JPH039328A - 液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【産業上の利用分野】

この発明は液晶表示装Ｗ５特に薄［１−ランジスタ等を
使用したアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置に
関する６ ［従来の技術］ アクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、マトリ
クス状に配列された複数の画素電極の各々に対応して非
線形素子（スイッチング素子）を設けたものである。各
画素における液晶は理論的には常時肝動（デコーティ比
１．０）されているので、時分割駆動方式を採用してい
る、いわゆる単純マトリクス方式ど比べてアクティブ方
式はコントラストが良く特にカラーでは欠かせない技術
となりつつある。スイッチング素子として代表的なもの
どしては薄膜トランジスタ（ＴＰＴ）がある。 従来のアクティブ・７トリクス方式の液晶表示装置にお
いては、透明画素電極を一方の電極どし、隣りの不透明
金属膜からなる走査信号線を他方の電極とし、薄膜トラ
ンジスタのゲート絶ａ膜として使用される絶縁膜と同−
暦の膜を誘電体膜どする保持容量素子を形成している。 この液晶表示装置においては、保持容量素子が設すられ
ているから、液晶に加わる直流成分の値を小さくするこ
とができので、液晶の寿命を向−Ｊ二し、液晶表示画面
の切り替え時に前の画像が残るいわゆる焼き付きを低減
することができ、また保持容量素子は放電時間を長くす
る作用もあるので。 薄膜トランジスタがオフした後の映像情報イτ長く蓄積
することができる、 なお、薄膜トランジスタを使用したアクティブ・マトリ
クス方式の液晶表示装置は、たとえば「冗長構成を採用
した１２．５型アクテイブ・マトリクス方式カラー液晶
デイスプレィ」、日経エレクＩ−ＬＩニクス、頁１９３
〜２１０．１９８６年１２月１５日、日経マグロウヒル
社発行、で知られている。

【発明が解決しようとする課題】

しかし、このような液晶表示装ｒにおいては、透明画素
電極の−・部に不透明金属膜からなる走査信号線な重ね
合わせているから、保持容量素子の保持容量を大きくす
るために、走査信号線の重ね合わせ面積を大きくすると
、開口率が小さくなるので１画面が暗くなり、また透明
画素電極を一方の電極とし、隣りの走査信号線を他方の
電極としているから、ゲ・−ト（垂直走査線）即動装置
に大きな負荷がか力眞ノ、ゲート駆動装置の能力を大き
くする必要がある。 この発明は上述の課題を解決するためになされたもので
、保持容量素子の保持容量を大きくしたとしても、開口
率が小さくなることがなく、またゲート駆動装置に制約
がかからない液晶表示装置を提供することを目的とする
。

【課題を解決するための手段】

この目的を達成するため、この発明においては、薄膜ト
ランジスタと画素電極とを画素の一構成要素とし、上記
画素電極を一方の電極とする保持容量素子が設けられた
アクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置において、
上記保持容量素子の他方の電極を上記薄膜トランジスタ
のゲート＃！ｓ膜どして使用される１ＩＰｌＢ膜」−に
設けられかつ共通画素電極と接続された透明導電膜で構
成する。 この場合、」−記保持容量素子の他方の電極を格子状に
設けてもよい。 また、薄膜Ｆ・ランジスタと画素電極と祭画素の一構成
要素とし、上記画素電極を一方の電極どする保持容量素
子が設けられたアクティブ・７トリクス方式の液晶表示
装置において、上記保持容量素子の他方の電極をソース
電極、ドレイン電極を構成する透明導電膜と同−膜で構
成する４、さらに、薄膜トランジスタと画素電極とを画
素の一構成要素とし、上記画素電極を一方の電極とする
保持容量素子が設けられたアクティブ・マトリクス方式
の液晶表示装置において、ト記保持容量素子の誘電体膜
を保護膜と同−膜で構成する。 また、薄膜トランジスタと画素電極とを画素の一構成要
素とするアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置に
おいて、上記画素電極を保護股上に設ける。 この場合、上記画素電極とソース電極とを上記保護膜に
設けられたスルーホールを介して接続してもよい。

【作用】

この液晶表示装置においては、保持容量素子の他方の電
極を薄膜トランジスタのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜上に設けられかつ共通画素電極と接続された透明
導電膜で構成するから、保持容量素子の保持容量を大き
くしたとしても、開口率が小さくなることはなく、また
ゲート記動装置に大きな負荷が作用することがない。 この場合、保持容量素子の他方の電極を格子状に設けれ
ば、保持容量素子の他方の電極の抵抗が小さくなる。 また、保持容量素子の他方の電極をソース電極、ドレイ
ン電極を構成する透明導電膜と同−膜で構成するから、
製造工程が簡単である。 さらに、保持容量素子の誘電体膜を保護膜と同−膜で構
成するから、製造工程が簡単である。 また、画素電極を保護膜上に設け、この場合に画素電極
とソース電極とを保護膜に設けられたスルーホールを介
して接続するすれば、液晶に作用する電圧を大きくする
ことができる。

