JPS60159636A - 透明又は半透明な物体を光学的に検査する装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 透明物体又は半透明物体、特にガラス製又はプラスデッ
ク伺１ム１製の中空物体、より詳細には大びん、申ひん
、小びんのごとき容器の大量生産及び使用には種々の検
査がほぼ義務（＝ｔ　ｉＪられでおりこれらの検査の多
くは極めて高速の光学検査である。

物体の杉状次第ではあるが最乙丁寧な検査にお　−いて
は、物体が少なくとも１回自転する間に物体の敏感なゾ
ーンを検査する必要がある。有効な一括検査を高速で実
行し得る方法として（ｊ、自転する物体を連続ｊ〔従音
に沿って光ビームで走査しこの光ビームによって透視的
に照明される感光スクリーンを読取る方法かある。

物体」−ての収束が不要な強くて細い光線であるる振動
レーザービームの使用が有利である。該レーザービーム
は、物体を互いに隣合う幅の狭い区分ずつ直角に十分に
近い入射角で」二から下まで完全に走査し得るように物
体から十分に離間して水平に射出される。

業界で常用の装置の１つのタイプでは、レーザービーム
を水平軸を乙つ回転鏡に誘導１５次に固定鏡列て反射さ
Ｕて物体にほぼ直角に誘導する。軸対称形物体はビーム
１１ａ方の定位置に配置され順次走査に伴って完全自転
を行うので物体の完全検査が１万能である。本発明の装
置□はこのタイプに属する。先行文献としては、フラン
ス４、）Ｊ許公開第１．５３８，２５９号及びフランス
特許公開第２．２：（５，３６５号がある。本発明はこ
のタイプの装置のＩｉ９　ｈ＋Ｉｉ的手段全手段ｌにし
装置の使用逆性を改良止る。

回：ｌｌｌ：鏡（」、：（６而を有しｉ（Ｉろホイール
即ち鉛直面内このビームの理論的開き角か２０度である
よう１ｊホイールから成る。この値は、高い走査周波数
か得られること、所望の小さい開き角がｉＧられろこと
、光路か延長できろこと等の条件を配置７υしノこちの
てある。

好ましくは、物体を回転さｌろ手段、例えばＩス・１の
ローラを倹杏スナーノヨンに配備し、一連の１ノ形マウ
ントを担持しん遊星歯車の形状の回転プレートによって
物体を前記ローラ対間に順次導入オろ、、小型化及び製
造か容易であることと光線を自由に通過さ且易いとの双
方の理由からエミッタアセンブリを遊星山車の中心に配
置し得るように構成ｄ〜ることか極めて重要である。前
記反射鏡列は好ましくは回転鏡の袖に平行な平面鏡であ
り走査ビームを個々の敏感ゾーンを順次照明止る所定数
の要素照明場として分配するように配向されている。こ
の反射鏡列の存在によって物体の個々のゾーンを最し好
よしいと考えられろ角１２トで照明（７得る。

然しなから、容積の大きい物体、例えばびんを」二から
下まで完全に検査するため即し３５　ｃ　ｍ又（」４０
ｃｍのオーダの仝有効範囲１１を走査し得るには（約ｌ
５ｃ１１１のオーダの直径の）多面回転鏡を被検査物体
からＩ　ｍ以ユニの光学側ｖＦｉｔｋに配置する必要が
ありしかし続刊自体（Ｊそのス１法か過度に大きくなら
ないように隙からあまり離間してはならない。

従って実際には、走査ビームを変えないで光路を屈折さ
Ｕるシステム即ち好ましくは一連の鉛直面内に光路を屈
折さＵる多重反射形光学システムをスリットボックスに
補足する必要がある。

また、高速で処理し且つ慣性力を減少させるにはフライ
イング検査即ちびんの移動を中止止ることなくびんを自
転せしめて検査を実行づ゛るのが好ましい。この場合腹
ｐ＋＋な装置を使用しないために、連続移動して異なる
複数の検査を実行し得る遊星歯車に物体回転用の簡単な
外部ベルトを組合せろ。

該ベルトは固定ステーションに配置されており■形マウ
ントの支点間の適宜調整できる中間の高さ位置でぴんと
接触する。このような手段（Ｊそれ自体公知であるが本
発明のごとき用途に使用された例はない。何故なら鉛直
走査内に死角が生しるからである。然しなから、ＩｊＪ
線が自由であるとき４１意の配置次第では死角に２つの
要素照明場を収束させて死角を消去することか凸Ｊ能で
あろう。

ま〕こ、十分な検査時間を得るノこめには被検査物体の
移動中に走査を実行する必要がある。このために、例え
ばフランス特許公開第２，２３５，３６５号では、遊星
歯車に随行するダイヤフラムによって出発平面ビームを
遮断しこのビームによって追跡を行なうことも提案され
た。然しなから、高速処理の場合光の損失が大きいとい
う欠点があり追跡鏡が必要になるので遊星歯車の運動に
同期した第２の鉛直軸形反射性多面回転鏡を配備しな０
ればならない。

本発明装置は前記の種々の特性を総合したしのである。

ｊｊｆｉって本発明の特徴は特に、一本発明？、二お゛
いて、連続移動４−る遊星歯車と物体回転用ベルトとが
組合且られでおり、スリットボックス内に傾斜分配鏡が
収納されており、物体の１−でｉｎ：　、：ｉｊさロー
たい２つ以」二の要素照明場に対応翻る光路か少なくと
も１５度のオーダの角度の有効範囲１１の実質的に士か
ら３分の１の部分に収束することである。

実際にはスリットボックスが有効範囲Ｉ＋の４倍より大
きい最小路長を光路に勾える構造を有しており、分配鏡
は光路の約４分の１の部分でビーム内に傾斜して階段状
に配置されている。従って回転鏡からの距離は実質的に
ＩＩ乃至２１１の範囲である。

更に小型化するためには水平方向追跡を回転鏡でなく早
戻り機構例き振動鏡で行う。振動鏡（１Ｍ星歯車の運動
と同期して制御されており好ましくは遊星歯車の輔」二
のスリットボックスの中心に配置される。中間の鉛直続
刊が２１１のオーダの距離てビーノ、全体を屈折さＬ！
＝ろ。従って物体から追跡鏡までの間隔（Ｊはばｉｌの
長さに短縮される。この場合スリットボックスの水平方
向寸法は約１１７２であり高さはほぼＩＩてあり遊星歯
車の直径は２＋１より大きくはならない。

従って直径１ｍ未満の装置で最小ビーム路長１４００ｎ
１ｍで容積２５から１２５ｃｐ、の総ての種類の飲料用
びんを簡単な調整で検査し得る。

複数の水平な要素照明場を生成する走査開き角は］６度
に減少しその主照明場は約１２度である。従って約２度
の余剰角度は軸方向照明を生じこれは余角反射鏡によっ
て単純反射されて物体底部を口部からの連続光線によっ
て照明する。余角反射鏡は通常被検査物体の口部の処の
焦線に沿って前記光線を誘導する集光レンズと組合せら
れている。

好ましくは反射鏡が追跡鏡の軸部ぢ実際には遊星歯車自
体の軸のほぼ近傍に位置する軸の回りで回転づ−る固定
凹面鏡である。該反射鏡は水平１）上線をもつ円柱レン
ズから成る調整自在な集光レンスと組合せられている。

また、走査ビームの極く一部は光電セルを周期的に励起
するために使用される。従って該セルは連続垂直走査で
の測定を同期するりＬ’ｌツクパルスを供給する。これ
によりサイクル中に検出欠陥の所在位置及び該欠陥の性
質を正確に特定し得る。

本発明の好ましい具体例を添イ」図面に法いて以下に説
明する。

第１図及び第２図は装置の全体構造を示す。

コンベヤ２によって搬送されるびん１は案内ホイール４
によって遊星歯車３に導入される。従ってコンベヤ２を
離れた各びんは遊星歯車の定直径部Ｏｘの正面のステー
ジ５ａに転送される。びんは外側ガイド５ｂによって遊
星歯車に当接維持され円形軌道に沿って移動する。この
移動中に連続する複数のステーションでびんに対して複
数の検査が行なわれる。特に感光スクリーン６の前方で
（Ｊびんの底面の半分より小さい部分だ（Ｊがステージ
５ａに載置しておりエミッタ手段７が与える光ビーム［
７の作用により本発明の目的たるびんの光学検査が行な
われる。送出ホイール８は収集データに従って遊星歯車
の出Ｉ］て良品、不良品を選別する。

これらの検査は特に光学検査ステーションでびんを停止
ざＵずに行なわれる。該ステーションでは遊星歯車３の
逆方向に回転する単数又は複数のベルト９によってびん
の回転が生起される。

処理はフライングスポット方式である。遊星歯車に対す
るびんの位置は一定に維持されており光学検査はびんの
軸線を通る鉛直面ＯＸ内でのみ行なわれるが、ビームを
装置の軸線からびＡ、に到達させるには各ステーション
に正対する鉛直スロット１０を遊星歯車に設けるだ（Ｊ
でよい。

３６以上に達し得る四部の個数、従って遊星歯車の形と
直径とは検査されるびんの寸法に依存しておりスクリー
ンとベルト９との相対位置も熱論びんの寸法に依存する
。

１回転３秒の速度では３６のポジションをもつ歯車は１
時間に４０，０００個以上の物体を検査し得る。

遊星歯車は好ましくはハブ１２に担持された下部プレー
トｌｌａと支柱１３によって該プレートと一体化された
クラウンｌｌｂとから成る筒１１の形状を何する。

図示の具体例では装置の台１５に載置された複列軸受１
４ａに担持されたハブ１２の下柱Ｉ４は駆動川内歯車１
６とネジリング１６ａとの係合によって固定されている
。

底面１ａの一部だけがステージ５ａに載置した各びん１
はエミッタ７の正面でベルト９によってＶ形マウントに
押圧される。該マウントは好ましくは回転し易いように
隣合う２つのマウントに共通の２つのはしご形ローラ１
７ａ、１７ｂから成る。

符号１８で概略的に示ずレーザから生じる狭い光ビーム
Ｌはエミッタ７の下部で回転鏡１９の面１９ａの各々に
よって順次反射される。回転鏡１９の軸は水平であり且
つビームＬの方向に垂直である。従って垂直な走査ビー
ムが生じる。

第３図は鉛直面内での走査ビームの状態を詳細に示す。

回転鏡１９は３６面を有しており従って実際には１８度
のオーダの有効走査角度が得られる。これは理論角度よ
りやや小さ、い。回輯鏡１９は６，０００回転７分であ
る。

従って光ビームは３．６００回／−秒の割合で上方に反
射されて図の平面に垂直な４つの平面鏡列２０に誘導さ
れる。平面鏡列２０は歯車から４０乃至８０ｃｍの距離
を隔てて階段状に順次配置されている。該平面鏡列は走
査光全体を順次遮断して３つの主照明場と１つの副照明
場とに分割する。

平面鏡２１は約１２度の角度を遮断し鉛直面に対して約
３５度傾斜して対応ビームを約＋７度の勾配で誘導する
。該ビームはびんの壁を２回通過し範囲２１ａ−２１ｂ
にわたってかなり背の高いびんについてちびん１の表面
をほぼ完全にカバーする。但し、びんの下部及びベルト
９によって掩蔽″されたゾーン９°はカバーされない。

平面ｉ２２はわずか１度の円弧に対応する極めて小さい
照明場を遮断し約４５度傾斜して対応光ビームを約−７
度の勾配で物体の下部に誘導する。従って該ビームは範
囲２２ａ−２２ｂにわたって下柱の下部の溝まで到達し
得る。その結果有効範囲ＩＩを完全にカバーする走査が
得られるが死角は残っている。

平面鏡２３はより高い位置即ち遊星歯車３より上方に配
置されており約５０度傾斜して約３度の照明場の光線を
一１６度の平均勾配で範囲１１の下から３分の１の高さ
の部分に誘導する。びんの中央部は範囲２３−２３ｂの
ビームによって検査される。即ち平面鏡２１のビームが
到達しないゾーン９″は平面鏡２３のビームによって透
視され得る。

最終平面鏡２４は４５度傾斜し副照明場２４ａ−２４ｂ
を生じる。この照明場は狭い円柱レンズ２５に到達し゛
範囲２５ａ−２５ｂの平行な走査ビームを生じる。この
ビームは１コ部のレベルのＣに約７度の開き角のビーム
を収束さ且るレンズ２７を通過し容器の口部１ｂの真上
の余角反射鏡によって下方に反射される。これによりス
テージ５ａに接していない底面１ａが全半径にわたって
照明され得る。

可動光ビームの照明下でスクリーン６前方のびんが１回
の完全自転を行なう間にびんの壁の各部分は少なくとも
１回は順次走査される。各垂直走査の開、始端で同期光
電ダイオード２８が平面鏡２１によって反射されたビー
ムの極く一部を遮断する。

またびんｌとびん１゛とのごとく寸法の違いが大きいび
んを同じ装置で検査することも可能である。

このためには余角反射鏡２６を２６′に移動させて容器
の口部の上方に誘導しレンズ２７を２７゛に移動させて
光線の収束ゾーンをＣ”まで下げ同時にペルトノ ９の位置も適応させるだけでよい。

４つの狭い平面鏡の列２０は回転鏡１９の上方でスリッ
トボックスの側面の１つに装着されておりよた第４図で
はエミッタ７のスリットボックス２９のスリット２９ａ
の上方に鎖線で示されている。該列２０とは別にスリッ
トボックスは５つの鏡を含む列３０を内蔵する。これら
の鏡３１乃至３５は先ビームの移動光路Ｔを含む第３図
の鉛直面Ｐを同じく第３図の連続鉛直軸線３１’乃至３
５°に従って屈折させる。

これらもまた狭い鏡であるが鉛直であり好ましくは油面
が４５童で配置される。鏡３１乃至３３はスリットボ、
ソクスの隅に配置され、鏡３４は逆に隅からずらして続
刊２０にビームｈ月旬かないように配置されており、鏡
３５はビームを鏡３２に反射するように配置されている
。従ってビームはスリットボックスの中心に配置された
鏡４０によって商じく第３図に示す遊星歯車の軸に一致
する軸Ｚに沿って反射される。

スリットボックス２９はケース３６によって支持されて
いる。該ケースは遊星歯車のハブの内部〜に侵入してお
り遊星歯車はベース３７によって装置の台１５に載置し
ており台１５はまたスリット３６ａの下方に回転鏡１９
のケース３９の取イ」柱３８を支持する。

鏡４０は軸Ｚに関して振動し得る。従ってビームは、検
査処理中のびん・の移動に応じて水平照明場４０ａ−４
０ｂを順次走査し得る。実際には振動鏡の戻り中の歯車
の０１１進を考慮して該照、明場はマウント間の角度差
よりやや小さい値に維持される。この角度差は２４ボジ
シゴンの歯車では理論的に１５度以内である。スクリー
ン６の幅はもち論この開程に対応する。振動鏡自体の回
転はこの角度の１７２になるであろう。

レンズ２５は鏡３４と３５との間で鏡２４から出たビー
ムの光路の１部分だけに載置されている。また、円柱レ
ンズ２７は鏡４０の下流に配置されでいるが水平状態で
平行面をもつストリップとじて作用する。

従って図示のごとく鏡４０による光路の鉛直方向シフト
は無視し得る程度であり円環レンズのごとき別の手段に
頼る必要がない。

鏡２６は軸２から極めて離間した位置に存在するので図
には示されていない。然しなから、これが固定平面鏡の
はあいはビームの両端と中央との間では軸までの距離の
差がかなり大きいこと及び光線を斜めに偏向させること
が理解されよう。

この欠点を是正するには、：鏡２６に代替して各びんに
随行するような一連の小さい固定鏡を遊星歯車に装着す
る。然しなから、より簡単にはびんの軸の軌道をより近
くから追跡するような固定凹面鏡を１つだけ使用する。

＄１Ｉ１２と厳密に一致する軸を有する回転鏡を使用す
る必要はなく、第３図の両端位置２６と２６°との中間
で測定した平均使用距離に対応する円錐状曲率又は円柱
状重重又は球状曲率を与えるだ（）でよい。

種々のレバーシステムは隣合うマウントの通過と関連し
て鏡４０の移動と初期位置への戻りとを生起し得る。移
動均等性と使用融通性との双方を得る最も有利な方法は
検査ザイクル毎に１回転するカムで制御する方法である
。このシステムについて以下に説明する。早戻り機構付
き水平追跡鏡の制御機構のアセンブリが第２図に示され
ておりその伝動機構が第５図により明確に示されている
。

鏡４０はボックス２９の内部で２つの軸受４１ａ間に装
着されたシャフト４１によって担持六れでいる。シフト
４１自体は自在継手４２を介して伝動軸４３に連結され
ており、伝動軸４３はボックス３６内で２つの軸受４３
ａの間に装着されている。シャフト４３は（第６図参照
）ローラ４５を備えたアーム４４を偵持しており、ロー
ラ４５はストップ４７のバネ４６によってカム４８に押
圧されており、カム４８は複列軸受４９ａ内で回転する
制御シャフト４９の末端に装着されている。

カム４８は周縁の大部分に均等勾配の上昇傾斜路４８ａ
を有しており該傾斜路はローラ４５を均等に押も戻して
鏡４０を遊星歯車３と同方向に（遊星歯車の１７２の速
度で）回転させる。傾斜路４８ａに対向する３５度乃至
４５度のカム円弧では鏡を早戻りさせ次に制動して初期
位置に戻す。従って該カムは遊星歯車３がマウントのピ
ッチに等しい角度だけ回転する度毎に遊星歯車３と同位
相でザイクル毎に１回転する。該カムの制御ストローク
は得られる観察角度に対応する。

このためにカム４８と遊星歯車３とは同じ案内シャフト
５０によって駆動される。該シャフトは伝動機構５２に
よって（図示しない）装置のエンジンに連結された被動
プーリ５１を担持している。該伝動機構はまたベルト９
のごとき種々の４＝Ｊ属デバイスを駆。

動する。該シャフトは遊星歯車３の駆動用内歯車１Ｇを
歯車列５３．５４によって伝動比４二１で駆動する。

また該シャフトはテンションデバイス５７を備えた鋸歯
ベルト５６によって被動プーリ５８に連結された駆動プ
ーリ５５を担持している。プーリ５８は制御シャフト４
９に装着されている。

カム４８とプーリ５８とはシャフト４９に締イ」けられ
た交換自在な単体ブロックアセンブリを形成する。

各々が異なるタイプの遊星歯車に適応する３種のブロッ
クが存在し得る。これらの３種のブロックではマウント
間の角度が夫々１０度、１２度、１５度になるように歯
車のｄ４の直径′が異っている。従って伝動比は逆に夫
々９．７．５．６になり、カムと遊星歯車との間の比は
最終的に夫々３６．３０．２４である。

対応するカムは同じ平均直径を有するが半径の差自体は
鏡戻り用不感時間を考慮して得られる追跡角度に実質的
に比例する。要するにいかなる場合にも、ローラ４５従
ってシャフト４３及び振動鏡４０に対してはマウント間
の離間角度の１７２よりやや小さい振幅の早戻りを伴う
追跡運動がサイクル毎に１回ずつ与えられる。

【図面の簡単な説明】

第１図は装置の概略平面図、第２図は機械的アセンブリ
の連続断面を示す立面図、第３図は光ビームの光路の概
略説明図、第４図は第２図のＩＶ−ＩＶ線に沿ったスリ
ットボックスの平面図、第５図は第２図のｖ−ｖ線に沿
った伝動機構の分解平面図、第６図は第２図のＶｌ−Ｖ
ｌ線による鏡の制御機構の詳細断面図である。 １・・・びん、２・・・コンベヤ、３・・・遊星歯車、
４・・案内ホイール、５ａ・・・ステージ、５ｂ・・・
ガイド、６・・・スクリーン、７・・・エミッタ、８・
送出ホイール、９・・・ベルト、−１０・・・スロット
、１８・・・レーザー、１９・・・−転鏡、２０・・・
続刊、２１，２２，２３．２４・・・平面鏡、２５・・
・円柱レンズ、２６・・・余角反射鏡、２９・・・スリ
ットボックス、４０・・・振動鏡。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　透明な又は半透明な中空物体の表面全体を光学
   検査するために物体を回転せしめる外部手段と組合せら
   れた連続移動形の搬送用遊星歯車と、レーザー光ビーム
   を発生させるエミッタと、光ビームによって透視的に照
   明される感光スクリーン形レシーバとを含んでおり、前
   記エミッタにより発生した光ビームは回転鏡に誘導され
   次に多重反射形スリットボックス内で分配続刊によって
   反射されて振動性光ビームを形成し前記振動性光ビー１
   ８が追跡手段を介して曲刃を移動中の自転物体を完全１
   回転にわたって追跡し連続する直径面に沿って走査する
   ように構成された光学検査装置であって、遊星歯車が固
   定ステージ゛ヨンで物体の側壁の中間部と接触して物体
   を回転せしめるベルトと組合せられていること、及び、
   追跡手段で反射された光線がエミッタの正面の壁の全ゾ
   ーンをベルトに妨害されずに透視的に検査し得べくスリ
   ットボックスが前記光線を種々の平均角度で集束させる
   ことを特徴とする光学検査装置。 （２）追跡手段が遊星歯車の前進と同期した早送り機構
   付の振動鏡であり、好ましくは遊星歯車の軸と振動鏡の
   軸とが一致することを特徴とする特許請求の範囲第１項
   に記載の光学検査装置。 （３）水平方向で合計約１６度の小さい走査開き角の内
   部で、分配続刊によって生成された２つ以上の要素照明
   場に対応する光路が実質的に有効範囲の下から３分の１
   の部分に集束して１５度以上のオーダの角度で物体上で
   重畳し約２度の余剰角度は余角反射鏡で反射されてから
   物体口部の処に存在する焦線に沿って光線を誘導し物体
   底部を照明ずべく機能することを特徴とする特許請求の
   範囲第１項又は第２項に記載の光学検査装置、。 （４）余色反射鏡が固定凹面鏡であり好ましくは追跡振
   動鏡と遊星歯車との軸の近傍の軸線を中心として配置さ
   れていることを１′、１徴とケる特許請求の範囲第２項
   又は第３項に記載の光学検査装置（５）反目・］鏡が円
   柱レンズを乙つ調整自在な集光レンズに組合已られてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第７１項に記載の光
   学検査装置。 （６）スリットボックスか光路に有効範囲の４倍を」−
   １回る最小路長を与える構造を有しており、分配続刊が
   回転鏡から実質的にＩＩ乃至２１１の距ｎＩＥてヒーム
   内に傾斜して階段状に配置されており、前記分配鏡は光
   線を一連の反Ｘ］・］鏡に誘導し該反射鏡は追跡鏡の−
   に流で約２１１の距肉［１にビームを反射するように構
   成さイ′１、ており、従って追跡鏡（ｊ物体から約ＩＩ
   の距離た（Ｊ離間していることを４！Ｉ徴と４“る老（
   己′１請求の範囲第２項乃至第５項のいずれかに記載の
   光学検音装置。 （７）水・１／、軸を６つ回転鏡か光ビームを」二カの
   分配続刊に反射すべく構成されており、前記線列はそれ
   自体の軸に平行な４つの分配平面鏡を含み月っ追跡鏡に
   先立つ一連の鉛直平面鏡の」１流に配置されていること
   を特徴とする特許請求の範囲第６項に記載の光学検査装
   置。 （８）追跡鏡のシャフトがカムによって制御されろこと
   を特徴とする特許請求の範囲第２項に記載の光学検査装
   置。 （９）検査ザイクル毎に１回転するカムが、周縁の大部
   分に均等勾配の上昇傾斜路を酊（７且っ対向円弧」二に
   下降傾斜路を何しており、１ｉｉｊ記上昇傾斜路は追跡
   鏡を遊星歯車の１／２の速度て遊星θり車と同方向に回
   転口しむべく機能しており、１１σ記下降傾斜路は追跡
   鏡を早戻すさせ次に制動して初期位置に１）４ずべく機
   能上ることを特徴とする特許請求の範囲第８項に記載の
   光学検査装置。 （１０）遊星歯車とカムとが同じ案内ノートフＩ・によ
   って駆動され前記カムは鋸歯ヘルドを介して駆動されで
   おり、前記カムの制御シャフトに装着された被動歯車が
   該カムと共に交換自在な単体ブロックアセンブリを形成
   しており、種々のブロックの・歯車のｌＩＩ￥の直径は
   遊星歯車のマウント間の角度に比例して変更されており
   、同じ平均直径の周囲の対応カムの半径の変化は、鏡の
   戻り中の不感時間を考慮して得られる追跡角度に実質的
   に比例していることを特徴とする特許請求の範囲第９項
   に記載の光学検査装置。 （１Ｘ）各物体は回転用ヘルドによって■形マウントに
   押圧されており前記マウントはＩＷ合う２つの７１クン
   ）・に共通の複列ロー、うから成ることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項乃至第１０項のい喝゛れかに記載の
   光学検査装置。