JPS6239034A - 半導体チツプキヤリアの製造方法 - Google Patents
半導体チツプキヤリアの製造方法Info
- Publication number
- JPS6239034A JPS6239034A JP17882885A JP17882885A JPS6239034A JP S6239034 A JPS6239034 A JP S6239034A JP 17882885 A JP17882885 A JP 17882885A JP 17882885 A JP17882885 A JP 17882885A JP S6239034 A JPS6239034 A JP S6239034A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wiring board
- resin sealing
- printed wiring
- semiconductor chip
- double
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[技術分野]
本発明はピングリント7レイ(PGΔ)とかリードレス
チップキャリア(LCC)等の半導体チップキャリアの
製造方法に関する。
チップキャリア(LCC)等の半導体チップキャリアの
製造方法に関する。
[背景技術]
従来より、プリント配線板をチップキャリアとして半導
体チップが直接実装されているが、この半導体チップを
プリント配線板に実装する場合に、外部環境の影響から
半導体チップを保護したり、電気的接続のためのワイヤ
ボンディングを保護するためにプリント配線板の表面に
おいて半導体チップをm1lf封止することがなされて
いる。この場合、封止用樹脂が硬化するまでの間に流れ
て半導体チップの位置部が露出してしまうことがあり、
品質にぽらつトが生じるという問題があった。
体チップが直接実装されているが、この半導体チップを
プリント配線板に実装する場合に、外部環境の影響から
半導体チップを保護したり、電気的接続のためのワイヤ
ボンディングを保護するためにプリント配線板の表面に
おいて半導体チップをm1lf封止することがなされて
いる。この場合、封止用樹脂が硬化するまでの間に流れ
て半導体チップの位置部が露出してしまうことがあり、
品質にぽらつトが生じるという問題があった。
このため、半導体チップキャリア A ’ としてはw
54図に示すようにプリント配線板6の表面の実装用四
部11に位置合わせして貫通孔17を設けた枠用材1を
貫通孔18を設けたプリプレグ19を介在させて配置し
、一体成形して製造されており、貫通孔17.18によ
り形成した枠部に封止用樹脂を充填させることにより、
半導体チップのlit封止を行っているが、枠用材1と
プリプレグ19とプリント配線板6との位置決めが困難
であり、しかも成形時にプリプレグ19の樹脂が70−
してプリント配線板6の実装用四部11を被覆して1.
虫うといら問題があった。
54図に示すようにプリント配線板6の表面の実装用四
部11に位置合わせして貫通孔17を設けた枠用材1を
貫通孔18を設けたプリプレグ19を介在させて配置し
、一体成形して製造されており、貫通孔17.18によ
り形成した枠部に封止用樹脂を充填させることにより、
半導体チップのlit封止を行っているが、枠用材1と
プリプレグ19とプリント配線板6との位置決めが困難
であり、しかも成形時にプリプレグ19の樹脂が70−
してプリント配線板6の実装用四部11を被覆して1.
虫うといら問題があった。
[発明の目的1
本発明は上記事情に鑑みて為されたものであり、その目
的とするところは、樹脂封止用枠材とプリント配線板と
の位置決めを精度高く且つ簡単にでき、1.かもプリン
ト配線板の実装位置を樹脂により被覆してしまうことも
ない半導体チップなりリアを製造することにあるゆ [発明の開示] 本発明の半導体チップキャリアのsl!遣方法は、枠用
材1に両面接着テープ2の片面を貼着し、次いでこの一
体化物3に!M脂封止用貫通孔4を穿孔して樹脂封止用
枠材5を形成し、この後この樹脂封止用枠材5を半導体
チップ実装用のプリント配線板6の表面に位置合わせし
て配置し、両面接着テープ2の他面をプリント配線板6
に貼着して樹脂封止用枠材5とプリント配線板6を一体
化させる。:とを特徴とするものであり1.二のfI!