【実施例】

以下、この発明の構成について、アクティブ・マトリク
ス方式のカラー液晶表示装置にこの発明を適用した実施
例とともに説明する。 なお、実施例を説明するための企図において、同一機能
を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は
省略する。 第１図はこの発明が適用されるアクティブ・マトリクス
方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面
図、第２Ａ図は第１図の一部拡大図、第２Ｂ図は第１図
、第２Ａ図のＩＩＢ−ＩＩＢ切断線における断面と表示
パネルのシール部付近の断面を示す図、第２Ｃ図は第１
図のｎｃ−ｎｃ切断線における断面図、第３Ａ図は第１
図に示す画素を複数配置したときの平面図、第３Ｂ図は
第１図の第１導電膜ｄｌのみを掃いた平面図である。 （画素配置） 第１図に示すように、各画素は隣接する２本の走査信号
線（ゲート信号線または水平信号線）ＧＬと、隣接する
２本の映像信号線（ドレイン信号線または垂直信号＃）
ＤＬとの交差領域内（４本の信号線で囲まれた領域内）
に配置されている。 各画素は薄膜トランジスタＴＰＴ、透明画素電極ＩＴＯ
１ｂおよび保持容量素子Ｃａｄｄを含む、走査信号線Ｏ
Ｌは列方向に延在し、行方向に複数本配置されている。 映像信号線ＤＬは行方向に延在し、列方向に複数本配置
されている。 （表示部断面全体構造） 第２Ｂ図に示すように、液晶ＬＣを基準に下部透明ガラ
ス基板５ＵＢＩ側には薄膜トランジスタＴＰＴおよび透
明画素電極ＩＴＯ１ｂが形成され、上部透明ガラス基板
５ＵＢＺ側にはカラーフィルタＦＩＬ、遮光用ブラック
マトリクスパターンを形成する遮光膜ＢＭが形成されて
いる。下部透明ガラス基板５ＵＢＩはたとえば１　、１
　［ｍｍｌ程度の厚さで構成されている。 第２Ｂ図の中央部は一画素部分の断面を示しているが、
左側は透明ガラス基板５ＵＢＩ、５ＵＢ２の左側縁部分
で外部引出配線の存在する部分の断面を示しており、右
側は透明ガラス基板５ＵＢ１．５ｔＪＢ２の右側縁部分
で外部引出配線の存在しない部分の断面を示している。 第２Ｂ図の左側、右側のそれぞれに示すシール材ＳＬは
液晶ＬＣを封止するように構成されており、液晶封入口
（図示していない）を除く透明ガラス基板５ＵＢ１．５
ＵＢ２の総周囲全体に沿って形成されている。シール材
ＳＬはたとえばエポキシ樹脂で形成されている。 上部透明ガラス基板５ＵＢ２側の共通透明画素電極ＩＴ
Ｏ２は、少なくとも一個所において、銀ペースト材ＳＩ
Ｌによって下部透明ガラス基板５ＵＢＩ側に形成された
外部引出配線に接続されている。この外部引出配線はゲ
ート電極ＧＴ、ソース電極ＳＤ１、ドレイン電極ＳＤ２
のそれぞれと同一製造工程で形成される。 配向膜○ＲＩＩ、０ＲＩ２、透明画素電極ＩＴ０１ｂ、
共通透明画素電極ＩＴＯ２、保護膜ｐｓ■］、Ｐ　Ｓ　
Ｖ　２、紛林膜ＧｌのそＡ１．（“Ｊ＋、の層は、シー
ル材Ｓ　Ｌの内側に形成さ１＋、る。偏光板１）　０１
、〕、ｐ　ｏ　ｒ、、　２はそれぞれ下部透明ガラス基
板Ｓ　ＵＢｌ、上部透明ガラス基’ｆｈｃ　Ｓ　■−Ｉ
　Ｂ　２の外側の表面に形成されている。 液晶Ｌ　Ｃは液晶分子の向きを設定する下部配向膜０Ｒ
ＩＩと上部配向膜ＯＲＩ　２との間に封入され、シール
部Ｓ　Ｌよってシールされている。 下部配向膜０ＲＩＩは下部透明ガラ２、基板ｓ　ＵＢｌ
側の保護膜１）　Ｓ　Ｖ　１のＪ−、部に形成される。 上部透明ガラス基板Ｓ　Ｕ　Ｂ　２の内側（液晶り、Ｃ
側）の表面には、遮光膜ＢＭ、カラー・フィルタト′Ｉ
　Ｌ、保護膜ＰＳＶ２、共通透明画素電極Ｉ　’ｒ　（
’）２　（ＣＯＭ）および−Ｌ部配向膜０ＲＩ２が順次
禎層して設けられている。 この液晶表示装置は下部透明ガラス基板Ｓ　Ｕ　Ｂｌ側
、上部透明ガラスＵ板Ｅ’、　Ｕ　Ｂ　２側のそ才１．
ぞわの層を別々に形成し、その後上下透明ガラス基板Ｓ
ＵＢ　、１．ＳＵＢ　２を重ね合わせ、両者間に液晶丁
、（じを封入することによって組み立てられる、（薄膜
１〜ランジスタＴ　Ｆ　ｒ　＞ 薄膜トランジスタＴＦＴは、ゲート電極ＧＴに正のバイ
アスを印加すると２ソ・−スート１ツイン間のＪヤネル
抵抗がホざくなり、バイアスを零にするど、チャネル抵
抗は大きくなるように動作すど）。 各画素の薄膜ｌ−・ランジスタ゛ｒＦＴは、画素内にお
いて３つ（複数）に分割され、１薄膜トランジスタ（分
割薄膜トランジスタ）ＴＦＴＩ、ＴＦＴ２およびＴＦＴ
３で構成されている、薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜Ｔ　
Ｐ　Ｔ　３のそれぞれは実質的に同一サイズ（チャンネ
ル長と幅が同じ）で構成されでいる。この分割さｔｌま
た薄膜［・ランジスタＴ　ＦＴ１〜７１’　Ｆ　Ｔ’　
３のそれぞオｔは、主にグー１−電極Ｇ　Ｔ　。 ゲート絶縁膜ＧＩ、ｊ型（真性、１ｎｔｒｉｎｓｉｃ、
導電型決定不純物がドープさ第１．ていない）非晶質シ
リコン（Ｓｉ）からなるｉ型半導体層Ａ　Ｓ、一対のソ
ース電極ＳＤＩおよびドレイン電極Ｓ　Ｄ　２．で構成
されている、なお、ソース・トレイン１廿本来その間の
バイアス極性によって法まり、この液晶表示装置の回路
ではその極性は動作中反転するので、ソース・１コ１メ
インは動作中入汎神わると理解されたい。しかし、以下
の説明でも、便宜上一方をソース、他方をドレインと固
定して表現する。 （ゲーＩ−電極ＧＴ３＞ ゲート電極ＧＴは第４図（第１図の第１導電膜ｇ１．第
２導電膜に２およびｊ型半導体層ＡＳのみを描いた平面
図）に詳細に示すように、走査信号線ＧＬから垂直方向
（第Ｊ−図および第４図において上方向）に突出する形
状で構成されている（丁字形状に分岐されている）。ゲ
・＝１−電極ＧＴは薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ
３のそれぞれの形成領域まで突出するように構成されて
いる。 薄膜トランジスタＴＦＴＩ〜Ｔ　Ｆ　Ｔ　３のそｔＮ、
それのゲート電極ＧＴは、−・体に（共通ゲート電極と
して）構成されており、走査信号線Ｇ１、に連続し・て
形成さｉ］、ている、ゲート電極ＧＴは、薄膜ｌ・ラン
ジスタＴＰＴの形成領域において大きい段差を作らない
ように、単層の第１．導電膜ｇ１で構成する。第１導電
膜ｇ１はたとえばスパッタで形成されたクロム（Ｃｒ）
膜を用い、　１０００［人コ程度の膜厚で形成する、 このゲー・上電極ＧＴは第１図、第２Ｂ図および第４図
に示されているように、ｉ型半導体ＮＪＡｓを完全に覆
うよう（）方からみて）それより太き目に形成される。 し５たがって、下部透明ガラス基板５ＵＢＩ−の下方に
蛍光灯等のバックライト）３　Ｌを取り何けた場合、こ
