JPH037414A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPH037414A JPH037414A JP14266489A JP14266489A JPH037414A JP H037414 A JPH037414 A JP H037414A JP 14266489 A JP14266489 A JP 14266489A JP 14266489 A JP14266489 A JP 14266489A JP H037414 A JPH037414 A JP H037414A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［概要］
弾性表面波素子の構成、特に駆動電極の外に伝播する弾
性表面波の反射手段に関し、 該反射手段の形成に伴う不良品をなくすことを目的とし
、 圧電体単結晶から切り出した基板の表面に、複数の手指
状電極を有する駆動電極と、該駆動電極の側方に該手指
状電極の幅とほぼ同一間隔で帯状の分極反転層とが、形
成されてなることを特徴とし構成する。
性表面波の反射手段に関し、 該反射手段の形成に伴う不良品をなくすことを目的とし
、 圧電体単結晶から切り出した基板の表面に、複数の手指
状電極を有する駆動電極と、該駆動電極の側方に該手指
状電極の幅とほぼ同一間隔で帯状の分極反転層とが、形
成されてなることを特徴とし構成する。
〔産業上の利用分野］
本発明は弾性表面波素子の構成、特にニオブ酸リチウム
またはタンタル酸リチウムにてなる単結晶から切り出し
た基板に、弾性表面波を発生させる駆動電極と、分極反
転処理を利用し弾性表面波の反射層を設けた構成に関す
る。
またはタンタル酸リチウムにてなる単結晶から切り出し
た基板に、弾性表面波を発生させる駆動電極と、分極反
転処理を利用し弾性表面波の反射層を設けた構成に関す
る。
圧電体基板の表面に弾性表面波を発生させる駆動電極を
形成してなる従来の弾性表面波素子は、複数の手指状電
極を有する駆動電極の側方に、格子状導体パターンにて
なる弾性表面波反射器または、該基板の一部を除去した
弾性表面波反射端面が形成されていた。
形成してなる従来の弾性表面波素子は、複数の手指状電
極を有する駆動電極の側方に、格子状導体パターンにて
なる弾性表面波反射器または、該基板の一部を除去した
弾性表面波反射端面が形成されていた。
第２図は弾性表面波反射端面の形成された従来の弾性表
面波素子を示す斜視図である。
面波素子を示す斜視図である。
第２図において、弾性表面波素子１はニオブ酸リチウム
（ＬｔＮｂＯｚ）またはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
Ｏｚ）の単結晶から切り出した基板２の表面に、複数本
の手指状電極４が電極４の幅Ｗと同一間隔で整列する駆
動電極３を形成し、左端および右端に位置する電極４に
沿って、弾性表面波反射端面５が形成される。
（ＬｔＮｂＯｚ）またはタンタル酸リチウム（ＬｉＴａ
Ｏｚ）の単結晶から切り出した基板２の表面に、複数本
の手指状電極４が電極４の幅Ｗと同一間隔で整列する駆
動電極３を形成し、左端および右端に位置する電極４に
沿って、弾性表面波反射端面５が形成される。
前記弾性表面波反射器を具えたものより小型化が可能で
ある弾性表面波素子ｌは、ニオブ酸リチウムまたはタン
タル酸リチウムにてなる単結晶ウェーハに多数の駆動電
極３を形成したのち、それぞれが駆動電極３を含むよう
に該ウェーハを切断し反射端面５を形成するまたは、反
射端面５を形成したのちそれぞれが駆動電極３を含むよ
うに該ウェーハを切断し完成される。
ある弾性表面波素子ｌは、ニオブ酸リチウムまたはタン
タル酸リチウムにてなる単結晶ウェーハに多数の駆動電
極３を形成したのち、それぞれが駆動電極３を含むよう
に該ウェーハを切断し反射端面５を形成するまたは、反
射端面５を形成したのちそれぞれが駆動電極３を含むよ
うに該ウェーハを切断し完成される。
従来の弾性表面波素子１において反射端面５は、グイシ
ングカッターを使用する機械的加工で形成することにな
るが、反射端面５の形成に伴って最端位置の電極幅Ｗに