4或により上記目的を達成できたものである。即ち、樹
脂封止用枠材5を半導体チップ災装用のプリント配線板
6の表面に位置合わせして配置1−1両面接着テープ2
の他面をプリント配線板6に貼着して樹脂封止用枠材5
とプリント配線板6を一体化させるので、樹脂封止用貫
通孔4とプリント配線板6の半導体チップ実装位置との
位置合わせが簡単且つ正確にでき、しかも樹脂封止用枠
材5とプリント配線板6とを一体化させるのに両面接着
テープ2を使用するので、一体化させるに際してほとん
ど樹脂流れがなく、従来のようにプリプレグの樹脂が流
れて、プリント配線板6の実装位置を被覆してしまうこ
とがないものである。
的とするところは、樹脂封止用枠材とプリント配線板と
の位置決めを精度高く且つ簡単にでき、1.かもプリン
ト配線板の実装位置を樹脂により被覆してしまうことも
ない半導体チップなりリアを製造することにあるゆ [発明の開示] 本発明の半導体チップキャリアのsl!遣方法は、枠用
材1に両面接着テープ2の片面を貼着し、次いでこの一
体化物3に!M脂封止用貫通孔4を穿孔して樹脂封止用
枠材5を形成し、この後この樹脂封止用枠材5を半導体
チップ実装用のプリント配線板6の表面に位置合わせし
て配置し、両面接着テープ2の他面をプリント配線板6
に貼着して樹脂封止用枠材5とプリント配線板6を一体
化させる。:とを特徴とするものであり1.二のfI!
4或により上記目的を達成できたものである。即ち、樹
脂封止用枠材5を半導体チップ災装用のプリント配線板
6の表面に位置合わせして配置1−1両面接着テープ2
の他面をプリント配線板6に貼着して樹脂封止用枠材5
とプリント配線板6を一体化させるので、樹脂封止用貫
通孔4とプリント配線板6の半導体チップ実装位置との
位置合わせが簡単且つ正確にでき、しかも樹脂封止用枠
材5とプリント配線板6とを一体化させるのに両面接着
テープ2を使用するので、一体化させるに際してほとん
ど樹脂流れがなく、従来のようにプリプレグの樹脂が流
れて、プリント配線板6の実装位置を被覆してしまうこ
とがないものである。
以下、本発明を添付の図面を参照して詳細に説明する。
本発明における枠用材1としてはプラスエポキシ基板、
ガラスポリイミド基板、金属板等を採用できる。この枠
用材1に両面接着テープ2の片面を貼着して一体化させ
る(1図(a))。次いで、この一体化物3の所定位置
にブレ又などに上り樹脂封止用貫通孔4を穿孔して樹脂
封止用枠材5を形成する(1図(b))、この場合、樹
脂封止用枠材5に端子ビン保持孔7も同時に形成1−て
おく。
ガラスポリイミド基板、金属板等を採用できる。この枠
用材1に両面接着テープ2の片面を貼着して一体化させ
る(1図(a))。次いで、この一体化物3の所定位置
にブレ又などに上り樹脂封止用貫通孔4を穿孔して樹脂
封止用枠材5を形成する(1図(b))、この場合、樹
脂封止用枠材5に端子ビン保持孔7も同時に形成1−て
おく。
尚、貫通孔4の穿孔に際して両面接着テープ2の他面側
に金属箔、樹脂フィルム等の離型性の保護シートを添わ
せておくことにより、両面接着テープ2の4!着剤が金
型に付着して打ち抜き性が悪くなるのを防止できる。半
導体チップ実装用のプリント配線板6は、両面金属箔張
り積層板8の金属箔にエツチングなどの常法の手段を施
゛トことにより回路パターン9を設けて形成したもので
あり、このプリント配線板6の表面にはミーリング加工
などlfi械的切削加工によって半導体チップ10の実
装用凹部11を設けている7この実装用凹部11は樹脂
封止用枠材の樹脂封止用貫通孔4と対応する位置に形成
しており、実装用四部11の開口面積は貫通孔4の開口
面積よりも小さくしている。
に金属箔、樹脂フィルム等の離型性の保護シートを添わ
せておくことにより、両面接着テープ2の4!着剤が金
型に付着して打ち抜き性が悪くなるのを防止できる。半
導体チップ実装用のプリント配線板6は、両面金属箔張
り積層板8の金属箔にエツチングなどの常法の手段を施
゛トことにより回路パターン9を設けて形成したもので
あり、このプリント配線板6の表面にはミーリング加工
