JPH0380556A - チップキャリアの製法 - Google Patents
チップキャリアの製法Info
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- JPH0380556A JPH0380556A JP23222689A JP23222689A JPH0380556A JP H0380556 A JPH0380556 A JP H0380556A JP 23222689 A JP23222689 A JP 23222689A JP 23222689 A JP23222689 A JP 23222689A JP H0380556 A JPH0380556 A JP H0380556A
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Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、チップキャリアの製法に関するもので、さら
に詳しくは、PGA(ビン・グリッド・アレイ)、その
他の配線用基板に、レジンダムを接合する方法において
、配線用基板の金属構成要素の所定の位置に、接着剤を
介してレジンダムを配置し、金属構成要素に誘導磁界を
生じせしめると共に、レジンダムを加圧することを特徴
とするチップキャリアの製法に関するものである。
に詳しくは、PGA(ビン・グリッド・アレイ)、その
他の配線用基板に、レジンダムを接合する方法において
、配線用基板の金属構成要素の所定の位置に、接着剤を
介してレジンダムを配置し、金属構成要素に誘導磁界を
生じせしめると共に、レジンダムを加圧することを特徴
とするチップキャリアの製法に関するものである。
[従来の技術]
配線用基板として【Cチップなどの半導体チップを実装
したPGAが実用化されている。
したPGAが実用化されている。
このPGAは、銅張積層板にエツチング加工し、放射状
のインナーリードと呼ばれる回路やその他の配線回路を
形成せしめ、さらにこれにスルーホールを設け、スルー
ホール内周にスルーホールメツキを施して、各回路とを
電気的に接続させると共に、このスルーホールに端子ピ
ンを差し込んで形成されたものである。
のインナーリードと呼ばれる回路やその他の配線回路を
形成せしめ、さらにこれにスルーホールを設け、スルー
ホール内周にスルーホールメツキを施して、各回路とを
電気的に接続させると共に、このスルーホールに端子ピ
ンを差し込んで形成されたものである。
このようにして得られるPGAに半導体チップを搭載後
、インナーリードと半導体チップとの間にワイヤーボン
ディングを行うことにより、半導体チップと各端子ピン
とを、電気的に接続している。
、インナーリードと半導体チップとの間にワイヤーボン
ディングを行うことにより、半導体チップと各端子ピン
とを、電気的に接続している。
ここで、半導体チップとワイヤーボンディングの保護の
ため、半導体チップとワイヤーボンディングを覆うよう
に、封止用樹脂が流し込まれているが、保護機能の向上
を目的に、従来のエポキシ樹脂に変わり、シリコン系の
封止用樹脂が多用されるようになっている。
ため、半導体チップとワイヤーボンディングを覆うよう
に、封止用樹脂が流し込まれているが、保護機能の向上
を目的に、従来のエポキシ樹脂に変わり、シリコン系の
封止用樹脂が多用されるようになっている。
しかし、シリコン系の封止用樹脂は、流動性が高いため
、流出するのを防止する目的で配線基板上にレジンダム
を配したPGAの需要が高くなっている。
、流出するのを防止する目的で配線基板上にレジンダム
を配したPGAの需要が高くなっている。
従来、このレジンダムをPGAにに代表される配線用基
板に接合させる方法として、エポキシ系接着剤を半硬化
させて、位置決め治具に挿入後、配線用基板とレジンダ
ムをセットし、加熱プレスにて加熱硬化させて接着させ
ていた。
板に接合させる方法として、エポキシ系接着剤を半硬化
させて、位置決め治具に挿入後、配線用基板とレジンダ
ムをセットし、加熱プレスにて加熱硬化させて接着させ
ていた。
また、プラスチック、その他の接合方法としては第8図
に示す誘導加熱方法がある。
に示す誘導加熱方法がある。
この方法は図に示すように加圧プレス定盤12に設置さ
れた、内部に加熱コイル8を有する加熱コイル固定台9
に、接着シート14をはさんだ被着体13をセットし、
プレスヘッドにて加圧しながら高周波発振機10にて加
熱コイル8に高周波’Il’aを流して接合する方法で
ある。
れた、内部に加熱コイル8を有する加熱コイル固定台9
に、接着シート14をはさんだ被着体13をセットし、
プレスヘッドにて加圧しながら高周波発振機10にて加
熱コイル8に高周波’Il’aを流して接合する方法で
ある。
接着シート14中には鉄、アル逅、銅、その他の金R1
136が混入されてあり、加熱コイル8に高周波電流が
