JPH07221592A - 音場集束素子 - Google Patents
音場集束素子Info
- Publication number
- JPH07221592A JPH07221592A JP902894A JP902894A JPH07221592A JP H07221592 A JPH07221592 A JP H07221592A JP 902894 A JP902894 A JP 902894A JP 902894 A JP902894 A JP 902894A JP H07221592 A JPH07221592 A JP H07221592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic wave
- sound field
- substrate
- stimulation electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＳＡＷデバイスや音響光学効果を用いた光学
素子において、弾性表面波励振電極の設計や製作に制約
をもたらすことなく、任意の音場集束を発生させること
を目的とする。 【構成】 音場集束素子は、弾性表面波励振電極１２の
近傍に設置した厚さ分布型のフレネルレンズ形状１３を
有する基板より弾性表面波の伝搬速度の遅い媒質から構
成される。
素子において、弾性表面波励振電極の設計や製作に制約
をもたらすことなく、任意の音場集束を発生させること
を目的とする。 【構成】 音場集束素子は、弾性表面波励振電極１２の
近傍に設置した厚さ分布型のフレネルレンズ形状１３を
有する基板より弾性表面波の伝搬速度の遅い媒質から構
成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は弾性表面波を応用した電
子・通信機器用素子に関し、また、音響光学効果を用い
た光学素子に関するものである。
子・通信機器用素子に関し、また、音響光学効果を用い
た光学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】弾性表面波デバイスは、波のエネルギー
が伝搬媒質の表面付近に集中しているため、波の発生、
検出、制御を固体表面上で処理でき、また、音速が数ｋ
ｍ／ｓであるため機器を小型化できる、などの特徴を有
している。
が伝搬媒質の表面付近に集中しているため、波の発生、
検出、制御を固体表面上で処理でき、また、音速が数ｋ
ｍ／ｓであるため機器を小型化できる、などの特徴を有
している。
【０００３】集束音場を得る従来の方法として、図５に
示す電子情報通信学会論文誌Ａ第Ｊ７２−Ａ巻１０号１
４６１〜１４６５頁（１９８９年）より引用した弾性表
面波励振電極を開口方向にフレネルゾーン形に分割する
例が報告されている。
示す電子情報通信学会論文誌Ａ第Ｊ７２−Ａ巻１０号１
４６１〜１４６５頁（１９８９年）より引用した弾性表
面波励振電極を開口方向にフレネルゾーン形に分割する
例が報告されている。
【０００４】ＰＺＴ基板５１表面に蒸着したアルミニウ
ム薄膜に、フォトリソグラフィ法を用いて、電極開口方
向にいくつかのゾーンに分割した交差指電極５２パター
ンを作製する。隣合うゾーンは極性が逆になるように配
線し、２０ＭＨｚのＲＦ信号を印加して、集束弾性表面
波を得ている。
ム薄膜に、フォトリソグラフィ法を用いて、電極開口方
向にいくつかのゾーンに分割した交差指電極５２パター
ンを作製する。隣合うゾーンは極性が逆になるように配
線し、２０ＭＨｚのＲＦ信号を印加して、集束弾性表面
波を得ている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】電極を開口方向にフレ
ネルゾーン形に分割する従来の方法では、電極構造が複
雑になり、その設計や作製が困難になるほか、単純な正
規型の電極と比較して、ＲＦ帯域幅の向上や弾性表面波
の励振効率向上の電極設計に制限がでてくる。
ネルゾーン形に分割する従来の方法では、電極構造が複
雑になり、その設計や作製が困難になるほか、単純な正
規型の電極と比較して、ＲＦ帯域幅の向上や弾性表面波
の励振効率向上の電極設計に制限がでてくる。
【０００６】本発明は、ＳＡＷデバイスや音響光学効果
を用いた光学素子において、弾性表面波励振電極の設計
や製作に制約をもたらすことなく、任意の音場集束を発
生させることを目的とする。
を用いた光学素子において、弾性表面波励振電極の設計
や製作に制約をもたらすことなく、任意の音場集束を発
生させることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の音場集束素子
は、基板より弾性表面波の伝搬速度の遅い媒質から構成
される弾性表面波励振電極の近傍に設置した厚さ分布型
のフレネルレンズ形状を有する。
は、基板より弾性表面波の伝搬速度の遅い媒質から構成
される弾性表面波励振電極の近傍に設置した厚さ分布型
のフレネルレンズ形状を有する。
【０００８】
【作用】本発明によれば、弾性表面波励振電極から励振
された等位相面を持つ弾性表面波に対して、断面方向の
位相変化を発生させて球面波状にして弾性表面波の集束
を行わせることができる。
された等位相面を持つ弾性表面波に対して、断面方向の
位相変化を発生させて球面波状にして弾性表面波の集束
を行わせることができる。
【０００９】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１０】図１は本発明の実施例を説明するための斜
視図である。圧電基板としてニオブ酸リチウム基板を用
いた場合を例にとる。基板１１の表面にアルミニウム薄
膜を成膜し、フォトリソグラフィ法を用いて電極指周期
１０〜５０μm の簾状の弾性表面波励振電極１２を作製
する。弾性表面波励振電極１２の近傍に伝搬速度の遅い
媒質からなる厚さ分布型のフレネルレンズ形状の音場集
束素子１３を作製する。
視図である。圧電基板としてニオブ酸リチウム基板を用
いた場合を例にとる。基板１１の表面にアルミニウム薄
膜を成膜し、フォトリソグラフィ法を用いて電極指周期
１０〜５０μm の簾状の弾性表面波励振電極１２を作製
する。弾性表面波励振電極１２の近傍に伝搬速度の遅い
