JPH0365069A - 圧電アクチュエータの駆動装置 - Google Patents
圧電アクチュエータの駆動装置Info
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- JPH0365069A JPH0365069A JP1201797A JP20179789A JPH0365069A JP H0365069 A JPH0365069 A JP H0365069A JP 1201797 A JP1201797 A JP 1201797A JP 20179789 A JP20179789 A JP 20179789A JP H0365069 A JPH0365069 A JP H0365069A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 238000007600 charging Methods 0.000 claims abstract description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 238000010277 constant-current charging Methods 0.000 abstract 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- XUKUURHRXDUEBC-KAYWLYCHSA-N Atorvastatin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C1=C(C=2C=CC(F)=CC=2)N(CC[C@@H](O)C[C@@H](O)CC(O)=O)C(C(C)C)=C1C(=O)NC1=CC=CC=C1 XUKUURHRXDUEBC-KAYWLYCHSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、圧電アクチュエータの駆動装置に関し、更に
詳細には、圧電アクチュエータの出力変位を正確に制御
する駆動装置に関する。
詳細には、圧電アクチュエータの出力変位を正確に制御
する駆動装置に関する。
(従来技術)
一般に、圧電アクチュエータは、誘電体である圧電素子
とこれを挟む2つの電極から構成されているため、圧電
アクチュエータを一種のコンデンサと見なすことができ
る。圧電アクチュエータの軸線方向変形は圧電アクチュ
エータに蓄電された電荷Qに比例し、電荷Qは、次式で
与えられる。
とこれを挟む2つの電極から構成されているため、圧電
アクチュエータを一種のコンデンサと見なすことができ
る。圧電アクチュエータの軸線方向変形は圧電アクチュ
エータに蓄電された電荷Qに比例し、電荷Qは、次式で
与えられる。
Q=C−■=■・t
C:静電容量
V:電圧
に一定電流
t:印加時間
従来、圧電アクチュエータの電圧を検出する手段が無か
ったため、圧電アクチュエータの出力変位は、一定電流
Iの印加時間tを可変として電荷Qを制御する電流制御
法によって制御していた。
ったため、圧電アクチュエータの出力変位は、一定電流
Iの印加時間tを可変として電荷Qを制御する電流制御
法によって制御していた。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、電流制御法による圧電アクチュエータの
駆動では、駆動回路の電流リーク、すなわち電荷漏れに
より圧電アクチュエータの出力変位が変化し、出力変位
の正確な制御ができないという問題があった。
駆動では、駆動回路の電流リーク、すなわち電荷漏れに
より圧電アクチュエータの出力変位が変化し、出力変位
の正確な制御ができないという問題があった。
そこで、本発明は、電流制御法によって圧電アクチュエ
ータを駆動し、かつ圧電アクチュエータの出力変位を正
確に制御することのできる圧電アクチュエータの駆動装
置を提供することを目的とする。
ータを駆動し、かつ圧電アクチュエータの出力変位を正
確に制御することのできる圧電アクチュエータの駆動装
置を提供することを目的とする。
(課題を解決するための手段)
本発明は上記課題を解決するために、圧電アクチュエー
タを一定電流で充電し又は放電させるための駆動回路と
、上記駆動回路に電流制御信号を出力して上記駆動回路
の充電時間又は放電時間を制御するための制御装置と、
上記圧電アクチュエータの電位を検出するための電位検
出回路とを備え、上記圧電アクチュエータを一定電流で
充電又は放電し、圧電アクチュエータの電位を検出して
、所望の出力変位に対応する目標電位まで、充電又は放
電によって圧電アクチュエータの電位を増減させる装置
を提供する。
タを一定電流で充電し又は放電させるための駆動回路と
、上記駆動回路に電流制御信号を出力して上記駆動回路