流れると、金属粉6との間で誘導磁界が生じ、その結果
、うず電流損失が発生して金属粉6が発熱し、接着剤3
が内部から加熱され硬化する。
136が混入されてあり、加熱コイル8に高周波電流が
流れると、金属粉6との間で誘導磁界が生じ、その結果
、うず電流損失が発生して金属粉6が発熱し、接着剤3
が内部から加熱され硬化する。
[発明が解決しようとする課題]
上記従来技術においては、前者は、接着工程にかかる時
間が長すぎる上、配線用基板の厚みにバラつきが有ると
接着強度にバラつきが発生するという問題があった。
間が長すぎる上、配線用基板の厚みにバラつきが有ると
接着強度にバラつきが発生するという問題があった。
また、後者の誘導加熱方法は接着シート中に混入された
金属粉にて回路が導通してしまう危険性があり、回路パ
ターンを有する配線用基板には利用できないものであっ
た。
金属粉にて回路が導通してしまう危険性があり、回路パ
ターンを有する配線用基板には利用できないものであっ
た。
本発明は、上記の問題点を解決すべくなされたもので、
その目的とするところは、配線用基板にレジンダムが短
時間で接着され、且つ、配線用基板の厚みにバラつきが
あっても接着強度がバラつかないチップキャリアの製法
を提供することにある。
その目的とするところは、配線用基板にレジンダムが短
時間で接着され、且つ、配線用基板の厚みにバラつきが
あっても接着強度がバラつかないチップキャリアの製法
を提供することにある。
[ii題を解決するための手段]
課題を解決するための請求項1にかかるチップキャリア
の製法は、配線用基板の金属構成要素の所定位置に、接
着剤を介してレジンダムを配置し、該金属構成要素に誘
導磁界を生じせしめると共に、レジンダムを加圧するこ
とを特徴とするものである。
の製法は、配線用基板の金属構成要素の所定位置に、接
着剤を介してレジンダムを配置し、該金属構成要素に誘
導磁界を生じせしめると共に、レジンダムを加圧するこ
とを特徴とするものである。
課題を解決するための請求項2にかかるチップキャリア
の製法は、配線用基板の回路の所定位置に、接着剤を介
してレジンダムを配置し、該回路に誘導磁界を生じせし
めると共に、該レジンダムを加圧することを特徴とする
ものである。
の製法は、配線用基板の回路の所定位置に、接着剤を介
してレジンダムを配置し、該回路に誘導磁界を生じせし
めると共に、該レジンダムを加圧することを特徴とする
ものである。
課題を解決するための請求項3にかかるチップキャリア
の製法は、配線用基板の所定位置に、接着剤を介してレ
ジンダムを配置し、該接着剤の塗布位置の配線用基板の
裏面側に金属箔を配置し、該金属箔に誘導磁界を生じせ
しめると共に、該レジンダムを加圧することを特徴とす
るものである[作用] 課題を解決するための請求項1にかかる本発明のチップ
キャリアの製法の作用は、配線用基板上の金属構成要素
の近傍に加熱コイルが配置され、この加熱コイルへ高周
波電流を流すことにより、加熱コイルと金属構成要素と
の間に誘導磁界が生じ、その時発生する、うず電流損失
により、金属構成要素の温度が上昇し、接着剤を加熱す
る。
の製法は、配線用基板の所定位置に、接着剤を介してレ
ジンダムを配置し、該接着剤の塗布位置の配線用基板の
裏面側に金属箔を配置し、該金属箔に誘導磁界を生じせ
しめると共に、該レジンダムを加圧することを特徴とす
るものである[作用] 課題を解決するための請求項1にかかる本発明のチップ
キャリアの製法の作用は、配線用基板上の金属構成要素
の近傍に加熱コイルが配置され、この加熱コイルへ高周
波電流を流すことにより、加熱コイルと金属構成要素と
の間に誘導磁界が生じ、その時発生する、うず電流損失
により、金属構成要素の温度が上昇し、接着剤を加熱す
る。
課題を解決するための請求項2にかかる本発明のチップ
キャリアの製法の作用は、配線用基板上の回路の近傍に
加熱コイルが配置され、この加熱コイルへ高周波電流を
流すことにより、加熱コイルと回路との間に誘導磁界が
生じ、その時発生する、うず電流損失により、回路の温
度が上昇し接着剤を加熱する。
キャリアの製法の作用は、配線用基板上の回路の近傍に
加熱コイルが配置され、この加熱コイルへ高周波電流を
流すことにより、加熱コイルと回路との間に誘導磁界が
生じ、その時発生する、うず電流損失により、回路の温
度が上昇し接着剤を加熱する。
課題を解決するための請求項3にかかる本発明のチップ
キャリアの製法の作用は、配線用基板上の金属箔の近傍
に加熱コイルが配置され、この加熱コイルへ高周波電流
を流すことにより、加熱コイルと金属箔との間に誘導磁
界が生じ、その時発生する、うず電流損失により、金属
箔の温度が上昇し接着剤を加熱する。
キャリアの製法の作用は、配線用基板上の金属箔の近傍
に加熱コイルが配置され、この加熱コイルへ高周波電流
を流すことにより、加熱コイルと金属箔との間に誘導磁
界が生じ、その時発生する、うず電流損失により、金属