ばらつきができるおよび、第２図に示すようなチッピン
グ６を生じ最端電極４の一部が欠損され易いという問題
点があった。
ングカッターを使用する機械的加工で形成することにな
るが、反射端面５の形成に伴って最端位置の電極幅Ｗに
ばらつきができるおよび、第２図に示すようなチッピン
グ６を生じ最端電極４の一部が欠損され易いという問題
点があった。
特に、４０〜５０ＭＨｚの高周波素子では、共振周波数
に係わる手指状電極４の幅Ｗが１０μｍ程度であり、最
端電極４の幅Ｗのばらつきおよびチッピング６は、素子
１の共振抵抗およびスプリアスを大きくし不良品の要因
となるため、その対策が強く望まれていた。
に係わる手指状電極４の幅Ｗが１０μｍ程度であり、最
端電極４の幅Ｗのばらつきおよびチッピング６は、素子
１の共振抵抗およびスプリアスを大きくし不良品の要因
となるため、その対策が強く望まれていた。
因に、共振周波数が４４ＭＨｚの弾性表面波素子ｌでは
電極幅Ｗが１２μｍであり、手指電極４に許容されたチ
ッピング６の奥行き寸法は３μｍ程度である。
電極幅Ｗが１２μｍであり、手指電極４に許容されたチ
ッピング６の奥行き寸法は３μｍ程度である。
また、反射端面５の形成はイオンミーリングおよびケミ
カルエツチングに依って可能だが、イオンミーリングは
そのエツチング速度が遅いため非生産的であり、弗酸と
硝酸の混合煮沸液を使用するケミカルエツチングでは該
エッチャントに耐える適当なマスク材が存在しない。
カルエツチングに依って可能だが、イオンミーリングは
そのエツチング速度が遅いため非生産的であり、弗酸と
硝酸の混合煮沸液を使用するケミカルエツチングでは該
エッチャントに耐える適当なマスク材が存在しない。
従来の反射端面に替えて弾性表面波を反射し、かつ、そ
の形成に際して不良品が発生しない新規構成の弾性表面
波反射手段を提供することを目的とした本発明は、その
実施例を示す第１図によれば、圧電体単結晶から切り出
した基板１１の表面に、複数の手指状電極４を有する駆
動電極３と、駆動電極３の側方に手指状電極４の幅Ｗと
ほぼ同一間隔で帯状の分極反転層１３とが、形成されて
なることを特徴とするものである。
の形成に際して不良品が発生しない新規構成の弾性表面
波反射手段を提供することを目的とした本発明は、その
実施例を示す第１図によれば、圧電体単結晶から切り出
した基板１１の表面に、複数の手指状電極４を有する駆
動電極３と、駆動電極３の側方に手指状電極４の幅Ｗと
ほぼ同一間隔で帯状の分極反転層１３とが、形成されて
なることを特徴とするものである。
上記手段による弾性表面波の反射手段は、駆動電極から
離し、かつ、機械加工によらず形成されるようになる。
離し、かつ、機械加工によらず形成されるようになる。
そのため、駆動電極および圧電基板は設計寸法および加
工精度が損なわれることがな（、弾性表面波素子の共振
抵抗とスプリアスが安定化し、製造歩留まりが向上され
る。
工精度が損なわれることがな（、弾性表面波素子の共振
抵抗とスプリアスが安定化し、製造歩留まりが向上され
る。
以下に、図面を用いて本発明による圧電振動素子を説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例による圧電振動素子の構成を
模式的に示す斜視図である。
模式的に示す斜視図である。
第１図において、弾性表面波素子１１は、全体が同一分
極軸方向の単分域材料であるニオブ酸リチウムまたはダ
ンタル酸リチウムの単結晶から切り出した基板１２の表
面に、駆動電極３と分極反転層１３を形成してなる。
極軸方向の単分域材料であるニオブ酸リチウムまたはダ
ンタル酸リチウムの単結晶から切り出した基板１２の表
面に、駆動電極３と分極反転層１３を形成してなる。
複数本の手指状電極４が所定間隔に配設された駆動電極
３は、従来と同一方法によって形成される。
３は、従来と同一方法によって形成される。
手指状電極４の幅Ｗと同一間隔で駆動電極３の側方（弾
性表面波の伝播方向）に形成された複数本（図は３本）
の分極反転層１３の幅および間隔は、手指状電極４の幅
Ｗと同一寸法であり、ニオブ酸リチウムまたはタンタル
酸リチウムのＬｉ原子をＨ原子に置換（プロトン交換処