の充電時間又は放電時間を制御するための制御装置と、
上記圧電アクチュエータの電位を検出するための電位検
出回路とを備え、上記圧電アクチュエータを一定電流で
充電又は放電し、圧電アクチュエータの電位を検出して
、所望の出力変位に対応する目標電位まで、充電又は放
電によって圧電アクチュエータの電位を増減させる装置
を提供する。
本発明の好ましい実施態様によれば、上記駆動回路は、
直流電源と、定電流回路を介して上記直流電源に直列に
接続された一対のトランジスタと、該一対のトランジス
タとグランドとの間に接続されたもう1つの定電流回路
とを備え、上記電位検出回路は、上記圧電アクチュエー
タの一方の電極に直列に接続された一対の抵抗と、該一
対の抵抗とグランドとの間に接続された1つのトランジ
スタとを備え、上記一対のトランジスタの接続線とグラ
ンドとの間には、上記圧電アクチュエータが接続されて
いる。
直流電源と、定電流回路を介して上記直流電源に直列に
接続された一対のトランジスタと、該一対のトランジス
タとグランドとの間に接続されたもう1つの定電流回路
とを備え、上記電位検出回路は、上記圧電アクチュエー
タの一方の電極に直列に接続された一対の抵抗と、該一
対の抵抗とグランドとの間に接続された1つのトランジ
スタとを備え、上記一対のトランジスタの接続線とグラ
ンドとの間には、上記圧電アクチュエータが接続されて
いる。
(作用)
上述の如く、本発明においては、電位検出回路によって
圧電アクチュエータの電位を検出し、所望の出力変位に
対応する目標電位まで、一定電流で充電又は放電するこ
とによって圧電アクチュエータの電位を増減させるので
、電荷漏れによる出力変位の変化を補償でき、圧電アク
チュエータの正確な制御が可能となる。
圧電アクチュエータの電位を検出し、所望の出力変位に
対応する目標電位まで、一定電流で充電又は放電するこ
とによって圧電アクチュエータの電位を増減させるので
、電荷漏れによる出力変位の変化を補償でき、圧電アク
チュエータの正確な制御が可能となる。
(実施例)
以下、添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図は、本発明による駆動装置の一実施例の構成を概
略的に示す図である。図示の駆動装置は、圧電アクチュ
エータ1を一定電流で充電し又は放電させるための駆動
回路2を備えている。駆動回路2の入力には、上記充電
時間又は放電時間を制御する電流制御信号を介して駆動
回路2の出力を制御するための中央制御装置(CPU)
3の出力が接続されている。図示の駆動装置は更に、圧
電アクチュエータ1の電位を検出するための電位検出回
路4を備えている。電位検出回路4の出力は、中央制御
装置3の入力に接続されている。
略的に示す図である。図示の駆動装置は、圧電アクチュ
エータ1を一定電流で充電し又は放電させるための駆動
回路2を備えている。駆動回路2の入力には、上記充電
時間又は放電時間を制御する電流制御信号を介して駆動
回路2の出力を制御するための中央制御装置(CPU)
3の出力が接続されている。図示の駆動装置は更に、圧
電アクチュエータ1の電位を検出するための電位検出回
路4を備えている。電位検出回路4の出力は、中央制御
装置3の入力に接続されている。
第2図に、上記駆動回路2及び電位検出回路4の構成を
概略的に示す。図示の回路は、一端が直流電源(図示せ
ず)に接続された例えば1つの抵抗からなる定電流回路
21を備えている。定電流回路21の他端は、トランジ
スタ23のエミッタに接続されている。トランジスタ2
3のベースは中央制御装置3の出力端子に接続され、ト
ランジスタ23のコレクタは別のトランジスタ24のコ
レクタに接続されている。トランジスタ24のベースは
中央制御装置3の出力端子に接続され、トランジスタ2
4のエミッタはもう1つの定電流回路22を介してグラ
ンドに接続されている。上記直流電源、一対のトランジ
スタ23.24、及び一対の定電流回路21.22は、
駆動回路2を構成する。
概略的に示す。図示の回路は、一端が直流電源(図示せ
ず)に接続された例えば1つの抵抗からなる定電流回路
21を備えている。定電流回路21の他端は、トランジ
スタ23のエミッタに接続されている。トランジスタ2
3のベースは中央制御装置3の出力端子に接続され、ト
ランジスタ23のコレクタは別のトランジスタ24のコ
レクタに接続されている。トランジスタ24のベースは
中央制御装置3の出力端子に接続され、トランジスタ2
4のエミッタはもう1つの定電流回路22を介してグラ
ンドに接続されている。上記直流電源、一対のトランジ
スタ23.24、及び一対の定電流回路21.22は、
駆動回路2を構成する。
上記トランジスタ23のコレクタとトランジスタ24の
コレクタとの接続線は、分岐して圧電アクチュエータl
