JP2000104736A - 静圧空気軸受支持ガイドローラ - Google Patents
静圧空気軸受支持ガイドローラInfo
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C33/00—Parts of bearings; Special methods for making bearings or parts thereof
- F16C33/72—Sealings
- F16C33/74—Sealings of sliding-contact bearings
- F16C33/741—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid
- F16C33/748—Sealings of sliding-contact bearings by means of a fluid flowing to or from the sealing gap, e.g. vacuum seals with differential exhaust
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
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- F16C32/0681—Construction or mounting aspects of hydrostatic bearings, for exclusively rotary movement, related to the direction of load
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2300/00—Application independent of particular apparatuses
- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 低トルクで、高速回転性能、回転精度を高め
る。長寿命化を図る。 【解決手段】 ローラ１の内部は、一対のシール機構４
によって真空室Ｂの雰囲気に対して密封される。シール
機構４は、静圧空気軸受３の外側端面から所定の空間５
を隔てて配設される。この空間５は、主軸２の排気通路
２ｂと連通しており、静圧空気軸受３の排気を外部に排
出するための排気空間となる。
る。長寿命化を図る。 【解決手段】 ローラ１の内部は、一対のシール機構４
によって真空室Ｂの雰囲気に対して密封される。シール
機構４は、静圧空気軸受３の外側端面から所定の空間５
を隔てて配設される。この空間５は、主軸２の排気通路
２ｂと連通しており、静圧空気軸受３の排気を外部に排
出するための排気空間となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気テープやフィ
ルムコンデンサー等の製造工程において、テープ等を巻
きつけて案内するガイドローラに関する。
ルムコンデンサー等の製造工程において、テープ等を巻
きつけて案内するガイドローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、磁気テープやフィルムコンデン
サー製造の蒸着工程で使用するガイドローラは、主軸と
ローラとの間に転がり軸受を介装し、転がり軸受によっ
て、ローラを主軸に対して回転自在に支持する構造にな
っているものが多い。蒸着装置の真空チャンバー内での
運転を可能にするため、転がり軸受には真空用グリース
を封入している。
サー製造の蒸着工程で使用するガイドローラは、主軸と
ローラとの間に転がり軸受を介装し、転がり軸受によっ
て、ローラを主軸に対して回転自在に支持する構造にな
っているものが多い。蒸着装置の真空チャンバー内での
運転を可能にするため、転がり軸受には真空用グリース
を封入している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなガイドロ
ーラには、低トルク、高い高速回転性能、回転精度が要
求されると同時に、真空チャンバー内で運転されるた
め、軸受交換等のメインテナンスに手間がかからないこ
とが要求される。
ーラには、低トルク、高い高速回転性能、回転精度が要
求されると同時に、真空チャンバー内で運転されるた
め、軸受交換等のメインテナンスに手間がかからないこ
とが要求される。
【０００４】しかし、従来のガイドローラは、ローラの
回転支持手段として転がり軸受を使用しているため、高
