JPH0384902A - 分圧抵抗素子の製造方法 - Google Patents
分圧抵抗素子の製造方法Info
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- JPH0384902A JPH0384902A JP1222516A JP22251689A JPH0384902A JP H0384902 A JPH0384902 A JP H0384902A JP 1222516 A JP1222516 A JP 1222516A JP 22251689 A JP22251689 A JP 22251689A JP H0384902 A JPH0384902 A JP H0384902A
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Landscapes
- Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の目的]
(産業上の利用分野)
本発明は、カラーブラウン管等の電子管内に組み込まれ
る分圧抵抗素子の製造方法に関する。
る分圧抵抗素子の製造方法に関する。
(従来の技術)
従来、電子管例えばカラーテレビジョン受像機に用いら
れるカラーブラウン管において、陽極電圧以外にコンバ
ージェンス電極やフォーカス電極等に供給される高電圧
が必要とされるものがある。
れるカラーブラウン管において、陽極電圧以外にコンバ
ージェンス電極やフォーカス電極等に供給される高電圧
が必要とされるものがある。
この様な場合、カラーブラウン管のシステム部より高電
圧を供給すると、耐電圧の面から問題を生じるので、カ
ラーブラウン管内に電子銃と共に分圧用の抵抗器を電子
管内蔵分圧抵抗素子として、組み込み、これによって陽
極電圧を分圧してそれぞれの電極に高電圧を供給しよう
とする方式が提案されている。
圧を供給すると、耐電圧の面から問題を生じるので、カ
ラーブラウン管内に電子銃と共に分圧用の抵抗器を電子
管内蔵分圧抵抗素子として、組み込み、これによって陽
極電圧を分圧してそれぞれの電極に高電圧を供給しよう
とする方式が提案されている。
この様な分圧抵抗素子が組み込まれたカラーブラウン管
の一例を第3図に示す。
の一例を第3図に示す。
同図において、1は真空容器であり、この真空容器1の
ネック部la内に電子銃構体2が配置されており、この
電子銃構体2には3個のカソードKに対し、共通に第1
グリツド電極G1、第2グリツド電極G2、第3グリツ
ド電極G3、第4グリツド電極G4、第5グリツド電極
G5、第6グリツド電極G6、第7グリツド電極G7、
第8グリツド電極G8が順次同軸上に配置され、第8グ
リツド電極G8の後段には、コンバージェンス電極3が
配置されている。
ネック部la内に電子銃構体2が配置されており、この
電子銃構体2には3個のカソードKに対し、共通に第1
グリツド電極G1、第2グリツド電極G2、第3グリツ
ド電極G3、第4グリツド電極G4、第5グリツド電極
G5、第6グリツド電極G6、第7グリツド電極G7、
第8グリツド電極G8が順次同軸上に配置され、第8グ
リツド電極G8の後段には、コンバージェンス電極3が
配置されている。
各グリッド電極G1、G2、G3、G4、G5、G6、
G7およびG8は、相互に所定の位置関係を維持して、
ビードガラス4によって機械的に保持されている。
G7およびG8は、相互に所定の位置関係を維持して、
ビードガラス4によって機械的に保持されている。
また、第3グリツド電極G3と第5グリツド電極G5と
は、導線5により電気的に接続されており、さらにコン
バージェンス電極3は、第8グリツド電極G8と溶接に
より電気的に接続されている。
は、導線5により電気的に接続されており、さらにコン
バージェンス電極3は、第8グリツド電極G8と溶接に
より電気的に接続されている。
この様な電子銃構体2に対して、分圧抵抗素子6が取り
付けられており、この分圧抵抗素子6に設けられた高圧
の引き出し電極7as 7 b s 7 cが、第7グ
リツド電極G7、第6グリツド電極G6、第5グリツド
電極G5と接続されている。
付けられており、この分圧抵抗素子6に設けられた高圧