媒質からなる厚さ分布型のフレネルレンズ形状の音場集
束素子１３を作製する。
【００１１】図４はフレネルレンズ形状例を説明するた
めの図である。ＸＺ平面内をＺ軸方向に伝搬している弾
性表面波をＺ＝ｆの位置に集束させる場合、弾性表面波
に−ｋo ｎＸ2 ／２ｆ（ｋo ：波数、ｎ：実効屈折率）
の位相変調を与えるような周期：（２Λｆ／ｍ）
0.5 （ｍ：１，２，・・・，Λ：音波長）で厚さが変化
する厚さ分布形状にすればよい。伝搬速度の遅い伝搬領
域の作製は、フレネルレンズ形状パターンを残してニオ
ブ酸リチウム基板１１の表面を金属膜で覆い、１００〜
２５０℃の安息香酸溶液中に数十分浸してプロトン交換
することで行う。
めの図である。ＸＺ平面内をＺ軸方向に伝搬している弾
性表面波をＺ＝ｆの位置に集束させる場合、弾性表面波
に−ｋo ｎＸ2 ／２ｆ（ｋo ：波数、ｎ：実効屈折率）
の位相変調を与えるような周期：（２Λｆ／ｍ）
0.5 （ｍ：１，２，・・・，Λ：音波長）で厚さが変化
する厚さ分布形状にすればよい。伝搬速度の遅い伝搬領
域の作製は、フレネルレンズ形状パターンを残してニオ
ブ酸リチウム基板１１の表面を金属膜で覆い、１００〜
２５０℃の安息香酸溶液中に数十分浸してプロトン交換
することで行う。
【００１２】図２は本発明の第２の実施例を説明するた
めの斜視図である。
めの斜視図である。
【００１３】音場集束素子２３の作製方法として、音波
の伝搬速度の遅い媒質である酸化タンタルやアルミニウ
ム薄膜などを基板２１表面に成膜し、フォトリソグラフ
ィ法を用いてフレネルレンズ形状パターンを形成し、エ
ッチング処理によって前記形状を基板２１表面に残すこ
とで音場集束効果を得ることができる。
の伝搬速度の遅い媒質である酸化タンタルやアルミニウ
ム薄膜などを基板２１表面に成膜し、フォトリソグラフ
ィ法を用いてフレネルレンズ形状パターンを形成し、エ
ッチング処理によって前記形状を基板２１表面に残すこ
とで音場集束効果を得ることができる。
【００１４】図３は本発明の第３の実施例を説明するた
めの斜視図である。
めの斜視図である。
【００１５】音場集束素子３３の作製方法として、音波
の伝搬速度の速い媒質である酸化アルミニウム薄膜など
を基板２１表面に成膜し、フォトリソグラフィ法を用い
てフレネルレンズ形状パターンを形成し、エッチング処
理によって前記形状のみを基板２１表面から取り除くこ
とで音場集束効果を得ることができる。
の伝搬速度の速い媒質である酸化アルミニウム薄膜など
を基板２１表面に成膜し、フォトリソグラフィ法を用い
てフレネルレンズ形状パターンを形成し、エッチング処
理によって前記形状のみを基板２１表面から取り除くこ
とで音場集束効果を得ることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、弾性表面
波励振電極と独立して音場集束効果をもたらすものであ
るので、電極設計に制約をもたらすことなく、また、レ
ンズ形状、媒質を変化させることによって様々な音場集
束を発生させることができる。電気機械結合による弾性
表面波フィルタや、音響光学効果を利用する光学素子に
おける簡便で自由度の高い重み付け法として、また、弾
性表面波導波路への高効率な励振を可能とする方法とし
て、その効果は極めて大きなものであるといえる。
波励振電極と独立して音場集束効果をもたらすものであ
るので、電極設計に制約をもたらすことなく、また、レ
ンズ形状、媒質を変化させることによって様々な音場集
束を発生させることができる。電気機械結合による弾性
表面波フィルタや、音響光学効果を利用する光学素子に
おける簡便で自由度の高い重み付け法として、また、弾
性表面波導波路への高効率な励振を可能とする方法とし
て、その効果は極めて大きなものであるといえる。
【図１】本発明の音場集束素子の一実施例を説明するた
めの斜視図である。
めの斜視図である。
【図２】本発明の音場集束素子の第二の実施例を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図３】本発明の音場集束素子の第三の実施例を説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
【図４】厚さ分布型のフレネルレンズ形状例を説明する
ための図である。
ための図である。
【図５】従来の技術を説明するための平面図である。
【符号の説明】 １１，２１，３１ ニオブ酸リチウム基板 １２，２２，３２ 弾性表面波励振電極 １３，２３，３３ 音場集束素子 ５１ ＰＺＴ基板 ５２ 交差指電極
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に装荷した弾性表面波励振電極の近
傍に設置した厚さ分布型のフレネルレンズ形状を有す
る、基板より弾性表面波の伝搬速度の遅い媒質から構成
されていることを特徴とする音場集束素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP902894A JPH07221592A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 音場集束素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP902894A JPH07221592A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 音場集束素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07221592A true JPH07221592A (ja) | 1995-08-18 |
Family
