JPH0368795A - 印刷回路用銅箔の製造方法 - Google Patents
印刷回路用銅箔の製造方法Info
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- JPH0368795A JPH0368795A JP20408989A JP20408989A JPH0368795A JP H0368795 A JPH0368795 A JP H0368795A JP 20408989 A JP20408989 A JP 20408989A JP 20408989 A JP20408989 A JP 20408989A JP H0368795 A JPH0368795 A JP H0368795A
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Landscapes
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- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、印刷回路基板に用いられる印刷回路用銅箔
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
プリント回路に用いられる配線基板ではファインパター
ン化及び高密度化が進められているが、その基板に用い
られる銅箔には、基板との剥離強度、耐ハンダ性、耐熱
性、耐薬品性等の基本的な特性に加えて、基板の接着剤
層への銅イオン移行の防止とともに表面処理状態を改善
すべき要求がある。ここで、接着剤層への銅イオン移行
は、エレクトロマイグレーション現象と呼ばれ、実装さ
れる回路が駆動された場合、そのパターン間に電圧によ
って正極になった銅箔の一部が銅イオン化して接着剤層
に溶は出し、負極の銅箔に樹枝状を成して析出する現象
であって、この現象がパターン間の絶縁抵抗を低下させ
る。
ン化及び高密度化が進められているが、その基板に用い
られる銅箔には、基板との剥離強度、耐ハンダ性、耐熱
性、耐薬品性等の基本的な特性に加えて、基板の接着剤
層への銅イオン移行の防止とともに表面処理状態を改善
すべき要求がある。ここで、接着剤層への銅イオン移行
は、エレクトロマイグレーション現象と呼ばれ、実装さ
れる回路が駆動された場合、そのパターン間に電圧によ
って正極になった銅箔の一部が銅イオン化して接着剤層
に溶は出し、負極の銅箔に樹枝状を成して析出する現象
であって、この現象がパターン間の絶縁抵抗を低下させ
る。
ところで、このような現象は、プリント回路のファイン
パターン化が進むにつれて、パターン間隔の狭小化でよ
り顕著になるので、その対策が望まれている。
パターン化が進むにつれて、パターン間隔の狭小化でよ
り顕著になるので、その対策が望まれている。
また、プリント回路では、絶縁基板としての合成樹脂基
板にfI箔を接着し、その上に実装すべき回路パターン
を印刷した後、エツチングにより選択的に不要部分を除
去して所望の回路パターンを成す&l1iI箔パターン
が形成される。そして、基板との接着力を向上させるた
めに、接着すべき銅箔には、その表面にエツチングによ
って粗面化処理を施しているが、銅箔のエツチング性能
の良否が、エレクトロマイグレーションと同様にファイ
ンパターン化、高密度化に大きく関わることが経験的に
知られている。
板にfI箔を接着し、その上に実装すべき回路パターン
を印刷した後、エツチングにより選択的に不要部分を除
去して所望の回路パターンを成す&l1iI箔パターン
が形成される。そして、基板との接着力を向上させるた
めに、接着すべき銅箔には、その表面にエツチングによ
って粗面化処理を施しているが、銅箔のエツチング性能
の良否が、エレクトロマイグレーションと同様にファイ
ンパターン化、高密度化に大きく関わることが経験的に
知られている。
そして、従来、プリント回路用銅箔では、その性能を向
上させるための種々の対策が施されてきた。その一つと
して、銅箔の表面に形成されるZuめっき皮膜は、銅イ
