JPH0365642A - 感湿素子のクリーニング方法 - Google Patents
感湿素子のクリーニング方法Info
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- JPH0365642A JPH0365642A JP1201307A JP20130789A JPH0365642A JP H0365642 A JPH0365642 A JP H0365642A JP 1201307 A JP1201307 A JP 1201307A JP 20130789 A JP20130789 A JP 20130789A JP H0365642 A JPH0365642 A JP H0365642A
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- Japan
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- moisture
- sensing element
- sensitive element
- humidity
- cleaning
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Links
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910007565 Zn—Cu Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、電子レンジの内等、高温（６０〜１００℃）
での湿度測定に用いられる酸化物焼結体の感湿素子のク
リーニング方法に関するものである。
での湿度測定に用いられる酸化物焼結体の感湿素子のク
リーニング方法に関するものである。
［従来の技術］
近年、電子レンジに設けた自動調理用の湿度センサ等の
常に高温（６０〜１００℃）での湿度検出を要求される
湿度センサの需要が高まっている。
常に高温（６０〜１００℃）での湿度検出を要求される
湿度センサの需要が高まっている。
この種の湿度センサとしては、酸化物焼結体の感湿素子
を有する湿度センサが数種提案されている。
を有する湿度センサが数種提案されている。
しかし、これらの酸化物焼結体の感湿素子は経時変化が
あるという欠点を有する。
あるという欠点を有する。
この経時変化は、高温状態での水分子が感湿素子に不可
逆な化学吸着反応により吸着したことによるものである
。
逆な化学吸着反応により吸着したことによるものである
。
この原因を除去するためには、感湿素子に吸着した水分
子を４００℃以上で・取除くという、所謂、クリーニン
グ処理をしてやれば良い。
子を４００℃以上で・取除くという、所謂、クリーニン
グ処理をしてやれば良い。
クリーニング処理後、高温でも経時変化の殆どない湿度
センサが得られる。
センサが得られる。
従来、この酸化物焼結体の感湿素子のクリーニング法は
、第６図Ｃａ）及び（ｂ）に示すように、測定用電極２
を設けた板状の酸化物焼結体３よりなる感湿素子１の周
りに巻線状ヒータ５を設置し、この巻線状ヒータ５を発
熱させることにより、間接的にこの感湿素子１を加熱を
加熱して水分子を除去するものであった。
、第６図Ｃａ）及び（ｂ）に示すように、測定用電極２
を設けた板状の酸化物焼結体３よりなる感湿素子１の周
りに巻線状ヒータ５を設置し、この巻線状ヒータ５を発
熱させることにより、間接的にこの感湿素子１を加熱を
加熱して水分子を除去するものであった。
通常、この感湿素子１のクリーニング処理温度は、４０
０℃以上が必要とされる。
０℃以上が必要とされる。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、この巻線状ヒータ５を用いたクリーニン
グ方法は、本質的にこのヒータ５が必要であり、装置が
大型になり、高コストであるという欠点があった。
グ方法は、本質的にこのヒータ５が必要であり、装置が
大型になり、高コストであるという欠点があった。
そこで、本発明の技術的課題は、上記した欠点を除去す
るため、感湿素子１自体を発熱体として用いることによ
り、巻線状ヒータ５を必要としない等、構成が簡単で、
高温下での使用が可能であり、且つ小型で低価格の酸化
物焼結体の感湿素子のクリーニング方法を提供すること
にある。
るため、感湿素子１自体を発熱体として用いることによ
り、巻線状ヒータ５を必要としない等、構成が簡単で、
高温下での使用が可能であり、且つ小型で低価格の酸化
物焼結体の感湿素子のクリーニング方法を提供すること
にある。
［課題を解決するための手段］
本発明によれば、サーミスタ特性を有する酸化物焼結体
の感湿素子に抵抗を直列に接続して、この感湿素子とこ
の抵抗とに電圧を印加することにより、この感湿素子を
自己発熱させてクリーニングすることを特徴とする感湿
素子のクリーニング方法が得られる。
の感湿素子に抵抗を直列に接続して、この感湿素子とこ
の抵抗とに電圧を印加することにより、この感湿素子を
自己発熱させてクリーニングすることを特徴とする感湿
素子のクリーニング方法が得られる。
Ｃ作 用ゴ
本発明においては、感湿素子に測定電圧より大きな電圧
を直接印加して、自己発熱させて、感湿素子に吸着した