温真空雰囲気下での運転により、転がり軸受が早期に寿
命に達し、短期間で軸受交換を余儀なくされる場合があ
った。その場合、ガイドローラが真空チャンバー内に配
置されているため、軸受交換に多くの手間と時間が必要
であった。
回転支持手段として転がり軸受を使用しているため、高
温真空雰囲気下での運転により、転がり軸受が早期に寿
命に達し、短期間で軸受交換を余儀なくされる場合があ
った。その場合、ガイドローラが真空チャンバー内に配
置されているため、軸受交換に多くの手間と時間が必要
であった。
【０００５】また、転がり軸受に封入された真空グリー
スの高温雰囲気による劣化促進や軌道面等への付着状況
のばらつきにより、摩耗損失が不安定となり、トルク変
動や回転むらが発生する場合があった。ローラにトルク
変動や回転むらがあると、ワークであるテープやフイル
ムとの間に滑りが生じ、ワークに痕が付いて製品不良の
原因となる。
スの高温雰囲気による劣化促進や軌道面等への付着状況
のばらつきにより、摩耗損失が不安定となり、トルク変
動や回転むらが発生する場合があった。ローラにトルク
変動や回転むらがあると、ワークであるテープやフイル
ムとの間に滑りが生じ、ワークに痕が付いて製品不良の
原因となる。
【０００６】本発明は、特に真空チャンバー等の真空室
内で運転されるガイドローラの高速回転性能、低トル
ク、回転精度を高めると同時に、長寿命化を図ることを
目的とする。
内で運転されるガイドローラの高速回転性能、低トル
ク、回転精度を高めると同時に、長寿命化を図ることを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、ローラを主軸に対して回転自在に支持す
る手段として静圧空気軸受を採用した。静圧空気軸受
は、軸受隙間に圧縮空気を供給して空気膜を形成し、ロ
ーラを回転自在に非接触支持するものである。ラジアル
空気軸受によってローラをラジアル方向に非接触支持す
る構成、ラジアル空気軸受およびスラスト空気軸受によ
ってローラをラジアル・スラスト両方向に非接触支持す
る構成が含まれる。静圧空気軸受は、転がり軸受と比較
して、高速回転性能、低トルク、回転精度に優れ、ま
た、接触部分がないので、高温雰囲気下においても長寿
命である。
め、本発明は、ローラを主軸に対して回転自在に支持す
る手段として静圧空気軸受を採用した。静圧空気軸受
は、軸受隙間に圧縮空気を供給して空気膜を形成し、ロ
ーラを回転自在に非接触支持するものである。ラジアル
空気軸受によってローラをラジアル方向に非接触支持す
る構成、ラジアル空気軸受およびスラスト空気軸受によ
ってローラをラジアル・スラスト両方向に非接触支持す
る構成が含まれる。静圧空気軸受は、転がり軸受と比較
して、高速回転性能、低トルク、回転精度に優れ、ま
た、接触部分がないので、高温雰囲気下においても長寿
命である。
【０００８】一方、ガイドローラを真空室内で運転する
場合、静圧空気軸受に対する給気・排気の経路を真空室
内の雰囲気から遮断する必要がある。特に、静圧空気軸
受から排出される排気の処理が問題となる。そこで、本
発明では、静圧空気軸受の外側両端部に、該軸受の排気
を外部に排出するための排気空間を設けると共に、この
排気空間の外側にシール機構を配設して、ローラの内部
を外部に対して密封した。このような構成とすることに
より、静圧空気軸受に対する給気・排気の経路が真空室
内の雰囲気から遮断されるので、給排気による真空室内
の真空度低下が防止される。
場合、静圧空気軸受に対する給気・排気の経路を真空室
内の雰囲気から遮断する必要がある。特に、静圧空気軸
受から排出される排気の処理が問題となる。そこで、本
発明では、静圧空気軸受の外側両端部に、該軸受の排気
を外部に排出するための排気空間を設けると共に、この
排気空間の外側にシール機構を配設して、ローラの内部
を外部に対して密封した。このような構成とすることに
より、静圧空気軸受に対する給気・排気の経路が真空室
内の雰囲気から遮断されるので、給排気による真空室内
の真空度低下が防止される。
【０００９】上記シール機構は、接触シール・非接触シ
ールの何れでも良いが、非接触シールを採用することに
より、シール部分のトルク低減、長寿命化を図ることが
できる。非接触シールとしては、磁性流体シール、ラビ
リンスシールを用いることができる。
ールの何れでも良いが、非接触シールを採用することに
より、シール部分のトルク低減、長寿命化を図ることが
できる。非接触シールとしては、磁性流体シール、ラビ
リンスシールを用いることができる。
【００１０】非接触シールとして磁性流体シールを用い
