JPH0375722A - Ｐｌｚｔライトバルブの製造方法 - Google Patents
Ｐｌｚｔライトバルブの製造方法Info
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- JPH0375722A JPH0375722A JP21218789A JP21218789A JPH0375722A JP H0375722 A JPH0375722 A JP H0375722A JP 21218789 A JP21218789 A JP 21218789A JP 21218789 A JP21218789 A JP 21218789A JP H0375722 A JPH0375722 A JP H0375722A
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- Japan
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- holes
- plzt
- green sheet
- electrodes
- conductive paste
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 12
- 238000001354 calcination Methods 0.000 abstract 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 abstract 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、投射型デイスプレィや直視型デイスプレィな
どに用いられるＰＬＺＴライトバルブの製造方法の改良
に関するものである。
どに用いられるＰＬＺＴライトバルブの製造方法の改良
に関するものである。
［従来の技術］
近年、Ｐ Ｌ ＺＴ（例えば（Ｐｂｏ−ｓｘＬａａ−ｏ
ｓ）（Ｚｒｓ−ａｓ Ｔｌａ−ａｓ）０３）を用いたＰ
ＬＺＴライトバルブの研究開発が盛んになってきた。こ
のようなＰＬＺＴライトバルブを用いた投射型デイスプ
レィや直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期待さ
れているが、その電極構造が問題となっていた。
ｓ）（Ｚｒｓ−ａｓ Ｔｌａ−ａｓ）０３）を用いたＰ
ＬＺＴライトバルブの研究開発が盛んになってきた。こ
のようなＰＬＺＴライトバルブを用いた投射型デイスプ
レィや直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期待さ
れているが、その電極構造が問題となっていた。
従来のＰＬＺＴを用いたＰＬＺＴライトバルブは１本出
願人が既に出願した特願昭６３−１０７１６４８号（以
下、既出願という）の「従来の技術」の欄で説明したよ
うに、表面電極法や平行板電極法などによって画素形成
用電極群を形成していた。しかし。
願人が既に出願した特願昭６３−１０７１６４８号（以
下、既出願という）の「従来の技術」の欄で説明したよ
うに、表面電極法や平行板電極法などによって画素形成
用電極群を形成していた。しかし。
既出願の「発明が解決しようとする課題」の欄でも説明
したように、表面電極法は、ＰＬＺＴ内部の電界分布が
不均一になってコントラストの低下やクロストークが生
じるという問題があり、平行板電極法は加工工程が複雑
でしかも高い加工精度が要求されるという問題があった
。このような問題を解決するため１本出願人は既出願に
おいて、グリーンシートプロセスを用いて電極をＰＬＺ
Ｔの内部に埋設した内部電極型とし、電界分布を均一と
したマトリックス型ライトパルプユニットの製遣方法を
提案した。
したように、表面電極法は、ＰＬＺＴ内部の電界分布が
不均一になってコントラストの低下やクロストークが生
じるという問題があり、平行板電極法は加工工程が複雑
でしかも高い加工精度が要求されるという問題があった
。このような問題を解決するため１本出願人は既出願に
おいて、グリーンシートプロセスを用いて電極をＰＬＺ
Ｔの内部に埋設した内部電極型とし、電界分布を均一と
したマトリックス型ライトパルプユニットの製遣方法を
提案した。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、既提案の製造方法は、ライトバルブユニ
ットの電界分布を均一とすることができるが、グリーン
シートプロセスを用いていたので、製造工程数が多くな
り製造に時間がかかるという若干の問題点があった。す
なわち、第３図に示すように１表面に画素形成用の一方
の電極群である縦方向内部電極１、・・・を印刷したＰ
ＬＺＴグリーンシート２と、表面に画素形成用の他方の
電極群である横方向内部電極３、・・・を印刷したＰＬ
ＺＴグリーンシート４とを所定順序で積層して圧着し。
ットの電界分布を均一とすることができるが、グリーン
シートプロセスを用いていたので、製造工程数が多くな
り製造に時間がかかるという若干の問題点があった。す
なわち、第３図に示すように１表面に画素形成用の一方
の電極群である縦方向内部電極１、・・・を印刷したＰ
