JPH037022Y2 - - Google Patents
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- JPH037022Y2 JPH037022Y2 JP1983128725U JP12872583U JPH037022Y2 JP H037022 Y2 JPH037022 Y2 JP H037022Y2 JP 1983128725 U JP1983128725 U JP 1983128725U JP 12872583 U JP12872583 U JP 12872583U JP H037022 Y2 JPH037022 Y2 JP H037022Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide tube
- handle
- sample introduction
- main body
- locking
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- Expired
Links
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 3
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000005211 surface analysis Methods 0.000 description 2
- 102100025490 Slit homolog 1 protein Human genes 0.000 description 1
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- 210000004247 hand Anatomy 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
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- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案は主としてEPMA,SEM,IMFなどの
表面分析装置の本体内に試料を導入するための試
料導入装置に関する。
表面分析装置の本体内に試料を導入するための試
料導入装置に関する。
(ロ) 従来技術
一般にEPMA,SEM,AES,XPS(ESCA),
ISS,SIMS,IMAなどの表面分析装置において
は、試料交換時においてその本体内を真空状態に
して気密性を保持する必要がある。このため分析
装置の本体に付属して試料導入装置が設けられて
いる。従来この種の試料導入装置には分析装置の
本体の前段に設けられた予備排気室と隔離バルブ
とを備え、さらに予備排気室には案内筒の一端部
を取り付け、この案内筒内に試料導入棒を嵌入
し、分析時には試料を予備排気室内に入れて試料
導入棒の一端に設けたクランプ手段でクランプ
し、次にで隔離バルブを開放して試料導入棒を案
内筒に沿つて分析装置の本体側に移動させること
により試料をこの本体内に導入するようにしたも
のがある。
ISS,SIMS,IMAなどの表面分析装置において
は、試料交換時においてその本体内を真空状態に
して気密性を保持する必要がある。このため分析
装置の本体に付属して試料導入装置が設けられて
いる。従来この種の試料導入装置には分析装置の
本体の前段に設けられた予備排気室と隔離バルブ
とを備え、さらに予備排気室には案内筒の一端部
を取り付け、この案内筒内に試料導入棒を嵌入
し、分析時には試料を予備排気室内に入れて試料
導入棒の一端に設けたクランプ手段でクランプ
し、次にで隔離バルブを開放して試料導入棒を案
内筒に沿つて分析装置の本体側に移動させること
により試料をこの本体内に導入するようにしたも
のがある。
ところで、従来の試料導入装置では、分析時や
予備排気室内を予備排気する際、試料導入棒を確
実にロツクしておく手段が何ら設けられていない
ので、誤動作により試料導入棒が分析装置の本体
側に引き込まれ、試料導入棒の先端に設けたクラ
ンプ手段が隔離バルブに衝突して互いが損傷する
という不具合がある。
予備排気室内を予備排気する際、試料導入棒を確
実にロツクしておく手段が何ら設けられていない
ので、誤動作により試料導入棒が分析装置の本体
側に引き込まれ、試料導入棒の先端に設けたクラ
ンプ手段が隔離バルブに衝突して互いが損傷する
という不具合がある。
(ハ) 目的
本考案は上述の問題点に鑑み、試料導入棒の引
き込みによる隔離バルブ等の損傷を確実に防止す
ることを目的とする。
き込みによる隔離バルブ等の損傷を確実に防止す
ることを目的とする。
(ニ) 構成
本考案はこの的を達成するため試料導入棒に取
付けたハンドルを試料導入棒を案内する案内筒に
ロツクする押す廻すの2動作を行なわないとロツ
ク解除が出来ないダブルロツク手段を設け誤動
作、不注意により試料導入棒が分析装置の本体側
に引き込まれないようにしたものである。
付けたハンドルを試料導入棒を案内する案内筒に
ロツクする押す廻すの2動作を行なわないとロツ
ク解除が出来ないダブルロツク手段を設け誤動
作、不注意により試料導入棒が分析装置の本体側
に引き込まれないようにしたものである。
(ホ) 実施例
以下、本考案を実施例について図面に基づいて
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第1図はこの実施例の試料導入装置の平面図、