た場合、磁性流体が介在する部材の表面に動圧溝を設け
ても良い。ローラの回転に伴う動圧溝のポンプ作用によ
り、磁性流体が所定領域に寄せられるので、シール部分
のトルクが低減されると同時に、シール性も一層向上す
る。
た場合、磁性流体が介在する部材の表面に動圧溝を設け
ても良い。ローラの回転に伴う動圧溝のポンプ作用によ
り、磁性流体が所定領域に寄せられるので、シール部分
のトルクが低減されると同時に、シール性も一層向上す
る。
【００１１】非接触シールとしてラビリンスシールを用
いた場合、ラビリンス隙間に侵入した排気を吸引して外
部に排出する吸引機構を併用することができる。また、
ラビリンス隙間を構成する部材の表面に動圧溝を設けて
も良い。これらの構成により、シール性が一層向上す
る。
いた場合、ラビリンス隙間に侵入した排気を吸引して外
部に排出する吸引機構を併用することができる。また、
ラビリンス隙間を構成する部材の表面に動圧溝を設けて
も良い。これらの構成により、シール性が一層向上す
る。
【００１２】本発明の静圧空気軸受支持ガイドローラ
は、真空チャンバー等の真空室内で運転された場合に、
特に好ましい結果を生ずる。
は、真空チャンバー等の真空室内で運転された場合に、
特に好ましい結果を生ずる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
説明する。
説明する。
【００１４】図１に示す静圧空気軸受支持ガイドローラ
Ａは、例えば磁気テープやフィルムコンデンサー製造の
蒸着工程で使用されるもので、真空室Ｂ内に配設され、
運転される。真空室Ｂは、例えば蒸着装置の真空チャン
バー（真空炉）である。
Ａは、例えば磁気テープやフィルムコンデンサー製造の
蒸着工程で使用されるもので、真空室Ｂ内に配設され、
運転される。真空室Ｂは、例えば蒸着装置の真空チャン
バー（真空炉）である。
【００１５】ガイドローラＡは、円筒状のローラ１と、
ローラ１の内周面に挿通された主軸２と、ローラ１の内
部に収容され、ローラ１を主軸２に対して回転自在に非
接触支持する一対の静圧空気軸受３と、ローラ１の両端
部に配設された一対のシール機構４とを主要な構成要素
とする。
ローラ１の内周面に挿通された主軸２と、ローラ１の内
部に収容され、ローラ１を主軸２に対して回転自在に非
接触支持する一対の静圧空気軸受３と、ローラ１の両端
部に配設された一対のシール機構４とを主要な構成要素
とする。
【００１６】ローラ１の外周面１ｂは、テープやフイル
ム等をガイドできるように平滑に仕上げられている。
ム等をガイドできるように平滑に仕上げられている。
【００１７】軸２には、給気通路２ａと排気通路２ｂと
が形成されている。給気通路２ａの一端は図示されてい
ない給気配管を介して圧縮空気源に接続され、他端は閉
塞される。排気通路２ｂの他端は、直接又は排気配管を
介して真空室Ｂの外部大気中に解放される。
が形成されている。給気通路２ａの一端は図示されてい
ない給気配管を介して圧縮空気源に接続され、他端は閉
塞される。排気通路２ｂの他端は、直接又は排気配管を
介して真空室Ｂの外部大気中に解放される。
【００１８】静圧空気軸受３は、ローラ１の内周面に固
定された軸受スリーブ３ａと、主軸２の外周面に固定さ
れた軸受スリーブ３ｂとで構成される。軸受スリーブ３
ａ、３ｂには、微小な軸受隙間を介して相対向する軸受
面３ａ１、３ｂ１が形成される。また、軸受スリーブ３
ｂには、軸受面３ｂ１に開口した複数のノズル３ｂ２が
形成される。軸受スリーブ３ｂの各ノズル３ｂ２は、主
軸２の給気通路２ａと連通する。
定された軸受スリーブ３ａと、主軸２の外周面に固定さ
れた軸受スリーブ３ｂとで構成される。軸受スリーブ３
ａ、３ｂには、微小な軸受隙間を介して相対向する軸受
面３ａ１、３ｂ１が形成される。また、軸受スリーブ３
ｂには、軸受面３ｂ１に開口した複数のノズル３ｂ２が
形成される。軸受スリーブ３ｂの各ノズル３ｂ２は、主
軸２の給気通路２ａと連通する。
【００１９】シール機構４は、静圧空気軸受３の外側端
面から所定の空間５を隔てて配設され、ローラ１の端部
と主軸２との間をシールする。この空間５は、主軸２の
排気通路２ｂと連通しており、静圧空気軸受３の排気を
外部に排出するための排気空間となる。尚、静圧空気軸
受３の内側端面の側にも、主軸２の排気通路２ｂと連通
する排気空間６が設けられる。
面から所定の空間５を隔てて配設され、ローラ１の端部
と主軸２との間をシールする。この空間５は、主軸２の
排気通路２ｂと連通しており、静圧空気軸受３の排気を