の不透明なりロムからなるゲー・上電極ＧＴが影となっ
て、ｊ型半導体ＭＡｓにはバックライト・光が当たらず
、光照射による導電現象すなわち薄膜トランジスタＴＰ
Ｔのオフ特性劣化は起きにくくなる。なお、ゲート電極
Ｇ　Ｔの本来のノくきさは、ソース電極ＳＤＩとドレイ
ン電極ＳＤ２との間をまたがるに最低限必要な（ゲート
電極ＧＴどソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２との
位置合わせ余裕分も名めて）幅を持ち、チャンネル幅Ｗ
を決めるその奥行き長さはソース電極ＳＤＩとドレイン
電極ＳＤ２との間の顕熱（チャンネル長）Ｌとの比、す
なわち相互コンダクタンスｇｍを決定するファクタＷ／
Ｌをいくつにするかによって決めら才】２る。 この液晶表示装置におけるゲート電極ＧＴの大きさはも
ちろん、上述した本来の大きさよりも大きくされる。 なお、ゲート電極ＧＴのゲートおよび遮光の機能面から
だけで考えれば、ゲート電極ＧＴおよび走査信号ｇＧＬ
は単一の層で一体に形成してもよく、この場合不透明導
電材料としてシリコンを含有させたアルミニウム（ＡＩ
）、純アルミニウム、パラジウム（Ｐｄ）を含有させた
アルミニウム等を選ぶことができる。 （走査信号線ＧＬ＞ 走査信号線ＧＬは第１導電膜ｇ１およびその上部に設け
られた第２導電膜ｇ２からなる複合膜で構成されている
。この走査信号線ＧＬの第１導電膜ｇ１はゲート電極Ｇ
Ｔの第１導電膜ｇ１と同一製造工程で形成され、かつ一
体に構成されている。 第２導電膜ｇ２はたとえばスパッタで形成されたアルミ
ニウム膜を用い、　１ｏｏｏ〜５５００［人］程度の膜
厚で形成する。第２導電膜ｇ２は走査信号線ＧＬの抵抗
値を低減し、信号伝達速度の高速化（画素の情報の書込
特性向上）を図ることができるように構成されている。 また、走査信号線ＧＬは第１導電膜ｇ１の幅寸法に比べ
て第２導電膜ｇ２の幅寸法を小さく構成している。すな
わち、走査信号線ＧＬはその側壁の段差形状がゆるやか
になっている。 （絶縁膜ＧＩ＞ 絶縁膜ＧＩは薄膜トランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３のそ
れぞれのゲート絶縁膜として使用される。 絶縁膜Ｇ１はゲート電極ＧＴおよび走査信号ｔＡＧＬの
上層に形成されている。絶縁膜ＧＩはたとえばプラズマ
ＣＶＤで形成された窒化シリコン膜を用い、３０００［
人］程度の膜厚で形成する。 （ｉ型半導体層Ａ　Ｓ　） ｉ型半導体層ＡＳは、第４図に示すように、複数に分割
された薄膜トランジスタＴＰＴ１〜ＴＦＴ３のそれぞれ
のチャネル形成領域として使用される。ｉ型半導体ＪＷ
ＡＳは非晶質シリコン膜または多結晶シリコン膜で形成
し、約１８００［人コ程度の膜厚で形成する。 このｉ型半導体層ＡＳは、供給ガスの成分を変えてＳｉ
、Ｎ、からなるゲート絶縁膜として使用される絶縁膜Ｇ
Ｉの形成に連続して、同じプラズマＣＶＤ装置で、しか
もそのプラズマＣＶＤ装置から外部に露出することなく
形成される７゜また、オーミックコンタクト用のＰをド
ープしたＮ＋型半導体１ｄｏ（第２Ｂ図）も同様に連続
して約４００［人］の厚さに形成される。しかる後、下
部透明ガラス基板５ＵＢＩはＣＶＤ装置から外に取り出
され、写真処理技術によりＮ＋型半導体層ｄＯおよびｉ
型半導体層ＡＳは第１図、第２Ｂ図および第４図に示す
ように独立した島状にパターニングされる。 ｉ型半導体層ＡＳは、第１図および第４図に詳細に示す
ように、走査信号線ＧＬと映像信号線ＤＬとの交差部（
クロスオーバ部）の両者間にも設けられている。この交
差部のｉ型半導体層ＡＳは交差部における走査信号線Ｏ
Ｌと映像信号線ＤＬとの短絡製低減するように構成され
ている。 （保護膜ＰＳＶＩ＞ 薄膜トランジスタＴＦＴ上には保護膜Ｐ　Ｓ　Ｖ　１が
設けられている。保護膜ＰＳＶＩは主に薄膜トランジス
タＴＰＴを湿気等から保護するために形成されており、
透明性が高くしかも耐湿性の良いものを使用する。保護
膜ＰＳＶＩはたとえばプラズマＣＶＤ装置で形成した酸
化シリコン膜や窒化シリコン膜で形成されており、８０
００［人］程度の膜厚で形成する。 （ソース電極ＳＤ１、ドレイン電極ＳＤ２＞複数に分割
された薄膜トランジスタＴＰＴ１〜ＴＦＴ３のそれぞれ
のソース電極ＳＤ１とドレイン電極ＳＤ２とは、第１図
、第２Ａ図、第２Ｂ図および第５図（第１図の第２導電
膜ｄ２〜第４導電膜ｄ４のみを描いた平面図）で詳細に
示すように、ｉ型半導体層ＡＳ上にそれぞれ離隔して設
けられている。 ソース電極ＳＤＩは、Ｎ＋型半導体層ｄｏに接触した第
１導電膜ｄ１と、保護膜ＰＳＶＩに設けられたスルーホ
ールＣ０ＮＴを介して第１導電膜ｄ１と接続された第４
導電膜ｄ４とで構成されており、ドレイン電極ＳＤ２は
、第１導電膜ｄ１と、保護膜Ｐ　Ｓ　Ｖ　１に設けらオ
］、たスルーホールＣ０ＮＴを介して第１導電膜ｄ１と
接続された第４導電膜ｄ４と、第４導電膜ｄ４上に重ね
合わされた第２導電膜ｄ２、第３導電膜ｄ３とで構成さ
れている。 第１導電膜ｄ１．第４導電膜ｄ４はスパッタリングで形
成された透明Ｓｉ膜（Ｉｎｄｕｉｍ−Ｔｉｎ−Ｏｘｉｄ
ｅＩ　Ｔ○ニオ２ザ膵）からなり、１０００〜２０００
［人コの膜厚（この液晶表示装置では、　１２００［人
］程度の膜厚）で形成される。この第１導電膜ｄ１はソ
ース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２を構成するととも
に、第３Ｂ図にも示すような格子状の透明補助電極ＩＴ
Ｏ１ａを構成しており、第４導電膜ｄ４はソース電極Ｓ
ＤＩ、ドレイン電極Ｓ　Ｄ　２および映像信号！ＤＬを
構成するとともに、透明画素電極ＮＴＯ１ｂを構成して
いる。また、第２導電膜ｄ２はスパッタで形成したクロ
ム膜を用い、　　ＳＯＯ〜１０００［人］の膜厚（この
液晶表示装置では、６００［人］程度の膜厚）で形成す
る。クロム膜は膜厚を厚く形成するどス１−１７スが大
きくなるので、７０００［人］８度の膜厚′＠：越えな
い範囲で形成する。なお、第２導電膜ｄ２とＬ２ては、
クロム膜の他に高融点金属（Ｍｏ、Ｔｉ、Ｔａ、Ｗ）膜
、高融点金属シリサイド（ＭｏＳｉ、、ＴｉＳｉ２．、
ＴａＳｉ、、ＷＳｉ、）膜で形成してもよい。さらに、
第３導電膜ｄ３はスパッタリングで形成されたアルミＳ
ニウムからなり、３０００〜５５００［入コの膜Ｎ（こ
の液晶表示装置では、３５００［人〕程度の膜厚）に形
成される。アルミニウム膜はタロノ、膜に比へてストレ
スが小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、トド・
イン電極Ｓ　Ｄ　２および映像信号線Ｄ　Ｌの抵抗値を
低減するように構成さ第１．ている。第３導電欣