の引き出し電極7as 7 b s 7 cが、第7グ
リツド電極G7、第6グリツド電極G6、第5グリツド
電極G5と接続されている。
また、コンバージェンス電極3への引き出し電極8がコ
ンバージェンス電極3と接続され、更にアース側の引き
出し電極9が、ステム11に埋設されたアース電極ビン
12に接続されている。
ンバージェンス電極3と接続され、更にアース側の引き
出し電極9が、ステム11に埋設されたアース電極ビン
12に接続されている。
一方、真空容器1のファンネル部1bの内壁には、ネッ
ク部1aの内壁まで伸びるグラファイト導電膜13が被
着されており、ファンネル部1bに設けられた高電圧供
給ボタン(陽極ボタンで図中では示していない)を通じ
て陽極電圧が供給される。
ク部1aの内壁まで伸びるグラファイト導電膜13が被
着されており、ファンネル部1bに設けられた高電圧供
給ボタン(陽極ボタンで図中では示していない)を通じ
て陽極電圧が供給される。
そして、コンバージェンス電極3には、導電スプリング
14が設けられており、この導電スプリング14がクラ
ファイト導電膜13と接触することにより、コンバージ
ェンス電極3、第8グリツド電極G8及び分圧抵抗素子
6のコンバージェンス引出し電極9に陽極電圧が供給さ
れ、高圧の引き出し電極7a、7 b % 7 cに発
生する分圧電圧が第7グリツド電極G7、第6グリツド
電極G6、及び第5グリツド電極G5に供給される。
14が設けられており、この導電スプリング14がクラ
ファイト導電膜13と接触することにより、コンバージ
ェンス電極3、第8グリツド電極G8及び分圧抵抗素子
6のコンバージェンス引出し電極9に陽極電圧が供給さ
れ、高圧の引き出し電極7a、7 b % 7 cに発
生する分圧電圧が第7グリツド電極G7、第6グリツド
電極G6、及び第5グリツド電極G5に供給される。
この様なカラーブラウン管内に内蔵される分圧抵抗素子
6は1、例えば第4図、第5図及び第6図に示すように
構成され、第4図は外表部を形成する絶縁被膜層上から
透視した状態の分圧抵抗素子6を示し、°第5図は第4
図中のA−A線に従う断面図である。また、第6図は第
5図の一部分を拡大して示した図である。
6は1、例えば第4図、第5図及び第6図に示すように
構成され、第4図は外表部を形成する絶縁被膜層上から
透視した状態の分圧抵抗素子6を示し、°第5図は第4
図中のA−A線に従う断面図である。また、第6図は第
5図の一部分を拡大して示した図である。
すなわち、酸化アルミニウム等のセラミック製の絶縁基
板21上には、例えば酸化ルテニウムを含む金属酸化物
と硼硅酸鉛系のガラスよりなる電極材料を印刷、乾燥、
焼成した電極層22aと引出し電極22bからなる端子
部22が形成されると共に、各端子部22間には、所定
の抵抗値を有する酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼
硅酸鉛系のガラスよりなる抵抗材料をジグザグパターン
に印刷、乾燥、焼成した抵抗体層23が形成されている
。
板21上には、例えば酸化ルテニウムを含む金属酸化物
と硼硅酸鉛系のガラスよりなる電極材料を印刷、乾燥、
焼成した電極層22aと引出し電極22bからなる端子
部22が形成されると共に、各端子部22間には、所定
の抵抗値を有する酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼
硅酸鉛系のガラスよりなる抵抗材料をジグザグパターン
に印刷、乾燥、焼成した抵抗体層23が形成されている
。
さらに、この抵抗体層23を覆うように絶縁被覆層24
が形成され、引出し電極22bは、端子部22で絶縁基
板21を貫通しているスルーホール22cの上下から、
かしめられている。
が形成され、引出し電極22bは、端子部22で絶縁基
板21を貫通しているスルーホール22cの上下から、
かしめられている。
このような分圧抵抗素子6は、次に述べる方法により製
造されている。
造されている。
はじめに、酸化アルミニウム等のセラミック基板21上
に、酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼硅酸鉛系のガ
ラスよりなり、導電成分/ガラス成分比が後述の抵抗体
