JP2903459B2 - ポンプ用軸封装置 - Google Patents

ポンプ用軸封装置

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JP2903459B2
JP2903459B2 JP8009812A JP981296A JP2903459B2 JP 2903459 B2 JP2903459 B2 JP 2903459B2 JP 8009812 A JP8009812 A JP 8009812A JP 981296 A JP981296 A JP 981296A JP 2903459 B2 JP2903459 B2 JP 2903459B2
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輝之 谷垣
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    • F16J15/34Sealings between relatively-moving surfaces with slip-ring pressed against a more or less radial face on one member
    • F16J15/3464Mounting of the seal
    • F16J15/348Pre-assembled seals, e.g. cartridge seals
    • F16J15/3484Tandem seals

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はポンプ用軸封装置
で、詳しくは、例えば液体アンモニアやハイドロカーボ
ンなどの揮発性ないし低沸点流体あるいは化学工業で汎
用される洗浄剤や溶剤などの有害物質を含んだ流体を取
り扱うプロセスポンプなどに適用されるポンプ用軸封装
置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種のポンプ用軸封装置においては、
上述したような内部流体がポンプケーシングと回転軸と
の間の微小隙間を通って大気へ漏れ出すと、それが微
量、低濃度であっても、長期間吸入すると健康に悪影響
を及ぼす恐れがあることから、その漏れ出しには厳しい
規制が要求されている。
【0003】従来から一般的に採用されているポンプ用
軸封装置としては、ポンプケーシング及び該ポンプケー
シングを貫通する回転軸間で軸線方向に間隔を隔てた機
内側と大気側との2箇所に、上記ポンプケーシングに固
定保持された静止密封環とこの静止密封環に対向配置さ
れて上記回転軸に軸線方向摺動可能に保持された回転密
封環とを有し、かつ、上記回転密封環を上記静止密封環
側へ押圧付勢してなる2組の接触シールを配設するとと
もに、これら2組の接触シール間に形成した封液室内に
オイルや水などの封液を注入して、上記各接触シールの
両密封環の相対回転摺接作用および上記封液室に注入さ
れた封液を介して機内側と大気側とを遮蔽シールするよ
うにしたダブルあるいはタンデム形の接触シールから構
成された軸封装置が知られている。
【0004】また、上記のようなダブルあるいはタンデ
ム形の接触シールから構成された軸封装置の他にも、特
公平7−69018号公報や特開平5−33871号公
報などでみられるように、2組のシールのうち一方を接
触シールとするとともに他方を回転密封環の端面に形成
した動圧発生溝を介して発生される動圧により両密封環
を非接触状態で相対回転させる動圧形非接触シールとし
たものや、特開平7−71613号公報や特開平6−1
74108号公報などでみられるように、2組のシール
を共に動圧形非接触シールとしたものも知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来技術のうち、ダブルあるいはタンデム形の接触シ
ールから構成されたポンプ用軸封装置にあっては、2組
の接触シールそれぞれの両密封環の端面同志が摺接する
ために摩耗が激しくて使用寿命が非常に短いばかりでな
く、両密封環の端面間に形成される流体潤滑膜が摺動熱
によって破壊されてシール機能が低下しやすく、封液が
機内の被密封流体側へ漏れたり、大気へ漏れ出すなど全
体としてシールの信頼性が低い。加えて、摺動熱によっ
て封液が次第に昇温されることを防ぐために、クーラー
を使用した封液循環供給システムが必要となり、装置全