第2図は同縦断面図である。これらの図において
1は試料導入装置、2はEPMAなどの分析装置
の本体4の前段に設けられた予備排気室、6は予
備排気室2を上記本体4に対して開閉する隔離バ
ルブである。また8は予備排気室2を排気するた
めの排気管、10は予備排気室2の上部に設けた
上蓋である。
第2図は同縦断面図である。これらの図において
1は試料導入装置、2はEPMAなどの分析装置
の本体4の前段に設けられた予備排気室、6は予
備排気室2を上記本体4に対して開閉する隔離バ
ルブである。また8は予備排気室2を排気するた
めの排気管、10は予備排気室2の上部に設けた
上蓋である。
予備排気室2には案内筒12の一端部がフラン
ジ部材14,16を介して取付けられている。案
内筒12には第3図および第4図に示すように、
その長手方向に沿いほぼ全長にわたつて後述のハ
ンドル30を案内する案内スリツト18が左右そ
れぞれ設けられている。して案内筒12の予備排
気室2と反対側の端部12aには上記スリツト1
8位置から周方向に沿い一部を切除してハンドル
係止用切欠20が形成されている。また、同じ端
部12aにはその上部にピン22が固着され、さ
らに、内部に断面コの字状の内キヤツプ24が嵌
着されている。
ジ部材14,16を介して取付けられている。案
内筒12には第3図および第4図に示すように、
その長手方向に沿いほぼ全長にわたつて後述のハ
ンドル30を案内する案内スリツト18が左右そ
れぞれ設けられている。して案内筒12の予備排
気室2と反対側の端部12aには上記スリツト1
8位置から周方向に沿い一部を切除してハンドル
係止用切欠20が形成されている。また、同じ端
部12aにはその上部にピン22が固着され、さ
らに、内部に断面コの字状の内キヤツプ24が嵌
着されている。
案内筒12内には本体4内に試料を導入する試
料導入棒26が嵌入されている。この試料導入棒
26は、第5図に示すように、所定の長さを有す
る有底円筒状の筒体26aと、この筒体26aの
予備排気室2側の一端に取付けられた試料支持部
材26bと、これとは反対側の一端の外側に嵌着
されたリング部材26cとからなる。そして、リ
ング部材26cの外径は案内筒12の内径にはま
る大きさに形成されている。試料導入棒26に
は、この試料導入棒26の長手方向に直交してハ
ンドル30が取付けられている。ハンドル30
は、試料導入棒26の筒体26aとリング部材2
6cとを貫通して案内管12の外方に突出する軸
30aと、この軸30aの両端にそれぞれ設けら
れた把部30b,30cとを備えてなる。
料導入棒26が嵌入されている。この試料導入棒
26は、第5図に示すように、所定の長さを有す
る有底円筒状の筒体26aと、この筒体26aの
予備排気室2側の一端に取付けられた試料支持部
材26bと、これとは反対側の一端の外側に嵌着
されたリング部材26cとからなる。そして、リ
ング部材26cの外径は案内筒12の内径にはま
る大きさに形成されている。試料導入棒26に
は、この試料導入棒26の長手方向に直交してハ
ンドル30が取付けられている。ハンドル30
は、試料導入棒26の筒体26aとリング部材2
6cとを貫通して案内管12の外方に突出する軸
30aと、この軸30aの両端にそれぞれ設けら
れた把部30b,30cとを備えてなる。
前記案内筒12の端部12aにはロツクリング
32が外嵌されている。このロツクリング32は
第6図に示すように、全体がぼ有底円筒状をな
し、その周壁32aには開方端から軸方向に沿つ
て左右にそれぞれ切り込み34が形成されてい
る。この切り込み34の幅は案内筒12の案内用
スリツト18のそれとほぼ同じ大きさに形成され
ている。さらに、ロツクリング32の周壁32a
にはロツクリングの軸方向に沿う2つの縦溝36
a,36bと周方向に沿う横溝36cとでコの字
状をなすピン係止穴36が形成されており、前記
案内筒12に取付けられたピン22がこのピン係
止穴36を通してロツクリング32の外方に突出
している。これによりロツクリング32の案内筒
12からの抜け出しが防止されている。また、ピ
ン係止穴36の横溝36cの長さlはは案内筒1
2に形成したハンドル係止用切穴20の長さlと
同じに形成されている。また、案内筒12に嵌着
された内キヤツプ24とロツクリング32との間
には圧縮ばね38が設けられ、ロツクリング32
を常時予備排気室2とは反対側の方向に付勢して
いる。そして、上記案内筒12に設けたハンドル
係止用切欠20およびピン22と、ロツクリング
32と、スプリング38とによつてハンドル30
を案内筒12にロツクするダブルロツク手段40
が構成される。なお42は試料をクランプするク
ランプ手段、44は試料導入棒26の本体4側へ
の移動を規制するストツパである。
32が外嵌されている。このロツクリング32は
第6図に示すように、全体がぼ有底円筒状をな
し、その周壁32aには開方端から軸方向に沿つ
て左右にそれぞれ切り込み34が形成されてい
る。この切り込み34の幅は案内筒12の案内用
スリツト18のそれとほぼ同じ大きさに形成され
ている。さらに、ロツクリング32の周壁32a
にはロツクリングの軸方向に沿う2つの縦溝36
a,36bと周方向に沿う横溝36cとでコの字
状をなすピン係止穴36が形成されており、前記
案内筒12に取付けられたピン22がこのピン係
止穴36を通してロツクリング32の外方に突出
している。これによりロツクリング32の案内筒