層よりも大きいように調整された無機混合物と、セルロ
ース系のバインターと、有機溶剤とを混練してなる低抵
抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って所定のパ
ターンに印刷する。
に、酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼硅酸鉛系のガ
ラスよりなり、導電成分/ガラス成分比が後述の抵抗体
層よりも大きいように調整された無機混合物と、セルロ
ース系のバインターと、有機溶剤とを混練してなる低抵
抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って所定のパ
ターンに印刷する。
その後、1(10−15(1℃の温度で15〜30分程
度乾燥し、有機溶剤を除去する。
度乾燥し、有機溶剤を除去する。
次いで、上記抵抗ペースト成分中の導電成分量を減らし
た高抵抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って、
所定の全抵抗値及び分割比になるように、所定のパター
ンに印刷する。
た高抵抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って、
所定の全抵抗値及び分割比になるように、所定のパター
ンに印刷する。
その後、100〜150℃の温度でi5〜30分程度乾
燥し、有機溶剤を除去する。
燥し、有機溶剤を除去する。
次いで、800〜950 ”Cの温度で焼成し、バイン
ダーの分解とガラス化を行い、電極層22aおよび抵抗
体層23を形成する。
ダーの分解とガラス化を行い、電極層22aおよび抵抗
体層23を形成する。
さらに、電子管内蔵用分圧抵抗素子では、抵抗分割比の
変動が著しく電子管の特性に影響を及ぼすため、抵抗体
層23を形成した後、抵抗分割比を所定の値とするため
、抵抗体層23にトリミング部23aを設け、このトリ
ミング部23aをレーザートリマーやサンドブラストト
リマーを用いて削り落としながら、抵抗値を調整する。
変動が著しく電子管の特性に影響を及ぼすため、抵抗体
層23を形成した後、抵抗分割比を所定の値とするため
、抵抗体層23にトリミング部23aを設け、このトリ
ミング部23aをレーザートリマーやサンドブラストト
リマーを用いて削り落としながら、抵抗値を調整する。
次いで、硼硅酸鉛ガラスを主成分に抵抗体との反応を防
止するために、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、亜鉛
、銅、ジルコニウム、カドミウムなどの遷移金属酸化物
を所定量含むガラス粉末をセルロース系のバインダーお
よび有機溶剤と混合して絶縁ガラスペーストを調製し、
スクリーン印刷機を使って絶縁ガラスペーストを印刷、
乾燥、焼!、、ニすることにより、絶縁被覆層24とす
る。
止するために、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、亜鉛
、銅、ジルコニウム、カドミウムなどの遷移金属酸化物
を所定量含むガラス粉末をセルロース系のバインダーお
よび有機溶剤と混合して絶縁ガラスペーストを調製し、
スクリーン印刷機を使って絶縁ガラスペーストを印刷、
乾燥、焼!、、ニすることにより、絶縁被覆層24とす
る。
二の絶縁被覆層24は、電子管内蔵用分圧抵抗素子の場
合、使用電圧が高い、真空中で使用されるためガス放電
によりスパッタされることがある等の理由より、抵抗体
層23の保護のため、通常(1)HICに比べて、膜厚
を厚くしている。
合、使用電圧が高い、真空中で使用されるためガス放電
によりスパッタされることがある等の理由より、抵抗体
層23の保護のため、通常(1)HICに比べて、膜厚
を厚くしている。
例えば、現在カラーブラウン管に実際に組込まれている
もので、250μIl〜1■の厚さがある。
もので、250μIl〜1■の厚さがある。
この様な膜厚を得るために、−回の印刷で焼成後の膜厚
が50〜90μ厘となるように、スクリーン印刷−乾燥
を繰り返し実施し、所定の膜厚に達した所で焼成を行な
うという方法がなされている。
が50〜90μ厘となるように、スクリーン印刷−乾燥