【１３
としてはアルミニウム膜の他にシリコンや銅（Ｃｕ）を
添加物どして含有さぜたアルミニウノ、膜で形成しても
よい。 第１導を膜ｄ１を写真処理でバターニングした後、同じ
写真処理用マスクを用いて、あるいは第１導電膜ｄｌを
マスクどして、Ｎ８型半導体層ｄＯが除去される。つま
り、ｊ、型半導体層ＡＳ上に残っていたＮ＋型半導体眉
ｄｏは第１．導電膜ｄ］以外の部分がセルファラインで
除去される。このとき、Ｎ＋型半導体層ｄＯはその厚さ
分は全て除去されるようエッチされるので、ｊ型半導体
ＲＡＳも若干その表面部分でエッチされるが、その程度
はエッチ時間で制御すればよい。 ソース電極Ｓ　Ｄ　１は透明画素電極Ｊ　’］”Ｏｌｂ
に接続されている。ソース電極ＳＤｉは、ｉ型半導体Ｍ
ＡＳの段差形状（第１導電膜ｇ１の膜厚。 Ｎ＋型半導体層ｄＯの膜厚およびｊ型半導体ＨＡＳの膜
厚を加算した膜厚に相当する段差）に沿って構成されて
いる。 （透明画素電極ＩＴＯ１ｂ＞ 透明画素電極Ｉ　Ｔ　Ｏ１ｂは各画素毎に設けらｔｌｌ
でおり、液晶表示部の画素電極の一方を構成する９透明
画素電極’ＩＴＯ１ｂは画素の複数に分割された薄膜ト
ランジスタＴＰＴＩ〜ＴＦＴ３のそれぞれに対応して３
つの分割透明画素電極Ｅ１．Ｅ２、Ｅ３に分割されてい
る。分割透明画素電極Ｅ１〜Ｅ３は各々薄膜１−ランジ
スタＴＦＴのソース電極ＳＤＩに接続されている。 分割透明画素電極Ｅｌ−Ｅ３のそれぞれは実質的に同一
面積となるようにパターニングされている。 このように、１画素の薄膜トランジスタＴ　Ｐ　Ｔを複
数の薄膜トランジスタＴＦＴＩ−Ｔ　Ｆ　Ｔ　３　＆：
全分割、この複数に分割された薄膜トランジスタＴＰＴ
］〜ＴＦＴ３のそれぞれに分割透明画素電極Ｅ１＝−Ｅ
３のそれぞれを接続することにより、分割された一部分
（ｌ−とえば、薄膜トランジスタＴＦＴＩ）が点欠陥に
なって４＝〕、画素全体でみれば点欠陥でなくなる（薄
膜トランジスタＴＰＴ２および薄膜１−ランジスタＴＦ
Ｔ３が欠陥でｂ゛い）ので、点欠陥の確率を低減するこ
とができ、また欠陥を見にくくすることができる、 また５分割透明画素電極Ｅｌ−Ｅ３のそれぞわを実質的
に同一面積で構成することにより、分割透明画素電極Ｅ
１〜Ｅ３のそれぞれと共通透明画素電極ＩＴＯ２とで構
成されるそれぞれの液晶容量ｃｐｉｘを均一　にするこ
とができる。 （遮光膜ＢＭ）＞ 上部透明ガラス基板５ＵＢＺ側には、外部光（第２Ｂ図
では上方からの光）がチャネル形成領域として使用され
るｊ型半導体ＲＡＳに入射されないように、遮蔽膜ＢＭ
が設けられ、遮蔽膜ＢＭは第６図のハツチングに示すよ
うなパターンとされている。なお、第６図は第１図にお
けるＩＴＯ膜からなる第４導電膜ｄ４、カラーフィルタ
ＦＩＬおよび遮光膜ＢＭのみを描いた平面図である。 遮光膜ＢＭは光に対する遮蔽性が高いたとえばアルミニ
ウム膜やクロム膜等で形成されており、この液晶表示装
置ではクロム膜がスパッタリングで１３００［人］程度
の膜厚に形成される。 したがって、薄膜トランジスタＴＦＴＩ〜ＴＦＴ３のｉ
型半導体層ＡＳは上下にある遮光膜ＢＭおよび太き目の
ゲート電極ＧＴによってサンドインチにされ、その部分
は外部の自然光やバックライト光が当たらなくなる。遮
光膜ＢＭは第６図のハツチング部分で示すように９画素
の周囲に形成され、つまり遮光膜ＢＭは格子状に形成さ
れ（ブラックマトリクス）、この格子で１画素の有効表
示領域が仕切られている。したがって、各画素の輪郭が
遮光膜ＢＭによってはっきりとし、コントラストが向上
する。つまり、遮光膜ＢＭはｉ型半導体層ＡＳに対する
遮光とブラックマトリクスとの２つの機能をもつ。 なお、バックライトを上部透明ガラス基板５ＵＢ２側に
取り付け、下部透明ガラス基板５ＵＢＩを観察側（外部
露出側）とすることもできる。 （共通透明画素電極ＩＴＯ２＞ 共通透明画素電極ＩＴＯ２は、下部透明ガラス基板５Ｕ
ＢＩ側に画素毎に設けられた透明画素電極ＩＴＯ１ｂに
対向し、液晶ＬＣの光学的な状態は各画素電極ＩＴ○１
ｂと共通透明画素電極ＬＴＯ２との間の電位差（電界）
に応答して変化する。 この共通透明画素電極ＩＴＯ２にはコモン電圧Ｖｃｏ園
が印加されるように構成されている。コモン電圧Ｖｃｏ
ｍは映像信号ｇＤＬに印加されるロウレベルの駆動電圧
Ｖ　ｄ　１ＩＩｉｎとハイレベルの駆動電圧Ｖ　ｄ　ｗ
ａｘとの中間電位である。 （カラーフィルタＦ　Ｉ　Ｌ） カラーフィルタＦＩＬはアクリル樹脂等の樹脂材料で形
成される染色基材に染料を着色して構成されている。カ
ラーフィルタＦＩＬは画素に対向する位置に各画素毎に
ドツト状に形成され（第７図）、染め分けられている、