オン移行防止効果、耐熱性を向上させる上で有効である
が、耐酸性に乏しいという欠点がある。特に、−船釣に
用いられているCrめっき皮膜は、銅イオン移行防止効
果、耐熱性に乏しく、また、電析銅めっき皮膜は、銅イ
オン移行防止効果がない。さらに、Niめっき皮膜は、
析出層に不均一性があるとともに、表面性状にむらがあ
り、これがエツチング速度を遅くし、かつ、不均一にす
るという不都合があった。
上させるための種々の対策が施されてきた。その一つと
して、銅箔の表面に形成されるZuめっき皮膜は、銅イ
オン移行防止効果、耐熱性を向上させる上で有効である
が、耐酸性に乏しいという欠点がある。特に、−船釣に
用いられているCrめっき皮膜は、銅イオン移行防止効
果、耐熱性に乏しく、また、電析銅めっき皮膜は、銅イ
オン移行防止効果がない。さらに、Niめっき皮膜は、
析出層に不均一性があるとともに、表面性状にむらがあ
り、これがエツチング速度を遅くし、かつ、不均一にす
るという不都合があった。
そこで、この発明は、基板との接着強度、耐はんだ性、
耐熱性、耐薬品性、外観の均一性、エツチング性及び銅
イオン移行防止効果を改善した印刷回路用銅箔の製造方
法の提供を目的とする。
耐熱性、耐薬品性、外観の均一性、エツチング性及び銅
イオン移行防止効果を改善した印刷回路用銅箔の製造方
法の提供を目的とする。
(請求項1)
この発明の印刷回路用銅箔の製造方法は、銅箔をニッケ
ル塩、銅塩、グリシン、アンモニウム塩を含むメッキ液
に浸し、かつ、前記銅箔を陰極にして電解処理を行って
ニッケル銅黒色皮膜を形成することを特徴としている。
ル塩、銅塩、グリシン、アンモニウム塩を含むメッキ液
に浸し、かつ、前記銅箔を陰極にして電解処理を行って
ニッケル銅黒色皮膜を形成することを特徴としている。
(請求項2)
また、この発明の印刷回路用銅箔の製造方法は、前記銅
箔に、塩酸溶液中に浸して交流エツチング処理を施して
表面を粗面化したものを用いたことを特徴としている。
箔に、塩酸溶液中に浸して交流エツチング処理を施して
表面を粗面化したものを用いたことを特徴としている。
(請求項3)
また、この発明の印刷回路用銅箔の製造方法は、前記ニ
ッケル銅黒色皮膜が形成された前記fIMをクロメート
液に浸し、前記ニッケル銅黒色皮膜の上にクロメート皮
膜を形成することを特徴としている。
ッケル銅黒色皮膜が形成された前記fIMをクロメート
液に浸し、前記ニッケル銅黒色皮膜の上にクロメート皮
膜を形成することを特徴としている。
(請求項1)
Ni塩、Cu塩、グリシン、アンモニウム塩を含むめっ
き液を用いて銅箔に電解処理を行うと、そのめっき液中
のグリシン並びにアンモニウム塩が極めて重要な役割を
持つ。即ち、グリシンは弱酸から弱アルカリに跨がる広
範囲なpH9M域でCu並びにNiとキレート化合物を
生威し、安定化させると同時に、CuとNiの析出電位
を近づけ、合金析出の起こり得る状態にする。また、過
剰のグリシンはpHの緩衝作用を持ち、電解反応に伴う
電極界面のpHの変動を抑える機能を持つ。
き液を用いて銅箔に電解処理を行うと、そのめっき液中
のグリシン並びにアンモニウム塩が極めて重要な役割を
持つ。即ち、グリシンは弱酸から弱アルカリに跨がる広
範囲なpH9M域でCu並びにNiとキレート化合物を
生威し、安定化させると同時に、CuとNiの析出電位
を近づけ、合金析出の起こり得る状態にする。また、過
剰のグリシンはpHの緩衝作用を持ち、電解反応に伴う
電極界面のpHの変動を抑える機能を持つ。
さらに、アンモニウム塩は、黒色化を促進する上で必要
欠くべからざる添加剤であって、Ni−Cu合金皮膜を
微細粒状化し、その結果、二・ンケル銅黒色皮膜として
形成される。
欠くべからざる添加剤であって、Ni−Cu合金皮膜を
微細粒状化し、その結果、二・ンケル銅黒色皮膜として
形成される。
そして、この微細粒状化したNi−Cu合金皮膜、即ち
、ニッケル銅黒色皮膜は、表面積が莫大であり、有機材
料との化学的結合力を強大にし、接着強度を増大させる
ものである。一方、析出した黒色を或すNi−Cu合金
