JPH0371065B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 透明物体又は半透明物体、特にガラス製又はプ
ラスチツク材料製の中空物体、より詳細には大び
ん、中びん、小びんのごとき容器の大量生産及び
使用には種々の検査がほぼ義務付けられておりこ
れら検査の多くは極めて高速の光学検査である。

物体の形状次第ではあるが最も丁寧な検査にお
いては、物体が少なくとも１回自転する間に物体
の敏感なゾーンを検査する必要がある。有効な一
括検査を高速で実行し得る方法としては、自転す
る物体を連続直径面に沿つて光ビームで走査しこ
の光ビームによつて透視的に照明される感光スク
リーンを読取る方法がある。

物体上での収束が不要な強くて細い光線である
振動レーザービームの使用が有利である。該レー
ザービームは、物体を互いに隣合う幅の狭い区分
ずつ直角に十分に近い入射角で上から下まで完全
に走査し得るように物体から十分に離間して水平
に射出される。

業界で常用の装置の１つのタイプでは、レーザ
ービームを水平軸をもつ回転鏡に誘導し次に固定
鏡列で反射させて物体にほぼ直角に誘導する。軸
対称形物体はビーム前方の定位置に配置され順次
走査に伴つて完全自転を行うので物体は完全検査
が可能である。本発明の装置はこのタイプに属す
る。先行文献としては、フランス特許公開第
1538259号及びフランス特許公開第2235365号があ
る。本発明はこのタイプの装置の機械的手段が簡
単にし装置の使用適性を改良する。

回転鏡は、36面を有し得るホイール即ち鉛直面
内でのビームの理論的開き角が20度であるような
ホイールから成る。この値は、高い走査周波数が
得られること、所望の小さい開き角が得られるこ
と、光路が延長できること等の条件を配慮したも
のである。

好ましくは、物体を回転させる手段、例えば１
対のローラを検査ステーシヨンに配備し、一連の
Ｖ形マウントを担持した遊星歯車の形状の回転プ
レートによつて物体を前記ローラ対間に順次導入
する。小型化及び製造が容易であることと光線を
自由に通過させ易いとの双方の理由からエミツタ
アセンブリを遊星歯車の中心に配置し得るように
達成することが極めて重要である。前記反射鏡例
は好ましくは回転鏡の軸に平行な平面鏡であり走
査ビームを個々の敏感ゾーンを順次照明する所定
数の要素照明場として分配するように配向されて
いる。この反射鏡列の存在によつて物体の個々の
ゾーンを最も好ましいと考えられる角度で照明し
得る。

然しながら、容積の大きい物体、例えばびんを
上から下まで完全に検査するため即ち35cm又は40
cmのオーダの全有効範囲Ｈを走査し得るには（約
15cmのオーダの直径の）多面回転鏡を被検査物体
から１ｍ以上の光学距離に配置する必要がありし
かも鏡列自体はその寸法が過度に大きくならない
ように源からあまり離間してはならない。

従つて実際には、走査ビームを変えないで光路
を屈折させるシステム即ち好ましくは一連の鉛直
面内に光路を屈折させる多重反射形光学システム
をスリツトボツクスに補捉する必要がある。

また、高速で処理し且つ慣性力を減少させるに
はフライイング検査即ちびんの移動を中止するこ
となくびんを自転せしめて検査を実行するのが好
ましい。この場合複雑な装置を使用しないため
に、連続移動して異なる複数の検査を実行し得る
遊星歯車に物体回転用の簡単な外部ベルトを組合
せる。該ベルトは固定ステーシヨンに配置されて
おりＶ形マウントの支点間の適宜調整できる中間
の高さ位置でびんと接触する。このような手段は
それ自体公知であるが本発明のごとき用途に使用
された例はない。何故なら鉛直走査内に死角が生
じるからである。然しながら、母線が自由である
とき鏡の配置次第では死角に２つの要素照明場を
収束させて死角を消去することが可能であろう。

また、十分な検査時間を得るためには被検査物
体の移動中に走査を実行する必要がある。このた
めに、例えばフランス特許公開第2235365号では、
遊星歯車に随行するダイヤフラムによつて出発平
面ビームを遮断しこのビームによつて追跡を行な
うことも提案された。然しながら、高速処理の場
合光の損失が大きいという欠点があり追跡鏡が必
要になるので遊星歯車の運動に同期した第２の鉛
直軸形反射性多面回転鏡を配備しなければならな
い。

本発明の目的は、透明又は半透明な物体の光学
検査を効率良く高速度かつ確実に実行し得、しか
も、装置本体を小形で単純構造とし得る、透明又
は半透明な物体を光学的に検査する装置を提供す
ることにある。

本発明によれば、前記目的は、周縁に透明又は
半透明な物体と係合する複数の溝を有しており、
物体を溝に夫々保持した状態で水平方向に関して
連続的に回転搬送するように構成された円板状の
搬送手段と、搬送手段を回転駆動する駆動手段
と、溝の少なくとも１つに対向するように搬送手
段の周縁に隣接して配設された感光スクリーン
と、物体を感光スクリーンの前方において溝内に
自転させるために、感光スクリーンの前方に搬送
された物体の外周面と係合すると共に搬送手段の
回転方向と反対方向に移動するように構成された
ベルトと、レーザービームを放射するエミツタ
と、外周面において中心軸方向に伸長する複数の
鏡を有しており、レーザービームを反射して所定
の走査角度及び走査周期を有する走査ビームを発
生すべく中心軸のまわりに回転する円柱状の回転
鏡と、走査ビームを誘導するスリツトボツクス
と、スリツトボツクスに収容されており、ベルト
に妨害されることなく物体の全表面を透視するた
めに走査ビームを互いに異なる角度で反射して分
配する複数の分配鏡と、分配された走査ビームを
物体の外周面に対して直角にかつ鉛直方向に走査
するように反射すると共に、物体がベルトにより
１回自転する間、前述の搬送される物体に追従し
つつ物体を介して感光スクリーンを照明するよう
に水平方向に関して搬送される物体を追跡する追
跡手段とを備えた、透明又は半透明な物体を光学
的に検査する装置によつて達成される。

本発明の装置によれば、円板状の搬送手段は、
駆動手段に回転駆動されて、透明又は半透明な物
体を周縁の溝に夫々保持した状態で水平方向に関
して連続的に回転搬送し、ベルトは、感光スクリ
ーンの前方に搬送された物体の外周面と係合する
と共に搬送手段の回転方向と反対方向に移動して
物体を感光スクリーンの前方において溝内で自転
させ、円柱状の回転鏡は、エミツタから放射され
たレーザービームを反射して所定の走査角度及び
走査周期を有する走査ビームを発生し、複数の分
配鏡は、ベルトに妨害されることなく物体の全表
面を透視するためにスリツトボツクスに誘導され
た走査ビームを互いに異なる角度で反射して分配
し、追跡手段は、分配鏡によに分配された走査ビ
ームを物体の外周面に対して直角にかつ鉛直方向
に走査するように反射すると共に、水平方向に関
して前述の搬送される物体を追跡して、物体がベ
ルトにより１回自転する間、前述の搬送される物
体に追従しつつ物体を介して感光スクリーンを照
明する。従つて、本発明の装置によれば、搬送手
段及びベルトが透明又は半透明な物体を回転搬送
しつつ自転させており、追跡手段は、走査ビーム
を物体の外周面に対して直角にかつ鉛直方向に走
査するように反射すると共に物体が１回自転する
間物体に追従するため、物体の搬送移動を一時的
に停止することなく検査時間を確保し得、物体の
全表面に走査ビームを放射し得、加えて、光の損
失を低減し得、複数の分配鏡がスリツトボツクス
に誘導された走査ビームを互いに異なる角度で反
射して分配するため、ベルトに妨害されることな
く物体の全表面を透視し得、ベルトによる死角を
なくし得、その結果、本発明の装置によれば、透
明又は半透明な物体の光学検査を効率良く高速度
にかつ確実に実行し得、しかも、装置本体を小形
で単純構造とし得る。

本発明による装置の好ましい特徴は、物体の上
で重畳させたい２つ以上の要素照明場に対応する
光路が少なくとも15度のオーダの角度の有効範囲
Ｈの実質的に下から３分の１の部分に収束するこ
とである。

実際にはスリツトボツクスが有効範囲Ｈの４倍
より大きい最小路長を光路に与える構造を有して
おり、分配鏡は光路の約４分の１の部分でビーム
内に傾斜して階段状に配置されている。従つて回
転鏡からの距離は実質的にＨ乃至2Hの範囲であ
る。

更に小型化するためには水平方向追跡を回転鏡
でなく早戻り機構付き振動鏡で行う。振動鏡は遊
星歯車の運動と同期して制御されており好ましく
は遊星歯車の軸上のスリツトボツクスの中心に配
置される。中間の鉛直鏡列が2Hのオーダの距離
でビーム全体を屈折させる。従つて物体から追跡
鏡までの間隔はほぼＨの長に短縮される。この場
合スリツトボツクスの水平方向寸法は約Ｈ／２で
あり高さはほぼＨであり遊星歯車の直径は2Hよ
り大きくはならない。

従つて直径１ｍ未満の装置で最小ビーム路長
1400mmで容積25から125cの総ての種類の飲料用
びんを簡単な調整で検査し得る。

複数の水平な要素照明場を生成する走査開き角
は16度で減少しその主照明場は約12度である。従
つて約２度の余剰角度は軸方向照明を生じてこれ
は余角反射鏡によつて単純反射されて物体底部を
口部からの連続光線によつて照明する。余角反射
鏡は通常被検査物体の口部の処を焦線に沿つて前
記光線を誘導する集光レンズと組合せられてい
る。

好ましくは反射鏡が追跡鏡の軸即ち実際には遊
星歯車自体の軸のほぼ近傍に位置する軸の回りで
回転する固定凹面鏡である。該反射鏡は水平母線
をもつ円柱レンズから成る調整自在な集光レンズ
と組合せられている。

また、走査ビームの極く一部は光電セルを周期
的に励起するために使用される。従つて該セルは
連続垂直走査での測定を同期するクロツクパルス
を供給する。これによりサイクル中に検出欠陥の
所在位置及び該欠陥の性質を正確に特定し得る。

本発明の好ましい具体例を添付図面に基いて以
下に説明する。

第１図及び第２図は装置の全体構造を示す。

コンベヤ２によつて搬送されるびん１は案内ホ
イール４によつて搬送手段としての遊星歯車３に
導入される。従つてコンベヤ２を離れた各びんは
遊星歯車の下部プレート１１ａの周縁下方に設け
られたステージ５ａに転送される。びんは外側ガ
イド５ｂによつて遊星歯車に当接維持され円形軌
道に沿つて移動する。この移動中に連続する複数
のステーシヨンでびんに対して複数の検査が行な
われる。特に感光スクリーン６の前方ではびんの
底面の半分より小さい部分だけがステージ５ａに
載置しておりエミツタ手段７が与える光ビームＬ
の作用により本発明の目的たるびんの光学検査が
行なわれる。送出ホイール８は収集データに従つ
て遊星歯車の木口で良品、不良品を選別する。

これらの検査は特に光学検査ステーシヨンでび
んを停止させずに行なわれる。該ステーシヨンで
は遊星歯車３の逆方向に回転する単数又は複数の
ベルト９によつてびんの回転が生起される。

処理はフライングスポツト方式である。遊星歯
車に対するびんの位置は一定に維持されており光
学検査はびんの軸線と装置の軸線とを通る面0x
内でのみ行なわれが、ビームを装置の軸線からび
んに到達される際に下部プレート１１ａでビーム
が阻止されるのを防ぐため、各ステーシヨンに正
対する鉛直スロツト１０が遊星歯車３に設けられ
る。

36以上に達し得る凹部の個数、従つて遊星歯車
の形と直径とは検査されるびんの寸法に依存して
おりスクリーンとベルト９との相対位置も無論び
んの寸法に依存する。

１回転３秒の速度では36のポジシヨンをもつ歯
車は１時間に40000個以上の物体を検査し得る。

遊星歯車は好ましくはハブ１２に担持された下
部プレート１１ａと支柱１３によつて該プレート
と一体化されたクラウン１１ｂとから成る筒１１
の形状を有する。

図示の具体例では装置の台１５に載置された複
例軸受１４ａに担持されたハブ１２の下柱１４は
駆動用内歯車１６とネジリング１６ａとの係合に
よつて固定されている。

底面１ａの一部だけがステージ５ａに載置した
各びん１はエミツタ７の正面でベルト９によつて
Ｖ形マウントに押圧される。該マウントは好まし
くは回転し易いように隣合う２つのマウントに共
通の２つのはしご形ローラ１７ａ，１７ｂから成
る。

符号１８で概略的に示すレーザから生じる狭い
光ビームＬはエミツタ７の下部で回転鏡１９の面
１９ａの各々によつて順次反射される。回転鏡１
９の軸は水平であり且つビームＬの方向に垂直で
ある。従つて垂直な走査ビームが生じる。

第３図は鉛直面内での走査ビームの状態を詳細
に示す。

回転鏡１９は36面を有しており従つて実際には
18度のオーダの有効走査角度が得られる。これは
理論角度よりやや小さい。回転鏡１９は6000回
転／分である。

従つて光ビームは3600回／秒の割合で上方に反
射されて図の平面に垂直な４つの分配鏡として平
面鏡２１乃至２４を含む平面鏡列２０に誘導され
る。平面鏡列２０は回転鏡１９から40乃至80cmの
距離を隔てて階段状に順次配置されている。該平
面鏡列は走査光全体を順次遮断して３つの主照明
場と１つの副照明場とに分割する。

平面鏡２１は約12度の角度を遮断し鉛直面に対
して約35度傾斜して対応ビームを約＋７度の勾配
で誘導する。該ビームはびんの壁を２回通過し範
囲２１ａ−２１ｂにわたつてかなり背の高いびん
についてもびん１の表面をほぼ完全にカバーす
る。但し、びんの下部及びベルト９によつて掩蔽
されたゾーン９′はカバーされない。

平面鏡２２はわずか１度の円弧に対応する極め
て小さい照明場を遮断し約45度傾斜して対応光ビ
ームを約−７度の勾配で物体の下部に誘導する。
従つて該ビームは範囲２２ａ−２２ｂにわたつて
下柱の下部の溝まで到達し得る。その結果有効範
囲Ｈを完全にカバーする走査が得られるが死角は
残つている。

平面鏡２３はより高い位置即ち遊星歯車３より
上方に配置されており約50度傾斜しており約３度
の照明場の光線を−16度の平均勾配で範囲Ｈの下
から３分の１の高さの部分に誘導する。びんの中
央部は範囲２３ａ−２３ｂのビームによつて検査
される。即ち平面鏡２１のビームがベルト９の存
在によりスクリーン２６に到達しないゾーン９′
は平面鏡２３のビームによつて透視され得る。

最終平面鏡２４は45度傾斜し副照明場２４ａ−
２４ｂを生じる。この照明場は狭い円柱レンズ２
５に到達し範囲２５ａ−２５ｂの平行な走査ビー
ムを生じる。このビームは口部のレベルのＣに約
７度の開き角のビームを収束させるレンズ２７を
通過し容器の口部１ｂの真上の余角反射鏡２６に
よつて下方に反射される。これによりステージ５
ａに接していない底面１ａが全半径にわたつて照
明され得る。

可動光ビームの照明下でスクリーン６前方のび
んが１回の完全自動を行なう間にびんの壁の各部
分は少なくとも１回は順次走査される。各垂直走
査の開始端で同期光電ダイオード２８が平面鏡２
１によつて反射されたビームの極く一部を遮断す
る。

またびん１とびん１′とのごとく寸法の違いが
大きいびんを同じ装置で検査することも可能であ
る。このためには余角反射鏡２６を２６′に移動
させて容器の口部の上方に誘導しレンズ２７を２
７′に移動させて光線の収束ゾーンをC′まで下げ
同時にベルト９の位置も適応させるだけでよい。

４つの狭い平面鏡の列２０は回転鏡１９の上方
でスリツトボツクスの側面の１つに装着されてお
りまた第４図ではエミツタ７のスリツトボツクス
２９のスリツト２９ａの上方に鎖線で示されてい
る。該列２０とは別にスリツトボツクスは５つの
鏡を含む列３０を内蔵する。これらの静止反射鏡
として鏡３１乃至３５は光ビームの移動光路Ｔを
含む第４図の鉛直面Ｐを同じく第３図の連続鉛直
軸線３１′乃至３５′に従つて屈折させる。

これらもまた狭い鏡であるが鉛直であり好まし
くは前面が45度で配置される。鏡３１乃至３３は
スリツトボツクスの隅に配置され、鏡３４は逆に
隅からずらして鏡列２０にビームが向かないよう
に配置されており、鏡３５はビームを鏡３２に反
射するように配置されている。従つてビームはス
リツトボツクスの中心に配置された追跡手段とし
ての鏡４０によつて同じく第３図に示す遊星歯車
の軸に一致する軸Ｚに沿つて反射される。

スリツトボツクス２９はケース３６によつて支
持されている。該ケースは遊星歯車のハブの内部
に侵入しており遊星歯車はベース３７によつて装
置の台１５に載置しており台１５はまたスリツト
３６ａの下方に回転鏡１９のケース３９の取付柱
３８を支持する。

鏡４０は軸Ｚに関して振動し得る。従つてビー
ムは、検査処理中のびんの移動に応じて水平照明
場４０ａ−４０ｂを順次走査し得る。実際には振
動鏡の戻り中の歯車の前進を考慮して該照明場は
マウント間の角度差よりやや小さい値に維持され
る。この角度差は24ポジシヨンの歯車では理論的
に15度以内である。スクリーン６の幅はもち論こ
の開程に対応する。振動鏡自体の回転はこの角度
の1/2になるであろう。

レンズ２５は鏡３４と３５との間で鏡２４から
出たビームの光路の１部分だけに載置されてい
る。また、円柱レンズ２７は鏡４０の下流に配置
されているが水平状態で平行面をもつストリツプ
として作用する。従つて図示のごとく鏡４０によ
る光路の鉛直方向シフトは無視し得る程度に円環
レンズのごとき別の手段に頼る必要がない。

鏡２６は軸Ｚから極めて離間した位置に存在す
るので図には示されていない。然しながら、これ
が固定平面鏡のばあいはビームの両端と中央との
間では軸までの距離の差がかなり大きいこと及び
光線を斜めに偏光されることが理解されよう。

この欠点を是正するには、鏡２６に代替して各
ビンに随行するような一連の小さい固定鏡を遊星
歯車に装着する。然しながら、より簡単にはびん
の軸の軌道をより近くから追跡するような固定凹
面鏡を１つだけ使用する。軸Ｚと厳密に一致する
軸を有する回転鏡を使用する必要はなく、第３図
の両端位置２６と２６′との中間で測定した平均
使用距離に対応する円錐状曲率又は円柱状率曲又
は球状曲率を与えるだけでよい。

種々のレバーシステムば隣合うマウントの通過
と関連して鏡４０の移動と初期位置への戻りとを
生起し得る。移動均等性と使用融通性との双方を
得る最も有利な方法は検査サイクル毎に１回転す
るカムで制御する方法である。このシステムにつ
いて以下に説明する。早戻り機構付き水平追跡鏡
の制御機構のアセンブリが第２図に示されており
その伝動機構が第５図にそり明確に示されてい
る。

鏡４０はボツクス２９の内部で２つの軸受４１
ａ間に装着されたシヤフト４１によつて担持され
ている。シヤフト４１自体は自在継手４２を介し
て伝動軸４３に連結されており、伝動軸４３はケ
ース３６内で２つの軸受４３ａの間に装着されて
いる。シヤフト４３は（第６図参照）ローラ４５
を備えたアーム４４を担持しており、ローラ４５
はストツプ４７のバネ４６によつてカム４８に押
圧されており、カム４８は複列軸受４９ａ内で回
転する制御シヤフト４９の末端に装着されてい
る。

カム４８は周縁の大部分に均等勾配の上昇傾斜
路４８ａを有しており該傾斜路はローラ４５を均
等に押し戻して鏡４０を遊星歯車３と同方向に
（遊星歯車の1/2の速度で）回転させる。傾斜路４
８ａに対向する35度乃至45度のカム円弧では鏡を
早戻りさせ次に制動して初期位置に戻す。従つて
該カムは遊星歯車３がマウントのピツチに等しい
角度だけ回転する度毎に遊星歯車３と同位相でサ
イクル毎に１回転する。該カムの制御ストローク
は得られる観察角度に対応する。