の一方の電極に接続され、圧電アクチュエータlの他方
の電極はグランドに接続されている。圧電アクチュエー
タ1の前記一方の電極にはまた、直列に接続された一対
の抵抗25及び26の一端が接続されている。上記一対
の抵抗の他端はトランジスタ27のコレクタに接続され
、トランジスタ27のエミッタはグランドに接続されて
いる。トランジスタ27のベースは、中央制御装置3の
出力端子に接続されている。上記一対の抵抗25.26
及びトランジスタ27は、電位検出回路4を構成する。
コレクタとの接続線は、分岐して圧電アクチュエータl
の一方の電極に接続され、圧電アクチュエータlの他方
の電極はグランドに接続されている。圧電アクチュエー
タ1の前記一方の電極にはまた、直列に接続された一対
の抵抗25及び26の一端が接続されている。上記一対
の抵抗の他端はトランジスタ27のコレクタに接続され
、トランジスタ27のエミッタはグランドに接続されて
いる。トランジスタ27のベースは、中央制御装置3の
出力端子に接続されている。上記一対の抵抗25.26
及びトランジスタ27は、電位検出回路4を構成する。
トランジスタ23のベースに充電トリガ信号を与えると
トランジスタ23が導通状態になり、直流電源が定電流
回路21及びトランジスタ23を介して圧電アクチュエ
ータlに接続する。こうして、圧電アクチュエータ1に
直流一定電流が通電され、圧電アクチュエータ1は充電
される。
トランジスタ23が導通状態になり、直流電源が定電流
回路21及びトランジスタ23を介して圧電アクチュエ
ータlに接続する。こうして、圧電アクチュエータ1に
直流一定電流が通電され、圧電アクチュエータ1は充電
される。
一方、トランジスタ24のベースに放電トリガ信号を与
えるとトランジスタ24が導通状態になり、圧電アクチ
ュエータ1が定電流回路22及びトランジスタ24を介
してグランドに接続する。
えるとトランジスタ24が導通状態になり、圧電アクチ
ュエータ1が定電流回路22及びトランジスタ24を介
してグランドに接続する。
こうして、圧電アクチュエータ1は直流一定電流で放電
する。
する。
また、トランジスタ27のベースに電位検出用信号を瞬
時与えるとトランジスタ27が導通状態になり、圧電ア
クチュエータ1が一対の抵抗25及び26を介してグラ
ンドに接続する。こうして、圧電アクチュエータ1は瞬
時放電する。このとき、一対の抵抗25と抵抗26の間
の電位vlを検出すると、圧電アクチュエータlの電位
V。を算出することができる。電位voと電位vlとの
関係は、一対の抵抗25及び26の抵抗値R1とR2の
関数として次のように与えられる。
時与えるとトランジスタ27が導通状態になり、圧電ア
クチュエータ1が一対の抵抗25及び26を介してグラ
ンドに接続する。こうして、圧電アクチュエータ1は瞬
時放電する。このとき、一対の抵抗25と抵抗26の間
の電位vlを検出すると、圧電アクチュエータlの電位
V。を算出することができる。電位voと電位vlとの
関係は、一対の抵抗25及び26の抵抗値R1とR2の
関数として次のように与えられる。
R1+R2
Vo” V+ ・ ・
(1)2 以上のように構成された本発明の装置は、次のように動
作する。
(1)2 以上のように構成された本発明の装置は、次のように動
作する。
■ 中央制御装置3はトランジスタ23のベースに充電
トリガ信号を与えてトランジスタ23を導通させ、圧電
アクチュエータ1を一定電流■で所定時間を充電し、所
望の出力変位δに相当する所望の電荷Q。を印加する。
トリガ信号を与えてトランジスタ23を導通させ、圧電
アクチュエータ1を一定電流■で所定時間を充電し、所
望の出力変位δに相当する所望の電荷Q。を印加する。
■ 中央制御装置3はトランジスタ27のベースに電位
検出用信号を瞬時与えてトランジスタ27を導通させ、
一対の抵抗25と26との間の電位vlを検出し、検出
した電位vlから、式(1)により圧電アクチュエータ
lの電位■。を算出する。
検出用信号を瞬時与えてトランジスタ27を導通させ、
一対の抵抗25と26との間の電位vlを検出し、検出
した電位vlから、式(1)により圧電アクチュエータ
lの電位■。を算出する。
■ 中央制御装置3は定期的にトランジスタ27のベー
スに電位検出用信号を瞬時与えてトランジスタ27を導
通させ、一対の抵抗25と26との間の電位Vllを検
出し、検出した電位Vllから、式(1)により圧電ア
クチュエータ1の電位V。1を算出し、両者を比較する
。電位■。1が電位voよりも低い場合には、中央制御
装置3は電荷漏れがあったと判断し、トランジスタ23
のベースに充電トリガ信号を与えてトランジスタ23を
導通させ、圧電アクチュエータ1を一定電流Iで下式で
与えられる所定時間t1充電する。
スに電位検出用信号を瞬時与えてトランジスタ27を導