を繰り返し実施し、所定の膜厚に達した所で焼成を行な
うという方法がなされている。
印刷を一度に行わず、回数を分けて行っているのは、−
度に膜厚をかせぐと、膜厚分布が大きくなったり、乾燥
時の溶剤のぬけが悪く、泡の原因になったりするためで
ある。
度に膜厚をかせぐと、膜厚分布が大きくなったり、乾燥
時の溶剤のぬけが悪く、泡の原因になったりするためで
ある。
次いで、電極部22の中心に位置する絶縁基板のスルー
ホール22cに、金層性の引き出し端子22bをかしめ
、電極層22aと金属端子22bの導通を図る。
ホール22cに、金層性の引き出し端子22bをかしめ
、電極層22aと金属端子22bの導通を図る。
こうして、分圧抵抗素子が得られる。
(発明が解決しようとする課題)
ところで、上述した分圧抵抗素子の製造方法における一
工程のトリミング工程は、各層の印刷精度が、電子管内
蔵分圧抵抗素子として要求される抵抗分割比を得る程度
の精度を備えていれば、必要ないはずである。
工程のトリミング工程は、各層の印刷精度が、電子管内
蔵分圧抵抗素子として要求される抵抗分割比を得る程度
の精度を備えていれば、必要ないはずである。
しかし、現状では抵抗体層の形成の精度が十分ではなく
、トリミングによって抵抗値を修正する工程が不可欠で
あり、工程数の増加、コストアップが問題となっている
。
、トリミングによって抵抗値を修正する工程が不可欠で
あり、工程数の増加、コストアップが問題となっている
。
また、絶縁被覆層の膜厚を所定の膜厚とするために、ペ
ースト印刷を何度も繰返すという方法は、膜厚を均一化
し、欠陥を防止するためには確実な方法であるが、工程
数の増加によるコストアップが問題である。
ースト印刷を何度も繰返すという方法は、膜厚を均一化
し、欠陥を防止するためには確実な方法であるが、工程
数の増加によるコストアップが問題である。
このため、トリミングによる抵抗値修正を行わずに、高
精度の抵抗体層を形成することができ、−度に250μ
−〜11100厚さの絶縁被覆層を形成する方法の開発
が課題となっている。
精度の抵抗体層を形成することができ、−度に250μ
−〜11100厚さの絶縁被覆層を形成する方法の開発
が課題となっている。
本発明は、このような課題を解決するためになされたも
ので、より少ない工程数で、高精度の抵抗体層および絶
縁被覆層を形成することができ、コストダウンを図るこ
とのできる分圧抵抗素子の製造方法を提供することを目
的とする。
ので、より少ない工程数で、高精度の抵抗体層および絶
縁被覆層を形成することができ、コストダウンを図るこ
とのできる分圧抵抗素子の製造方法を提供することを目
的とする。
[発明の構成コ
(課題を解決するための手段)
本発明の分圧抵抗素子の製造方法は、
酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼珪酸鉛系のガラス
からなるガラス粉末を有機バインダー中に分散させてシ
ート化し、ガラスグリーンシートを得る工程と、このガ
ラスグリーンシートの片面に粘着剤を塗工する工程と、
この粘着剤が塗工されたガラスグリーンシートから、電
極パターンと、抵抗パターンとをそれぞれ所定形状に型
抜きする工程と、この型抜きした電極パターンおよび抵
抗パターンを絶縁基板上に貼り付け、焼成し、抵抗体層
を形成する工程と、この抵抗体層上に絶縁被覆層を形成
する工程と、を有することを特徴としている。
からなるガラス粉末を有機バインダー中に分散させてシ
ート化し、ガラスグリーンシートを得る工程と、このガ
ラスグリーンシートの片面に粘着剤を塗工する工程と、
この粘着剤が塗工されたガラスグリーンシートから、電
極パターンと、抵抗パターンとをそれぞれ所定形状に型
抜きする工程と、この型抜きした電極パターンおよび抵
抗パターンを絶縁基板上に貼り付け、焼成し、抵抗体層
を形成する工程と、この抵抗体層上に絶縁被覆層を形成
する工程と、を有することを特徴としている。
また、本発明の分圧抵抗素子の製造方法は、絶縁基板上
に、電極層と抵抗体層とを形成する工程と、硼硅酸鉛系
等のガラスからなるガラス粉末を有機バインダー中に分
散させてシート化し、ガラスグリーンシートを得る工程