水分子を容易に除去することにより、感湿素子の経時変
化を抑制する。
を直接印加して、自己発熱させて、感湿素子に吸着した
水分子を容易に除去することにより、感湿素子の経時変
化を抑制する。
［実施例］
本発明の実施例を図面を用いて説明する。
第１図（ａ）は本発明の実施例に係る湿度センサとして
の酸化物焼結体よりなる感温素子を示す斜視図、第１図
（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ −断面図である。
の酸化物焼結体よりなる感温素子を示す斜視図、第１図
（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ −断面図である。
これらの図において、感湿素子１は、互いに対向する面
を有する板状の酸化物焼結体３と、この酸化物焼結体３
の互いに対向する面に夫々形成された電極２，２とを備
えている。
を有する板状の酸化物焼結体３と、この酸化物焼結体３
の互いに対向する面に夫々形成された電極２，２とを備
えている。
酸化物焼結体３は、Ｍ ｎ −Ｚ ｎ −Ｃｕ系フェラ
イト焼結体である。
イト焼結体である。
この感湿素子１は、第２図に示す温度−電気抵抗特性及
び第３図に示す湿度電気特性を有する。
び第３図に示す湿度電気特性を有する。
使用に際しては、感温素子１に固定抵抗Ｒｓを直列に接
続し、第４図に示す回路を組み、スイッチＳ２を接続す
ると、感湿素子１には電源Ｅから大きな電圧が印加され
る。これにより、感温素子１は発熱し、サーミスタ特性
を有するために、抵抗値は低くなる。このため、発熱は
加速され、数秒〜数十秒の間に固定抵抗Ｒｓによって定
まる一定温度に達し、完全にクリーニングされる。
続し、第４図に示す回路を組み、スイッチＳ２を接続す
ると、感湿素子１には電源Ｅから大きな電圧が印加され
る。これにより、感温素子１は発熱し、サーミスタ特性
を有するために、抵抗値は低くなる。このため、発熱は
加速され、数秒〜数十秒の間に固定抵抗Ｒｓによって定
まる一定温度に達し、完全にクリーニングされる。
また、クリーニング処理後、スイッチＳ２を接続すると
感湿素子１の電気抵抗測定が行われる。
感湿素子１の電気抵抗測定が行われる。
一方、別に設けた熱電対、サーミスタ等で雰囲気の温度
を予め測定し、この雰囲気と測定された電気抵抗とから
第３閃を参照して、相対湿度（ＲＨ）が決定される。
を予め測定し、この雰囲気と測定された電気抵抗とから
第３閃を参照して、相対湿度（ＲＨ）が決定される。
ただし、この例の感湿素子においては、電気抵抗測定は
、交流電圧３Ｖ （１２０Ｈｚ）を印加した時の電流値
から求めた。
、交流電圧３Ｖ （１２０Ｈｚ）を印加した時の電流値
から求めた。
測定時の感湿素子１の発熱量は、雰囲気が常温〜１００
℃、０〜９８％ＲＨ（相対湿度）の範囲で１℃以下であ
り問題にはならない。
℃、０〜９８％ＲＨ（相対湿度）の範囲で１℃以下であ
り問題にはならない。
第５図は印加電圧Ｅ−８０Ｖ、固定抵抗Ｒ５−４８８Ω
のときのクリーニング温度の実験結果を示す図である。
のときのクリーニング温度の実験結果を示す図である。
第５図において、感湿素子は、周囲温度２５〜１００℃
で４００〜４２０℃に加熱されることが分かる。
で４００〜４２０℃に加熱されることが分かる。
また、この加熱クリーニング処理時の最大消費電力は、
１２Ｗ以下であり、巻線ヒータタイプのクリーニング方
法での消費電力と略同等である。
１２Ｗ以下であり、巻線ヒータタイプのクリーニング方
法での消費電力と略同等である。
以上の実施例は、Ｍｎ−Ｚｎ−Ｃｕ系フェライトの感湿
素子を例に挙げて述べたが、Ｍ ｎ −Ｚ ｎ−Ｃｕフ
ェライトに限らず、サーミスタ特性を有する酸化物磁性
材料の感湿素子、例えばＭｎ−Ｚｎフェライト、ＺｎＣ
ｒ２０４−ＬＬＺｎＶＯ。
素子を例に挙げて述べたが、Ｍ ｎ −Ｚ ｎ−Ｃｕフ
ェライトに限らず、サーミスタ特性を有する酸化物磁性
材料の感湿素子、例えばＭｎ−Ｚｎフェライト、ＺｎＣ
ｒ２０４−ＬＬＺｎＶＯ。
系セラミックス、Ｚｒ０２−ＭｇＯ系セラミックス、Ｍ
ｇＣｒ２０．−Ｔ ｉ０２系セラミックス、等があり、
これらは、本発明に容易に適用できるものである。
ｇＣｒ２０．−Ｔ ｉ０２系セラミックス、等があり、
これらは、本発明に容易に適用できるものである。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば、高温で使用可能
で、巻線状ヒータの不要であることから構成が簡単で且
つ低価格の感湿素子のクリーニング方法を提供すること
が可能である。
で、巻線状ヒータの不要であることから構成が簡単で且
つ低価格の感湿素子のクリーニング方法を提供すること
が可能である。
第１１図（ａ）は本発明の実施例に係る感湿素子を示す
斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ”断面図
、第２図は第１図（ａ）の感湿素子の温度−電気抵抗特
性を示す図、第３図は第１図（ａ）の感温素子の湿度−
電気抵抗特性を示す図、第４図は本発明による感湿素子
を用いた温度測定。 とクリーニング用の回路構成を示す図、第５図は周囲温
度とクリーニング処理時の感湿素子温度との関係を示す
図、第６図（ａ）は従来の感湿素子のクリーニング方法