（第７図は第３Ａ図の第４導電膜層ｄ４とカラーフィル
タＦＩＬのみを描いたもので、Ｒ，Ｇ、Ｂの各カラーフ
ィルターＦＩＬはそれぞれ、４５’　　　１３５°、ク
ロスのハツチを施しである）、カラーフィルタＦＩＬは
第６図に示すように透明画素電極ＩＴＯ１ｂ　（Ｅｌ〜
Ｅ３）の全てを覆うように太き目に形成され、遮光膜Ｂ
ＭはカラーフィルタＦＩＬおよび透明画素電極ＩＴＯ１
ｂのエツジ部分と重なるよう透明画素電極ＩＴＯ１ｂの
周縁部より内側に形成されている。 カラーフィルタＦＩＬは次のように形成することができ
る。まず、上部透明ガラス基板５ＵＢ２の表面に染色基
材を形成し、フォトリソグラフィ技術で赤色フィルタ形
成領域以外の染色基材を除去する。この後、染色基材を
赤色染料で染め、固着処理を施し、赤色フィルタＲを形
成する。つぎに、同様な工程を施すことによって、緑色
フィルタＧ、青色フィルタＢを順次形成する。 （保護ＤＩＰ　Ｓ　Ｖ　２＞ 保護膜ＰＳＶ２はカラーフィルタＦＩＬを異なる色に染
め分けた染料が液晶ＬＣに漏れることを防止するために
設けられている。保護膜ＰＳＶ２はたとえばアクリル樹
脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成されている。 （画素配列） 液晶表示部の各画素は、第３Ａ図および第７図に示すよ
うに、走査信号線ＧＬが延在する方向と同一列方向に複
数配置され、画素列Ｘｉ、Ｘ２゜Ｘ３．Ｘ４．・・・の
それぞれを構成している。各画素列Ｘｉ、Ｘ２．Ｘ３．
Ｘ４．・・・のそれぞれの画素は、薄膜トランジスタＴ
ＦＴＩ〜ＴＦＴ３および分割透明画素電極Ｅ１〜Ｅ３の
配置位置を同一に構成している。つまり、奇数画素列Ｘ
ｉ、Ｘ３゜・・・のそれぞれの画素は、薄膜トランジス
タＴＰＴ１〜Ｔ　Ｐ　Ｔ署３の配Ｐη位旨ｋｔ−１側、
分割透明画素電極Ｅ１＝Ｅ３の配置位置を右側に構成し
ている。 奇数画素列Ｘ１．、Ｘ、３．・・・のぞれｒれの行方向
の藺りの偶数画素列Ｘ２．、Ｘ４．、・・・の（・れぞ
ｔｂの画素は、奇数画素列ＸＩ、Ｘ３．・・・のそれぞ
れ（７）画素を映像信号線Ｄ　Ｌの延在方向壱−基準に
して線、）１゛称でひっくり返した両察で構成ざ７１、
°Ｃいる。すなＪ、ち、画素列Ｘ２．Ｘ−１，・・・の
それぞれの画素は、薄膜］・ランジスタ゛ｒ　Ｆ　Ｔ　
３〜ＴＦＴ３の配置位置を：：＜Ｊ側、透明画素電相Ｔ
Ｊ　ｌ−−−Ｅ　３の配置位置を左側に構成１．ている
、そＩ、τ”、画素列Ｘ２．Ｘ４゜・・・のそれぞれの
画素は、画素列Ｘｉ、Ｘ３、・・・のそれぞれの画素１
．：１月し、列方向に牢画素間隔移動さ且′τ（ずら１
，７て）酩酊’Ｍ　Ｊ”！−ている。つまり、画素列Ｘ
の名画素間隔を１゜Ｏ（Ｘ、ａピッ、・チ）とすると、
次段の画素列Ｘ１大、各＠列間隔を１．０と１９１、前
段の画素列ンロＪ対して列方向に０．５画素間隔（０，
５ピツチ）ずれている。各画素同名行方向に延在”する
映像信号線１）１．は、名画素列Ｘ間において、半画素
間Ｍ勺（０，５ピツチ分）列方向に延在１１ろように構
成％　、ｔｌ、、ている。 その結果、第７図に示すように、前段の画素列Ｘの所定
色フＹルタが形成された画素（たと六（、ｒ、画素列Ｘ
３の赤色フィルタＸくが形成された１ｊｉｉ崇）ど次段
の画素列Ｘの同一色フィルタが形成ざオした画素（たど
えば、画素列Ｘ４の赤色フィルタＲが形成さ九た画素）
とが１．５画素間隔（１，５ピツチ）＃隔声れ、またＲ
　Ｇ　ＢのカラーフィルりＦＩＬは二Ｆ角形配置２・な
る。カラーノ、イルタＦＩ丁、のＲＧＩ３の二そ角形配
置構造は、各色のｐ、色を良くする−どができるので、
カラー画像のＭ像度を向＋４”ｂごとができる９ Ｓゴー１、映像信号線１）　Ｉ、は５各画素列ＸＱＩ冒
−ｊ？いで、半画素間隔分しフ）゛・列方１＃ｉ、ｌに
延在しない０）Ｔ、”。 隣接する映像信号線Ｉ”）１．２−交差Ｌ　乃”、　く
なる。【５、たがって、映像４８号線Ｄ〕、の引き回１
．３なくシ、その占有面積を但、減する、二とができ、
また映像信号創；Ｄ　Ｌの迂回をなく１７、多層配線構
造を廃＋１・する１・゛とができる。 （表示装置全体等価回路） この液晶表示装置の等価回路を第１３回に示イ″、４Ｘ
ｉＧ、Ｘｉ→】（′弓　・・・は、緑色フィルタＧが形
成される画素に接続されシー映像信号線Ｄ■１でおる９
Ｘ′ｉ、　１３　＊　Ｘ　１（−Ｉ　Ｂ　＋・・・１プ
１、青色フィル々１３が形成される両ｉυユ接続された
映像信（づ・綜Ｄ　Ｔ−、である。 Ｘ　ｊ、　−１−、Ｉ　Ｒ、Ｘ　ｉ　＋　２　Ｒ、・・
・は、赤色５ノイルりＲが形成、される画素に接続さ九
た映像借汗縁１）