ＬＺＴグリーンシート２と、表面に画素形成用の他方の
電極群である横方向内部電極３、・・・を印刷したＰＬ
ＺＴグリーンシート４とを所定順序で積層して圧着し。
脱バインダ後、焼成して第４図に示すようなＰＬＺＴ焼
結体５を形成し、このＰＬＺＴ焼結体５を縦方向内部電
極１、・・・と直交し横方向内部電極３、−・・と平行
な切断面７で切断し両面を研磨することによって内部電
極１．・・・、３、・・・を有するＰＬＺＴライトバル
ブ６を形成していたからである。このため、１０個程度
のＰＬＺＴライトバルブ６を作るのに、数百枚のＰＬＺ
Ｔグリーンシートが必要であった。
結体５を形成し、このＰＬＺＴ焼結体５を縦方向内部電
極１、・・・と直交し横方向内部電極３、−・・と平行
な切断面７で切断し両面を研磨することによって内部電
極１．・・・、３、・・・を有するＰＬＺＴライトバル
ブ６を形成していたからである。このため、１０個程度
のＰＬＺＴライトバルブ６を作るのに、数百枚のＰＬＺ
Ｔグリーンシートが必要であった。
また、ＰＬＺＴグリーンシート２．４と内部電極１、・
・・ ３．・・・の熱膨張係数の相違に基づいて焼結時
にストレスが生じ、このストレスによって内部電極１、
・・・ ３、・・・周辺のＰＬＺＴに歪層が生じ、光弾
性効果によるコントラスト低下の原因になっていた。
・・ ３．・・・の熱膨張係数の相違に基づいて焼結時
にストレスが生じ、このストレスによって内部電極１、
・・・ ３、・・・周辺のＰＬＺＴに歪層が生じ、光弾
性効果によるコントラスト低下の原因になっていた。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、電界
分布が均一で、しかも光弾性効果によるコントラスト低
下を抑制したＰＬＺＴライトバルブを容易かつ短時間に
製造することのできる製造方法を提供することを目的と
するものである。
分布が均一で、しかも光弾性効果によるコントラスト低
下を抑制したＰＬＺＴライトバルブを容易かつ短時間に
製造することのできる製造方法を提供することを目的と
するものである。
［課題を解決するための手段］
本発明によるＰＬＺＴライトバルブの製造方法は、ＰＬ
ＺＴグリーンシートに孔方向が前記ＰＬＺＴグリーンシ
ートのシート面と直交する複数の貫通孔を形成し、焼成
後、前記複数の貫通孔に導電性ペーストを充填すること
によって画素形成用電極を形成してなることを特徴とす
るものである。
ＺＴグリーンシートに孔方向が前記ＰＬＺＴグリーンシ
ートのシート面と直交する複数の貫通孔を形成し、焼成
後、前記複数の貫通孔に導電性ペーストを充填すること
によって画素形成用電極を形成してなることを特徴とす
るものである。
そして、画素形成用電極を微細かつ正確に形成するため
に、レーザ光によってＰＬＺＴグリーンシートに複数の
貫通孔を形成する。
に、レーザ光によってＰＬＺＴグリーンシートに複数の
貫通孔を形成する。
［作用］
レーザ光などによってＰＬＺＴグリーンシートに孔方向
がシート面と直交する複数の貫通孔を形成し、焼成後、
これらの貫通孔に導電性ペーストを充填することによっ
て、画素の電界を均一にできる画素形成用電極が形成さ
れる。このとき、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシート
に貫通孔を形成している。そして、既提案のように内部
電極群の位置合わせをしつつ多数のＰＬＺＴグリーンシ
ートを積層する必要がない、また、焼成した後に、貫通
孔に導電性ペーストを充填することによって画素形成用
電極が形成されるので、焼結時に画素形成用電極群周辺
のＰＬＺＴに歪層が生じることがなく、かつ焼成時また
は焼成前の脱バインダにおいて既提案のように画素形成
用電極が邪魔になることがない。
がシート面と直交する複数の貫通孔を形成し、焼成後、
これらの貫通孔に導電性ペーストを充填することによっ
て、画素の電界を均一にできる画素形成用電極が形成さ
れる。このとき、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシート
に貫通孔を形成している。そして、既提案のように内部
電極群の位置合わせをしつつ多数のＰＬＺＴグリーンシ
ートを積層する必要がない、また、焼成した後に、貫通
孔に導電性ペーストを充填することによって画素形成用
電極が形成されるので、焼結時に画素形成用電極群周辺
のＰＬＺＴに歪層が生じることがなく、かつ焼成時また
は焼成前の脱バインダにおいて既提案のように画素形成
用電極が邪魔になることがない。
そして、レーザ光によってＰＬＺＴグリーンシートに複
数の貫通孔を形成するようにした場合には、画素形成用
電極を微細かつ正確に形成することができる。
数の貫通孔を形成するようにした場合には、画素形成用
電極を微細かつ正確に形成することができる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
（イ）まず、第１図に示すように、レーザ光などによっ
て、所定厚さ（例えば１．２ｍｍ程度）のＰＬＺＴグリ
ーンシート１１に多数の貫通孔１３、・・・を形成する
。このとき、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシート１１
