JPH0389080A - 真空ポンプ潤滑油のシール機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は容積型真空ポンプ潤滑油のシール機構に関する
ものである。

〔従来技術及び発明が解決しようとする課題〕従来この
種のシール機構としては、オイルシールやメカニカルシ
ール等の接触型シールが多く使われていた。ここで接触
型シールを使用する理由は、 ■軸貫通部に隙間があれば、真空排気室内の吸気側から
排気側に向かって上昇する圧力分布の存在により、前記
隙間を介して真空排気室と潤滑油蒸気を含む軸受室内雰
囲気との間に循環流れが生じること、 ■また軸受室内の圧力が真空排気室平均圧力と同程度ま
で低下するので軸受室内の潤滑油蒸気分子は平均自由行
程が長く、前記隙間から真空排気室側への拡散速度或い
は熱運動による貫通確率が大きいこと、 等により、潤滑油蒸気分子の真空排気側への漏洩を防止
する構造をとり得なかったことによる。

従って、前記接触面シール型によらざるを得なかった。

しかしなか、この接触面シール型においては、接触シー
ル面の摺動発熱や摩耗等によりシール性能が低下すると
いう問題点があった。本発明は上述の点に鑑みてなされ
たもので、上記問題点を除去し、軸受室内の潤滑油の真
空排気室側への漏洩を接触シール面なしに極小化でき、
長期に渡って信頼性及び安定性が得られる真空ポンプ潤
滑油のシール機構を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記課題を解決するため本発明は、軸受ケーシング内に
配置された油潤滑軸受に支持された回転軸と、真空排気
室ケーシング内に配置され、回転軸により回転される排
気ロータを有する容積型真空ポンプにおいて、油潤滑軸
受の潤滑油又は潤滑油蒸気の真空排気室ケーシング内側
への漏洩を防止するシール機構として、軸受ケーシング
と真空排気室ケーシングの間に内部に中間室が形成され
た中間室ケーシングを設け、該中間室内と真空排気室ケ
ーシング内との間の回転軸にリング状の絞り部を２ケ所
に設け、該絞り部と回転軸と中間室ケーシングで囲まれ
た空隙に不活性ガスをパージすると共に、軸受ケーシン
グと中間室ケーシングとの間に非接触型シール部を設け
たことを特徴とする。

〔作用〕

上記の如く真空ポンプ潤滑油のシール機構を構成するの
で、絞り部と回転卸と中間、室ケーシングで囲まれた空
隙に真空ポンプとして問題にならない程度の量の不活性
ガスをパージさせることにより、真空排気室側の絞り部
を通過する不活性ガスの流れを強制的に作るから、該空
隙の圧力は絞り部の真空排気室側のどの部分よりも高く
、且っ略−様となり、空隙と中間室との間の絞り部を介
しての循環流はなくなる。

また、上記不活性ガスのパージがない場合に比べて軸受
室及び中間室の圧力を高く保つことができるので、これ
らの室の気体の平均自由行程が短くなり、空隙と中間室
との間の絞り部を通過する潤滑油蒸気分子又は粒子の拡
散速度或いは貫通確率は小さくなる。

更に、中間室を設は軸受室との回転軸の貫通部に非接触
シールを設けることにより、空隙と中間室との間の絞り
部の真空排気室の反対側雰囲気を長期に渡り、軸受室よ
り潤滑油蒸気分圧率の低い状態に保つことが可能となる
。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。

第１図は本発明の一実施例をなす真空ポンプ潤滑油のシ
ール機構を示す断面図である。同図において、３は軸受
ケーシングであり、該軸受ケーシング３と真空排気室ケ
ーシング１との間に中間ケーシング２が配設されている
。軸受ケーシング３の内部は軸受室Ａになっており、中
間ケーシング２の内部は中間室Ｂになっており、゛さら
に真空排気室ケーシング１の内部は真空排気室Ｃになっ
ている。軸受ケーシング３の内部には回転軸１２の一端
を回転自在に支持する軸受２１が配設されており、軸受
２１は軸受ケース４を介して中間ケーシング２に支持さ
れている。また、真空排気室ケーシング１の内には回転
軸１２に固定された排気ロータ１１が配置されている。

