JPH0368118B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明はICリードフレームなどの部分めつき
に用いるめつき用マスクの製造方法に関し、特に
加工精度の良い部分めつき用マスクの製造方法に
関する。

［従来の技術］ ICリードフレームでは、シリコンチツプを搭
載するタブと称する部分、およびワイヤボンデイ
ングを行うリードの先端部分にめつきを行つてい
る。めつき金属には金および銀が用いられるが、
これら金、銀の高騰に伴ない、めつき面積は増々
小さくなる傾向にある。従つてこれら部分めつき
を行なう際に使用されるマスクの形状も微細化、
複雑化しており、かつ高精密さを要求されるよう
になつて来た。

従来のマスク構造も、液のシール状としてゴム
を用いるものが多い。そして部分めつきエリアに
相当するマスクの開孔を形成するのに、金型によ
るモールド法を採用している。このモールド法は
開孔形状が微細、複雑になるに従い、金型も複雑
になり高価となるばかりではなく、モールド時の
ゴムの熱による収縮等により精密さも損われる結
果となつている。

また、ゴムのみでは形状が保たれないため、ガ
ラスエポキシ積層材などがマスクの基材として用
いられるが、この基材にもマスク開孔と同一形状
に予め穴あけ加工を施しておいたのち、ゴム層を
モールド法で接着するとう煩雑な加工手順をとら
ねばならない。このため加工日数を要するという
問題点もあつた。

［発明が解決しようとする問題点］ 本発明の目的は、前述した従来技術の欠点を解
消し、めつき液シールド性が良好で、マスク開孔
を簡単にかつ高精度に形成することのできる部分
めつき用マスクの製造方法を提供することにあ
る。

［問題点を解決するための手段］ 本発明は、剛体基材上に軟質ゴム層を一体に形
成してなると共にこれにめつきエリアに対応する
開孔を形成してなる部分めつき用マスクの製造方
法において、前記軟質ゴムとしてJISK6301によ
るゴム軟質が40度〜70度のものを用い、前記開孔
を前記剛体基材上に前記軟質ゴム層を一体に形成
した後一括して切削加工により形成することを特
徴とする部分めつき用マスクの製造方法を提供す
るものである。

ここで、前記軟質ゴム層が、前記剛体基材上に
順次形成されたJISK6301によるゴム硬度が60度
以上のゴム層と、JISK6301によるゴム硬度が60
度未満のゴム層とからなる（二層からなる）こと
が好ましい。

以下に本発明の部分めつき用マスクの製造方法
について更に詳細に説明する。

本発明の部分めつき用マスクの製造方法におい
ては、まず、第２図に示すように、基材層４の上
にゴム層３を一体に設ける。

基材層４は部分めつき用マスクとしての形状を
保つために必要であり、めつき液に対して化学的
に安定な剛体であればいかなる材質を用いてもよ
いが、ガラスエポキシ積層材（ガラスFRP板）
等を用いるのがよい。基材質４の厚みは任意のも
のを用いることができるが、部分めつき用マスク
としては薄い方がめつき電流密度を大きくとるこ
とができ、形状を保つためには薄すぎると実際的
でないので、約１mm厚みを用いる。

基材層４上に設層されるゴム層３は硬度を
JISK6301で測定して40度〜70度の軟質ゴムを用
いる。特に50度〜70度の軟質ゴムを用いることが
好ましい。すなわち、硬度70度を越えると部分め
つき用マスクとしてのめつき液シール性が悪くな
る。硬度40度未満であると、開孔２を形成する際
の切削加工性が悪くなる。

第４図は第２図の開孔断面形状を一部拡大して
示したものであり、特にゴム部分の切削加工時の
逃げ寸法δを誇張して示してある。このゴムの逃
げ寸法δはゴム硬度との関連性が強く、これらの
関係はゴム層の厚さが１mmの場合第５図の斜線で
示す範囲であつた。すなわちゴム硬度50度以上で
逃げ寸法は臨界的に小さくなり、切削加工により
マスク開孔２の形成を行うのに十分な加工精度が
得られることがわかつた。マスクの開孔２が長方
形等の単純な形状であり、かつ形状精度をそれ程
必要としない場合などでは、ゴム硬度40度以上の
軟質ゴムを使用することができる。