などlfi械的切削加工によって半導体チップ10の実
装用凹部11を設けている7この実装用凹部11は樹脂
封止用枠材の樹脂封止用貫通孔4と対応する位置に形成
しており、実装用四部11の開口面積は貫通孔4の開口
面積よりも小さくしている。
この半導体チップ実装用のプリント配線板6の表面に、
樹脂封止用枠材5を貫通孔4と実装用四部11とが対応
するように位置合わせして配置しく1図(C))、両面
接着テープ2の他面をプリント配線板6に貼着して樹脂
封止用枠材5とプリント配線板6を一体化させる。この
場合、両面接着テープ2によQ樹脂封止用枠材5とプリ
ント配#iI板6とを一体化させるので、常温で行うこ
とができ、樹脂流j1、がなく、樹脂によりプリント配
線板6の実装用四部11を被覆してしまうことなどない
ものである。1.かむ良好な接着力が得られる。例えば
、両面接着テープ2としてT−4100(品番、ソニー
ケミカル(株)91)を採用した場合にあっては、温度
260℃で1分以上、温度85℃、湿度85%で100
0時間以上@離しなかった、この後、樹脂封止用枠材5
の端子ビン保持孔7にスルホールめっき15を施してプ
リント配線板6の回路パターン9と導通接続させて半導
体チップキャリアを形成する(1図(d))、このよう
にして形成した半導体チップキャリアAには、PJS2
図に示すように実装用凹部11にダイスボンディング1
2して半導体チップ10を搭載し、ワイヤ13ボンデイ
ングにより回路パターン2と電気的に接続し、エポキシ
樹脂などの封止泪樹脂16を樹脂封止用貫通孔4に充填
して樹脂封止して絶縁処理を施してパッケージとしての
実装を完了して実用に供する。尚、第3図に示すように
端子ビン保持孔7に端子ビン14を保持させることによ
りビングリッドアレイとして、又端子ビン保持孔7を端
子ビン14の接続孔として機能させることによりリード
レ入チップキャリアとして使用で慇るものである。
樹脂封止用枠材5を貫通孔4と実装用四部11とが対応
するように位置合わせして配置しく1図(C))、両面
接着テープ2の他面をプリント配線板6に貼着して樹脂
封止用枠材5とプリント配線板6を一体化させる。この
場合、両面接着テープ2によQ樹脂封止用枠材5とプリ
ント配#iI板6とを一体化させるので、常温で行うこ
とができ、樹脂流j1、がなく、樹脂によりプリント配
線板6の実装用四部11を被覆してしまうことなどない
ものである。1.かむ良好な接着力が得られる。例えば
、両面接着テープ2としてT−4100(品番、ソニー
ケミカル(株)91)を採用した場合にあっては、温度
260℃で1分以上、温度85℃、湿度85%で100
0時間以上@離しなかった、この後、樹脂封止用枠材5
の端子ビン保持孔7にスルホールめっき15を施してプ
リント配線板6の回路パターン9と導通接続させて半導
体チップキャリアを形成する(1図(d))、このよう
にして形成した半導体チップキャリアAには、PJS2
図に示すように実装用凹部11にダイスボンディング1
2して半導体チップ10を搭載し、ワイヤ13ボンデイ
ングにより回路パターン2と電気的に接続し、エポキシ
樹脂などの封止泪樹脂16を樹脂封止用貫通孔4に充填
して樹脂封止して絶縁処理を施してパッケージとしての
実装を完了して実用に供する。尚、第3図に示すように
端子ビン保持孔7に端子ビン14を保持させることによ
りビングリッドアレイとして、又端子ビン保持孔7を端
子ビン14の接続孔として機能させることによりリード
レ入チップキャリアとして使用で慇るものである。
[発明の効果1
本発明にあっては、樹脂封止用枠材を半導体チップ実装
用のプリント配線板の表面に位置合わせして配置し、両
面接着テープの他面をプリント配線板に貼着して樹脂封
止用枠材とプリント配線板を一体化させるので、It脂
封土用貫通化とプリント配置@の半導体チップ実装位置
との位置合わせが簡単且つ正確にでき、しかも樹IIW
封止用枠材とプリント配線板とを一体化させるのに両面
接着テープを使用゛(るので、一体化させるに際してほ
とんど樹脂流れがなく、従来のようにプリプレグの樹脂