と、このガラスグリーンシートの片面に粘着剤を塗工す
る工程と、この粘着剤が塗工されたグリーンシートから
、絶縁被覆パターンを所定形状に型抜きする工程と、こ
の型抜きした絶縁被覆パターンを、前記電極層と抵抗体
層とを含む絶縁基板上に貼り付け、焼成し、絶縁体層を
形成する工程と、を有することを特徴としている。
に、電極層と抵抗体層とを形成する工程と、硼硅酸鉛系
等のガラスからなるガラス粉末を有機バインダー中に分
散させてシート化し、ガラスグリーンシートを得る工程
と、このガラスグリーンシートの片面に粘着剤を塗工す
る工程と、この粘着剤が塗工されたグリーンシートから
、絶縁被覆パターンを所定形状に型抜きする工程と、こ
の型抜きした絶縁被覆パターンを、前記電極層と抵抗体
層とを含む絶縁基板上に貼り付け、焼成し、絶縁体層を
形成する工程と、を有することを特徴としている。
(作 用)
本発明によれば、ガラスグリーンシートを所定形状に型
抜きしてそれぞれのパターン(電極パターン、抵抗パタ
ーン、絶縁被覆パターン)を作製し、これらの型抜きパ
ターンを絶縁基板上に貼り付け、焼成することにより、
各層を形成している。
抜きしてそれぞれのパターン(電極パターン、抵抗パタ
ーン、絶縁被覆パターン)を作製し、これらの型抜きパ
ターンを絶縁基板上に貼り付け、焼成することにより、
各層を形成している。
このため、膜厚、パターン形状が均一となり、これらの
ばらつきに伴って生じる抵抗値や抵抗分割比のばらつき
をなくすことができる。
ばらつきに伴って生じる抵抗値や抵抗分割比のばらつき
をなくすことができる。
つまり、抵抗値の修正が不要となるだけでなく、−度に
所望の膜厚の絶縁被覆層を形成することができるため、
大幅に工程4数を削減することができる。
所望の膜厚の絶縁被覆層を形成することができるため、
大幅に工程4数を削減することができる。
しかも、これらのパターンは型抜きによって得るため再
現性が高く、信頼性の維持、品質管理において有用であ
る。
現性が高く、信頼性の維持、品質管理において有用であ
る。
(実施例)
次に、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
実施例1
第1図(a)〜(d)は、本発明の分圧抵抗素子の製造
方法を説明するための図である。
方法を説明するための図である。
はじめに、酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼硅酸鉛
系のガラスよりなり、導電成分/ガラス成分比が後述の
抵抗体層よりも大きいように調整されたガラス粉末を、
アクリル、セルロース、ポリエステルなどの有機バイン
ダー中に分散させ、焼成後の膜厚が!5μ−となるよう
にシート化したガラスグリーンシート50を作製する(
第1図−a)。
系のガラスよりなり、導電成分/ガラス成分比が後述の
抵抗体層よりも大きいように調整されたガラス粉末を、
アクリル、セルロース、ポリエステルなどの有機バイン
ダー中に分散させ、焼成後の膜厚が!5μ−となるよう
にシート化したガラスグリーンシート50を作製する(
第1図−a)。
なお、ガラスグリーンシート50は、電極パターン用と
、抵抗パターン用とを区別し、電極パターン用のガラス
グリーンシートには酸化ルテニウムを多めに含有させる
ことが好ましい。
、抵抗パターン用とを区別し、電極パターン用のガラス
グリーンシートには酸化ルテニウムを多めに含有させる
ことが好ましい。
このガラスグリーンシート50の片面に、ゴム系または
アクリル系等の粘着剤(図示省略)を塗工した後、ドー
ナツ状の電極パターンP51と、ジグザグ状の抵抗パタ
ーンP52とを、プレスなどで型抜きする(第1図−b
)。
アクリル系等の粘着剤(図示省略)を塗工した後、ドー
ナツ状の電極パターンP51と、ジグザグ状の抵抗パタ
ーンP52とを、プレスなどで型抜きする(第1図−b
)。
こうして得た2FlI類の型抜きパターンを、酸化アル
ミニウムを主成分とするセラミックスからなる絶縁基板
53上に、貼りつける。
ミニウムを主成分とするセラミックスからなる絶縁基板
53上に、貼りつける。
貼りつけの際には、抵抗パターンP52が、電極パター
ンP51を所定の位置に挟みながら最終的にひとつなが