体の構造が複雑化し、高コスト化するという問題があ
る。
【0006】また、接触シールと動圧形非接触シールと
を組み合わせたポンプ用軸封装置や2組のシールを共に
動圧形非接触シールとしたポンプ用軸封装置にあって
は、ダブルあるいはタンデム形の接触シールを用いるも
のに比べて、少なくとも一方が非接触シールであること
から、全体の摩耗度合を低減して使用寿命を改善できる
ものの、その非接触シールが動圧形であるから、ポンプ
起動時や停止時に必要なトルクが大きく、そのために従
来から設置されている小動力源をもつポンプの場合に対
しては動力源の取替えなどを要し、そのまま適用するこ
とができない。また、動圧形非接触シールは主にポンプ
起動時に密封環の端面を破損したり、損耗したりしてシ
ール性能を低下しやすく、したがって、2組の動圧形非
接触シールをダブルに配設したとしても、それら両者の
シール性能が早期のうちに低下することになり、長期間
使用に際して安定したシール機能を発揮させることがで
きず、シールの信頼性が不十分で、近年の厳しい漏れ規
制には対応させることができないものであった。
【0007】そこで本発明は上記のような実情に鑑みて
なされたもので、請求項1〜4記載の発明は、摩耗度合
の低減して使用寿命を改善できるとともに、トルクを軽
減して省エネルギー化および適用範囲の拡大を図ること
ができ、しかも、長期間使用に際しても確実かつ安定し
たシール機能を発揮させることができて、信頼性の著し
い向上を達成することができるポンプ用軸封装置を提供
することを目的としている。
【0008】また、請求項5および請求項6記載の発明
は上記請求項1〜4記載の発明の目的における使用寿命
の改善、省エネルギー化およびシール機能をより向上さ
せて信頼性を一層高めることができるようにすることを
目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係るポンプ用軸封装置は、ポンプケーシン
グ及び該ポンプケーシングを貫通する回転軸間で軸線方
向に間隔を隔てた機内側と大気側との2箇所に、上記回
転軸とともに回転する回転密封環と、この回転密封環に
対向配置されて上記ポンプケーシングに軸線方向摺動可
能に保持された静止密封環とを有し、かつ、上記静止密
封環を上記回転密封環側へ押圧付勢してなる第1及び第
2非接触シールを各々配設して構成されたポンプ用軸封
装置を共通構成とし、そのうち請求項1記載の発明で
は、上記機内側の第1非接触シールを、回転密封環の端
面に形成した動圧発生溝を介して発生される動圧により
両密封環を非接触状態で相対回転させる動圧形非接触シ
ールに構成するとともに、大気側の第2非接触シール
を、静止密封環に形成したオリフィス孔であるガス供給
孔を通して回転密封環の端面に供給されるガス圧力によ
り両密封間の端面間を非接触状態に保持する静圧形非接
触シールに構成し、また、請求項3記載の発明では、上
記機内側の第1非接触シールを、静止密封環に形成した
オリフィス孔であるガス供給孔を通して回転密封環の端
面に供給されるガス圧力により両密封環の端面間を非接
触状態に保持する静圧形非接触シールに構成するととも
に、大気側の第2非接触シールを、回転密封環の端面に
形成した動圧発生溝を介して発生される動圧により両密
封環を非接触状態で相対回転させる動圧形非接触シール
に構成し、さらに、請求項5記載の発明では、上記機内
側の第1非接触シール及び大気側の第2非接触シールを
共に、静止密封環に形成したオリフィス孔であるガス供
給孔を通して回転密封環の端面に供給されるガス圧力に
より両密封環の端面間を0.005〜0.02mmの隙
間に維持して非接触状態に保持する静圧形非接触シール
に構成し、そして、請求項1,3,5記載の発明のいず
れも、上記第1及び第2非接触シール間には、被密封流
体の圧力よりも高圧で第1非接触シール側および第2非
接触シール側それぞれの両密封環を非接触状態に保つた
めのガスを注入可能なガス室を形成していることを特徴
とするものである。
【0010】すなわち、請求項1,3,5記載の発明に
係るポンプ用軸封装置は、いずれも機内側及び大気側の
2箇所に共に非接触シールを配設した構成であるため
に、2組の非接触シールそれぞれの両密封環の端面の摩
耗度合が低減されて使用寿命の延長化が図れるのみなら
ず、摺動熱によるシール機能の低下もなく、全体として
シール信頼性を向上することが可能である。また、クー