【、ｅある。これらの映像１１号線Ｄ
　Ｌは、映像ｆｆ１号即押ノ回路で選択さオ］５る。Ｙ
ｉは第３Ａ図および第７図に示す画素列ＸＩを選択する
走査イ【呼線Ｇ’Ｌである、同様に、Ｙ　ｚ　＋　１　
ｒ　’ｉ’　ｘｉ、　＋　２　＋・・のぞ′ＪＡ、ぞｉ
＋。 は１画素列Ｘ２．Ｘ３．・・・のそれぞＪｔ、を選択す
る走査信号線Ｇ　Ｌである。こわ、らの走査信号線ＧＬ
１４垂直走査回路に接続されている。 （保持容量素“ｆ−Ｃａｄｄの構造） 分割透明画ヌミ電極Ｅ　１−・Ｅ３のキ扛ぞれは、簿膜
ト・ランジスタＴＦＴと接続さＪしる端部ど反対側の端
部においで、船林膜ＣＥ　Ｉ上に形成された透明補助電
極ＴＴＯ１ａど重なるよう７■−２字状に屈拓１、、、
　’１″′形成さ剛１、τいる。この重ね合わせは、第
２ｃ図か１′、も明らかなように　分割透明「・η７Ｍ
電極Ｅｌ〜Ｅ３の７−れ、それを一方の電極Ｐ丁、２と
１．１、透明補助電極Ｉ　Ｔ　Ｏ］、　ａを他方の電極
Ｐ　Ｌ　１とする保持容量素子（静電容量素子）Ｃ＋１
ｄｃｌを構成しでいる。透明補助電極Ｉ　’Ｔ’　０１
　ｓは銀ぺ・−・スト材Ｓ　Ｌを介して共通透明画素電
極Ｉ　−１”　０２　（”Ｖｃｏｑ　）　ｂこ接１す］
、ており、保持容量素子Ｃａｄｄの誘電体膜は、保護膜
Ｐ　Ｓ　Ｖ　３と同一・層で構成さＪ〕、ている。 このように、保持容量素子Ｃａｄｄの電極Ｐ　１．、、
　ｉ、ＰＬ２が透明補助電極ＴＴ○１ａ、分割透明画素
ｉ、極Ｅｌ〜ｆり３から構成され、て二いるから、保持
容量素子Ｃａｄｄの保持容置を人きくシ六−どしても９
開口率が小さくなることはな））ので、両面が明るくな
り、しかも透明補助電極Ｉ　ＴＯ１ａは共通透明画素１
ｉ極ＩＴＯ２いｒ　ｃａｎ　）　！−，接続され、でお
り、走査信号線ａ　ｒ、　ｉ、二は接続さ２１でいない
から、ゲ・−Ｉ−耶動装ｒに犬ぎう・負荷が作用するこ
とがないθ）で、ゲーｔ−即ａ電圧を大きくする必要が
な１）、また、透明補助電極ＮＴＯ１ａが格子状でａる
から、透明補助電極Ｎ　Ｔ　０１．　ａの抵抗が小さく
なるので、保持容量素子Ｃａｄｄの作用が確実となる。 さらに、透明補助電極ＩＴＯ１ａとソース電極ＳＤＩ、
ドレイン電極ＳＤ２を構成する導電膜とを同一の第１導
電膜ｄ１で構成するから、製造工程が簡単であるので、
製造コストが安価であるとともに、保護膜ＰＳＶＩにス
ルーホールＣ０ＮＴを設けるときに、保護膜ＰＳＶＩと
ともにＮ＋型半導体層ｄＯが除去されるのを防止するこ
とができる。すなわち、Ｎ＋型半導体層ｄｏ上に第１導
電膜ｄ１を設けないときには、保護膜ＰＳＶＩとＮ＋型
半導体層ｄＯとの選択エツチングを行なうことができな
いので（保護膜ＰＳＶＩの窒化シリコンのエツチング液
は非晶質シリコンも溶かしてしまう。選択比が良くない
、）、保護膜ＰＳＶ１にスルーホー／Ｌ／Ｃ０ＮＴを設
けるときに、保護ＩＰＪＰｓＶ１とともにＮ＋型半導体
層ｄｏが除去されてしまうが、Ｎ＋型半導体層ｄｏ上に
第１導電膜ｄ１を設けたときには、Ｎ４″型半導体層ｃ
ｌｏが除去されるのを防止することができる。また、保
持容量素子Ｃａｄｄの誘電体膜を保護膜ＰＳＶＩと同−
膜で構成するから、製造工程が簡単であるので、製造コ
ストが安価である。さらに、分割透明画素電極Ｅ１〜Ｅ
３とソース電極ＳＤ１とを保護膜ＰＳＶ］に設けられた
スルーホールＣ０ＮＴを介して接続して１分割透明画素
電極Ｅ１〜Ｅ３を保護膜ＰＳｖｌ上に設けているから１
分割透明画素電極Ｅ１〜Ｅ３と共通透明画素電極ＩＴＯ
２との間に保護膜ＰＳＶＩは存在しないから、液晶ＬＣ
に作用する電界を大きくすることができるので、言い換
えればゲート駐動電圧を下げることができる。 また、上述のスルーホールＣ０ＮＴの形成は、表示マト
リクス周辺の外部接続端子部を露出する工程と同時にで
きるので、そのために工程数やフォトマスクの枚数を増
やさなくともよい。 （保持容量素子Ｃａｄｄの等価回路とその動作）第１図
に示される画素の等価回路を第９図に示す、第９図にお
いて、Ｃｇｓは薄膜トランジスタＴＰＴのゲート電極Ｇ
Ｔとソース電極ＳＤ１との間に形成される寄生容量であ
る。寄生容量Ｃｇｓの誘電体膜は絶縁膜ＧＩである。　
Ｃｐｉｘは透明画素電極ＩＴＯ１ｂ　（ＰＩＸ）と共通
透明画素電極ＩＴ○２　（ＣＯＭ）との間に形成される
液晶容量である。液晶容量Ｃｐｉｘの誘電体膜は液晶Ｌ
Ｃおよび配向膜０ＲＩ１．○ＲＩ２である。Ｖｌｃは中
点電位である。 保持容量素子Ｃａｄｄは、薄膜トランジスタＴＰＴがス
イッチングするとき、中点電位（画素電極電位）Ｖｌｃ
に対するゲート電位変化ΔＶｇの影響を低減するように
働く、この様子を式で表すと、次式のようになる。 ΔＶｌｅ＝　（Ｃｇｓ／（Ｃｇｓ＋Ｃａｄｄ＋Ｃｐｉｘ
））ＸΔｖｇここで、ΔＶｌｃはΔＶｇによる中点電位
の変化分を表わす、この変化分ΔＶｌｃは液晶ＬＣに加
わる直流成分の原因となるが、保持容量Ｃａｄｄを大き
くすればする程、その値を小さくすることができる。ま
た、保持容量素子Ｃａｄｄは放電時間を長くする作用も
あり、薄膜トランジスタＴＰＴがオフした後の映像情報
を長く蓄積する。液晶ＬＣに印加される直流成分の低減
は、液晶ＬＣの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え
時に前の画像が残るいわゆる焼き付きを低減することが
できる。 前述したように、ゲート電極ＧＴはｉ型半導体層ＡＳを
完全に覆うよう大きくされている分、ソース電極ＳＤ１
、ドレイン電極ＳＤ２とのオーバラップ面積が増え、し
たがって寄生容量Ｃｇｓが大きくなり、中点電位Ｖｌｃ
はゲート（走査）信号Ｖｇの影響を受は易くなるという
逆効果が生じる。 しかし、保持容量素子Ｃａｄｄを設けることによりこの
デメリットも解消することができる。 保持容量素子Ｃａｄｄの保持容量は、画素の書込特性か
ら、液晶容ｆｃｐｉｘに対して４〜８倍（４・Ｃｐｉｘ
＜　Ｃａｄｄ＜　８　・Ｃｐｉｘ）　、重ね合わせ容量
Ｃｇｓに対して８〜３２倍（８・Ｃｇｓ＜　Ｃａｄｄ＜
　３２・Ｃｇｓ）程度の値に設定する。 つぎに、第１０図により第１図〜第９図に示した液晶表
示装置の製造方法について説明する。まず、第１０図（
ａ）に示すように、７０５９ガラス（商品名）からなる
下部透明ガラス基板５ＵＢＩ上に膜厚が１１００［人コ
のクロムからなる第１導電膜ｇ１をスパッタリングによ
り設ける。つぎに、第］フォ１へ（フォト・レジスト塗
布、露光等の′グ真処理）を行なったのち、エツチング
液として硝酸第２セリウムアンモニウム溶液を使用し、
で、第１導電膜ｇ１を選択的にエツチングすることによ
っＴ、走査信号線Ｇ　Ｌの第１１Ｍ、ゲート電極ＧＴを
パターニングする。つぎに、レジス１−を剥離液５５０
２（商品名）で除去したのち、０．アッシャ−を１分間
行なう。つぎに、膜厚が１０００［人］のアルミニウム
ーパラジウム、アルミニウムーシリコン、アルミニウム
ーシリコンーヂタン、アルミニウムーシリコン−絹等か
らなる＠２２導電股２をスパッタリングにより設ける。 つぎに、第２フオトを行なったのち、エツチング液どし
てリン酸と硝酸と酢酸との混酸を使用して、第２導電股
ｇ２を選択的にエツチングすることに、Ｊ：す、走査信
号線ＧＬの第２Ｍをパターニングする。つぎに、ドライ
エツチング装置にＳＦ、Ｂガスを導入して、シリコン等
の残渣を除去したのち、Ｌ／レジスト除去する。つぎに
、第１０図（１））に示すように、プラズマＣＶＤ装置
にアンモニアガス、シランガス、窒素ガスを導入しで、
膜厚が３５００［人コの窒化シ１１コンＩＩ！Ａ　Ｇ　
Ｉを設け、プラズマＣＶＤ装置にシランガス、水素ガス
を導入して、膜厚が２１００［入］の］型Ｉｌ１品質シ