皮膜はX線解析の結果、非晶質状態を示し、これが銅イ
オンの接着剤への移行を防止する障壁となる。
、ニッケル銅黒色皮膜は、表面積が莫大であり、有機材
料との化学的結合力を強大にし、接着強度を増大させる
ものである。一方、析出した黒色を或すNi−Cu合金
皮膜はX線解析の結果、非晶質状態を示し、これが銅イ
オンの接着剤への移行を防止する障壁となる。
ところで、黒色皮膜処理では、Niイオン供給源として
、例えば、硫酸Niを10〜30g/i、Cuイオン供
給源としては例えば硫酸Cuを1〜L5g/l、グリシ
ンを5〜50g/f、アンモニウム塩としては例えば塩
化アンモニウムを10〜100g/lを含む水溶液にお
いて、pH3〜8、温度20’C〜50°Cで銅箔を陰
極電解処理する。陰極通電条件としては電流密度10〜
30mA/C11lの範囲で5〜120secii電し
、0.03〜0.3 a mの黒色皮膜を得ることが好
適である。さらに、黒色皮膜中のNiとCuの比率につ
いて子細に検討した結果、Ni/Cu原子比率が6/4
〜9/1の範囲において好適な接着力と回路パターンの
形成時、エツチング性が得られる。
、例えば、硫酸Niを10〜30g/i、Cuイオン供
給源としては例えば硫酸Cuを1〜L5g/l、グリシ
ンを5〜50g/f、アンモニウム塩としては例えば塩
化アンモニウムを10〜100g/lを含む水溶液にお
いて、pH3〜8、温度20’C〜50°Cで銅箔を陰
極電解処理する。陰極通電条件としては電流密度10〜
30mA/C11lの範囲で5〜120secii電し
、0.03〜0.3 a mの黒色皮膜を得ることが好
適である。さらに、黒色皮膜中のNiとCuの比率につ
いて子細に検討した結果、Ni/Cu原子比率が6/4
〜9/1の範囲において好適な接着力と回路パターンの
形成時、エツチング性が得られる。
(請求項2)
また、この発明の印刷回路用銅箔の製造方法において、
銅箔にニッケル銅黒色皮膜形成の前処理として交流(A
C)エツチング処理を施す、即ち、処理すべき銅箔とし
て例えば圧延銅箔を用いてその片面、若しくは両面を5
〜20%塩酸溶液中で交流電解処理を用いて表面を微細
に粗面化する。その場合、ACエツチング処理を施すこ
とにより、銅箔から圧延残油等の汚染が除去され、その
表面が均一に活性化される。このような処理は、銅箔の
表面の粗さ、活性度について子細に検討した結果、その
後の黒色処理の均一性、接着力の観点からRz=0.5
〜2゜6μmの粗化が極めて効果的である。
銅箔にニッケル銅黒色皮膜形成の前処理として交流(A
C)エツチング処理を施す、即ち、処理すべき銅箔とし
て例えば圧延銅箔を用いてその片面、若しくは両面を5
〜20%塩酸溶液中で交流電解処理を用いて表面を微細
に粗面化する。その場合、ACエツチング処理を施すこ
とにより、銅箔から圧延残油等の汚染が除去され、その
表面が均一に活性化される。このような処理は、銅箔の
表面の粗さ、活性度について子細に検討した結果、その
後の黒色処理の均一性、接着力の観点からRz=0.5
〜2゜6μmの粗化が極めて効果的である。
さらに、このエツチング処理の後、黒色皮膜処理を行っ
た場合には、その銅箔表面にシミ、むらが生じることが
なく、均一性に優れた表面性状が得られ、印刷回路を形
成するためのエツチング工程で現在発生しているエツチ
ング残りやエツチングの長時間化等のトラブルを回避し
、生産性の向上が図られる。
た場合には、その銅箔表面にシミ、むらが生じることが
なく、均一性に優れた表面性状が得られ、印刷回路を形
成するためのエツチング工程で現在発生しているエツチ
ング残りやエツチングの長時間化等のトラブルを回避し
、生産性の向上が図られる。
(請求項3)
そして、この発明の印刷回路用銅箔の製造方法において
、ニッケル銅黒色皮膜が形成された銅箔をクロメート液
に浸し、ニッケル銅黒色皮膜の上に防錆皮膜としてクロ
メート皮膜(Cr皮膜)を形成する。即ち、Cr皮膜は
ニッケル銅黒色皮膜が形成された銅箔に防錆性を付与す
るための保護膜であって、これは公知の6価クロムイオ
ンを含む水溶液、例えばNazCrz○、の濃度を0.