ラーを使用した封液循環供給システムも不要で、装置全
体の構造を簡単にし、低コスト化も図れる。
【0011】その上、2組の非接触シールのうち、少な
くとも一方の非接触シールが静圧形非接触シールに構成
されているので、2組の非接触シールが共に動圧形非接
触シールに構成されている従来の軸封装置に比べて、信
頼性及びシール性能を1.5〜2倍程度向上することが
可能である。すなわち、動圧形非接触シールは既述した
とおり、起動トルクが大きい上に、主にポンプ起動時に
密封環の端面を破損したり、損耗したりしてシール性能
の低下を生じやすい一方、静圧形非接触シールはポンプ
起動時にも停止時にも回転及び静止両密封環の端面間を
非接触状態にして常に適正な隙間が維持されて漏れを制
限する機能を果たすものであって、起動時における端面
の破損等によるシール性能の低下を殆ど生じることがな
く、それ単体でも動圧形非接触シールをダブルに配設し
たものとほぼ同等なシール性能を発揮するものである。
したがって、2組の非接触シールのうちの一方を静圧形
非接触シールに構成してなる請求項1,3記載の発明で
は、起動トルクを半減して省エネルギー化が図れるとと
もに、他方の動圧形非接触シールのシール性能がポンプ
起動時などにおいて低下し漏れを発生したとしても、静
圧形非接触シールによって被密封流体の漏れ出しを確実
に阻止して、動圧形非接触シールをダブルに配設したも
のに比べて信頼性及びシール性能を1.5倍程度向上す
ることが可能であり、また、請求項5記載の発明では、
起動トルクをより軽減して小動力源のポンプへの適用を
可能とするとともに、信頼性及びシール性能を2倍程度
向上することが可能である。
【0012】なお、請求項1,3,5記載のいずれの発
明においても、機内側の動圧形または静圧形非接触シー
ルの静止密封環にガス室内のガス圧力を背圧として作用
させるようにして、第1及び第2非接触シールをタンデ
ムダブル形に配設した構成としてもよい。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
にもとづいて説明する。図1は請求項1記載の発明に係
るポンプ用軸封装置を構成する第1及び第2非接触シー
ルをダブルに配設した、いわゆるダブルシールを示す半
截縦断面図である。
【0014】図1において、1は例えばプロセスポンプ
などのポンプケーシングであり、このポンプケーシング
1には機内側Aと大気側Bとに亘って貫通し、その機内
側Aにインペラ(図示省略する)が固定された回転軸2
が回転自在に支承されており、この回転軸2には軸スリ
ーブ3が一体回転可能に外嵌されている。4,5は上記
回転軸2の軸線方向に間隔を隔てた機内側Aと大気側B
との2箇所に各々配設された第1及び第2非接触シール
であり、これら両非接触シール4,5間には上記機内側
Aに封入される被密封流体の圧力よりも0.5kgf/
cm2 以上高い圧力のイナートガス、例えばN2 ガスを
注入可能なガス室26が形成されている。
【0015】上記第1及び第2非接触シール4,5は、
上記回転軸2に外嵌の軸スリーブ3の径外方への突出環
状部3aの軸線方向の両面に固定保持されて上記回転軸
2とともに回転する回転密封環6,7と、これら回転密
封環6,7に対向配置されて上記ポンプケーシング1に
内嵌固定の環状部材8,9に軸線方向摺動可能に保持さ
れた静止密封環10,11とを有し、かつ、該静止密封
環10,11を上記回転密封環6,7側へ押圧付勢して
なるものである。
【0016】そして、上記第1及び第2非接触シール
4,5のうち、機内側Aの第1非接触シール4は、図2
に明示するように、その回転密封環6の端面6aにマル
チまたは単一の動圧発生用グルーブ12が形成されてい
るとともに、静止密封環10にはリテーナ13を介して
被密封流体の圧力が背圧として作用されて上記回転密封
環6側への押圧付勢力が付与されており、回転時におい
て上記ガス室26からイナートガスが導入されたグルー
ブ12を介して発生される動圧によって両密封環6,1
0の端面6a,10a同士を数μm程度離間させて非接
触状態で相対回転させる動圧形非接触シール(以下、P
Gシールと呼称する)に構成されている。
【0017】一方、大気側Bの第2非接触シール5は、
図3に明示するように、その静止密封環11がスプリン
グリテーナ14およびスプリング15を介して環状部材
9に軸線方向摺動自在に保持されているとともに、該静