12からの抜け出しが防止されている。また、ピ
ン係止穴36の横溝36cの長さlはは案内筒1
2に形成したハンドル係止用切穴20の長さlと
同じに形成されている。また、案内筒12に嵌着
された内キヤツプ24とロツクリング32との間
には圧縮ばね38が設けられ、ロツクリング32
を常時予備排気室2とは反対側の方向に付勢して
いる。そして、上記案内筒12に設けたハンドル
係止用切欠20およびピン22と、ロツクリング
32と、スプリング38とによつてハンドル30
を案内筒12にロツクするダブルロツク手段40
が構成される。なお42は試料をクランプするク
ランプ手段、44は試料導入棒26の本体4側へ
の移動を規制するストツパである。
次に、上記構成を有する試料導入装置1を用い
て試料を分析装置の本体4内に導入する場合の操
作について説明する。
て試料を分析装置の本体4内に導入する場合の操
作について説明する。
第1図および第2図に示された状態においては
ピン22がロツクリング32のピン係止穴36の
一方の縦溝36a内に係入しており、かつ、圧縮
ばね38はロツクリング32の動きを規制してい
る。このときハンドル30の軸30aは案内筒1
2のハンドル係止用切欠20とロツクリング32
の切り込み34との両方に嵌入している。従つ
て、ハンドル30はロツク手段40により案内筒
12に完全にロツクされている。このため試料導
入棒26は回転したり本体4側へ移動したりする
ことがない。この態でまず、予備排気室2の上蓋
10を開放して試料をクランプ手段42によりク
ランプし、次いで上蓋10を閉じて予備排気室2
内の空気を真空ポンプ(図示省略)により排気口
8から排気する。続いて、隔離バルブ6を開放す
る。そして、両手でハンドル30を持ち、たとえ
ば親指でロツクリング32を押せばロツクリング
32は圧縮ばね38に抗しつつ予備排気室2側へ
動くのでピン22は結果的にピン係止穴36の横
溝36cの一方端に位置することになる。この状
態でハンドル30を予備排気室2に向つて反時計
方向に回転すると、ハンドル30の軸30aは案
内筒12のハンドル係止用切欠20に沿つて案内
用スリツト18の位置まで移動し、同時にロツク
リング32も同じく反時計方向に回転するので、
ピン22も横溝36cの他方端に位置することに
なる。次いでロツクリング32から手を離せばロ
ツクリング32は圧縮ばね38により第1図上右
方に移動するので、その際ピン22がピン係止穴
36の他方の縦溝36b内に係入する(第3図参
照)。これによりハンドル30のロツクが解除さ
れるのでハンドル30を予備排気室2側へ押して
試料導入棒26を第1図および第2図に二点鎖線
で示す位置まで移動させる。なお、その際ロツク
リング32のハンドル係止穴36の他方の横溝3
6bにはピン22が係入しているのでロツク解除
の状態のままで保持されている。
ピン22がロツクリング32のピン係止穴36の
一方の縦溝36a内に係入しており、かつ、圧縮
ばね38はロツクリング32の動きを規制してい
る。このときハンドル30の軸30aは案内筒1
2のハンドル係止用切欠20とロツクリング32
の切り込み34との両方に嵌入している。従つ
て、ハンドル30はロツク手段40により案内筒
12に完全にロツクされている。このため試料導
入棒26は回転したり本体4側へ移動したりする
ことがない。この態でまず、予備排気室2の上蓋
10を開放して試料をクランプ手段42によりク
ランプし、次いで上蓋10を閉じて予備排気室2
内の空気を真空ポンプ(図示省略)により排気口
8から排気する。続いて、隔離バルブ6を開放す
る。そして、両手でハンドル30を持ち、たとえ
ば親指でロツクリング32を押せばロツクリング
32は圧縮ばね38に抗しつつ予備排気室2側へ
動くのでピン22は結果的にピン係止穴36の横
溝36cの一方端に位置することになる。この状
態でハンドル30を予備排気室2に向つて反時計
方向に回転すると、ハンドル30の軸30aは案
内筒12のハンドル係止用切欠20に沿つて案内
用スリツト18の位置まで移動し、同時にロツク
リング32も同じく反時計方向に回転するので、
ピン22も横溝36cの他方端に位置することに
なる。次いでロツクリング32から手を離せばロ
ツクリング32は圧縮ばね38により第1図上右
方に移動するので、その際ピン22がピン係止穴
36の他方の縦溝36b内に係入する(第3図参
照)。これによりハンドル30のロツクが解除さ
れるのでハンドル30を予備排気室2側へ押して
試料導入棒26を第1図および第2図に二点鎖線
で示す位置まで移動させる。なお、その際ロツク
リング32のハンドル係止穴36の他方の横溝3
6bにはピン22が係入しているのでロツク解除
の状態のままで保持されている。
試料の本体4内への導入が終わると、試料導入
棒26を戻し、その軸30aをロツクリング32
の切り込み34内に係入する。そして上述の操作
と全く逆にロツクリング32を押してハンドル3
0を時計方向に回すとハンドル30はダブルロツ
ク手段40により再び案内筒12にロツクされる
ことになる。
棒26を戻し、その軸30aをロツクリング32
の切り込み34内に係入する。そして上述の操作
と全く逆にロツクリング32を押してハンドル3
0を時計方向に回すとハンドル30はダブルロツ
ク手段40により再び案内筒12にロツクされる
ことになる。
(ヘ) 効果
以上のように本考案によれば案内筒12の端部
に試料導入棒に取付けたハンドルをロツクするダ
