JPH0372956B2 - - Google Patents
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- JPH0372956B2 JPH0372956B2 JP172184A JP172184A JPH0372956B2 JP H0372956 B2 JPH0372956 B2 JP H0372956B2 JP 172184 A JP172184 A JP 172184A JP 172184 A JP172184 A JP 172184A JP H0372956 B2 JPH0372956 B2 JP H0372956B2
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- base
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- ceramic powder
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Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Manufacture Of Alloys Or Alloy Compounds (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明は、各種測定作業、罫書作業等の際に基
準台として用いられる定盤およびその製造方法に
関する。
準台として用いられる定盤およびその製造方法に
関する。
[背景技術]
従来の定盤は、鉄製の定盤および花崗岩等の天
然石材製の定盤が一般的であつた。これらのうち
鉄製の定盤は、磁性材であるところから、マグネ
チツクスタンド等の使用ができるためワークや各
種測定機、罫書装置等の固定に便宜である反面、
錆や打痕が発生し易く、更には高重量であるため
取扱いに不便であるという欠点を有していた。一
方、天然石材製の定盤は、錆が発生することもな
く、高剛性、耐摩耗性、高硬度、形状安定性等に
富む反面、このような性質を備えた天然石材を入
手することが近時極めて困難であり、且つ、非磁
性材であるところから、マグネチツクスタンド等
を使用することができないという欠点を有してい
た。
然石材製の定盤が一般的であつた。これらのうち
鉄製の定盤は、磁性材であるところから、マグネ
チツクスタンド等の使用ができるためワークや各
種測定機、罫書装置等の固定に便宜である反面、
錆や打痕が発生し易く、更には高重量であるため
取扱いに不便であるという欠点を有していた。一
方、天然石材製の定盤は、錆が発生することもな
く、高剛性、耐摩耗性、高硬度、形状安定性等に
富む反面、このような性質を備えた天然石材を入
手することが近時極めて困難であり、且つ、非磁
性材であるところから、マグネチツクスタンド等
を使用することができないという欠点を有してい
た。
そこで、近時、これら従来の定盤の欠点を克服
するものとしてセラミツクス製定盤が提案されて
おり、このセラミツクス製定盤にあつては天然石
材のような入手が困難なものではなく、高剛性、
耐摩耗性、高硬度等の特性を有し、更に、軽量な
ものであるが、磁性を持たないものが多く、ま
た、謂わゆる磁性セラミツク材料から形成された
磁性を有するものにあつても、磁性の均一性に欠
け或いは加工の困難性を伴なうものであり、実際
にマグネチツクスタンド等を使用できる程実用化
されてはいなかつた。
するものとしてセラミツクス製定盤が提案されて
おり、このセラミツクス製定盤にあつては天然石
材のような入手が困難なものではなく、高剛性、
耐摩耗性、高硬度等の特性を有し、更に、軽量な
ものであるが、磁性を持たないものが多く、ま
た、謂わゆる磁性セラミツク材料から形成された
磁性を有するものにあつても、磁性の均一性に欠
け或いは加工の困難性を伴なうものであり、実際
にマグネチツクスタンド等を使用できる程実用化
されてはいなかつた。
[発明の目的]
本発明の目的は、セラミツクス材料を利用しな
がら、しかも、均一な磁性を備え、マグネチツク
スタンド等を十分安定的に使用することができ、
ワークや各種測定機、罫書装置等の固定に便宜な
定盤およびその製造方法を提供することにある。
がら、しかも、均一な磁性を備え、マグネチツク
スタンド等を十分安定的に使用することができ、
ワークや各種測定機、罫書装置等の固定に便宜な
定盤およびその製造方法を提供することにある。
[発明の構成]
そのため、本発明に係る定盤は、多孔質の発泡
磁性金属よりなる基体と、この基体の孔中に注入
焼結されたセラミツクスと、から一体的に形成す
ることにより、セラミツクスの有する高剛性、耐
摩耗性、高硬度、軽量性等の定盤に求められる特
性を備えさせるとともに、発泡磁性金属により均
一な磁性をも備えさせるようにして前記目的を達
成するものである。
磁性金属よりなる基体と、この基体の孔中に注入
焼結されたセラミツクスと、から一体的に形成す
ることにより、セラミツクスの有する高剛性、耐
摩耗性、高硬度、軽量性等の定盤に求められる特
性を備えさせるとともに、発泡磁性金属により均
一な磁性をも備えさせるようにして前記目的を達
成するものである。
また、本発明に係る製造方法は、多孔質の発泡
磁性金属から少なくとも1つの平坦面を有する基
体を形成し、ついで、前記基体の孔中にセラミツ
クス粉末を注入分散させ、孔中のセラミツクス粉
末を焼結させて基体とセラミツクスと不可分的に
一体化させた後、前記平坦面を研削加工して定盤
面とすることにより前記定盤を製造して前記目的
を達成しようとするものである。
磁性金属から少なくとも1つの平坦面を有する基
体を形成し、ついで、前記基体の孔中にセラミツ
クス粉末を注入分散させ、孔中のセラミツクス粉