りの連続した抵抗体層を形成するように、型抜きパター
ンの貼りつけ位置を設定する。
ンP51を所定の位置に挟みながら最終的にひとつなが
りの連続した抵抗体層を形成するように、型抜きパター
ンの貼りつけ位置を設定する。
この後、例えば昇温速度lO〜15deg/分で850
℃まで加熱し、850℃で30分保持して焼成を行い、
冷却する。
℃まで加熱し、850℃で30分保持して焼成を行い、
冷却する。
これによって、絶縁基板53に貼りつけた電極パターン
P51と、抵抗パターンP52とは、電極層51を含ん
だひとつづきの抵抗体層52と・なる(第1図−C)。
P51と、抵抗パターンP52とは、電極層51を含ん
だひとつづきの抵抗体層52と・なる(第1図−C)。
なお、寸法安定性に優れ、ピンホール、ブク等の欠陥を
防止するために、焼成過程での反応が、有機バインダー
の熱分M→粘着剤の熱分解−ガラス粉末溶融軟化の順で
起こるように、有機バインダー及び粘着剤を選択する必
要がある。
防止するために、焼成過程での反応が、有機バインダー
の熱分M→粘着剤の熱分解−ガラス粉末溶融軟化の順で
起こるように、有機バインダー及び粘着剤を選択する必
要がある。
こうして得られた抵抗体層は、抵抗素子間の抵抗値及び
抵抗分割比のばらつきが極めて小さく、抵抗値の修正が
不要であった。
抵抗分割比のばらつきが極めて小さく、抵抗値の修正が
不要であった。
次いで、硼硅酸鉛ガラスを主成分とする抵抗体との反応
を防止するために、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、
亜鉛、銅、ジルコニウム、カドミウムなどの遷移金属酸
化物を所定量含むガラス粉末をセルロース系のバインダ
ーおよび有機溶剤と混合して絶縁ガラスペーストを調製
し、スクリーン印刷機を使って絶縁ガラスペーストを印
刷、乾燥、焼成することにより、絶縁被覆層54を形成
する(第1図−d)。
を防止するために、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、
亜鉛、銅、ジルコニウム、カドミウムなどの遷移金属酸
化物を所定量含むガラス粉末をセルロース系のバインダ
ーおよび有機溶剤と混合して絶縁ガラスペーストを調製
し、スクリーン印刷機を使って絶縁ガラスペーストを印
刷、乾燥、焼成することにより、絶縁被覆層54を形成
する(第1図−d)。
この後、絶縁基板53における電極層51の中心に対応
して形成されているスルーホールに、金属性の引き出し
端子をかしめ、電極層51と金属端子との導通を図れば
、電子管内蔵用の分圧抵抗素子が完成する。
して形成されているスルーホールに、金属性の引き出し
端子をかしめ、電極層51と金属端子との導通を図れば
、電子管内蔵用の分圧抵抗素子が完成する。
このような方法で作製した分圧抵抗素子は、形状精度が
高く、安定した抵抗値を備えていた。
高く、安定した抵抗値を備えていた。
さらに、型抜きによる抵抗パターンは、従来のスクリー
ン印刷により得られた抵抗パターンと比較すると、絶縁
被覆層との接触面積が少なく、抵抗体層と絶縁被覆層と
の反応による抵抗値変動がほとんどみられなかった。
ン印刷により得られた抵抗パターンと比較すると、絶縁
被覆層との接触面積が少なく、抵抗体層と絶縁被覆層と
の反応による抵抗値変動がほとんどみられなかった。
実施例2
第2図(a)〜(d)は、本発明の他の実施例を説明す
るための図である。
るための図である。
はじめに、酸化アルミニウムセラミックスなどの絶縁基
板71上に、酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼硅酸
鉛系のガラスよりなり、導電成分/ガラス成分比が後述
の抵抗体層よりも大きいように調整された無機混合物と
、セルロース系のバインダーと、有機溶剤とを混練して
なる低抵抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って
所定のパターンに印刷する。
板71上に、酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼硅酸
鉛系のガラスよりなり、導電成分/ガラス成分比が後述