外部に排出するための排気空間となる。尚、静圧空気軸
受３の内側端面の側にも、主軸２の排気通路２ｂと連通
する排気空間６が設けられる。
【００２０】主軸２の給気通路２ａの一端から圧縮空気
Ｐを供給すると、その圧縮空気Ｐが給気通路２ａを介し
て軸受スリーブ３ｂの各ノズル３ｂ２に入り、各ノズル
３ｂ２から軸受隙間に噴出される。そして、軸受隙間に
形成される圧縮空気膜によって、ローラ１が回転自在に
非接触支持される。
Ｐを供給すると、その圧縮空気Ｐが給気通路２ａを介し
て軸受スリーブ３ｂの各ノズル３ｂ２に入り、各ノズル
３ｂ２から軸受隙間に噴出される。そして、軸受隙間に
形成される圧縮空気膜によって、ローラ１が回転自在に
非接触支持される。
【００２１】一方、静圧空気軸受３の軸受隙間から排気
される空気は、排気空間５、６に入り、排気空間５、６
から主軸２の排気通路２ｂを介して真空室Ｂの外部に排
出される（ＥＸ）。
される空気は、排気空間５、６に入り、排気空間５、６
から主軸２の排気通路２ｂを介して真空室Ｂの外部に排
出される（ＥＸ）。
【００２２】静圧空気軸受３及び排気空間５、６を含む
ローラ１の内部が、両端部のシール機構４によって密封
されるので、静圧空気軸受３の給排気が真空室Ｂ内に漏
れる心配がなく、真空室Ｂ内の真空度が保たれる。
ローラ１の内部が、両端部のシール機構４によって密封
されるので、静圧空気軸受３の給排気が真空室Ｂ内に漏
れる心配がなく、真空室Ｂ内の真空度が保たれる。
【００２３】ローラ１の内部を密封するシール機構４と
して、図２に示すような磁性流体シールを用いることが
できる。この磁性流体シールは、２つの環状の回転側磁
性体４１と、回転側磁性体４１間に介装された磁石４２
と、環状の固定側磁性体４３と、回転側磁性体４１と固
定側磁性体４３との間の隙間に介在する磁性流体４４と
で構成される。回転側磁性体４１はローラ１の端部内周
面に固定され、固定側磁性体４３は主軸２の外周面に固
定される。
して、図２に示すような磁性流体シールを用いることが
できる。この磁性流体シールは、２つの環状の回転側磁
性体４１と、回転側磁性体４１間に介装された磁石４２
と、環状の固定側磁性体４３と、回転側磁性体４１と固
定側磁性体４３との間の隙間に介在する磁性流体４４と
で構成される。回転側磁性体４１はローラ１の端部内周
面に固定され、固定側磁性体４３は主軸２の外周面に固
定される。
【００２４】図３に示す実施形態は、シール機構４とし
てラビリンスシールを用いると共に、ラビリンス隙間Ｓ
に侵入した排気を吸引して外部に排出する吸引機構を設
けたものである。主軸２の外周面にラビリンス部材４５
が固定され、ラビリンス部材４５の外周面とローラ１の
端部内周面との間にラビリンス隙間Ｓが形成される。ラ
ビリンス部材４５には、ラビリンス隙間Ｓに開口した吸
引通路４５ａが形成され、主軸２には、吸引通路４５ａ
と連通する吸引通路２ｃが形成される。主軸２の吸引通
路２ｃの一端は、図示されていない吸引配管を介して真
空ポンプ等の吸引源に接続される。ラビリンス隙間Ｓに
侵入した静圧空気軸受３の排気は、吸引通路４５ａ、２
ｃを介して吸引されて、真空室Ｂの外部に排出される。
てラビリンスシールを用いると共に、ラビリンス隙間Ｓ
に侵入した排気を吸引して外部に排出する吸引機構を設
けたものである。主軸２の外周面にラビリンス部材４５
が固定され、ラビリンス部材４５の外周面とローラ１の
端部内周面との間にラビリンス隙間Ｓが形成される。ラ
ビリンス部材４５には、ラビリンス隙間Ｓに開口した吸
引通路４５ａが形成され、主軸２には、吸引通路４５ａ
と連通する吸引通路２ｃが形成される。主軸２の吸引通
路２ｃの一端は、図示されていない吸引配管を介して真
空ポンプ等の吸引源に接続される。ラビリンス隙間Ｓに
侵入した静圧空気軸受３の排気は、吸引通路４５ａ、２
ｃを介して吸引されて、真空室Ｂの外部に排出される。
【００２５】図４に示す実施形態は、シール機構４とし
てラビリンスシールを用いると共に、ラビリンス隙間Ｓ
を構成する部材の表面、例えば主軸２の外周面に傾斜状
の動圧溝２ｄを形成したものである。ローラ１の端部内
周面にラビリンス部材４６が固定され、ラビリンス部材
４６の内周面と主軸２の外周面との間にラビリンス隙間
Ｓが形成される。ローラ１及びラビリンス部材４６の回
転に伴う動圧溝２ｄのポンプ作用により、静圧空気軸受
３の排気がラビリンス隙間Ｓに侵入しにくくなる。
てラビリンスシールを用いると共に、ラビリンス隙間Ｓ
を構成する部材の表面、例えば主軸２の外周面に傾斜状
の動圧溝２ｄを形成したものである。ローラ１の端部内