箔の温度が上昇し接着剤を加熱する。
[実施例〕
本発明のチップキャリアの製法の実施例を、図面に基づ
いて説明する。
いて説明する。
第1図は、本発明の第1実施例の概略断面図を示すもの
である。
である。
また、第2図は第1実施例におけるチップキャリアの断
面図を示し、第3図はその外観斜視図を示す。
面図を示し、第3図はその外観斜視図を示す。
第1図に示すように、配線用基板1上の回路2に接着剤
3を配置し、その上にレジンダム4を配置して後、回路
2に誘導磁界を生じせしめると共に、レジンダム4を加
圧するようにしたものである。
3を配置し、その上にレジンダム4を配置して後、回路
2に誘導磁界を生じせしめると共に、レジンダム4を加
圧するようにしたものである。
以下、本実施例でのチップキャリアの製法を手順に従っ
て詳述する。
て詳述する。
図に示すように、加圧プレス定112の上に、内部に加
熱コイル8を有する加熱コイル固定台9を設置し、その
上にワーク固定台7を設置し、これにレジンダム4を設
置する。
熱コイル8を有する加熱コイル固定台9を設置し、その
上にワーク固定台7を設置し、これにレジンダム4を設
置する。
その上に予め接着剤3を塗布した配線用基板1をセット
する。
する。
配線用基板1、接着剤3およびレジンダム4の配置位置
については、第2図に示すように、配線用基板1上のI
Cチップ固定側のインナーリード部5におけるレジンダ
ム4を接合する回路2の位置へ接着剤3を塗布し、接着
剤3の塗布位置にレジンダム4を設置する。
については、第2図に示すように、配線用基板1上のI
Cチップ固定側のインナーリード部5におけるレジンダ
ム4を接合する回路2の位置へ接着剤3を塗布し、接着
剤3の塗布位置にレジンダム4を設置する。
ここで、接着剤3の塗布方法としては、シルクスクリー
ン印刷により塗布を行っている。
ン印刷により塗布を行っている。
接着剤3の加熱と同時にレジンダム4をプレスへラド1
1により加圧する。
1により加圧する。
接着剤3の加熱方法として、高周波発振機10を用い、
加熱コイル8に高周波電流を流し、導体である回路2と
の間に誘導磁界を発生させ、うずit fLti失を生
じさせることにより回路2が加熱され、隣接する接着剤
3が加熱される。
加熱コイル8に高周波電流を流し、導体である回路2と
の間に誘導磁界を発生させ、うずit fLti失を生
じさせることにより回路2が加熱され、隣接する接着剤
3が加熱される。
このようにして、はとんど瞬時に接着剤3が、加熱硬化
され、配線用基板lにレジンダム4が接合される。
され、配線用基板lにレジンダム4が接合される。
第4図は、本発明の第2実施例におけるチップキャリア
の断面図を示すものである。
の断面図を示すものである。
第4図に示すように、この例においては金属構成要素と
して、回路2に加えて、金属箔15を配置されている点
が第1実施例と異なり、このことを中心に述べる。
して、回路2に加えて、金属箔15を配置されている点
が第1実施例と異なり、このことを中心に述べる。
金属箔15は、配線用基板1の接着剤3とレジンダム4
とが配置された裏面側に位置するように配置されている
。
とが配置された裏面側に位置するように配置されている
。
接着剤3の加熱は、第1図に示すように、高周波発振機
10にて加熱コイル8に高周波電流を流すことにより行
われる。
10にて加熱コイル8に高周波電流を流すことにより行
われる。
加熱コイル8に高周波電流が流れると、導体である回路
2、および金属箔15との間に誘導磁界が発生し、その
結果、うず電流損失が生じて、回路2および金属箔15
が加熱され、近接する接着剤3が加熱される。
2、および金属箔15との間に誘導磁界が発生し、その
結果、うず電流損失が生じて、回路2および金属箔15
が加熱され、近接する接着剤3が加熱される。
実施例1においては、回路2と接触する部分の接着剤3
が分散状に加熱されるのに対し、この例においては、金
属箔15にて、接着剤3の塗布全面にわたって加熱する
ことができる。
が分散状に加熱されるのに対し、この例においては、金
属箔15にて、接着剤3の塗布全面にわたって加熱する
ことができる。
請求項1にかかる本発明のチップキャリアの製法によれ
ば、上記のとおり、配線用基板の所定−に接着剤を介し
てレジンダムを配置し、配線用基板上の金属構成要素に
誘導磁界を生じせしめると共に、レジンダムを加圧する
ことを特徴とするものであるので、金属構成要素に誘導
磁界を生じせしめた時に生しるうず電流損失により、金
属構成要素の温度が上昇し接着剤が加熱される。このこ
とにより接着剤の硬化速度が促進され、配線用基板にレ
ジンダムが短時間で接着し、従来、30乃至40分必要
としていた接着工程が数十秒に短縮される。
ば、上記のとおり、配線用基板の所定−に接着剤を介し
てレジンダムを配置し、配線用基板上の金属構成要素に
誘導磁界を生じせしめると共に、レジンダムを加圧する