ブルロツク手段を設けたので、誤動作、不注意等
により試料導入棒が分析装置の本体側に引き込ま
れるということがない。このため、隔離バルブや
試料のクランプ手段の損傷が有効に防止されると
いう実用上優れた効果が得られる。
に試料導入棒に取付けたハンドルをロツクするダ
ブルロツク手段を設けたので、誤動作、不注意等
により試料導入棒が分析装置の本体側に引き込ま
れるということがない。このため、隔離バルブや
試料のクランプ手段の損傷が有効に防止されると
いう実用上優れた効果が得られる。
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図
は試料導入装置の全体を示す平面図、第2図は同
縦断面図、第3図はダブルロツク手段、ハンドル
および案内筒の一部を示す斜視図、第4図は案内
筒の一端部を示す斜視図、第5図は試料導入棒の
一端部とこれに取付けられたハンドルを示す斜視
図、第6図はロツクリングの斜視図である。 1……試料導入装置、2……予備排気室、4…
…分析装置の本体、12……案内筒、18……案
内用スリツト、26……試料導入棒、30……ハ
ンドル、40……ダブルロツク手段。
は試料導入装置の全体を示す平面図、第2図は同
縦断面図、第3図はダブルロツク手段、ハンドル
および案内筒の一部を示す斜視図、第4図は案内
筒の一端部を示す斜視図、第5図は試料導入棒の
一端部とこれに取付けられたハンドルを示す斜視
図、第6図はロツクリングの斜視図である。 1……試料導入装置、2……予備排気室、4…
…分析装置の本体、12……案内筒、18……案
内用スリツト、26……試料導入棒、30……ハ
ンドル、40……ダブルロツク手段。
Claims (1)
- 分析装置の本体の前段に設けられた予備排気室
には案内筒の一端部が取付けられ、この案内筒内
には前記本体内に試料を導入する試料導入棒が嵌
入され、この試料導入棒には前記案内筒の外方に
突出するハンドルが取付けられ、前記案内筒には
その長手方向にこのハンドルを案内する案内用ス
リツトが形成されるとともに、前記予備排気室と
反対側の一端部は前記ハンドルをこの案内筒内に
ダブルロツクするロツク手段が設けられ、このロ
ツク手段は、案内筒に設けたハンドル係止用切欠
およびピンと、ピン係止穴を設けたロツクリング
と、スプリングより構成されていることを特徴と
する試料導入装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12872583U JPS6037162U (ja) | 1983-08-20 | 1983-08-20 | 試料導入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12872583U JPS6037162U (ja) | 1983-08-20 | 1983-08-20 | 試料導入装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6037162U JPS6037162U (ja) | 1985-03-14 |
JPH037022Y2 true JPH037022Y2 (ja) | 1991-02-21 |
Family
ID=30291916
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12872583U Granted JPS6037162U (ja) | 1983-08-20 | 1983-08-20 | 試料導入装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6037162U (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3959468B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2007-08-15 | 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学 | 試料搬送システム |
JP6152335B2 (ja) * | 2013-11-26 | 2017-06-21 | 日本電子株式会社 | 試料導入装置および荷電粒子線装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5324246B2 (ja) * | 1973-07-20 | 1978-07-19 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS569234Y2 (ja) * | 1971-08-27 | 1981-02-28 | ||
JPS5744599Y2 (ja) * | 1976-08-09 | 1982-10-01 |
-
1983
- 1983-08-20 JP JP12872583U patent/JPS6037162U/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5324246B2 (ja) * | 1973-07-20 | 1978-07-19 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6037162U (ja) | 1985-03-14 |
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