止密封環11に形成したガス供給孔としてのオリフィス
孔16を通して上記ガス室26から回転密封環7の端面
に供給されるN2 ガス等のイナートガス圧力により両密
封環11,7の端面11a,7a間に常に0.005〜
0.02mm程度の隙間を維持して非接触状態に保つ静
圧形非接触シール(以下,PEシールと呼称する)に構
成されている。なお、図1中の17は大気側Bの回転軸
2とポンプケーシング1との間に形成したラビリンスシ
ールであって、パージガスが供給される。
【0018】図4は請求項2記載の発明に係るポンプ用
軸封装置を示す半截縦断面図であって、上記機内側Aの
第1PGシール4における静止密封環10に上記ガス室
26内のN2 ガス等のイナートガス圧力が背圧として作
用するようにして、タンデムダブルシールに構成した点
が図1と相違するだけであり、その他の構成は図1と同
一であるため、該当部分には同一の符号を付して、それ
らの詳しい説明を省略する。
【0019】上記のように構成されたポンプ用軸封装置
においては、機内側A及び大気側Bの2箇所に配設され
たシールが共に非接触シールであるために、2組の非接
触シール4,5それぞれの回転密封環6,7と静止密封
環10,11の端面の摩耗度合が低減されて使用寿命の
延長化が図れるのみならず、摺動熱によるシール機能の
低下もなく、全体としてシール信頼性を向上することが
可能である。また、クーラーを使用した封液循環供給シ
ステムなども不要で、装置全体の構造を簡単にし、低コ
スト化も図れる。
【0020】さらに、大気側Bの第2非接触シール5が
ポンプ起動時にも停止時にも回転及び静止両密封環7,
11の端面7a,11a間を非接触状態にして常に適正
な隙間が維持されて漏れを制限する機能を果たすPEシ
ールに構成されているので、PGシールをダブルに配設
した従来のものに比べて起動トルクを半減して省エネル
ギー化が図れるとともに、機内側Aの第1PGシール4
の両密封環6,10の端面6a,10aがポンプ起動時
に破損されたり、損耗されたりしてシール性能が低下し
て漏れを発生したとしても、第2PEシール5によって
被密封流体の漏れ出しを阻止して信頼性及びシール性能
を1.5倍程度向上することが可能である。
【0021】図5は請求項3記載の発明に係るポンプ用
軸封装置の実施の形態を示す半截縦断面図であって、図
1のダブルシールと相違するのは、機内側Aの第1非接
触シール4をPEシールとし、大気側Bの第2非接触シ
ール5をPGシールとした点であり、その他の構成は図
1と同一であるため、該当部分には同一の符号を付し
て、それらの詳しい説明を省略する。
【0022】また、図6は請求項4記載の発明に係るポ
ンプ用軸封装置を示す半截縦断面図であって、上記機内
側Aの第1PEシール4における静止密封環11に上記
ガス室26内のN2 ガス等のイナートガス圧力が背圧と
して作用するようにして、タンデムダブルシールに構成
した点が図5と相違するだけであり、その他の構成は図
5と同一であるため、該当部分には同一の符号を付し
て、それらの詳しい説明を省略する。
【0023】上記図5及び図6のように構成されたポン
プ用軸封装置においても、上述した図1及び図4に示す
構成のポンプ用軸封装置と同様に、使用寿命の延長化、
クーラーを使用した封液循環供給システムなどが不要で
装置全体構造の簡単化、低コスト化が図れるとともに、
大気側Bの第2PGシール5の両密封環6,10の端面
6a,10aがポンプ起動時に破損されたり、損耗され
たりしてシール性能が低下したとしても、機内側Aの第
1PEシール4によって被密封流体の漏れ出しを阻止し
て信頼性及びシール性能を1.5倍程度向上することが
可能である。
【0024】図7は請求項5記載の発明に係るポンプ用
軸封装置の実施の形態を示す半截縦断面図であって、機
内側Aの第1非接触シール4及び大気側Bの第2非接触
シール5を共にPEシールとした点であり、その他の構
成は図1と同一であるため、該当部分には同一の符号を
付して、それらの詳しい説明を省略する。なお、図7の
ダブルシールでは、第1及び第2非接触シール4,5が
共にPEシールであるために、それの構成要素である回
転密封環7、静止密封環11、リテーナ14、スプリン
グ15について、第1PEシール4側にA、第2PEシ
ール5側にBの枝番号を付している。
【0025】また、図8は請求項6記載の発明に係るポ
ンプ用軸封装置を示す半截縦断面図であって、上記機内