に貫通孔１３、・・・を形成するとともに、既提案のよ
うに内部電極群の位置合わせをしつつ多数のＰＬＺＴグ
リーンシートを積層する必要がない。
て、所定厚さ（例えば１．２ｍｍ程度）のＰＬＺＴグリ
ーンシート１１に多数の貫通孔１３、・・・を形成する
。このとき、加工の容易なＰＬＺＴグリーンシート１１
に貫通孔１３、・・・を形成するとともに、既提案のよ
うに内部電極群の位置合わせをしつつ多数のＰＬＺＴグ
リーンシートを積層する必要がない。
前記貫通孔１３は、横断面が所定の矩形状（例えば０゜
１ｍＸ１．Ｏｍｍ程度）に形成され、６つの貫通孔１３
が１つの画素１５に対応している。
１ｍＸ１．Ｏｍｍ程度）に形成され、６つの貫通孔１３
が１つの画素１５に対応している。
（口〉ついで、この貫通孔１３、・・・を形成したＰＬ
ＺＴグリーンシート１１を焼成炉中において所定温度（
例えば１２００℃）で焼成する。この焼成時または焼成
前に脱バインダが行なわれが、未だ画素形成用電極が形
成されていないので、既提案のように画素形成用電極が
脱バインダの邪魔になることがなく、脱バインダに要す
る時間を少なくできる。
ＺＴグリーンシート１１を焼成炉中において所定温度（
例えば１２００℃）で焼成する。この焼成時または焼成
前に脱バインダが行なわれが、未だ画素形成用電極が形
成されていないので、既提案のように画素形成用電極が
脱バインダの邪魔になることがなく、脱バインダに要す
る時間を少なくできる。
（ハ）ついで、この貫通孔１３、・・・に導電性ペース
ト（例えばＡｇペースト）を充填するとともに１表面に
所定パターンの導電性ペーストを印刷し、所定温度（例
えば１００℃）で乾燥することによって、画素形成用電
極としての内部電極１７、・・・、１９．・・・と、こ
の内部電極１７、・・・、１９、・・・を外部回路に接
続するための接続用電極２１、・・・、２３、・・・と
が形成される。
ト（例えばＡｇペースト）を充填するとともに１表面に
所定パターンの導電性ペーストを印刷し、所定温度（例
えば１００℃）で乾燥することによって、画素形成用電
極としての内部電極１７、・・・、１９．・・・と、こ
の内部電極１７、・・・、１９、・・・を外部回路に接
続するための接続用電極２１、・・・、２３、・・・と
が形成される。
上述の（イ）（ロ）（ハ）に記述したようにして製造さ
れたＰＬＺＴライトバルブ２５は、短時間に、かつ容易
に製造することができ、しかも、画素形成用電極として
の内部電極１７と１９とが所定間隔で平行に配置されて
いるので、画素の電界を均一にすることができる。さら
に、焼成後に導電性ペーストを充填して画素形成用電極
群を形成するようにしたので、焼成時にＰＬＺＴグリー
ンシートと画素形成用電極群との熱膨張係数の相違に基
づいてＰＬＺＴライトパルプ２５内に歪層が生じること
がない。
れたＰＬＺＴライトバルブ２５は、短時間に、かつ容易
に製造することができ、しかも、画素形成用電極として
の内部電極１７と１９とが所定間隔で平行に配置されて
いるので、画素の電界を均一にすることができる。さら
に、焼成後に導電性ペーストを充填して画素形成用電極
群を形成するようにしたので、焼成時にＰＬＺＴグリー
ンシートと画素形成用電極群との熱膨張係数の相違に基
づいてＰＬＺＴライトパルプ２５内に歪層が生じること
がない。
前記実施例では、レーザ光によってＰＬＺＴグリーンシ
ートに積数の貫通孔を形成し、画素形成用電極を微細か
つ正確に形成することができるようにしたが、本発明は
これに限るものでなく、レーザ光以外の穿設手段によっ
てＰＬＺＴグリーンシートに複数の貫通孔を形成するよ
うにしてもよい。
ートに積数の貫通孔を形成し、画素形成用電極を微細か
つ正確に形成することができるようにしたが、本発明は
これに限るものでなく、レーザ光以外の穿設手段によっ
てＰＬＺＴグリーンシートに複数の貫通孔を形成するよ
うにしてもよい。
［発明の効果］
本発明によるＰＬＺＴライトバルブの製造方法は、上記
のように、ＰＬＺＴグリーンシートに孔方向がシート面
と直交する複数の貫通孔を形成し。
のように、ＰＬＺＴグリーンシートに孔方向がシート面
と直交する複数の貫通孔を形成し。
焼成後、これらの貫通孔に導電性ペーストを充填するこ
とによって、画素の電界を均一にできる画素形成用電極
を形成するようにしたｑで、つぎのような効果を有する
。
とによって、画素の電界を均一にできる画素形成用電極
を形成するようにしたｑで、つぎのような効果を有する
。
（ａ）加工の容易なＰＬＺＴグリーンシートに貫通孔を
形成していることおよび既提案のように内部電極群の位
置合わせをしつつ多数のＰＬＺＴグリーンシートを積層
する必要がないことにより、ＰＬＺＴライトバルブの製
造が容易になる。
形成していることおよび既提案のように内部電極群の位
置合わせをしつつ多数のＰＬＺＴグリーンシートを積層
する必要がないことにより、ＰＬＺＴライトバルブの製
造が容易になる。
（ｂ）焼成した後に、貫通孔に導電性ペーストを充填す
ることによって画素形成用電極が形成されるので、焼成
時または焼成前の脱バインダにおいて既提案のように画
素形成用電極が邪魔になることがなく、脱バインダに要