理）させた分極反転層１２の形成は、例えば分極反転層
１３の形成部に厚さ１００〜４００ ＩＪｍ程度のクチ
ン膜を被着しそれをキューリ点以下の高温、即ちニオブ
酸リチウムでは１１００°Ｃ程度、タンタル酸リチウム
では５５０°Ｃ程度で例えば１６時間程度加熱するある
いは、分極反転層１３の形成部が表呈するマスクを基板
１２に被着したのち、安息香酸やビロリン酸および燐酸
等を２００ ’Ｃ前後に加熱した処理液に浸漬する。
性表面波の伝播方向）に形成された複数本（図は３本）
の分極反転層１３の幅および間隔は、手指状電極４の幅
Ｗと同一寸法であり、ニオブ酸リチウムまたはタンタル
酸リチウムのＬｉ原子をＨ原子に置換（プロトン交換処
理）させた分極反転層１２の形成は、例えば分極反転層
１３の形成部に厚さ１００〜４００ ＩＪｍ程度のクチ
ン膜を被着しそれをキューリ点以下の高温、即ちニオブ
酸リチウムでは１１００°Ｃ程度、タンタル酸リチウム
では５５０°Ｃ程度で例えば１６時間程度加熱するある
いは、分極反転層１３の形成部が表呈するマスクを基板
１２に被着したのち、安息香酸やビロリン酸および燐酸
等を２００ ’Ｃ前後に加熱した処理液に浸漬する。
このような弾性表面波素子１１は、分極反転層１３が従
来の反射端面５と同等に、駆動電極３からの弾性表面波
を駆動電極３に向けて反射するように作用する。
来の反射端面５と同等に、駆動電極３からの弾性表面波
を駆動電極３に向けて反射するように作用する。
以上説明したように本発明による弾性表面波素子は、駆
動電極から離し、かつ、機械加工によらず弾性表面波の
反射（吸収）手段が形成されるようになるため、駆動電
極および圧電基板は設計寸法および加工精度が損なわれ
ることがなくなり、弾性表面波素子の共振抵抗とスプリ
アスおよび温度特性を安定化し、従来の反射端面形成に
伴う不良品を零にし得た効果を有する。
動電極から離し、かつ、機械加工によらず弾性表面波の
反射（吸収）手段が形成されるようになるため、駆動電
極および圧電基板は設計寸法および加工精度が損なわれ
ることがなくなり、弾性表面波素子の共振抵抗とスプリ
アスおよび温度特性を安定化し、従来の反射端面形成に
伴う不良品を零にし得た効果を有する。
第１図は本発明の一実施例による圧電振動素子、第２図
は従来の弾性表面波素子、 図中において、 ３は駆動電極、 ４は手指状電極、 ｌｌは弾性表面波素子、 １２は圧電体単結晶基板、 １３は分極反転層、 Ｗは手指状電極幅、 を示す。
は従来の弾性表面波素子、 図中において、 ３は駆動電極、 ４は手指状電極、 ｌｌは弾性表面波素子、 １２は圧電体単結晶基板、 １３は分極反転層、 Ｗは手指状電極幅、 を示す。
Claims (1)
- 圧電体単結晶から切り出した基板（１１）の表面に、
複数の手指状電極（４）を有する駆動電極（３）と、該
駆動電極（３）の側方に該手指状電極（４）の幅（ｗ）
とほぼ同一間隔で帯状の分極反転層（１３）とが、形成
されてなることを特徴とする弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14266489A JPH037414A (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14266489A JPH037414A (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH037414A true JPH037414A (ja) | 1991-01-14 |
Family
ID=15320626
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14266489A Pending JPH037414A (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH037414A (ja) |
-
1989
- 1989-06-05 JP JP14266489A patent/JPH037414A/ja active Pending
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