末を焼結させて基体とセラミツクスと不可分的に
一体化させた後、前記平坦面を研削加工して定盤
面とすることにより前記定盤を製造して前記目的
を達成しようとするものである。
[実施例の説明]
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。
る。
第1図には本発明の一実施例が示され、図中、
定盤1は所定の厚さの方形板状に形成され、この
定盤1の上端面である定盤面2は極めて平滑に仕
上げられている。また、定盤1は多孔質の発泡磁
性金属よりなる基体3(第2図参照)と、この基
体3の孔中に注入焼結されたセラミツクスと、か
ら一体的に形成されている。
定盤1は所定の厚さの方形板状に形成され、この
定盤1の上端面である定盤面2は極めて平滑に仕
上げられている。また、定盤1は多孔質の発泡磁
性金属よりなる基体3(第2図参照)と、この基
体3の孔中に注入焼結されたセラミツクスと、か
ら一体的に形成されている。
次に、前記定盤1の製造方法につき説明する。
まず、多孔質の発泡磁性金属により、上端面が
平坦な平坦面4とされるとともに全体として前記
定盤1と同様に所定の厚さの方形板状とされた基
体3(第2図参照)を形成する。この基体3を構
成する多孔質の発泡磁性金属は、ニツケル系金属
材等であり、磁性を有している。また、第3図に
拡大して示されるように、発泡倍率が88〜98%程
度の多孔率の極めて高い多孔質構造であることが
望ましい。なお、ここでいう多孔率とは次式で表
わされる数値である。
平坦な平坦面4とされるとともに全体として前記
定盤1と同様に所定の厚さの方形板状とされた基
体3(第2図参照)を形成する。この基体3を構
成する多孔質の発泡磁性金属は、ニツケル系金属
材等であり、磁性を有している。また、第3図に
拡大して示されるように、発泡倍率が88〜98%程
度の多孔率の極めて高い多孔質構造であることが
望ましい。なお、ここでいう多孔率とは次式で表
わされる数値である。
多孔率(%)=[1−母材体4の重量(グラ
ム)/母材体4の体積(cm2)×密度]×100(%) このような基体3を成形した後、この基体3の
多孔中にセラミツクス粉末を注入分散させ、別言
すれば孔中にセラミツクス粉末を充填し、しかる
のち、所定温度にて孔中のセラミツクス粉末を焼
結させて、基体3とセラミツクスと互いに不可分
的に強固に一体化結合させる。
ム)/母材体4の体積(cm2)×密度]×100(%) このような基体3を成形した後、この基体3の
多孔中にセラミツクス粉末を注入分散させ、別言
すれば孔中にセラミツクス粉末を充填し、しかる
のち、所定温度にて孔中のセラミツクス粉末を焼
結させて、基体3とセラミツクスと互いに不可分
的に強固に一体化結合させる。
こうして、第4図に示されるように、前記定盤
1と同様に所定の厚さの方形板状とされた結合体
5が形成される。なお、基体3にセラミツクス粉
末を注入する際には、基体3の各周面より注入す
ることができるため、基体3が微小孔を有する構
造であつても基体3の全域にセラミツクス粉末を
十分に分散させることができる。また、この際、
セラミツクス粉末を孔中に圧入したり、セラミツ
クス粉末と基体3との接着度を特に高めるための
接着要素を混在させて一層の形状安定を図ること
としてもよい。
1と同様に所定の厚さの方形板状とされた結合体
5が形成される。なお、基体3にセラミツクス粉
末を注入する際には、基体3の各周面より注入す
ることができるため、基体3が微小孔を有する構
造であつても基体3の全域にセラミツクス粉末を
十分に分散させることができる。また、この際、
セラミツクス粉末を孔中に圧入したり、セラミツ
クス粉末と基体3との接着度を特に高めるための
接着要素を混在させて一層の形状安定を図ること
としてもよい。
このように形成した結合体5の周面、その内で
も特に平坦面4を研削加工することにより極めて
平滑な定盤面2をその上端に有する前記定盤1を
製造することができる。
も特に平坦面4を研削加工することにより極めて
平滑な定盤面2をその上端に有する前記定盤1を
製造することができる。
このような本実施例によれば次のような効果が
ある。
ある。
セラミツクス材料を利用しているため、入手困
難な天然石材を用いることなく、高剛性、耐摩耗
性、高硬度等の定盤に求められる種々の特性を備
えさせることができる。
難な天然石材を用いることなく、高剛性、耐摩耗
性、高硬度等の定盤に求められる種々の特性を備
えさせることができる。
また、軽量な多孔質の発泡磁性金属を基体3と
して、この基体3とセラミツクスとを互いに不可
分的に一体化結合させたものであるため、僅状安
定性に優れ、軽量であり、取扱性にも優れてい
る。
して、この基体3とセラミツクスとを互いに不可
分的に一体化結合させたものであるため、僅状安
定性に優れ、軽量であり、取扱性にも優れてい
る。
また、基体3の孔中にセラミツクス粉末を注入
分散させた状態にてセラミツクス粉末を焼結させ
て基体3とセラミツクス粉末とを結合させている
ため、製造に際して、セラミツクス粉末を所望の
形状に保持するための枠体等の格別道具を必要と
することなく形状安定性を確保することができ
る。したがつて、炉中に結合体5を密な状態で多
数収容することができ、製造効率にも優れてい
る。
分散させた状態にてセラミツクス粉末を焼結させ
て基体3とセラミツクス粉末とを結合させている
ため、製造に際して、セラミツクス粉末を所望の
形状に保持するための枠体等の格別道具を必要と
することなく形状安定性を確保することができ
る。したがつて、炉中に結合体5を密な状態で多
数収容することができ、製造効率にも優れてい
る。
また、基体3として多孔質の発泡磁性金属を用
いているため、この金属により定盤面2の全域に
わたり極めて均一で且つ十分な磁性を備えさせる