する時間を少なくできる。
ることによって画素形成用電極が形成されるので、焼成
時または焼成前の脱バインダにおいて既提案のように画
素形成用電極が邪魔になることがなく、脱バインダに要
する時間を少なくできる。
（ｃ）焼成後に導電性ペーストを充填して画素形成用電
極群を形成するようにしたので、既提案例のように、焼
成時にＰＬＺＴグリーンシートと画素形成用電極群との
熱膨張係数の相違に基づいてＰＬＺＴライトバルブ２３
内に歪層が生じることがない。このため、光弾性効果に
よるコントラスト低下を防止することができる。
極群を形成するようにしたので、既提案例のように、焼
成時にＰＬＺＴグリーンシートと画素形成用電極群との
熱膨張係数の相違に基づいてＰＬＺＴライトバルブ２３
内に歪層が生じることがない。このため、光弾性効果に
よるコントラスト低下を防止することができる。
そして、レーザ光によってＰＬＺＴグリーンシートに複
数の貫通孔を形成するようにした場合には、画素形成用
電極を微細かつ正確に形成することができる。
数の貫通孔を形成するようにした場合には、画素形成用
電極を微細かつ正確に形成することができる。
第１図および第２図は本発明によるＰＬＺＴライトバル
ブの製造方法の一実施例を説明するもので、第１図はＰ
ＬＺＴグリーンシートに複数の貫通孔を形成した状態を
示す要部の斜視図、第２図は焼成機導電性ペーストを充
填することによって画素形成用電極を形成した状態を示
す平面図、第３図と第４図は本出願人が既に提案したＰ
ＬＺＴライトパルプの製造方法を示す斜視図である。 １１・・・ＰＬＺＴグリーンシート、１３・・・貫通孔
、１５・・・画素、１７．１９・・・内部電極（画素形
成用電極）、２１゜２３・・・接続用電極、２５・・・
ＰＬＺＴライトバルブ。
ブの製造方法の一実施例を説明するもので、第１図はＰ
ＬＺＴグリーンシートに複数の貫通孔を形成した状態を
示す要部の斜視図、第２図は焼成機導電性ペーストを充
填することによって画素形成用電極を形成した状態を示
す平面図、第３図と第４図は本出願人が既に提案したＰ
ＬＺＴライトパルプの製造方法を示す斜視図である。 １１・・・ＰＬＺＴグリーンシート、１３・・・貫通孔
、１５・・・画素、１７．１９・・・内部電極（画素形
成用電極）、２１゜２３・・・接続用電極、２５・・・
ＰＬＺＴライトバルブ。
Claims (2)
- （１）ＰＬＺＴグリーンシートに孔方向が前記ＰＬＺＴ
グリーンシートのシート面と直交する複数の貫通孔を形
成し、焼成後、前記複数の貫通孔に導電性ペーストを充
填することによって画素形成用電極を形成してなること
を特徴とするＰＬＺＴライトバルブの製造方法。 - （２）レーザ光によってＰＬＺＴグリーンシートに複数
の貫通孔を形成してなる請求項１記載のＰＬＺＴライト
バルブの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21218789A JPH0375722A (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | Ｐｌｚｔライトバルブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21218789A JPH0375722A (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | Ｐｌｚｔライトバルブの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375722A true JPH0375722A (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=16618368
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21218789A Pending JPH0375722A (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | Ｐｌｚｔライトバルブの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0375722A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8915352B2 (en) | 2010-09-01 | 2014-12-23 | Kobe Steel, Ltd. | Feeding system for reduced iron material |
-
1989
- 1989-08-18 JP JP21218789A patent/JPH0375722A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8915352B2 (en) | 2010-09-01 | 2014-12-23 | Kobe Steel, Ltd. | Feeding system for reduced iron material |
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