の抵抗体層よりも大きいように調整された無機混合物と
、セルロース系のバインダーと、有機溶剤とを混練して
なる低抵抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って
所定のパターンに印刷する。
その後、100〜150℃の温度で15〜30分程度乾
燥し、有機溶剤を除去する。
燥し、有機溶剤を除去する。
次いで、上記抵抗ペースト成分中の導電成分量を減らし
た高抵抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って、
所定の全抵抗値及び分割比になるように、所定のパター
ンに印刷する。
た高抵抗の抵抗ペーストをスクリーン印刷機を使って、
所定の全抵抗値及び分割比になるように、所定のパター
ンに印刷する。
その後、100〜150℃の温度で15〜30分程度乾
燥し、有機溶剤を除去する。
燥し、有機溶剤を除去する。
次いで、800〜950℃の温度で焼成し、バインダー
の分解とガラス化を行い、電極層72および抵抗体層7
3を形成する(第2図−a)。
の分解とガラス化を行い、電極層72および抵抗体層7
3を形成する(第2図−a)。
次に、硼硅酸鉛系等のガラスからなるガラス粉末を有機
バインダー中に分散させ、焼成後の膜厚が250μ易と
なるようにシート化した、ガラスグリーンシート74を
作製する(第2図−b)。
バインダー中に分散させ、焼成後の膜厚が250μ易と
なるようにシート化した、ガラスグリーンシート74を
作製する(第2図−b)。
このガラスグリーンシート74の片面に、ゴム系または
アクリル系等の粘着剤(図示省略)を塗工し、所定形状
の絶縁被覆パターンP75をプレス等で型抜きする(第
2図−C)。
アクリル系等の粘着剤(図示省略)を塗工し、所定形状
の絶縁被覆パターンP75をプレス等で型抜きする(第
2図−C)。
そして、この絶縁被覆パターンP75を、電極層72お
よび抵抗体層73が形成された絶縁基板71上に貼りつ
ける。
よび抵抗体層73が形成された絶縁基板71上に貼りつ
ける。
この後、例えば昇温温度lO〜15deg/分で650
℃まで加熱して焼威し、直ちに冷却に移る。
℃まで加熱して焼威し、直ちに冷却に移る。
これによって、絶縁基板53に貼りつけた絶縁被覆パタ
ーンP75は、絶縁被覆層75となる(第2図−d)。
ーンP75は、絶縁被覆層75となる(第2図−d)。
この後、絶縁基板71における電極層72の中心に対応
して形成されているスルーホールに、金属性の引き出し
端子をかしめ、電極層72と金属端子との導通を図れば
、電子管内蔵用の分圧抵抗素子が完成する。
して形成されているスルーホールに、金属性の引き出し
端子をかしめ、電極層72と金属端子との導通を図れば
、電子管内蔵用の分圧抵抗素子が完成する。
この実施例では、型抜きという手段を用いることにより
、絶縁被覆層を一度に所定の層厚で形成することができ
、製造工程数が削減され、コストダウンを図ることがで
きた。
、絶縁被覆層を一度に所定の層厚で形成することができ
、製造工程数が削減され、コストダウンを図ることがで
きた。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明によれば、ガラスグリーン
シートから所定の形状にパターンを型抜きし、これを基
板に貼りつけて焼成することにより抵抗体層及び絶縁被
覆層を形成している。
シートから所定の形状にパターンを型抜きし、これを基
板に貼りつけて焼成することにより抵抗体層及び絶縁被
覆層を形成している。
したがって、形状安定性および再現性にすぐれ、抵抗値
のばらつきなどの欠陥を防止し、信頼性の向上を図るこ
とができる。
のばらつきなどの欠陥を防止し、信頼性の向上を図るこ
とができる。
さらに、製造工程数が削減されるため、コストダウンに
も大きく役立ち、安価で高品質の分圧抵抗素子を得るこ
とができる。
も大きく役立ち、安価で高品質の分圧抵抗素子を得るこ
とができる。
第1図は本発明による一実施例の分圧抵抗素子の製造方
法を説明するための図、第2図は本発明による他の実施
例の分圧抵抗素子の製造方法を説明するための図、 第3図はカラーブラウン管の電子銃付近を示す断面図、
第4図、第5図および第6図は分圧抵抗素子の構成を説