通させ、一対の抵抗25と26との間の電位Vllを検
出し、検出した電位Vllから、式(1)により圧電ア
クチュエータ1の電位V。1を算出し、両者を比較する
。電位■。1が電位voよりも低い場合には、中央制御
装置3は電荷漏れがあったと判断し、トランジスタ23
のベースに充電トリガ信号を与えてトランジスタ23を
導通させ、圧電アクチュエータ1を一定電流Iで下式で
与えられる所定時間t1充電する。
C(vo’ Vow)
f、+=
■
これにより、圧電アクチュエータに印加された荷電は所
望値Qoに復帰し、これに伴い圧電アクチュエータの出
力変位も所望値δに復帰する。
望値Qoに復帰し、これに伴い圧電アクチュエータの出
力変位も所望値δに復帰する。
電位■。1が電位■。よりも高い場合には、中央制御装
置3は何らかの原因で予定せぬ充電がなされたものと判
断し、トランジスタ24のベースに放電トリガ信号を与
えてトランジスタ24を導通させ、圧電アクチュエータ
lを一定電流Iで下式で与えられる所定時間tl′放電
する。
置3は何らかの原因で予定せぬ充電がなされたものと判
断し、トランジスタ24のベースに放電トリガ信号を与
えてトランジスタ24を導通させ、圧電アクチュエータ
lを一定電流Iで下式で与えられる所定時間tl′放電
する。
C(Ve+ Va )
1+ =
■
これにより、圧電アクチュエータに印加された荷電は所
望値Qoに復帰し、これに伴い圧電アクチュエータの出
力変位も所望値δに復帰する。
望値Qoに復帰し、これに伴い圧電アクチュエータの出
力変位も所望値δに復帰する。
上記のように、本実施例に係る制御装置にあっては、電
位検出手段を設け、電圧の変化をフィードバックして漏
洩電荷、あるいは過剰電荷を電流制御法により補償して
いるので、圧電アクチュエータの正確な制御ができる。
位検出手段を設け、電圧の変化をフィードバックして漏
洩電荷、あるいは過剰電荷を電流制御法により補償して
いるので、圧電アクチュエータの正確な制御ができる。
第3図に、本発明の駆動装置を使用した、液圧変位拡大
機構と圧電アクチュエータとを備えた圧電・液圧アクチ
ュエータ(Piezo Hydlaulic Actu
ator、以下略してPHAという)を示す。図示のP
HAは、全体的に円筒形のボディ31を備えている。ボ
ディ31内には、その内部を上下に摺動する第1のピス
トン32が収容されている。第1のピストン32とボデ
ィ31の底部との間には駆動体としての圧電アクチュエ
ータ33が取り付けられている。第1のピストン32と
ボディ31との間は、適当な密封手段によって液密状態
になっている。
機構と圧電アクチュエータとを備えた圧電・液圧アクチ
ュエータ(Piezo Hydlaulic Actu
ator、以下略してPHAという)を示す。図示のP
HAは、全体的に円筒形のボディ31を備えている。ボ
ディ31内には、その内部を上下に摺動する第1のピス
トン32が収容されている。第1のピストン32とボデ
ィ31の底部との間には駆動体としての圧電アクチュエ
ータ33が取り付けられている。第1のピストン32と
ボディ31との間は、適当な密封手段によって液密状態
になっている。
ボディ31の上端壁の中央には出力ポート34が形成さ
れ、出力ポート34の内周を上下に摺動する第2のピス
トン35が突出シリンダ36の内部に収容されている。
れ、出力ポート34の内周を上下に摺動する第2のピス
トン35が突出シリンダ36の内部に収容されている。
出力ピンを形成する第2のピストン35は、第1のピス
トン32より小さい断面積を有し、リターンスプリング
37によって第1のピストン32の方向に付勢されるよ
うに構成されている。第1のピストン32の上端面、第
2のピストン35の下端面及びボディの内周面によって
構成されたチャンバ38内には、非圧縮性の高い液体、
例えばシリコングリースが圧力伝達用液体として封入さ
れている。
トン32より小さい断面積を有し、リターンスプリング
37によって第1のピストン32の方向に付勢されるよ
うに構成されている。第1のピストン32の上端面、第
2のピストン35の下端面及びボディの内周面によって
構成されたチャンバ38内には、非圧縮性の高い液体、
例えばシリコングリースが圧力伝達用液体として封入さ
れている。
電圧を印加すると圧電アクチュエータ33は軸線方向に
伸びる。すなわち、印加電圧を昇竜するとその値に比例
して伸長し、第1のピストン32を上方に駆動する。第
1のピストン32の軸線方向移動により、封入液体に圧
力が加わり、封入液体に加わった圧力は第2のピストン
35に伝達される。圧力を受けて第2のピストン35は
上方に駆動される。第1のピストン32の移動量と第2
のピストン35の移動量の比は、液体が完全に封入され
且つその体積が不変であると仮定して、第2のピストン
35の断面積と第1のピストン32の断面積の比に等し