ことを特徴とするものであるので、金属構成要素に誘導
磁界を生じせしめた時に生しるうず電流損失により、金
属構成要素の温度が上昇し接着剤が加熱される。このこ
とにより接着剤の硬化速度が促進され、配線用基板にレ
ジンダムが短時間で接着し、従来、30乃至40分必要
としていた接着工程が数十秒に短縮される。
また、配線用基板の厚みにバラつきがあっても当該接着
部の接着強度がバラつかないチップキャリアの製法を提
供することができる。
部の接着強度がバラつかないチップキャリアの製法を提
供することができる。
請求項2にかかる、本発明のチップキャリアの製法の効
果は、上記効果の中で特に、接着剤に近接する回路2に
て、接着剤3を直接加熱することでき、配線用基板への
レジンダムの接着硬化の速度が促進される。
果は、上記効果の中で特に、接着剤に近接する回路2に
て、接着剤3を直接加熱することでき、配線用基板への
レジンダムの接着硬化の速度が促進される。
請求項3にかかる、本発明のチップキャリアの製法の効
果は、加熱された金属箔により接着剤が配線用基板を介
して、塗布された全面にわたって加熱され、配線用基板
へのレジンダムの接着硬化の速度が促進される。
果は、加熱された金属箔により接着剤が配線用基板を介
して、塗布された全面にわたって加熱され、配線用基板
へのレジンダムの接着硬化の速度が促進される。
第1図は、本発明のチップキャリアの製法を用いた第1
実施例の一部破断縦断面図、第2図は、同上におけるチ
ップキャリアの縦断面図、第3図は、第1実施例により
配線用基板にレジンダムが接着剤を介して接合された状
態を示す外観斜視図、第4図は、本発明の配線用基板の
製法を用いた第2実施例におけるチップキャリアの縦断
面図、第5図は、従来の誘導加熱による接着方法を用い
た接合装置の縦断面図である。 l−・・配線用基板、2−・・−回路、3−・・接着剤
、4− レジンダム、5−・・・インナーリード部、
6・・・−金属粉、7− ワーク固定台、8・−加熱
コイル、9−・−加熱コイル固定台、10・・・・高周
波発振機、11− プレスヘッド、12−・加圧プレ
ス定盤、13・−被着体、14・・・・接着シート、L
5− 金属箔。
実施例の一部破断縦断面図、第2図は、同上におけるチ
ップキャリアの縦断面図、第3図は、第1実施例により
配線用基板にレジンダムが接着剤を介して接合された状
態を示す外観斜視図、第4図は、本発明の配線用基板の
製法を用いた第2実施例におけるチップキャリアの縦断
面図、第5図は、従来の誘導加熱による接着方法を用い
た接合装置の縦断面図である。 l−・・配線用基板、2−・・−回路、3−・・接着剤
、4− レジンダム、5−・・・インナーリード部、
6・・・−金属粉、7− ワーク固定台、8・−加熱
コイル、9−・−加熱コイル固定台、10・・・・高周
波発振機、11− プレスヘッド、12−・加圧プレ
ス定盤、13・−被着体、14・・・・接着シート、L
5− 金属箔。
Claims (3)
- (1)配線用基板の所定位置に、接着剤を介してレジン
ダムを配置し、配線用基板の金属構成要素に誘導磁界を
生じせしめると共に、該レジンダムを加圧することを特
徴とするチップキャリアの製法。 - (2)配線用基板の回路の所定位置に、接着剤を介して
レジンダムを配置し、該回路に誘導磁界を生じせしめる
と共に、該レジンダムを加圧することを特徴とするチッ
プキャリアの製法。 - (3)配線用基板の所定位置に、接着剤を介してレジン
ダムを配置し、該接着剤の塗布位置の配線用基板の裏面
側に金属箔を配置し、該金属箔に誘導磁界を生じせしめ
ると共に、該レジンダムを加圧することを特徴とするチ
ップキャリアの製法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12924589 | 1989-05-23 | ||
JP1-129245 | 1989-05-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0380556A true JPH0380556A (ja) | 1991-04-05 |
Family
ID=15004790
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23222689A Pending JPH0380556A (ja) | 1989-05-23 | 1989-09-07 | チップキャリアの製法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0380556A (ja) |
-
1989
- 1989-09-07 JP JP23222689A patent/JPH0380556A/ja active Pending
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