ゴム層の厚みは、めつき液シール性とめつき電
流密度から約１mm厚みとすることが良い。

さらに、第３図に示すように、加工精度の高い
硬度60度以上のゴム層３″の上にめつき液シール
性の良い硬度60度未満のゴム層３′を一体に形成
し、ゴム層２層により形成した部分めつき用マス
クは、めつきエリアに対応するマスクの開孔２を
切削加工により精度良く形成できる機械加工性
と、被めつき物が当接される側に充分なめつき液
シール性を有するので、加工精度およびめつき液
シール性の面でより優れた部分めつき用マスクが
得られる。

ゴム材質は、上記の条件を満足するものであれ
ば良く、合成ゴム、天然ゴム等を用いることがで
きる。基材層とゴム層の接着はめついエリアに対
応するマスクの開孔を切削加工により行う場合重
要であり、接着が悪いと切削加工時ゴムの剥れを
生じる。このためゴム材質は自己接着性のあるシ
リコンゴムを用い、金型を用いたモールド法によ
り基材層上に一体に形成する。また公知の適切な
接着剤で接着してもよい。

次に、めつきエリアに対応するマスクの開孔２
を、NCフライス盤等を用いて切削加工により形
成する。この場合、当然のことながら、ゴム層と
基材層を一括して切削加工を行う。

［実施例］ 実施例 １ １mm厚さのガラスFRP板を基材として、金型
を用いたモールド法により１mm厚さの単一のゴム
層を基材上に形成した。ゴムは自己接着性のシリ
コンゴムを用いた。JISK6301の硬度は50度であ
つた。

モールドにより製作したガラスFRP板と、ゴ
ム層により成るマスク材をNCフライス盤で切削
加工し、第１図に示す部分めつき用マスクを作製
した。切削加工時のゴム層の逃げ寸法は約0.12mm
であり、高精度加工が可能であつた。この部分め
つき用マスクを使用して金めつきを行つたところ
めつき液シール性が良好でかつ高精度な金部分め
つきを行うことができた。

実施例 ２ １mm厚さのガラスFRP板を基材として金型を
用いたモールド法により、JISK6301硬度70度の
ゴム層（厚さ0.7mm）を基材層上に形成し、さら
にその上に硬度40度のゴム層（厚さ0.2mm）を一
体に形成した。ゴムはシリコンゴムを用いた。

実施例１と同様に切削加工し、部分めつき用マ
スクを作製した。切削加工時のゴム層の逃げ寸法
は約0.1mmであり、高精度加工が可能であつた。
この部分めつき用マスクを使用して金めつきを行
つたところ良好な金部分めつきを行うことができ
た。

［発明の効果］ 本発明は、基材層上にこの基材と共に切削可能
な特定の硬度を有するゴム層を一体に形成し、メ
ツキエリアに対応するマスクの開孔を、前記両層
を一括に切削加工することにより形成する、部分
めつき用マスクの製造方法であり、このようにし
て得られた部分めつき用マスクはめつき液シール
性が良好であり、しかも、本発明の方法によれ
ば、めつきエリアに対応するマスクの開孔を切削
加工により高精度に形成することができるので、
複雑なモールド金型が不要であり、安価で高精度
な部分めつき用マスクが容易に得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明に係る部分めつき用マスクの
部分平面図である。第２図は、本発明に係る部分
めつき用マスクの一実施例の開孔部の断面図であ
る。第３図は、本発明に係る部分めつき用マスク
の他の実施例の開孔部の断面図である。第４図は
第２図の開孔部の一部拡大断面図である。第５図
はゴム硬度と切削時のゴム逃げ寸法の関係を示す
グラフである。 １：マスク面、２：開孔、３，３′，３″：ゴム
層、４：基材層、５：パイロツトホール、δ：切
削加工時のゴム逃げ寸法。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 剛体基材上に軟質ゴム層を一体に形成してな
   ると共にこれにめつきエリアに対応する開孔を形
   成してなる部分めつき用マスクの製造方法におい
   て、前記軟質ゴムとしてJISK6301によるゴム硬
   度が40度〜70度のものを用い、前記開孔を前記剛
   体基材上に前記軟質ゴム層を一体に形成した後一
   括して切削加工により形成することを特徴とする
   部分めつき用マスクの製造方法。 ２ 前記軟質ゴム層が、前記剛体基材上に順次形
   成されたJISK6301によるゴム硬度が60度以上の
   ゴム層と、JISK6301によるゴム硬度が60度未満
   のゴム層とからなることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の部分めつき用マスクの製造方
   法。