周面にラビリンス部材４６が固定され、ラビリンス部材
４６の内周面と主軸２の外周面との間にラビリンス隙間
Ｓが形成される。ローラ１及びラビリンス部材４６の回
転に伴う動圧溝２ｄのポンプ作用により、静圧空気軸受
３の排気がラビリンス隙間Ｓに侵入しにくくなる。
【００２６】図５に示す実施形態は、図２に示す実施形
態と同様に、シール機構４として磁性流体シールを用い
たものであるが、固定側磁性体４３’の外周面にへリン
グボーン形の動圧溝４３’ａを形成してある点が異な
る。同図（ｂ）に示すように、ローラ１の回転に伴う動
圧溝４３’ａの動圧作用により、磁性流体４４が隙間の
軸方向中央領域に寄せられるので、シール部分のトルク
が低減されると同時に、シール性も一層向上する。
態と同様に、シール機構４として磁性流体シールを用い
たものであるが、固定側磁性体４３’の外周面にへリン
グボーン形の動圧溝４３’ａを形成してある点が異な
る。同図（ｂ）に示すように、ローラ１の回転に伴う動
圧溝４３’ａの動圧作用により、磁性流体４４が隙間の
軸方向中央領域に寄せられるので、シール部分のトルク
が低減されると同時に、シール性も一層向上する。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以下に示す効果を有する。
【００２８】（１）ローラを静圧空気軸受で非接触支持
する構成としたので、従来の転がり軸受支持ガイドロー
ラに比べ、低トルクで、高速回転性能、回転精度が向上
し、また、真空雰囲気下における寿命も向上する。
する構成としたので、従来の転がり軸受支持ガイドロー
ラに比べ、低トルクで、高速回転性能、回転精度が向上
し、また、真空雰囲気下における寿命も向上する。
【００２９】（２）静圧空気軸受及び排気空間を含むロ
ーラの内部をシール機構によって密封したので、静圧空
気軸受の給排気によって真空室内の真空度が劣化する等
の弊害が防止される。
ーラの内部をシール機構によって密封したので、静圧空
気軸受の給排気によって真空室内の真空度が劣化する等
の弊害が防止される。
【００３０】（３）シール機構として非接触シールを採
用することにより、機械的な接触部分がなくなるので、
より一層のトルク低減、長寿命化を図ることができる。
用することにより、機械的な接触部分がなくなるので、
より一層のトルク低減、長寿命化を図ることができる。
【００３１】（４）シール機構として磁性流体シールを
用いた場合、磁性流体が介在する部材の表面に動圧溝を
設けることにより、より一層のトルク低減、シール性の
向上を図ることができる。
用いた場合、磁性流体が介在する部材の表面に動圧溝を
設けることにより、より一層のトルク低減、シール性の
向上を図ることができる。
【００３２】（５）シール機構としてラビリンスシール
を用いた場合、ラビリンス隙間に侵入した排気を吸引し
て外部に排出する吸引機構を併用することにより、ある
いは、ラビリンス隙間を構成する部材の表面に傾斜状の
動圧溝を設けることにより、シール性をより一層向上さ
せることができる。
を用いた場合、ラビリンス隙間に侵入した排気を吸引し
て外部に排出する吸引機構を併用することにより、ある
いは、ラビリンス隙間を構成する部材の表面に傾斜状の
動圧溝を設けることにより、シール性をより一層向上さ
せることができる。
【００３３】（６）本発明の静圧空気軸受支持ガイドロ
ーラを、真空室内用として用いることにより、真空室内
の真空度劣化を防止し、また、軸受交換等のメインテナ
ンス作業を大幅に削減することができる。
ーラを、真空室内用として用いることにより、真空室内
の真空度劣化を防止し、また、軸受交換等のメインテナ
ンス作業を大幅に削減することができる。
【図１】本発明の実施例を示す断面図である。
【図２】シール機構の周辺部の拡大断面図である。
【図３】シール機構の他の実施形態を示す拡大断面図で
ある。
ある。
【図４】シール機構の他の実施形態を示す拡大断面図で
ある。
ある。
【図５】シール機構の他の実施形態を示す拡大断面図で
ある。
ある。
１ ローラ ２ 主軸 ３ 静圧空気軸受 ４ シール機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 幸治 静岡県磐田市東貝塚1578番地 エヌティエ ヌ株式会社内 Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA04 BA17 CA05 CA11 EA02 EA06 EA13 EA24 GA11 GA19
Claims (8)
- 【請求項１】 円筒状のローラと、ローラの内周面に挿
