のページ（１６、１６・・・１６）を設けてな
   るバッファメモリ（１４）と、 前記複数のページ（１６、１６・・・１６）から、露光
   データを書込むべきページ及び露光データを読出すべき
   ページを選択するページアドレス選択手段（１９）と、 前記複数のページ（１６、１６・・・１６）につき、露
   光データ書込み可能ページか、露光データを読出すべき
   ページかを示すデータ及び各ページのつながりを示すデ
   ータを記憶するページ管理用メモリ（２０）と、 該ページ管理用メモリ（２０）を参照して、前記バッフ
   ァメモリ（１４）に対する露光データの書込みをシーケ
   ンス制御する露光データ書込みシーケンス手段（２１）
   と、 前記ページ管理用メモリ（２０）を参照して、前記バッ
   ファメモリ（１４）からの露光データの読出しをシーケ
   ンス制御する露光データ読出しシーケンス手段（２２）
   と、 前記露光データ書込みシーケンス手段（２１）及び前記
   露光データ読出しシーケンス手段 （２２）に対して、それぞれ露光データの書込み指示及
   び読出し指示を行う露光データ書込み読出し指示手段（
   ２３）とを 設けてなることを特徴とする露光データ転送装置。 ３、前記露光データは、主偏向データ及び副偏向データ
   からなり、 前記バッファメモリ（１４）、ページアドレス選択手段
   （１９）、ページ管理用メモリ （２０）、露光データ書込みシーケンス手段（２１）及
   び露光データ読出しシーケンス手段（２２）は、 主偏向データ用のバッファメモリ（２４）、ページアド
   レス選択手段（２５）、ページ管理用メモリ（２６）、
   露光データ書込みシーケンス手段（２７）及び露光デー
   タ読出しシーケンス手段（２８）並びに、 副偏向データ用のバッファメモリ（２９）、ページアド
   レス選択手段（３０）、ページ管理用メモリ（３１）、
   露光データ書込みシーケンス手段（３２）及び露光デー
   タ読出しシーケンス手段（３３）からなる ことを特徴とする請求項２記載の露光データ転送装置。