い。印加電圧を降電すると圧電アクチュエータ33は次
第に収縮し通電を解除すると元の長さに復元する。圧電
アクチュエータ33が収縮すると、リターンスプリング
37の作用により第2のピストン35が下方に駆動され
る。
伸びる。すなわち、印加電圧を昇竜するとその値に比例
して伸長し、第1のピストン32を上方に駆動する。第
1のピストン32の軸線方向移動により、封入液体に圧
力が加わり、封入液体に加わった圧力は第2のピストン
35に伝達される。圧力を受けて第2のピストン35は
上方に駆動される。第1のピストン32の移動量と第2
のピストン35の移動量の比は、液体が完全に封入され
且つその体積が不変であると仮定して、第2のピストン
35の断面積と第1のピストン32の断面積の比に等し
い。印加電圧を降電すると圧電アクチュエータ33は次
第に収縮し通電を解除すると元の長さに復元する。圧電
アクチュエータ33が収縮すると、リターンスプリング
37の作用により第2のピストン35が下方に駆動され
る。
第2のピストン35の軸線方向移動により、封入液体に
圧力が加わり、封入液体に加わった圧力は第1のピスト
ン32に伝達される。圧力を受けて第1のピストン32
は下方に駆動される。
圧力が加わり、封入液体に加わった圧力は第1のピスト
ン32に伝達される。圧力を受けて第1のピストン32
は下方に駆動される。
このように、液圧変位拡大機構により、封入した液体の
高い非圧縮性及び連続性を利用して、圧電アクチュエー
タの極めて小さい変形が、第1のピストン32の断面積
と第2のピストン35の断面積との比だけ拡大され、第
2のピストン35を介して出力される。
高い非圧縮性及び連続性を利用して、圧電アクチュエー
タの極めて小さい変形が、第1のピストン32の断面積
と第2のピストン35の断面積との比だけ拡大され、第
2のピストン35を介して出力される。
上述のごとく、PHAは圧電アクチュエータの極めて小
さい変形を液圧変位拡大機構により拡大して出力するも
のなので、圧電アクチュエータの出力変位を正確に制御
できることが高品位のPHAを提供するための必須要件
である。本発明の圧電アクチュエータ駆動装置は係る要
件を充分に満足するものである。
さい変形を液圧変位拡大機構により拡大して出力するも
のなので、圧電アクチュエータの出力変位を正確に制御
できることが高品位のPHAを提供するための必須要件
である。本発明の圧電アクチュエータ駆動装置は係る要
件を充分に満足するものである。
(発明の効果)
本発明により、電流制御法によって圧電アクチュエータ
を駆動し、かつ圧電アクチュエータの出力変位を正確に
制御することのできる圧電アクチュエータの駆動装置が
提供される。
を駆動し、かつ圧電アクチュエータの出力変位を正確に
制御することのできる圧電アクチュエータの駆動装置が
提供される。
第1図は、本発明による駆動装置の一実施例の構成を概
略的に示す図である。 第2図は、本発明の装置に使用する駆動回路及び電位検
出回路の一例を概略的に示す図である。 第3図は、本発明の駆動装置を使用した、圧電・液圧ア
クチュエータの構成を概略的に示す図である。 1・・・圧電アクチュエータ、 2・・・駆動回路、 3・・・中央制御装置、 4・・・電位検出回路、 21.22・・・定電流回路、 23.24,27・・・トランジスタ、25.26・・
・抵抗。 第2図 第1図
略的に示す図である。 第2図は、本発明の装置に使用する駆動回路及び電位検
出回路の一例を概略的に示す図である。 第3図は、本発明の駆動装置を使用した、圧電・液圧ア
クチュエータの構成を概略的に示す図である。 1・・・圧電アクチュエータ、 2・・・駆動回路、 3・・・中央制御装置、 4・・・電位検出回路、 21.22・・・定電流回路、 23.24,27・・・トランジスタ、25.26・・
・抵抗。 第2図 第1図
Claims (2)
- (1) 圧電アクチュエータを一定電流で充電し又は放
電させるための駆動回路と、 上記駆動回路に電流制御信号を出力して上記駆動回路の
充電時間又は放電時間を制御するための制御装置と、 上記圧電アクチュエータの電位を検出するための電位検
出回路とを備え、 上記圧電アクチュエータを一定電流で充電又は放電し、
圧電アクチュエータの電位を検出して、所望の出力変位
に対応する目標電位まで、充電又は放電によって圧電ア
クチュエータの電位を増減させることを特徴とする圧電
アクチュエータの駆動装置。 - (2) 上記駆動回路は、直流電源と、定電流回路を介
して上記直流電源に直列に接続された一対のトランジス
タと、該一対のトランジスタとグランドとの間に接続さ
れたもう1つの定電流回路とを備え、 上記電位検出回路は、上記圧電アクチュエータの一方の
電極に直列に接続された一対の抵抗と、該一対の抵抗と
グランドとの間に接続された1つのトランジスタとを備