明するための図である。 50.74・・・・・・・・・ガラスグリーンシート5
1.72・・・・・・・・・電極層
法を説明するための図、第2図は本発明による他の実施
例の分圧抵抗素子の製造方法を説明するための図、 第3図はカラーブラウン管の電子銃付近を示す断面図、
第4図、第5図および第6図は分圧抵抗素子の構成を説
明するための図である。 50.74・・・・・・・・・ガラスグリーンシート5
1.72・・・・・・・・・電極層
Claims (2)
- (1)酸化ルテニウムを含む金属酸化物と硼硅酸鉛系の
ガラスからなるガラス粉末を有機バインダー中に分散さ
せてシート化し、ガラスグリーンシートを得る工程と、 このガラスグリーンシートの片面に粘着剤を塗工する工
程と、 この粘着剤が塗工されたガラスグリーンシートから、電
極パターンと、抵抗パターンとをそれぞれ所定形状に型
抜きする工程と、 この型抜きした電極パターンおよび抵抗パターンを絶縁
基板上に貼り付け、焼成し、抵抗体層を形成する工程と
、 この抵抗体層上に絶縁被覆層を形成する工程と、を有す
ることを特徴とする分圧抵抗素子の製造方法。 - (2)絶縁基板上に、電極層と抵抗体層とを形成する工
程と、 硼硅酸鉛系等のガラスからなるガラス粉末を有機バイン
ダー中に分散させてシート化し、ガラスグリーンシート
を得る工程と、 このガラスグリーンシートの片面に粘着剤を塗工する工
程と、 この粘着剤が塗工されたグリーンシートから、絶縁被覆
パターンを所定形状に型抜きする工程と、この型抜きし
た絶縁被覆パターンを、前記電極層と抵抗体層とを含む
絶縁基板上に貼り付け、焼成し、絶縁体層を形成する工
程と、を 有することを特徴とする分圧抵抗素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1222516A JPH0384902A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 分圧抵抗素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1222516A JPH0384902A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 分圧抵抗素子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0384902A true JPH0384902A (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=16783654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1222516A Pending JPH0384902A (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | 分圧抵抗素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0384902A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020018688A (ko) * | 2002-01-10 | 2002-03-08 | 윤석남 | 돌 접시 |
KR20040036149A (ko) * | 2002-10-23 | 2004-04-30 | 정두식 | 생선회 접시 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP1222516A patent/JPH0384902A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20020018688A (ko) * | 2002-01-10 | 2002-03-08 | 윤석남 | 돌 접시 |
KR20040036149A (ko) * | 2002-10-23 | 2004-04-30 | 정두식 | 생선회 접시 |
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