通された主軸と、ローラの内部に収容され、ローラを主
軸に対して回転自在に非接触支持する静圧空気軸受とを
備えた静圧空気軸受支持ガイドローラであって、 上記静圧空気軸受の外側両端部に、該軸受の排気を外部
に排出するための排気空間を設けると共に、この排気空
間の外側にシール機構を配設して、ローラの内部を外部
に対して密封したことを特徴とする静圧空気軸受支持ガ
イドローラ。 - 【請求項２】 上記シール機構が非接触シールである請
求項１記載の静圧空気軸受支持ガイドローラ。 - 【請求項３】 上記非接触シールが磁性流体シールであ
る請求項２記載の静圧空気軸受支持ガイドローラ。 - 【請求項４】 磁性流体が介在する部材の表面に動圧溝
が設けられた請求項３記載の静圧空気軸受支持ガイドロ
ーラ。 - 【請求項５】 上記非接触シールがラビリンスシールで
ある請求項２記載の静圧空気軸受支持ガイドローラ。 - 【請求項６】 ラビリンス隙間に侵入した排気を吸引し
て外部に排出する吸引機構を備えた請求項５記載の静圧
空気軸受支持ガイドローラ。 - 【請求項７】 ラビリンス隙間を構成する部材の表面に
傾斜状の動圧溝が設けられた請求項５記載の静圧空気軸
受支持ガイドローラ。 - 【請求項８】 真空室内で運転される請求項１〜７の何
れかに記載の静圧空気軸受支持ガイドローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27576898A JP2000104736A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 静圧空気軸受支持ガイドローラ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27576898A JP2000104736A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 静圧空気軸受支持ガイドローラ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000104736A true JP2000104736A (ja) | 2000-04-11 |
Family
ID=17560131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27576898A Withdrawn JP2000104736A (ja) | 1998-09-29 | 1998-09-29 | 静圧空気軸受支持ガイドローラ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000104736A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020076508A (ko) * | 2001-03-29 | 2002-10-11 | (주)예원테크 | 고효율 냉각방식 시스템을 채용한 절단용 초고속에어스핀들 시스템 |
| GB2378736A (en) * | 2001-07-05 | 2003-02-19 | Mitutoyo Corp | Air bearing drive system having levitation and suction means |
| JP2013050149A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Nsk Ltd | エアスピンドル |
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| CN111795072A (zh) * | 2019-04-09 | 2020-10-20 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 气体轴承供气装置、电机 |
-
1998
- 1998-09-29 JP JP27576898A patent/JP2000104736A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
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| CN111795072B (zh) * | 2019-04-09 | 2022-01-25 | 青岛海尔智能技术研发有限公司 | 气体轴承供气装置、电机 |
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