ID=11709209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP902894A Pending JPH07221592A (ja) | 1994-01-31 | 1994-01-31 | 音場集束素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07221592A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140169736A1 (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-19 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Lens element and optical communication apparatus with same |
| US20140177997A1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-06-26 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Waveguide lens including planar waveguide and media grating |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5180201A (en) * | 1975-01-08 | 1976-07-13 | Thomson Csf | Danseihyomenhano kutsusetsumushusasochi |
-
1994
- 1994-01-31 JP JP902894A patent/JPH07221592A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5180201A (en) * | 1975-01-08 | 1976-07-13 | Thomson Csf | Danseihyomenhano kutsusetsumushusasochi |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140169736A1 (en) * | 2012-12-17 | 2014-06-19 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Lens element and optical communication apparatus with same |
| US9182557B2 (en) * | 2012-12-17 | 2015-11-10 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Lens element and optical communication apparatus with same |
| US20140177997A1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-06-26 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Waveguide lens including planar waveguide and media grating |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH029485B2 (ja) | ||
| JPH01129517A (ja) | 表面波共振素子の製造方法 | |
| JP5672529B2 (ja) | 電気光学素子及びその製造方法、並びに、電気光学素子を用いた光偏向装置 | |
| JP6025850B2 (ja) | 微細加工された垂直構造上に形成された周期的強誘電分極を有する電気−音響トランスデューサ | |
| JP2004504749A (ja) | 交互分極ドメインを有する音波デバイス | |
| JP2565346B2 (ja) | 分極反転領域を有するＬｉＮｂＯ▲下３▼／ＬｉＴａＯ▲下３▼単結晶圧電基板及びその製造方法 | |
| JPH07221592A (ja) | 音場集束素子 | |
| JPH02295211A (ja) | エネルギー閉じ込め型弾性表面波素子 | |
| US7405512B2 (en) | Acoustic transducers having localized ferroelectric domain inverted regions | |
| JP2010156787A (ja) | 光機能素子の製造方法 | |
| JPH08286160A (ja) | 音響光学フィルタ | |
| JPH02295212A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH0748626B2 (ja) | 弾性表面波素子の周波数調整方法 | |
| JPS6346605B2 (ja) | ||
| US8253302B2 (en) | Surface acoustic wave element, method of producing the same, and method of changing resonation frequency of the same | |
| JPH0212135A (ja) | 第２高調波発生素子 | |
| JPH0567937A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPH0897673A (ja) | 弾性表面波素子及びその製造方法 | |
| JPH0311686B2 (ja) | ||
| JPH07270735A (ja) | 音響光学フィルタ | |
| JPH0321112A (ja) | 弾性表面波素子の製造方法 | |
| JPH0232806B2 (ja) | Danseihyomenhasochi | |
| JPH10126208A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| TWI364225B (en) | Surface acoustic wave filter and method for making same | |
| JPH08204499A (ja) | 表面波装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19980714 |