JPH0360065U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0360065U JPH0360065U JP11960789U JP11960789U JPH0360065U JP H0360065 U JPH0360065 U JP H0360065U JP 11960789 U JP11960789 U JP 11960789U JP 11960789 U JP11960789 U JP 11960789U JP H0360065 U JPH0360065 U JP H0360065U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lens
- ultrasonic probe
- piezoelectric element
- lens surface
- acoustic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 11
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
第１図は本考案に係る超音波探触子の構造を示
す縦断面図、第２図は多結晶シリコンの結晶状態
を示す図、第３図は単結晶シリコンのウエハーに
於ける結晶軸の方向を示す図、第４図は多結晶シ
リコンにおけるＸ線回折特性を示す特性図、第５
Ａ図乃至第５Ｉ図は本考案に係る超音波探触子の
音響レンズの製造方法を説明するための工程図、
第６図はマスク材の例を示す正面図、第７図は従
来の一般的な超音波探触子の構造を示す縦断面図
、第８図は従来の音響レンズの製造方法を示す工
程図である。 符号の説明、１……超音波探触子、２……レン
ズ本体、２ａ……凹状開口部、３……圧電膜、４
……上部電極、５……下部電極、６……サーキユ
レータ、７……発振器、８……受信器、９……超
音波、１０……試料、１１……水、１２……試料
台、１７……グレイン、１８……基板、１９……
熱酸化膜、２０……クロム膜、２１……金の膜、
２２……レジスト。
す縦断面図、第２図は多結晶シリコンの結晶状態
を示す図、第３図は単結晶シリコンのウエハーに
於ける結晶軸の方向を示す図、第４図は多結晶シ
リコンにおけるＸ線回折特性を示す特性図、第５
Ａ図乃至第５Ｉ図は本考案に係る超音波探触子の
音響レンズの製造方法を説明するための工程図、
第６図はマスク材の例を示す正面図、第７図は従
来の一般的な超音波探触子の構造を示す縦断面図
、第８図は従来の音響レンズの製造方法を示す工
程図である。 符号の説明、１……超音波探触子、２……レン
ズ本体、２ａ……凹状開口部、３……圧電膜、４
……上部電極、５……下部電極、６……サーキユ
レータ、７……発振器、８……受信器、９……超
音波、１０……試料、１１……水、１２……試料
台、１７……グレイン、１８……基板、１９……
熱酸化膜、２０……クロム膜、２１……金の膜、
２２……レジスト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) レンズ本体の一端に凹状のレンズ面を設け
た音響レンズと、前記音響レンズの他端に配置さ
れた圧電素子とを有し、前記圧電素子に電圧を印
加して発生させた超音波を前記レンズ面で集束さ
せ、その超音波の試料からの反射波を前記圧電素
子で検出することにより前記試料表面又は内部の
情報を得る超音波探触子において、 前記レンズ本体の材質に多結晶シリコンが使用
され、エツチングを用いて形成された凹状の前記
レンズ面を備えることを特徴とする超音波探触子
。 (2) 請求項１において、前記レンズ面に熱酸化
によるＳｉＯ２の層からなる音響整合層を設けた
ことを特徴とする超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989119607U JPH0731170Y2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989119607U JPH0731170Y2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 超音波探触子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0360065U true JPH0360065U (ja) | 1991-06-13 |
| JPH0731170Y2 JPH0731170Y2 (ja) | 1995-07-19 |
Family
ID=31667723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989119607U Expired - Fee Related JPH0731170Y2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0731170Y2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55149998A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Hitachi Ltd | Sound sperical lense |
| JPS6096996A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波トランスジューサの製造方法 |
| JPS63195563A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-12 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ | 超音波顕微鏡用音響変換素子 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP1989119607U patent/JPH0731170Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55149998A (en) * | 1979-05-11 | 1980-11-21 | Hitachi Ltd | Sound sperical lense |
| JPS6096996A (ja) * | 1983-11-01 | 1985-05-30 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波トランスジューサの製造方法 |
| JPS63195563A (ja) * | 1987-02-02 | 1988-08-12 | ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ | 超音波顕微鏡用音響変換素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0731170Y2 (ja) | 1995-07-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5511296A (en) | Method for making integrated matching layer for ultrasonic transducers | |
| JP2730756B2 (ja) | 超音波探触子及びその製造方法 | |
| US6958255B2 (en) | Micromachined ultrasonic transducers and method of fabrication | |
| US20020157473A1 (en) | Resonant sensor and method of making a pressure sensor comprising a resonant beam structure | |
| US5381386A (en) | Membrane hydrophone | |
| JPH0730997A (ja) | 超音波プローブ | |
| JPH05332852A (ja) | 多結晶シリコン共振ビーム変換器およびその製造方法 | |
| JPS6133516B2 (ja) | ||
| JPH08186467A (ja) | 拡がり振動型圧電振動子およびその製造方法 | |
| CN113162568A (zh) | 具有钝化层的薄膜体声波谐振器及制备方法 | |
| Lukacs et al. | Laser micromachined high frequency ultrasonic arrays | |
| JPH0360065U (ja) | ||
| US11759823B2 (en) | Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer and method of fabricating the same | |
| US5038068A (en) | Thin film pattern and method of forming the same | |
| JP2005039720A (ja) | 圧電型超音波センサ素子 | |
| JPH0329206B2 (ja) | ||
| JP3011519B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPH025326B2 (ja) | ||
| WO2024027729A1 (zh) | 具有支护层的pmut结构及其制造方法 | |
| Omori et al. | Preparation of piezoelectric PZT micro-discs by sol-gel method | |
| JPS63243817A (ja) | シリコンマイクロセンサの製造方法 | |
| JPH0323040B2 (ja) | ||
| JPH0755919A (ja) | 超音波センサ | |
| JPH05157553A (ja) | 原子間力顕微鏡用プローブの製造方法 | |
| JPH05304699A (ja) | 薄膜超音波変換器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |