JPH0357115Y2 - - Google Patents

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JPH0357115Y2
JPH0357115Y2 JP14998286U JP14998286U JPH0357115Y2 JP H0357115 Y2 JPH0357115 Y2 JP H0357115Y2 JP 14998286 U JP14998286 U JP 14998286U JP 14998286 U JP14998286 U JP 14998286U JP H0357115 Y2 JPH0357115 Y2 JP H0357115Y2
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JP
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pivot bearing
support mechanism
surf
center
electromagnet
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Description

【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 本考案は、サーフエイスモータによつて駆動さ
れるX−Yテーブルの支持機構に関する。 〔従来の技術〕 従来、サーフエイスモータでX−Yテーブルを
駆動するものとして、例えば実開昭59−159182号
公報のように空気軸受で支持する手段があり、ま
たX−Yプロツターのごとく駆動部をリニヤベア
リングを介し直交するガイドレールで支持する手
段がある。〔考案が解決しようとする問題点〕 しかしながら、これらの従来例は、構造が複雑
でしかも高価である。 すなわち、空気軸受の場合は支持部以外への給
気も行なうか、もしくはテーブル位置に対応する
ブロツクへの給気切替えが必要であり、動圧の影
響により支持力が不安定である。 また、ガイドレール支持の場合は、支持点と駆
動部のモートアームが遠くなつたり、偏つたりす
ると、動きがごきごきするようなスリツクモーシ
ヨン(slick motion)を起し易い欠点があつた。 ここにおいて本考案は、従来例の難点を克服
し、構造が簡単で、比較的安価な、移動速度や、
テーブル位置の影響を受けずに、テーブルを安定
支持するサーフエイスモータ支持機構を提供する
ことを、その目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 本考案は、 回動自在なピボツト軸受部を固定子に対向する
テーブルの下面に具え、この玉軸受のアウターレ
ースに、接地面にその表面の形状はピボツト軸受
けの中心部をこの中心部とするような球形状に近
いタイヤを嵌合し、ピボツト軸受部とタイヤを軸
で結合し、この軸の中途に、強磁性よりなる吸引
板を設け、この吸引板を吸引する4個の電磁石を
軸を中心に相互に直交して配設し、軸を傾動さ
せ、タイヤの接触面を調整するようにした部材を
可動子に3個以上具備した サーフエイスモータの支持機構である。 〔作用〕 ピボツト軸受部の周辺に配設した4個の電磁石
の励磁選択により、サーフエイスモータの可動子
の動きに従つた自在な動作が行なえ、かつ可動子
は固定子面上をピボツト軸受部で点接触で支持さ
れる。 〔実施例〕 本考案の一実施例における要部を表わす側断面
図、裏面からみた平面図を第1図a,bに示す。 テーブル1の中央部にはサーフエイスモータの
固定子2と対向させて可動子3が設けられ、4隅
には下面にピボツト軸受部7の受圧部を形成し凹
部を有するハウジング4と、この凹部を中心とし
て同心円上にコイル5を巻回した電磁石6が4個
相互に直交する位置の固定子2に対向する側に設
置されている。 凹部には遊合させたピボツト軸受7を形成する
凸部を持つ軸8を具え、この軸8の下段には、電
磁石6に空隙をもつて対向する薄板強磁性体より
なる円板状の吸引板9をストツプリング12を介
して装着し、さらにその下段には玉軸受10を嵌
合させてある。 玉軸受10のアウタレース(外輪)には、鋼や
プラスチツクや硬質ゴムよりなる下面にその表面
の形状はピボツト軸受7の中心部をこの中心部と
するような球形状に近いタイヤ11が、軸8を中
心に回転自在に嵌合されている。 なお、タイヤ11の円弧部は固定子2の表面に
接触し、磁気吸引力と搬送重量を支持しており、
ピボツト軸受7回りに回動し、回動角が最大で
も、可動3と固定子2が所定の空隙Gを保つよう
にしてある。 以下に、第1図および第2図の全体配置図と第
1表を参照し、動作を説明する。 可動子3がY方向に移動するとき、電磁石6の
5Ax′を励磁すると、吸引板9が電磁石6の5
Ax′に吸引され、ピボツト軸受回りに傾動する。 すると、軸8も傾動し、固定子2とタイヤ11
の接触点は軸心からずれた位置A点へ移り、タイ
ヤ11は回転可能となる。 第1表に示すように、他の電磁石6の5Bx′,
5Cx′,5Dx′についても、同様に、励磁すると
上記と同様な動作を行ない、テーブル3が可動状
態となる。
【表】
【表】
〔考案の効果〕
かくして本考案によれば、次に掲げる数多くの
格段の効果が得られる。 どの方向に移動する場合も滑ることなく、こ
ろがりで支持できるので、摩擦抵抗が小さく効
率が良い。 その表面の形状はピボツト軸受けの中心部を
この中心部とるような球形状に近いタイヤで固
定子表面を走行できるので、固定子に設けられ
る格子縞の溝をスムースに乗り越えることがで
きるとともに、高さ方向の移動に伴う変動んが
少ない。 軸受が高剛性なもので構成できるので、高剛
性支持ができる。 支持点を可動子の近傍に外部支持なしに行な
えるので、テーブルの独立走行ができ、全体の
装置が簡略なものとなる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本考案の一実施例の要部の側断面図、
底面図、第2図は全体配置図、第3図、第4図は
本考案の他の、別の実施例の一部側断面図、第5
図は本考案の第4の実施例の要部の側断面図、底
面図である。 1……テーブル、2……固定子、3……可動
子、4……ハウジング、5……コイル、6……電
磁石、7……ピボツト軸受、8……軸、9……吸
引板、10……玉軸受、11……タイヤ、12…
…ストツプリング、19……吸引筒、20……バ
ネ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 1 サーフエイスモータによつて平面内搬送する
    テーブルの支持機構であって、 ピボツト軸受と、 テーブル下面に設けられた電磁石と、 この電磁石に対向配設しピボツト軸受回りに
    軸を傾動させる強磁性体よりなる吸引部と、 軸先端に玉軸受等で回転支持され固定子表面
    との接触部に、その表面の形状はピボツト軸受
    けの中心部をこの中心部とするような球形状に
    近いタイヤ よりなるサーフエイスモータの可動子支持機
    構。 2 前記電磁石を直交して4個ピボツト軸受回り
    に配設した 実用新案登録請求の範囲第1項記載のサーフエ
    イスモータの可動子支持機構。 3 前記電磁石を1個とし、他の3個所にバネを
    配した 実用新案登録請求の範囲第1項記載のサーフエ
    イスモータの可動子支持機構。
JP14998286U 1986-09-30 1986-09-30 Expired JPH0357115Y2 (ja)

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JP14998286U JPH0357115Y2 (ja) 1986-09-30 1986-09-30

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JP14998286U JPH0357115Y2 (ja) 1986-09-30 1986-09-30

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Publication Number Publication Date
JPS6358892U JPS6358892U (ja) 1988-04-19
JPH0357115Y2 true JPH0357115Y2 (ja) 1991-12-25

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JP14998286U Expired JPH0357115Y2 (ja) 1986-09-30 1986-09-30

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