リコン膜ＡＳｔ！：設けたのち、プラズマＣＶＤ装置に
水素ガス、ホスフィンガスを導入して、膜厚が３００［
人］のＮ＋型シリコン膜ｄｏを連続的に成長させる。つ
ぎに、第１０図（Ｃ〕）に示すように、＠３フォトを行
なったのち、ドライエツチングガスとしてＳＦｓ、ＣＣ
ｌ２４を使用して、Ｎ＋型シリコン膜、ｊ型非晶質シリ
コン膜を選択的にＪ、ツチングすることにより、ｊ型半
導体ＪＦ７ＡＳをバタ・−ニングする。゛つぎに、レジ
ス［・を除去し、第４）第１・・を行なったのち、ドラ
イエツチングガスとしてＳＦ、を使用して、７１−リク
ス周辺の列部接続端子部（ゲ・−１・端子部）等の窒化
シＩＩコン膜を選択的にエツチングすることによって、
紛糾Ｂｃ　Ｉをパターニングする、つぎに、第１０Ｉｆ
ｆｌ（ｄ）に示すように、１ノジストを除去したのぢ、
膜厚が１２００［人］のＩＴＯ股からなる第１導電膜ｄ
〕をスパッタリングにより設けるゆ′つぎに、第５フオ
トを行なったのぢ、エツチング液として塩酸と硝酸との
混酸を使用ｔ、２て、第１導電膜ｄ１を選択的にエツチ
ングすることにより、ソース電極ＳＤ１、ドレイン電極
ＳＤ２の第１−層および透明補助電極ＩＴ○】ａをパタ
ーニングする。つぎに、レジストを除去する前に、ドラ
イエツチング装置にＣｅＯ２，ＳＦ、を導入して、Ｎ＋
型シリコン膜を選択的にエツチングすることにより、Ｎ
＋型半導体層ｄｏをパターニングするいつぎに、第１０
図（ｃ）に示すように、レジストを除去したのち、プラ
ズマＣＶＤ装置にアンモニアガス、シランガス、窒素ガ
スを導入して、膜厚が１［／Ｊｌｌ：ｌの窒化シリコン
膜ＰＳＶＩを設ける。つぎに、第６フオトを行なったの
ち、ドライエツチングガスどしてＳ　Ｆ　Ｇ　ｋ使用し
て、窒化シリコン膜を選択的にエツチングすることによ
って、保護［ＰＳＶｌをパターニングするとともに、保
護膜ＰＳＶＩにスルーホールＣ０ＮＴを設ける。このと
き、Ｎ＋型非晶質シリコン層は透明導電ＷＡ、ｄｌで保
護されているため、エツチングされることはない。つぎ
に、第１０図（ｆ）に示すように、レジストを除去した
のち、膜厚が１２００［人］のＩＴＯ膜からなる第４導
電膜ｄ４をスパッタリングにより設ける。つぎに、第７
フオト・を行なったのち、エツチング液と１．て塩酸と
硝酸との混酸を使用し５て、第４感電膜ｄ４を選択的＆
こエツチングすることにより、映像信号ＩＤＬの第１層
、ソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２の第２層およ
び透明画素電極Ｉ　ＴＯｉ　＋）をパターニングする。 つぎに、第１０図（匹）に示すように、レジストを除去
したのち、膜厚が６００［人］のクロムからなる第２導
電膜ｄ２をスパッタリングにより形成する。つぎに、第
８フオトを行なったのち、エツチング液として硝酸第２
セリウムアンモニウム溶液を使用し″（、第２導電膜ｄ
２を選択的にエツチングすることにより、映像信号線Ｄ
Ｌの第２Ｍ、ドレイン電極ＳＤ２の第３層をパターニン
グする。つぎに、レジストを除去したのち、０２アッシ
ャ−を１分間行なう。つぎに、第１０図（１１）に示す
ように、膜厚が３５００［人］のアルミニウムーパラジ
ウム、アルミニウムーシリコン、アルミニウムーシリコ
ン−チタン、アルミニウムーシリコン−銅等からなる第
３導電膜ｄ３をスパッタリングにより形成する。つぎに
、第９フオトを行なったのち、エツチング液としてリン
酸と硝酸と酢酸との混酸を使用して、第３導電１ｄ３を
選択的にエツチングすることにより、映像信号線ＤＬの
第３層、ソース電極ＳＤＩの第４層をパターニングする
。つぎに、レジストを除去したのち、０２アッシャ−を
１分間行なう。 第１１Ａ図はこの発明が適用される他のアクティブ・マ
トリクス方式カラー液晶表示装置の一画素とその周辺を
示す平面図、第１１Ｂ図は第１１Ａ図の一部拡大図であ
る。この液晶表示装置においては、走査信号線ＧＬが第
１導電膜ｇ１のみから構成されている。また、ソース電
極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２は、保護膜ＰＳＶＩ、第
１導電膜ｄ１に設けられたスルーホールＣ０ＮＴを介し
てＮ４″型半導体層ｄｏと接続された第２導電膜ｄ２と
、第２導電膜ｄ２上に重ね合わされた第３導電膜ｄ３、
第４導電膜ｄ４とで構成されている。 つぎに、第１２図により第１１Ａ図、第１１Ｂ図に示し
た液晶表示装置の製造方法について説明する。まず、第
１２図（ａ）に示すように、下部透明ガラス基板５ＵＢ
Ｉ上に第１導電膜ｇ１をスパッタリングにより設ける。 つぎに、第１フオトを行なったのち、第１導電膜ｇ１を
選択的にエツチングすることによって、走査信号線ＯＬ
、グー１〜電極ＧＴをパターニングする。つぎに、第１
２図（ｂ）に示すように、プラズマＣＶＤ装置により窒
化シリコン膜、ｉ型非晶質シリコン膜、Ｎ＋型シリコン
膜を連続して設ける。つぎに、第１２図（ｃ）に示すよ
うに、第２フオトを行なったのち、Ｎ”型シリコン膜、
ｉ型非晶質シリコン膜を選択的にエツチングすることに
より、ｉ型半導体層ＡＳをパターニングする。つぎに、
第３フオトを行なったのち、窒化シリコン膜を選択的に
エツチングすることによって、絶縁膜Ｇｌをパターニン
グする。つぎに、第１２図（ｄ）に示すように、第１導
電膜ｄｉをスパッタリングにより設ける。つぎに、第４
フオトを行なったのち、第１導電膜ｄ１を選択的にエツ
チングすることにより、透明補助電極ＩＴ０１ａをパタ
ーニングするとともに、第１導電膜ｄ１をソース電極Ｓ
Ｄ１．ドレイン電極ＳＤＺ部に残すようにパターニング
する。つぎに、レジストを除去する前に、Ｎ＋型シリコ
ン膜を選択的にエツチングすることにより、Ｎ＋型半導
体層ｄＯをパターニングする。つぎに、第１２図（ｅ）
に示すように、プラズマＣＶＤ装置により窒化シリコン
膜を設ける。つぎに、第５フオトを行なったのち、窒化
シリコン膜を選択的にエツチングすることによって、保
護膜ＰＳＶＩをパターニングするとともに、保護膜ＰＳ
ＶＩにスルーホールＣ０ＮＴを設け、さらに保護膜ＰＳ
ｖ１のパターンをマスクにして第１導電膜ｄ１を選択的
にエツチングすることによって、スルーホール部Ｃ０Ｎ
Ｔの第１導電膜ｄ１を除去する。つぎに、第１２図（ｆ
）に示すように、第２導電膜ｄ２をスパッタリングによ
り形成する。つぎに、第６フオトを行なったのち、第２
導電膜ｄ２を選択的にエツチングすることにより、映像
信号線ＤＬ、ソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２の
第１層をパターニングする。つぎに、第１２図（ｇ）に
示すように、第３導電膜ｄ３をスパッタリングにより設
ける。つぎに、第７フオトを行なったのち、第３導電膜
ｄ３を選択的にエツチングすることにより。 映像信号線ＤＬ、ソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ
２の第２層をパターニングする。つぎに、第１２図（ｈ
）に示すように、第４導電膜ｄ４をスパッタリングによ
り設ける。つぎに、第８フオトを行なったのち、第４導
電膜ｄ４を選択的にエツチングすることにより、映像信
号線ＤＬ、ソース電極ＳＤＩ、ドレイン電極ＳＤ２の第
３層および透明画素電極ＩＴＯ１ｂをパターニングする
。 以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に
基づき具体的に説明したが、この発明は、前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて種々変更可能であることは勿論である。