え、 上記一対のトランジスタの接続線とグランドとの間には
、上記圧電アクチュエータが接続されていることを特徴
とする請求項(1)に記載の装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1201797A JPH0365069A (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | 圧電アクチュエータの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1201797A JPH0365069A (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | 圧電アクチュエータの駆動装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0365069A true JPH0365069A (ja) | 1991-03-20 |
Family
ID=16447094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1201797A Pending JPH0365069A (ja) | 1989-08-03 | 1989-08-03 | 圧電アクチュエータの駆動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0365069A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05122930A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Nec Kansai Ltd | 容量性素子の駆動電源 |
WO2006052885A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-18 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Print systems and techniques |
US8025354B2 (en) | 2008-06-06 | 2011-09-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Sensing objects for printing |
US8251471B2 (en) | 2003-08-18 | 2012-08-28 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Individual jet voltage trimming circuitry |
-
1989
- 1989-08-03 JP JP1201797A patent/JPH0365069A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05122930A (ja) * | 1991-10-29 | 1993-05-18 | Nec Kansai Ltd | 容量性素子の駆動電源 |
US8251471B2 (en) | 2003-08-18 | 2012-08-28 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Individual jet voltage trimming circuitry |
WO2006052885A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-18 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Print systems and techniques |
JP2008518817A (ja) * | 2004-11-05 | 2008-06-05 | フジフイルム ディマティックス インコーポレイテッド | インクジェットプリンティングのための電荷漏洩防止 |
US7556327B2 (en) | 2004-11-05 | 2009-07-07 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Charge leakage prevention for inkjet printing |
US8025354B2 (en) | 2008-06-06 | 2011-09-27 | Fujifilm Dimatix, Inc. | Sensing objects for printing |
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