ことができ、マグネチツクスタンド等を十分強固
に固定させることができ、ワークや各種測定機、
罫書装置等の固定に便宜である。
いているため、この金属により定盤面2の全域に
わたり極めて均一で且つ十分な磁性を備えさせる
ことができ、マグネチツクスタンド等を十分強固
に固定させることができ、ワークや各種測定機、
罫書装置等の固定に便宜である。
なお、実施にあたり、セラミツクスの熱収縮率
は金属より一般に小さいが、セラミツクスの熱収
縮率を大きなものとさせておくことにより基体3
とセラミツクスとを一層強固に結合させることが
できる。
は金属より一般に小さいが、セラミツクスの熱収
縮率を大きなものとさせておくことにより基体3
とセラミツクスとを一層強固に結合させることが
できる。
また、前記実施例では定盤1の形状は所定の厚
さの方形板状であるとしたが、これに限らず他の
形状の板状或いは立体形状等であつてもよく、脚
部や穴加工、ねじ穴加工(金属埋め込み式)、T
溝加工(金属埋め込み式)溝加工等を施す等して
もよい。更に、研削加工するのは定盤面2に限ら
ず他の周面についても研削加工を施す等してもよ
いし、定盤面2を複数設けてもよい。更にまた、
前記実施例ではセラミツクス粉末は特に磁性を有
するものではなかつたが、磁性作用を特に強化す
るため、セラミツクス粉末自体も磁性を有するも
のを採用してもよい。
さの方形板状であるとしたが、これに限らず他の
形状の板状或いは立体形状等であつてもよく、脚
部や穴加工、ねじ穴加工(金属埋め込み式)、T
溝加工(金属埋め込み式)溝加工等を施す等して
もよい。更に、研削加工するのは定盤面2に限ら
ず他の周面についても研削加工を施す等してもよ
いし、定盤面2を複数設けてもよい。更にまた、
前記実施例ではセラミツクス粉末は特に磁性を有
するものではなかつたが、磁性作用を特に強化す
るため、セラミツクス粉末自体も磁性を有するも
のを採用してもよい。
[発明の効果]
上述のように本発明によれば、セラミツクス材
料を利用しながら、しかも、均一な磁性を備え、
マグネチツクスタンド等を十分安定的に使用する
ことのでき、ワークや各種測定機、罫書装置等の
固定に便宜な定盤およびその製造方法を提供する
ことができる。
料を利用しながら、しかも、均一な磁性を備え、
マグネチツクスタンド等を十分安定的に使用する
ことのでき、ワークや各種測定機、罫書装置等の
固定に便宜な定盤およびその製造方法を提供する
ことができる。
第1図は本発明に係る定盤の一実施例を示す斜
視図、第2図は前記実施例に用いられる基体を示
す斜視図、第3図は前記基体の内部構造を示す拡
大図、第4図は前記基体より形成される結合体を
示す斜視図である。 1……定盤、2……定盤面、3……基体、4…
…平坦面、5……結合体。
視図、第2図は前記実施例に用いられる基体を示
す斜視図、第3図は前記基体の内部構造を示す拡
大図、第4図は前記基体より形成される結合体を
示す斜視図である。 1……定盤、2……定盤面、3……基体、4…
…平坦面、5……結合体。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 多孔質の発泡磁性金属よりなる基体と、この
基体の孔中に注入焼結されたセラミツクスと、か
ら一体的に形成されていることを特徴とする定
盤。 2 多孔質の発泡磁性金属から少なくとも1つの
平坦面を有する基体を形成し、ついで、前記基体
の孔中にセラミツクス粉末を注入分散させ、孔中
のセラミツクス粉末を焼結させて基体とセラミツ
クスと不可分的に一体化させた後、前記平坦面を
研削加工して定盤面とすることを特徴とする定盤
の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP172184A JPS60144689A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 定盤およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP172184A JPS60144689A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 定盤およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60144689A JPS60144689A (ja) | 1985-07-31 |
JPH0372956B2 true JPH0372956B2 (ja) | 1991-11-20 |
Family
ID=11509426
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP172184A Granted JPS60144689A (ja) | 1984-01-09 | 1984-01-09 | 定盤およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60144689A (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005027206A1 (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-24 | Nikon Corporation | 定盤、ステージ装置及び露光装置 |
-
1984
- 1984-01-09 JP JP172184A patent/JPS60144689A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS60144689A (ja) | 1985-07-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |