JPH037022Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は主としてEPMA，SEM，IMFなどの
表面分析装置の本体内に試料を導入するための試
料導入装置に関する。

(ロ) 従来技術 一般にEPMA，SEM，AES，XPS（ESCA），
ISS，SIMS，IMAなどの表面分析装置において
は、試料交換時においてその本体内を真空状態に
して気密性を保持する必要がある。このため分析
装置の本体に付属して試料導入装置が設けられて
いる。従来この種の試料導入装置には分析装置の
本体の前段に設けられた予備排気室と隔離バルブ
とを備え、さらに予備排気室には案内筒の一端部
を取り付け、この案内筒内に試料導入棒を嵌入
し、分析時には試料を予備排気室内に入れて試料
導入棒の一端に設けたクランプ手段でクランプ
し、次にで隔離バルブを開放して試料導入棒を案
内筒に沿つて分析装置の本体側に移動させること
により試料をこの本体内に導入するようにしたも
のがある。

ところで、従来の試料導入装置では、分析時や
予備排気室内を予備排気する際、試料導入棒を確
実にロツクしておく手段が何ら設けられていない
ので、誤動作により試料導入棒が分析装置の本体
側に引き込まれ、試料導入棒の先端に設けたクラ
ンプ手段が隔離バルブに衝突して互いが損傷する
という不具合がある。

(ハ) 目的 本考案は上述の問題点に鑑み、試料導入棒の引
き込みによる隔離バルブ等の損傷を確実に防止す
ることを目的とする。

(ニ) 構成 本考案はこの的を達成するため試料導入棒に取
付けたハンドルを試料導入棒を案内する案内筒に
ロツクする押す廻すの２動作を行なわないとロツ
ク解除が出来ないダブルロツク手段を設け誤動
作、不注意により試料導入棒が分析装置の本体側
に引き込まれないようにしたものである。

(ホ) 実施例 以下、本考案を実施例について図面に基づいて
詳細に説明する。

第１図はこの実施例の試料導入装置の平面図、
第２図は同縦断面図である。これらの図において
１は試料導入装置、２はEPMAなどの分析装置
の本体４の前段に設けられた予備排気室、６は予
備排気室２を上記本体４に対して開閉する隔離バ
ルブである。また８は予備排気室２を排気するた
めの排気管、１０は予備排気室２の上部に設けた
上蓋である。

予備排気室２には案内筒１２の一端部がフラン
ジ部材１４，１６を介して取付けられている。案
内筒１２には第３図および第４図に示すように、
その長手方向に沿いほぼ全長にわたつて後述のハ
ンドル３０を案内する案内スリツト１８が左右そ
れぞれ設けられている。して案内筒１２の予備排
気室２と反対側の端部１２ａには上記スリツト１
８位置から周方向に沿い一部を切除してハンドル
係止用切欠２０が形成されている。また、同じ端
部１２ａにはその上部にピン２２が固着され、さ
らに、内部に断面コの字状の内キヤツプ２４が嵌
着されている。

案内筒１２内には本体４内に試料を導入する試
料導入棒２６が嵌入されている。この試料導入棒
２６は、第５図に示すように、所定の長さを有す
る有底円筒状の筒体２６ａと、この筒体２６ａの
予備排気室２側の一端に取付けられた試料支持部
材２６ｂと、これとは反対側の一端の外側に嵌着
されたリング部材２６ｃとからなる。そして、リ
ング部材２６ｃの外径は案内筒１２の内径にはま
る大きさに形成されている。試料導入棒２６に
は、この試料導入棒２６の長手方向に直交してハ
ンドル３０が取付けられている。ハンドル３０
は、試料導入棒２６の筒体２６ａとリング部材２
６ｃとを貫通して案内管１２の外方に突出する軸
３０ａと、この軸３０ａの両端にそれぞれ設けら
れた把部３０ｂ，３０ｃとを備えてなる。

前記案内筒１２の端部１２ａにはロツクリング
３２が外嵌されている。このロツクリング３２は
第６図に示すように、全体がぼ有底円筒状をな
し、その周壁３２ａには開方端から軸方向に沿つ
て左右にそれぞれ切り込み３４が形成されてい
る。この切り込み３４の幅は案内筒１２の案内用
スリツト１８のそれとほぼ同じ大きさに形成され
ている。さらに、ロツクリング３２の周壁３２ａ
にはロツクリングの軸方向に沿う２つの縦溝３６
ａ，３６ｂと周方向に沿う横溝３６ｃとでコの字
状をなすピン係止穴３６が形成されており、前記
案内筒１２に取付けられたピン２２がこのピン係
止穴３６を通してロツクリング３２の外方に突出
している。これによりロツクリング３２の案内筒
１２からの抜け出しが防止されている。また、ピ
ン係止穴３６の横溝３６ｃの長さｌはは案内筒１
２に形成したハンドル係止用切穴２０の長さｌと
同じに形成されている。また、案内筒１２に嵌着
された内キヤツプ２４とロツクリング３２との間
には圧縮ばね３８が設けられ、ロツクリング３２
を常時予備排気室２とは反対側の方向に付勢して
いる。そして、上記案内筒１２に設けたハンドル
係止用切欠２０およびピン２２と、ロツクリング
３２と、スプリング３８とによつてハンドル３０
を案内筒１２にロツクするダブルロツク手段４０
が構成される。なお４２は試料をクランプするク
ランプ手段、４４は試料導入棒２６の本体４側へ
の移動を規制するストツパである。

次に、上記構成を有する試料導入装置１を用い
て試料を分析装置の本体４内に導入する場合の操
作について説明する。

第１図および第２図に示された状態においては
ピン２２がロツクリング３２のピン係止穴３６の
一方の縦溝３６ａ内に係入しており、かつ、圧縮
ばね３８はロツクリング３２の動きを規制してい
る。このときハンドル３０の軸３０ａは案内筒１
２のハンドル係止用切欠２０とロツクリング３２
の切り込み３４との両方に嵌入している。従つ
て、ハンドル３０はロツク手段４０により案内筒
１２に完全にロツクされている。このため試料導
入棒２６は回転したり本体４側へ移動したりする
ことがない。この態でまず、予備排気室２の上蓋
１０を開放して試料をクランプ手段４２によりク
ランプし、次いで上蓋１０を閉じて予備排気室２
内の空気を真空ポンプ（図示省略）により排気口
８から排気する。続いて、隔離バルブ６を開放す
る。そして、両手でハンドル３０を持ち、たとえ
ば親指でロツクリング３２を押せばロツクリング
３２は圧縮ばね３８に抗しつつ予備排気室２側へ
動くのでピン２２は結果的にピン係止穴３６の横
溝３６ｃの一方端に位置することになる。この状
態でハンドル３０を予備排気室２に向つて反時計
方向に回転すると、ハンドル３０の軸３０ａは案
内筒１２のハンドル係止用切欠２０に沿つて案内
用スリツト１８の位置まで移動し、同時にロツク
リング３２も同じく反時計方向に回転するので、
ピン２２も横溝３６ｃの他方端に位置することに
なる。次いでロツクリング３２から手を離せばロ
ツクリング３２は圧縮ばね３８により第１図上右
方に移動するので、その際ピン２２がピン係止穴
３６の他方の縦溝３６ｂ内に係入する（第３図参
照）。これによりハンドル３０のロツクが解除さ
れるのでハンドル３０を予備排気室２側へ押して
試料導入棒２６を第１図および第２図に二点鎖線
で示す位置まで移動させる。なお、その際ロツク
リング３２のハンドル係止穴３６の他方の横溝３
６ｂにはピン２２が係入しているのでロツク解除
の状態のままで保持されている。

試料の本体４内への導入が終わると、試料導入
棒２６を戻し、その軸３０ａをロツクリング３２
の切り込み３４内に係入する。そして上述の操作
と全く逆にロツクリング３２を押してハンドル３
０を時計方向に回すとハンドル３０はダブルロツ
ク手段４０により再び案内筒１２にロツクされる
ことになる。

(ヘ) 効果 以上のように本考案によれば案内筒１２の端部
に試料導入棒に取付けたハンドルをロツクするダ
ブルロツク手段を設けたので、誤動作、不注意等
により試料導入棒が分析装置の本体側に引き込ま
れるということがない。このため、隔離バルブや
試料のクランプ手段の損傷が有効に防止されると
いう実用上優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示すもので、第１図
は試料導入装置の全体を示す平面図、第２図は同
縦断面図、第３図はダブルロツク手段、ハンドル
および案内筒の一部を示す斜視図、第４図は案内
筒の一端部を示す斜視図、第５図は試料導入棒の
一端部とこれに取付けられたハンドルを示す斜視
図、第６図はロツクリングの斜視図である。 １……試料導入装置、２……予備排気室、４…
…分析装置の本体、１２……案内筒、１８……案
内用スリツト、２６……試料導入棒、３０……ハ
ンドル、４０……ダブルロツク手段。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 分析装置の本体の前段に設けられた予備排気室
   には案内筒の一端部が取付けられ、この案内筒内
   には前記本体内に試料を導入する試料導入棒が嵌
   入され、この試料導入棒には前記案内筒の外方に
   突出するハンドルが取付けられ、前記案内筒には
   その長手方向にこのハンドルを案内する案内用ス
   リツトが形成されるとともに、前記予備排気室と
   反対側の一端部は前記ハンドルをこの案内筒内に
   ダブルロツクするロツク手段が設けられ、このロ
   ツク手段は、案内筒に設けたハンドル係止用切欠
   およびピンと、ピン係止穴を設けたロツクリング
   と、スプリングより構成されていることを特徴と
   する試料導入装置。