側Aの第1PEシール4における静止密封環11Aに上
記ガス室26内のN2 ガス等のイナートガス圧力が背圧
として作用するようにして、タンデムダブルシールに構
成した点が図7と相違するだけであり、その他の構成は
図7と同一であるため、該当部分には同一の符号を付し
て、それらの詳しい説明を省略する。
【0026】上記図7及び図8のように構成されたポン
プ用軸封装置においては、機内側A及び大気側Bの2箇
所に配設された第1及び第2非接触シールが共にPEシ
ールであるために、図1〜図6に示すポンプ用軸封装置
と比べても起動トルクをより軽減して小動力源のポンプ
への適用が可能であるとともに、PGシールをダブルに
配設した従来のものに比べて信頼性及びシール性能を2
倍程度に向上することが可能である。
【0027】
【発明の効果】以上のように、請求項1〜6記載の発明
によれば、機内側及び大気側の2箇所に配設されたシー
ルが共に非接触シールであるために、各シールそれぞれ
の両密封環の端面の摩耗度合を低減して使用寿命の延長
化を図るのみならず、摺動熱によるシール機能の低下も
なく、全体としてシール信頼性を向上することができる
とともに、クーラーを使用した封液循環供給システムも
不要で、装置全体の構造を簡単にし、低コスト化を図る
ことができる。
【0028】しかも、2組の非接触シールのうち、少な
くとも一方の非接触シールが静圧形非接触シールである
から、他方に動圧形非接触シールを用い、そのシール性
能がポンプ起動時などの端面破損等によって低下したと
しても、静圧形非接触シールによって被密封流体の漏れ
出しを確実に阻止することができる。したがって、動圧
形非接触シールをダブルに配設した従来のものに比べ
て、起動トルクを半減して省エネルギー化を図れるとと
もに、信頼性及びシール性能を1.5〜2倍程度向上す
ることができるという効果を奏し、近年の厳しい漏れ規
制に十分に対応させることができる。殊に、請求項5及
び6記載の発明によれば、起動トルクをより軽減して小
動力源のポンプへの適用も可能とするとともに、信頼性
及びシール性能のより一層の向上を達成することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】請求項1記載の発明に係るポンプ用軸封装置と
なるダブルシールの構成を示す半截縦断面図である。
【図2】同上ダブルシールのうちPGシールの要部の構
成を拡大して示す一部破断斜視図である。
【図3】同上ダブルシールのうちPEシールの要部の構
成を拡大して示す縦断面図である。
【図4】請求項2記載の発明に係るポンプ用軸封装置と
なるタンデムダブルシールの構成を示す半截縦断面図で
ある。
【図5】請求項3記載の発明に係るポンプ用軸封装置と
なるダブルシールの構成を示す半截縦断面図である。
【図6】請求項4記載の発明に係るポンプ用軸封装置と
なるタンデムダブルシールの構成を示す半截縦断面図で
ある。
【図7】請求項5記載の発明に係るポンプ用軸封装置と
なるダブルシールの構成を示す半截縦断面図である。
【図8】請求項6記載の発明に係るポンプ用軸封装置と
なるタンデムダブルシールの構成を示す半截縦断面図で
ある。
【符号の説明】
1 ポンプケーシング 2 回転軸 4 第1非接触シール 5 第2非接触シール 6,7 回転密封環 10,11 静止密封環 12 動圧発生用グルーブ 15 スプリング 16 オリフィス孔(ガス供給孔) 26 ガス室 A 機内側 B 大気側
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭49−37047(JP,A) 特開 平7−4528(JP,A) 特開 昭62−182499(JP,A) 特開 昭49−26652(JP,A) 特開 昭57−22465(JP,A) 特開 昭58−8298(JP,A) 実公 昭56−47414(JP,Y2) 実公 平1−18927(JP,Y2) 実公 昭35−10511(JP,Y1) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) F16J 15/34

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ポンプケーシング及び該ポンプケーシン
    グを貫通する回転軸間で軸線方向に間隔を隔てた機内側
    と大気側との2箇所に、上記回転軸とともに回転する回