を示す斜視図、第６図（ｂ）は第６図（ａ）のＢ−Ｂ
＝断面図である。 図中、１：感湿素子、２：電極、３二酸化物焼結体、５
：巻線状ヒータ。 第２図 感湿素子温度（°Ｃ） 漉１図 （（Ｌ） 惚３図 湿度（％ＲＨ） 第４図 Ｅ 始５図 周囲温度（’Ｃ） 第６図
斜視図、第１図（ｂ）は第１図（ａ）のＡ−Ａ”断面図
、第２図は第１図（ａ）の感湿素子の温度−電気抵抗特
性を示す図、第３図は第１図（ａ）の感温素子の湿度−
電気抵抗特性を示す図、第４図は本発明による感湿素子
を用いた温度測定。 とクリーニング用の回路構成を示す図、第５図は周囲温
度とクリーニング処理時の感湿素子温度との関係を示す
図、第６図（ａ）は従来の感湿素子のクリーニング方法
を示す斜視図、第６図（ｂ）は第６図（ａ）のＢ−Ｂ
＝断面図である。 図中、１：感湿素子、２：電極、３二酸化物焼結体、５
：巻線状ヒータ。 第２図 感湿素子温度（°Ｃ） 漉１図 （（Ｌ） 惚３図 湿度（％ＲＨ） 第４図 Ｅ 始５図 周囲温度（’Ｃ） 第６図
Claims (1)
- １、サーミスタ特性を有する酸化物焼結体の感湿素子に
抵抗を直列に接続して、該感湿素子と抵抗とに電圧を印
加することにより、該感湿素子を自己発熱させてクリー
ニングすることを特徴とする感湿素子のクリーニング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1201307A JPH0365642A (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 感湿素子のクリーニング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1201307A JPH0365642A (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 感湿素子のクリーニング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0365642A true JPH0365642A (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=16438835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1201307A Pending JPH0365642A (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 感湿素子のクリーニング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0365642A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10357664A1 (de) * | 2003-12-04 | 2005-07-07 | E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH | Messeinrichtung mit Feuchtigkeitssensor |
| GB2464516A (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-21 | Alireza Salehi | Self heated carbon monoxide sensor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2482141A (en) * | 2010-07-20 | 2012-01-25 | Cognovo Ltd | Implementing UML activity diagrams Via task sequencing |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP1201307A patent/JPH0365642A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2482141A (en) * | 2010-07-20 | 2012-01-25 | Cognovo Ltd | Implementing UML activity diagrams Via task sequencing |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10357664A1 (de) * | 2003-12-04 | 2005-07-07 | E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH | Messeinrichtung mit Feuchtigkeitssensor |
| GB2464516A (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-21 | Alireza Salehi | Self heated carbon monoxide sensor |
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