このためにカム４８と遊星歯車３とは同じ案内
シヤフト５０によつて駆動される。該シヤフトは
伝動機構５２によつて（図示しない）装置のエン
ジンに連結された被動プーリ５１を担持してい
る。該伝動機構はまたベルト９のごとき種々の付
属デバイスを駆動する。該シヤフトは遊星歯車３
の駆動用内歯車１６は歯車列５３，５４によつて
伝動比４：１で駆動する。また該シヤフトはテン
シヨンデバイス５７を備えた鋸歯ベルト５６によ
つて被動プーリ５８に連結された駆動プーリ５５
を担持している。プーリ５８は制御シヤフト４９
に装着されている。

カム４８とプーリ５８とはシヤフト４９に締付
けられていた交換自在な単体ブロツクアセンブリ
を形成する。各々が異なるタイプの遊星歯車に適
応する３種のブロツクが存在し得る。これらの３
種のブロツクではマウント間の角度が夫々10度、
12度、15度になるように歯車の溝の直径が異なつ
ている。従つて伝動比は逆に夫々９、7.5、６に
なり、カムと遊星歯車との間の比は最終的に夫々
36、30、24である。対応するカムは同じ平均直径
を有するが半径の差自体は鏡戻り用不感時間を考
慮して得られる追跡角度に実質的に比例する。要
するにいかなる場合にも、ローラ４５従つてシヤ
フト４３及び振動鏡４０に対してはマウント間の
離間角度の1/2よりやや小さい振幅の早戻りを伴
う追跡運動がサイクル毎に１回ずつ与えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は装置の概略平面図、第２図は機械的ア
センブリの連続断面を示す立面図、第３図は光ビ
ームの光路の概略説明図、第４図は第２図の−
線に沿つたスリツトボツクスの平面図、第５図
は第２図の−線に沿つた伝動機構の分解平面
図、第６図は第２図の−線による鏡の制御機
構の詳細断面図である。 １……びん、２……コンベヤ、３……遊星歯
車、４……案内ホイール、５ａ……ステージ、５
ｂ……ガイド、６……スクリーン、７……エミツ
タ、８……送出ホイール、９……ベルト、１０…
…スロツト、１８……レーザー、１９……回転
鏡、２０……鏡列、２１，２２，２３，２４……
平面鏡、２５……円柱レンズ、２６……余角反射
鏡、２９……スリツトボツクス、４０……振動
鏡。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 周縁に透明又は半透明な物体と係合する複数
   の溝を有しており、前記物体を前記溝に夫々保持
   した状態で水平方向に関して連続的に回転搬送す
   るように構成された円板状の搬送手段と、前記搬
   送手段を回転駆動する駆動手段と、前記溝の少な
   くとも１つに対向するように前記搬送手段の周縁
   に隣接して配設された感光スクリーンと、前記物
   体を前記感光スクリーンの前方において前記溝内
   に自転させるために、前記感光スクリーンの前方
   に搬送された前記物体の外周面と係合すると共に
   前記搬送手段の回転方向と反対方向に移動するよ
   うに構成されたベルトと、レーザービームを放射
   するエミツタと、外周面において中心軸方向に伸
   長する複数の鏡を有しており、前記レーザービー
   ムを反射して所定の走査角度及び走査周期を有す
   る走査ビームを発生すべく前記中心軸のまわりに
   回転する円柱状の回転鏡と、前記走査ビームを誘
   導するスリツトボツクスと、前記スリツトボツク
   スに収容されており、前記ベルトに妨害されるこ
   となく前記物体の全表面を透視するために前記走
   査ビームを互いに異なる角度で反射して分配する
   複数の分配鏡と、前記分配された走査ビームを前
   記物体の外周面に対して直角にかつ鉛直方向に走
   査するように反射すると共に、前記物体が前記ベ
   ルトにより１回自転する間、前記搬送される物体
   に追従しつつ前記物体を介して前記感光スクリー
   ンを照明するように水平方向に関して前記搬送さ
   れる物体を追跡する追跡手段とを備えた、透明又