が流れて、プリント配線板の実装位置を被覆してしまう
ことがないものである。
用のプリント配線板の表面に位置合わせして配置し、両
面接着テープの他面をプリント配線板に貼着して樹脂封
止用枠材とプリント配線板を一体化させるので、It脂
封土用貫通化とプリント配置@の半導体チップ実装位置
との位置合わせが簡単且つ正確にでき、しかも樹IIW
封止用枠材とプリント配線板とを一体化させるのに両面
接着テープを使用゛(るので、一体化させるに際してほ
とんど樹脂流れがなく、従来のようにプリプレグの樹脂
が流れて、プリント配線板の実装位置を被覆してしまう
ことがないものである。
第1図(a)(b)(c)(d)は本発明の一実施例の
工程図を示す断面図、第2図は同上への半導体チップの
実装を示す断面図、第3図は同上のビングリッドアレイ
としての使用を示す断面図、第4図は従来例を示す分解
断面図であって、Aは半導体チップキャリア、1は枠用
拐、2は両面接着テープ、3は一体化物、4は樹m封止
用貫通孔、5は樹脂封止用枠材、6はプリント配線板で
ある。 代理人 弁理士 石 1)長 七 第1 図 第2図 第3図 第4図 A’ b
工程図を示す断面図、第2図は同上への半導体チップの
実装を示す断面図、第3図は同上のビングリッドアレイ
としての使用を示す断面図、第4図は従来例を示す分解
断面図であって、Aは半導体チップキャリア、1は枠用
拐、2は両面接着テープ、3は一体化物、4は樹m封止
用貫通孔、5は樹脂封止用枠材、6はプリント配線板で
ある。 代理人 弁理士 石 1)長 七 第1 図 第2図 第3図 第4図 A’ b
Claims (1)
- (1)枠用材に両面接着テープの片面を貼着し、次いで
この一体化物に樹脂封止用貫通孔を穿孔して樹脂封止用
枠材を形成し、この後この樹脂封止用枠材を半導体チッ
プ実装用のプリント配線板の表面に位置合わせして配置
し、両面接着テープの他面をプリント配線板に貼着して
樹脂封止用枠材とプリント配線板を一体化させることを
特徴とする半導体チップキャリアの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17882885A JPS6239034A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 半導体チツプキヤリアの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17882885A JPS6239034A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 半導体チツプキヤリアの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6239034A true JPS6239034A (ja) | 1987-02-20 |
Family
ID=16055373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17882885A Pending JPS6239034A (ja) | 1985-08-14 | 1985-08-14 | 半導体チツプキヤリアの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6239034A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01125554U (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-28 |
-
1985
- 1985-08-14 JP JP17882885A patent/JPS6239034A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01125554U (ja) * | 1988-02-18 | 1989-08-28 |
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