5〜10g/f、pHを4〜6に保持し、室温において
ニッケル銅黒色皮膜処理の後の銅箔を浸し、この銅箔に
通電するか成るいはこの浴に浸漬する方法で形成される
。
、ニッケル銅黒色皮膜が形成された銅箔をクロメート液
に浸し、ニッケル銅黒色皮膜の上に防錆皮膜としてクロ
メート皮膜(Cr皮膜)を形成する。即ち、Cr皮膜は
ニッケル銅黒色皮膜が形成された銅箔に防錆性を付与す
るための保護膜であって、これは公知の6価クロムイオ
ンを含む水溶液、例えばNazCrz○、の濃度を0.
5〜10g/f、pHを4〜6に保持し、室温において
ニッケル銅黒色皮膜処理の後の銅箔を浸し、この銅箔に
通電するか成るいはこの浴に浸漬する方法で形成される
。
以下、この発明の詳細な説明する。
(実施例1)
NiSO4・6L0 30g/ l pH4,0Cu
SOn ・5Hz0 4g/ f 温度30’Cグリ
シン 30g/ 1 電流密度2hA/cdNH
aC150g/ 1 電解時間30秒厚さ35μの圧
延銅箔をACエツチングした後、これを陰極として、上
記めっき浴を用いて電解処理を行い、さらに陰極電解に
よる防錆処理を行った。得られた黒色処理皮膜は、粉落
ちや色むらもなく、均一で緻密な外観を呈した。
SOn ・5Hz0 4g/ f 温度30’Cグリ
シン 30g/ 1 電流密度2hA/cdNH
aC150g/ 1 電解時間30秒厚さ35μの圧
延銅箔をACエツチングした後、これを陰極として、上
記めっき浴を用いて電解処理を行い、さらに陰極電解に
よる防錆処理を行った。得られた黒色処理皮膜は、粉落
ちや色むらもなく、均一で緻密な外観を呈した。
(実施例2)
NiSO,・6)!z0 10g//! pH4,0
CuSO4・5Hz0 1g/ l 温度30°Cグ
リシン 30g/ l 電流密度20a+A/c
ffl(NL)z SO450g/ 1 電解時間3
0秒実施例1と同様の工程で本めっき浴を行い、黒色処
理皮膜を形成した。得られた該黒色処理皮膜も粉落ちや
色むらもなく均一な外観を呈した。
CuSO4・5Hz0 1g/ l 温度30°Cグ
リシン 30g/ l 電流密度20a+A/c
ffl(NL)z SO450g/ 1 電解時間3
0秒実施例1と同様の工程で本めっき浴を行い、黒色処
理皮膜を形成した。得られた該黒色処理皮膜も粉落ちや
色むらもなく均一な外観を呈した。
次に、これらの実施例と比較例1(防錆処理のみ)、比
較例2(従来黒色処理)を下記の試験を行った。
較例2(従来黒色処理)を下記の試験を行った。
実験には、ポリイミドフィルム(商品名キャブトン)に
エポキシ系接着剤を塗布し、加勢圧着した銅貼りフィル
ムをICIIXIO(1mに切り出したものを供試材と
して、引っ張り試験器にてばくり強度を測定した。
エポキシ系接着剤を塗布し、加勢圧着した銅貼りフィル
ムをICIIXIO(1mに切り出したものを供試材と
して、引っ張り試験器にてばくり強度を測定した。
圭ユjSじ勺引犬級
実施例1、実施例2、比較例2の黒色処理銅箔を1c1
1×10c1mに切り出したものを供試材として、F
eclx 200g/f+Hc 1 3.5g
/j!(7)Iyチンダ液に浸漬し、黒色皮膜が溶けて
、−面が銅色になるまでの時間を測定した。
1×10c1mに切り出したものを供試材として、F
eclx 200g/f+Hc 1 3.5g
/j!(7)Iyチンダ液に浸漬し、黒色皮膜が溶けて
、−面が銅色になるまでの時間を測定した。
貝歪主l枝丘性藍駄
この試験では、第1図に示すように、実施例1.2と比
較例1.2の銅箔からそれぞれ幅Wを10閣、長さLを
3011II11、厚さdを30μmとした2枚の試験
銅箔片2A、2Bを切り出し、これら試験銅箔片2A、
2Bを両者間に間隔D=1mmを設定して2枚のガラス
板4A、4Bで挟み、その間隔りの間に蒸留水をスポイ
トでしみこませた試料を作威した。そして、第2図に示
すように、この試料における各試験銅箔片2A、2Bの
間に電流源6及び電流計8を直列に接続してIOVの定
電圧で電流を流し、電流計8で電流を監視しながら、試
験銅箔片2A、2Bの間が短絡するまでの時間を測定し
た。
較例1.2の銅箔からそれぞれ幅Wを10閣、長さLを
3011II11、厚さdを30μmとした2枚の試験
銅箔片2A、2Bを切り出し、これら試験銅箔片2A、
2Bを両者間に間隔D=1mmを設定して2枚のガラス
板4A、4Bで挟み、その間隔りの間に蒸留水をスポイ
トでしみこませた試料を作威した。そして、第2図に示
すように、この試料における各試験銅箔片2A、2Bの
間に電流源6及び電流計8を直列に接続してIOVの定