【発明の効果】

以上説明したように、この発明に係る液晶表示装置にお
いＣ゛は、保持台り素子の他方の電極を薄膜１へ”ンシ
′ジスタのゲート維ｍ膜としで使用す４シる糺１絋膜±
１こ設けられか゛コ共道画素電極と接続された透明導電
膜で構成するから、保持容量素子の保持８斌を大きくし
たどしで１＋　、開［−１率が小さく心・ることはない
ので５画面が明Ｓ＜なり、またゲ・−＋−１！ｉｌｉ動
装置に大きな負荷が作用することがないので、ゲ・−１
・叶動電圧存大きくぐる必要がない。 この場合、保持容量素子の他方の電極を格子状に設置ｉ
れば、保持容量素子の仙、方の電極の抵抗が小さくなる
ので、保持容量素子の作用が確実とな・ふ。 また、保持容量素子の他方の電極をソース電極、ドレイ
ン電極も：構成する透明導電収と同−膜′Ｃ構成するか
ら、製造、Ｔ−程が簡単てピあるので、製造コストが安
価である、 さらに、保持容量素子の誘電体膜を保護膜と同−膜で構
成するから、製造工程が簡単であるので。 製造コス！・が安価である。 また、画素電極を保護膜１に設け１．′の揚合轟、−匝
素電（マｊしご一ノー　スミ極どを保訴膜Ｉ’−１７，
けＪ二）第１．た′、ルーポ・−ルを介して接続慢イｌ
　ｔ　、ｔｌ、（ｆ：、液晶にイＴ用ずパｚ７Ｂを大き
くすることができるので、ゲー・１・赴動電圧を人きく
する必要がない。 このように、この発明の効果ｉｉ顕茗１゛ある、

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明が適用さ才ｌ、るアタラ“イ′ブ・−
・１−リック入方式のカラー液晶表ボ装百の液晶表η、
部の一画素を示す要部平ＦｍＪ図、第２Ａし１：は第Ｌ
１図の・−・部拡人図、第２　Ｂ図は箱１ｒ−＃、第シ
ュＡ１シ］のＩＩＴ３・−ＩＮ　Ｂ切断線で切った部分
とジ・−ルミ族辺部；′、）断面図、第２Ｃ図は第」２
図のｎ　Ｃ−１１Ｃ（ダ［Ｑ線りにあ用る断面図、第３
Ａ図は第１″Ｌき」にｊｊ、’１画素売複数配衡しノー
、液晶表示部の要ｍ（平１）７ｊ図、！４′″￥；３１
３回は第を回の紹１導電膜ｄ１のみを拍′１い７”ｘ平
ｉｎｊ図、第４図−第６図は第１図に示す画素の所定０
）暦の、旬を楢いｔ平面図、第７図は第３八図じ小゛り
画素電。 権Ｒぺ・□とカラーフィルタ層のみをＪｉｊいた一部・
部平［ｒｉ’、ｌ　ｉＥ？ｌ、第８図はアクティブ・マ
ド・リック入方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部を
示”’Ｉ”’　＄　（ｊｌｊｊ　１９１　！　ｆｓｌ　
、第９図は第ｊ−図に記載：される画素の等価回路図、
第１０図はり第１図・−第９図に示した液晶表示装置の
製造方法の説明図、第１１Ａ回はこの発明が適用される
他のアクティブ・マトリックス方式のカラー液晶表示装
置の液晶表示部の一画素を示す要部平面図、第１１Ｂ図
は第３−　Ｉ　Ａ図の一部拡大図、第１２図は第〕」−
Ａ図、第１．１８図に示した液晶表示装置の製造方法の
説明図（第１１Ａ図、第１１Ｂ図の１２Ｔ−１２Ｔ断面
、第１１Ａ図の１２Ｃ−１２Ｃ断面）である。 Ｓ　Ｕ　Ｂ・・・透明ガラス基板 ＯＬ・・・走査信号線 ＤＬ・・・映像信号線 ＧＩ・・・絶縁膜 ＧＴ　・・・ゲー　ト・電極 ＡＳ・・・ｉ型半導体層 Ｓ　］）・・・ソ・−スミ極またはドレイン電極ｐｓｖ
・・・保護膜 ＢＭ・・・遮光膜 ＬＣ・・・液晶 ■”ＦＴ・・・薄膜］・ランジスタ ｘ　ｒ　ｏ・・・透明画素電極 ｇ、ｄ・・・導電膜 Ｃａｄｄ・・・保持容量素子 Ｃｇｓ・・・寄生容量 Ｃｐｉｘ・・・液晶容量

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、ソース、ドレインおよびゲートを有する薄膜トラン
   ジスタと画素電極とを画素の一構成要素とし、上記画素
   電極と対向電極間に液晶層が挿入され、上記画素電極を
   一方の電極とする保持容量素子が設けられたアクティブ
   ・マトリクス方式の液晶表示装置において、上記保持容
   量素子の他方の電極が上記薄膜トランジスタのゲート絶
   縁膜として使用される絶縁層よりも上記液晶層側に設け
   られた透明導電膜からなり、上記絶縁層は上記ゲートよ
   りも上記液晶層側に設けられていることを特徴とする液
   晶表示装置。 ２、上記保持容量素子の上記他方の電極を格子状に設け
   たことを特徴とする請求項第１項記載の液晶表示装置。 ３、薄膜トランジスタと画素電極とを画素の一構成要素
   とし、上記画素電極を一方の電極とする保持容量素子が
   設けられたアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置
   において、上記保持容量素子の他方の電極がソース電極
   、ドレイン電極を構成する透明導電膜と同一層の膜から
   なることを特徴とする液晶表示装置。 ４、薄膜トランジスタと画素電極とを画素の一構成要素
   とし、上記画素電極を一方の電極とする保持容量素子が
   設けられたアクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置
   において、上記保持容量素子の誘電体膜が上記薄膜トラ
   ンジスタの保護膜と同一層の膜からなることを特徴とす
   る液晶表示装置。 ５、薄膜トランジスタと画素電極とを画素の一構成要素
   とし、上記画素電極と対向電極間に液晶層を挿入したア
   クティブ・マトリクス方式の液晶表示装置において、上
   記画素電極が上記薄膜トランジスタの保護膜よりも上記
   液晶層側に設けられたことを特徴とする液晶表示装置。 ６、上記画素電極と上記薄膜トランジスタのソース電極
   とが上記保護膜に設けられたスルーホールを介して電気
   的に接続されたことを特徴とする請求項第５項記載の液
   晶表示装置。