   は半透明な物体を光学的に検査する装置。 ２ 前記追跡手段が前記搬送手段の回転と同期し
   て回転振動する振動鏡である特許請求の範囲第１
   項に記載の装置。 ３ 前記振動鏡の回転振動軸が前記搬送手段の回
   転軸と同一である特許請求の範囲第２項に記載の
   装置。 ４ 前記走査角度が約16度であり、前記分配鏡
   は、前記分配された走査ビームの１つが前記分配
   された走査ビームの他に対して15度以上の角度を
   なすと共に前記物体の下端から３分の１の範囲で
   重複するように配置されている特許請求の範囲第
   １項から第３項のいずれか一項に記載の装置。 ５ 前記分配鏡の１つが約16度の走査角度を有す
   る走査ビームの内約２度の走査ビームを分配し、
   前記約２度の走査ビームの光路上には、該走査ビ
   ームの焦点が前記物体の開口部近傍に位置するよ
   うに該走査ビームを反射して前記物体の底部を介
   して前記感光スクリーンを照明する余角反射鏡が
   配置されている特許請求の範囲第４項に記載の装
   置。 ６ 前記余角反射鏡は、前記搬送手段の回転軸と
   ほぼ同一の軸のまわりに回転するように構成され
   た凹面鏡である特許請求の範囲第５項に記載の装
   置。 ７ 前記約２度の走査ビームの光路上には、円柱
   レンズを含み前記余角反射鏡と組み合わされた集
   光調整自在な集光レンズ組が配置されている特許
   請求の範囲第５項又は第６項に記載の装置。 ８ 前記スリツトボツクスは、前記感光スクリー
   ンと前記回転鏡との間の光路が前記走査ビームに
   よる前記感光スクリーン上の鉛直方向に関する照
   明範囲の４倍となるように構成されており、前記
   分配鏡は、鉛直方向に関して前記回転鏡から前記
   照明範囲のほぼ１から２倍の距離内に階段状にか
   つ傾斜して配置されており、前記スリツトボツク
   スは、鉛直方向に伸長する複数の静止反射鏡を有
   しており、前記静止反射鏡は、前記分配鏡から前
   記振動鏡までの距離が前記照明範囲のほぼ１から
   ２倍となるように配置されており、前記振動鏡は
   前記物体から前記照明範囲の距離だけ離間してい
   る特許請求の範囲第２項から第７項のいずれか一
   項に記載の装置。 ９ 前記回転鏡の中心軸は、前記レーザビームを
   上方に反射するために水平面上にかつ前記スリツ
   トボツクスの下方に配置されており、前記分配鏡
   は、前記中心軸に平行にかつ前記静止反射鏡の上
   流に配置された４つの分配平面鏡を含んでいる特
   許請求の範囲第８項に記載の装置。 １０ 前記振動鏡はカムにより制御される特許請
   求の範囲第２項から第９項のいずれか一項に記載
   の装置。 １１ 前記カムは、前記物体の１つを検査する毎
   に１回転し、前記カムの形状は、前記振動鏡が前
   記搬送手段の回転速度の２分の１の速度でかつ前
   記搬送手段の回転方向と同一方向に回転すると共
   に、前記搬送手段の回転方向と逆方向に早戻りす
   るように決定されている特許請求の範囲第１０項
   に記載の装置。 １２ 前記カムは、前記駆動手段により鋸歯ベル
   トを介して駆動されると共に、前記鋸歯ベルトと
   係合する歯車と一体的にかつ取付軸に対して交換
   自在に構成されており、前記歯車の径が前記搬送
   手段の隣接する前記溝の離間角度により決定され
   ており、前記カムの形状が前記振動鏡の早戻り時
   間を考慮して決定されている特許請求の範囲第１
   １項に記載の装置。 １３ 前記搬送手段は、前記物体が前記ベルトに
   よりスムースに自転するように、隣接する前記溝
   の間に前記物体の外周面と当接するローラを有す
   る特許請求の範囲第１項から第１２項のいずれか
   一項に記載の装置。 １４ 前記スリツトボツクスは、前記走査周期と
   同期するクロツクパルスを発生すべく前記走査ビ
   ームの光路上に配置された光電セルを備えている
   特許請求の範囲第１項から第１３項のいずれか一
   項に記載の装置。