電圧で電流を流し、電流計8で電流を監視しながら、試
験銅箔片2A、2Bの間が短絡するまでの時間を測定し
た。
以上の各試験結果を第1表に示す。
第1表
第1表より明らかなように、剥離強度は従来黒処理箔と
同等の性能を有し、エツチング性については、従来黒処
理箔より4割程度時間が短縮され、生産性の向上が期待
される。
同等の性能を有し、エツチング性については、従来黒処
理箔より4割程度時間が短縮され、生産性の向上が期待
される。
また、銅イオン移行防止効果も顕著であり、プリント回
路基板の信頼性が一層高まることが確認された。
路基板の信頼性が一層高まることが確認された。
以上説明したように、この発明によれば、次のような効
果が得られる。
果が得られる。
(a) 基板との接着強度が大きく、銅イオン移行防
止性能、エツチング性を改善することができ、印刷回路
用m箔に求められている特性を満足し、工業的価値は非
常に大きい印刷回路用銅箔を生産することができる。
止性能、エツチング性を改善することができ、印刷回路
用m箔に求められている特性を満足し、工業的価値は非
常に大きい印刷回路用銅箔を生産することができる。
(ロ)また、銅箔にニッケル銅黒色皮膜形成の前処理と
して交流エツチング処理を施し、表面を微細に粗面化す
れば、銅箔から圧延残油等の汚染が除去され、その表面
を均一に活性化することができ、生産性の向上を図るこ
とができる。
して交流エツチング処理を施し、表面を微細に粗面化す
れば、銅箔から圧延残油等の汚染が除去され、その表面
を均一に活性化することができ、生産性の向上を図るこ
とができる。
(C) そして、ニッケル銅黒色皮膜の上に防錆皮膜
としてクロメート皮膜を形成すれば、防錆性が向上した
印刷回路用銅箔を生産することができる。
としてクロメート皮膜を形成すれば、防錆性が向上した
印刷回路用銅箔を生産することができる。
第1図は銅イオン移行性の試験に用いる試料を示す斜視
図、 第2図は第1図に示した試料を用いた銅イオン移行性試
験装置を示す概略図である。
図、 第2図は第1図に示した試料を用いた銅イオン移行性試
験装置を示す概略図である。
Claims (3)
- 1. 銅箔をニッケル塩、銅塩、グリシン、アンモニウ
ム塩を含むメッキ液に浸し、かつ、前記銅箔を陰極にし
て電解処理を行ってニッケル銅黒色皮膜を形成すること
を特徴とする印刷回路用鋼箔の製造方法。 - 2. 前記銅箔は、塩酸溶液中に浸して交流エッチング
処理を施して表面を粗面化したものを用いたことを特徴
とする請求項1記載の印刷回路用銅箔の製造方法。 - 3. 前記ニッケル銅黒色皮膜が形成された前記銅箔を
クロメート液に浸し、前記ニッケル銅黒色皮膜の上にク
ロメート皮膜を形成することを特徴とする請求項1記載
の印刷回路用銅箔の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20408989A JPH0368795A (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | 印刷回路用銅箔の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20408989A JPH0368795A (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | 印刷回路用銅箔の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0368795A true JPH0368795A (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=16484605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20408989A Pending JPH0368795A (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | 印刷回路用銅箔の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0368795A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1989
- 1989-08-07 JP JP20408989A patent/JPH0368795A/ja active Pending
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