前記中間室Ｂと真空排気室Ｃとの間を貫通する回転軸１
２の外周には軸スリーブ１３が設けられ、該軸スリーブ
１３にはその円周上には２本の溝が形成されており、該
２本の溝にはそれぞれピストンリング等のリング状の絞
り部１５．１６が設けられている。中間ケーシング２に
は不活性ガス流入穴１７が形成されており、該不活性ガ
ス流入穴１７は絞り部１５．１６と軸スリーブ１３と中
間ケーシング２で囲まれた空隙ｄに連通しており、不活
性ガス入口１７ａから、窒素ガス等の不活性ガスを送り
込み、空隙ｄを該不活性ガスでパージでるようになって
いる。

また、軸受ケース４の軸スリーブ１３の対向面にはラビ
リンスシール等の非接触シール部が形成されている。

また、回転軸１２の軸受室Ａ内の端部には才イルリング
１４が設けられ、軸受ケーシング３の下部には潤滑油Ｑ
が収容されている。

なお、図中、１８はオイルドレン用プラグであり、１９
．２０はそれぞれ機密を保ったるのＯリングである。

上記構造の真空ポンプ潤滑油のシール機構において、絞
り部１５と絞り部１６の空隙ｄに、前記不活性ガス流入
穴１７を通して、真空ポンプとして問題にならない程度
の量の不活性ガスをパージさせることにより、絞り部１
５を通過する不活性ガスの流れを強制的に作るので、空
隙ｄの圧力は絞り部１５の真空排気室Ｃ側のどの部分よ
りも高く、且つ略−様となる。従って、前記空隙ｄと中
間室Ｂとの間の絞り部１６を介しての循環流はない。ま
た、上記不活性ガスのパージがない場合に比べて軸受室
Ａ及び中間室Ｂの圧力を高く保つことができるので、こ
れらの室の気体の平均自由行程が短くなり、絞り部１６
の隙間を通過する潤滑油蒸気分子又は粒子の拡散速度或
いは貫通確率は小さくなる。

更に、中間室Ｂを設は軸受室Ａとの回転軸１２の貫通部
に非接触シール２２を設けることにより、絞り部１６の
真空排気室Ｃの反対側雰囲気を長期に渡り、軸受室Ａよ
り潤滑油蒸気分圧率の低い状態に保つことが可能となる
。

また、軸受室Ａより漏洩する潤滑油は中間室Ｂに留まる
ことになるので、もし潤滑油が漏洩した場合にでも真空
ポンプを分解することなく、中間室Ｂに設けられたオイ
ルドレン用プラグ１８を取り外すことにより、漏洩した
潤滑油の排出が可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば下記の如く優れた効
果を有する真空ポンプ潤滑油のシール機構を提供できる
。

（１〉軸受室内の潤滑油の真空排気室側への漏洩を接触
シール面なしに極小化できるので、実用上長期的信頼性
及び安定性が得られる。

（２）軸受室より漏洩した潤滑油は中間室に溜ることに
なるので、中間室にオイルドレン用プラグ等の排出栓を
設けることにより、もし潤滑油が漏洩した場合にでも真
空ポンプを分解せずともこの排出栓を取外すことにより
排出することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る真空ポンプ潤滑油のシール機構の
構造を示す断面図である。 図中、１・・・・真空排気室ケーシング、２・・・・中
間ケーシング、３・・・・軸受ケージソゲ、４・・・・
軸受ケース、１１・・・・排気ロータ、１２・・・・回
転軸、１３・・・・軸スリーブ、１４・・・・オイルリ
ング、１５・・・・絞り部、１６・・・・絞り部、１７
・・・・不活性ガス流入穴、１８・・・・オイルドレン
用プラグ、１９・・・・Ｏリング、２０・・・・Ｏリン
グ、２１・・・・軸受、２２・・・・非接触シール。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 軸受ケーシング内に配置された油潤滑軸受に支持された
   回転軸と、真空排気室ケーシング内に配置され、回転軸
   により回転される排気ロータを有する容積型真空ポンプ
   において、前記油潤滑軸受の潤滑油又は潤滑油蒸気の前
   記真空排気室ケーシング内への漏洩を防止するシール機
   構として、前記軸受ケーシングと前記真空排気室ケーシ
   ングの間に内部に中間室が形成された中間室ケーシング
   を設け、該中間室と前記真空排気室ケーシング内との間
   の前記回転軸にリング状の絞り部を２ケ所に設け、該絞
   り部と前記回転軸と前記中間室ケーシングで囲まれた空
   隙に不活性ガスをパージすると共に、前記軸受ケーシン
   グと前記中間室ケーシングとの間に非接触型シール部を
   設けたことを特徴とする真空ポンプ潤滑油のシール機構
   。