    転密封環と、この回転密封環に対向配置されて上記ポン
    プケーシングに軸線方向摺動可能に保持された静止密封
    環とを有し、かつ、上記静止密封環を上記回転密封環側
    へ押圧付勢してなる第1及び第2非接触シールを各々配
    設して構成されたポンプ用軸封装置であって、 上記機内側の第1非接触シールを、回転密封環の端面に
    形成した動圧発生溝を介して発生される動圧により両密
    封環を非接触状態で相対回転させる動圧形非接触シール
    に構成するとともに、大気側の第2非接触シールを、静
    止密封環に形成したオリフィス孔であるガス供給孔を通
    して回転密封環の端面に供給されるガス圧力により両密
    封環の端面間を非接触状態に保持する静圧形非接触シー
    ルに構成し、 上記第1及び第2非接触シール間には、被密封流体の圧
    力よりも高圧で第1非接触シール側および第2非接触シ
    ール側それぞれの両密封環を非接触状態に保つためのガ
    スを注入可能なガス室を形成していることを特徴とする
    ポンプ用軸封装置。
  2. 【請求項2】 上記機内側の動圧形非接触シールは、そ
    の静止密封環に上記ガス室内のガス圧力が背圧として作
    用するように構成されている請求項1記載のポンプ用軸
    封装置。
  3. 【請求項3】 ポンプケーシング及び該ポンプケーシン
    グを貫通する回転軸間で軸線方向に間隔を隔てた機内体
    側と大気側との2箇所に、上記回転軸とともに回転する
    回転密封環と、この回転密封環に対向配置されて上記ポ
    ンプケーシングに軸線方向摺動可能に保持された静止密
    封環とを有し、かつ、上記静止密封環を上記回転密封環
    側へ押圧付勢してなる第1及び第2非接触シールを各々
    配設して構成されたポンプ用軸封装置であって、 上記機内側の第1非接触シールを、静止密封環に形成し
    オリフィス孔であるガス供給孔を通して回転密封環の
    端面に供給されるガス圧力により両密封環の端面間を非
    接触状態に保持する静圧形非接触シールに構成するとと
    もに、大気側の第2非接触シールを、回転密封環の端面
    に形成した動圧発生溝を介して発生される動圧により両
    密封環を非接触状態で相対回転させる動圧形非接触シー
    ルに構成し、 上記第1及び第2非接触シール間には、被密封流体の圧
    力よりも高圧で第1非接触シール側および第2非接触シ
    ール側それぞれの両密封環を非接触状態に保つためのガ
    スを注入可能なガス室を形成していることを特徴とする
    ポンプ用軸封装置。
  4. 【請求項4】 上記機内側の静圧形非接触シールは、そ
    の静止密封環に上記ガス室内のガス圧力が背圧として作
    用するように構成されている請求項3記載のポンプ用軸
    封装置。
  5. 【請求項5】 ポンプケーシング及び該ポンプケーシン
    グを貫通する回転軸間で軸線方向に間隔を隔てた機内側
    と大気側との2箇所に、上記回転軸とともに回転する回
    転密封環と、この回転密封環に対向配置されて上記ポン
    プケーシングに軸線方向摺動可能に保持された静止密封
    環とを有し、かつ、上記静止密封環を上記回転密封環側
    へ押圧付勢してなる第1及び第2非接触シールを各々配
    設して構成されたポンプ用軸封装置であって、 上記機内側の第1非接触シール及び大気側の第2非接触
    シールを共に、静止密封環に形成したオリフィス孔であ
    ガス供給孔を通して回転密封環の端面に供給されるガ
    ス圧力により両密封環の端面間を非接触状態に保持する
    静圧形非接触シールに構成し、 上記第1及び第2非接触シール間には、被密封流体の圧
    力よりも高圧で第1非接触シール側および第2非接触シ
    ール側それぞれの両密封環の端面を0.005〜0.0
    2mmの隙間に維持して非接触状態に保つためのガスを
    注入可能なガス室を形成していることを特徴とするポン
    プ用軸封装置。
  6. 【請求項6】 上記機内側の静圧形非接触シールは、そ
    の静止密封環に上記ガス室内のガス圧力が背圧として作
    用するように構成されている請求項5記載のポンプ用軸
    封装置。
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