JPH035688Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH035688Y2 JPH035688Y2 JP1985150195U JP15019585U JPH035688Y2 JP H035688 Y2 JPH035688 Y2 JP H035688Y2 JP 1985150195 U JP1985150195 U JP 1985150195U JP 15019585 U JP15019585 U JP 15019585U JP H035688 Y2 JPH035688 Y2 JP H035688Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fixed shaft
- movable body
- static pressure
- fixed
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は可動体を静圧気体軸受によつて平行な
２本の固定軸の軸方向に直線移動させる気体軸受
式直線案内装置に関する。
２本の固定軸の軸方向に直線移動させる気体軸受
式直線案内装置に関する。
半導体の製造装置、顕徴鏡あるいは測定器にお
いては、静圧気体軸受によつて工作物等を直線方
向に移動させる気体軸受式直線案内装置が使用さ
れている。
いては、静圧気体軸受によつて工作物等を直線方
向に移動させる気体軸受式直線案内装置が使用さ
れている。
第４図はこの気体軸受式直線案内装置の従来例
の正面図である。基台２１の前後に固定台２２が
固定され、この固定台２２間に円筒軸からなる２
本の平行な固定軸２３，２４が掛け渡されてい
る。そして、可動体２５はこの固定軸２３，２４
が挿通し、挿通部分に圧縮気体が供給されて可動
体２５と固定軸２３，２４とが非接触状態とな
り、可動体２５が固定軸２３，２４の軸方向に移
動するものである。
の正面図である。基台２１の前後に固定台２２が
固定され、この固定台２２間に円筒軸からなる２
本の平行な固定軸２３，２４が掛け渡されてい
る。そして、可動体２５はこの固定軸２３，２４
が挿通し、挿通部分に圧縮気体が供給されて可動
体２５と固定軸２３，２４とが非接触状態とな
り、可動体２５が固定軸２３，２４の軸方向に移
動するものである。
しかしながら、この構造は固定軸２３，２４の
上下および左右の傾き、開き等の平行度が狂うと
可動体２５が動かない欠点がある。
上下および左右の傾き、開き等の平行度が狂うと
可動体２５が動かない欠点がある。
このため、従来から第５図および第６図に示す
構造のものが考案されている。第５図は実開昭57
−187926号公報に開示された直線案内装置であ
り、固定台２２に掛け渡された２本の平行な固定
軸２６，２７の内、一方の固定軸２６が円筒軸か
らなり、他の固定軸が矩形軸から構成されてい
る。可動体２５は固定軸２６，２７の上下から開
設された給気口２８から圧縮気体が供給されてス
ライドするようになつている。従つて、この構造
によると、固定軸２６，２７の左右の開きの影響
は受けないが、上下方向の取り付け精度によつて
は可動体２５が動かなくなる不都合がある。
構造のものが考案されている。第５図は実開昭57
−187926号公報に開示された直線案内装置であ
り、固定台２２に掛け渡された２本の平行な固定
軸２６，２７の内、一方の固定軸２６が円筒軸か
らなり、他の固定軸が矩形軸から構成されてい
る。可動体２５は固定軸２６，２７の上下から開
設された給気口２８から圧縮気体が供給されてス
ライドするようになつている。従つて、この構造
によると、固定軸２６，２７の左右の開きの影響
は受けないが、上下方向の取り付け精度によつて
は可動体２５が動かなくなる不都合がある。
一方、第６図は特開昭54−19040号公報に開示
された装置であり、固定軸２９が矩形軸からな
り、この矩形軸が挿通する可動体２５の挿通穴３
０内に伸縮自在なベローズ３１が取り付けられ、
ベローズ３１を介して圧縮気体が固定軸２９に噴
出するようになつている。これにより、上下方向
の取り付け精度のくるいがベローズ３１で吸引さ
れるため可動体２５の移動が可能となつている
が、ベローズを装着するため、構造が複雑となる
問題がある。
された装置であり、固定軸２９が矩形軸からな
り、この矩形軸が挿通する可動体２５の挿通穴３
０内に伸縮自在なベローズ３１が取り付けられ、
ベローズ３１を介して圧縮気体が固定軸２９に噴
出するようになつている。これにより、上下方向
の取り付け精度のくるいがベローズ３１で吸引さ
れるため可動体２５の移動が可能となつている
が、ベローズを装着するため、構造が複雑となる
問題がある。
本考案は上記従来技術を考慮してなされ、構造
が簡単であるにもかかわらず、左右、上下方向の
取り付け精度がこの影響を受けることなく、可動
体の移動を可能にした気体軸受式直線案内装置を
提供することを目的としている。
が簡単であるにもかかわらず、左右、上下方向の
取り付け精度がこの影響を受けることなく、可動
体の移動を可能にした気体軸受式直線案内装置を
提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本考案に係る気体軸
受式直線案内装置は、 円柱状固定軸に平行させて矩形固定軸を配設
し、円柱状固定軸に遊合する貫通孔に固定軸に向
けて穿設した上下一対の静圧空気の吐出口と矩形
固定軸に遊合する端部を開放したコ字形断面部に
穿設した上下一対の静圧空気の吐出口を設けた可
動体を支持案内する静圧直線案内装置において、 前記コ字形断面部に穿設した静圧空気挿通部分
の吐出口面を前記矩形固定軸方向に隆起する円弧
面に形成した ことを特徴としている。
受式直線案内装置は、 円柱状固定軸に平行させて矩形固定軸を配設
し、円柱状固定軸に遊合する貫通孔に固定軸に向
けて穿設した上下一対の静圧空気の吐出口と矩形
固定軸に遊合する端部を開放したコ字形断面部に
穿設した上下一対の静圧空気の吐出口を設けた可
動体を支持案内する静圧直線案内装置において、 前記コ字形断面部に穿設した静圧空気挿通部分
の吐出口面を前記矩形固定軸方向に隆起する円弧
面に形成した ことを特徴としている。
以下、本考案に係る気体軸受式直線案内装置の
一実施例を第１図を参照して具体的に説明する。
この実施例の直線案内装置は、２本の平行な固定
軸１，２と、固定軸１，２の軸方向に直線移動す
る可動体３とからなつている。固定軸１，２はい
ずれも図示しない固定台に掛け渡されており、一
の固定軸１が円筒軸からなり、他の固定軸２が矩
形軸からなつている。従つて、矩形軸２によつて
左右方向の傾きや開きが防止されている。前記可
動体３はこの２本の固定軸１，２が挿通してお
り、円筒軸からなる固定軸１側の部分３ａが長
く、軸受幅が長くなつている。このように軸受幅
が長いことから、この固定軸１側部分３ａ上には
移送される部品が搭載されて、その荷重を受ける
ようになつている。この可動体３の矩形軸２側の
部分３ｂは細くなつており、端部に矩形溝が形成
され、この矩形溝内に前記矩形軸２が挿通してい
る。そして、このような可動体３には圧縮気体を
固定軸１，２と可動体３との間の軸受〓間４，５
に供給する給気口６，７，８が開設されている。
この給気口はいずれも可動体３の上下から開設さ
れて対となつており、前記円筒軸１側には二対の
給気口６，７が形成され、前記矩形軸２側には一
対の給気口８が形成されている。給気口６，７，
８から供給された圧縮気体は固定軸１，２との可
動体３との軸受〓間４，５内に充填して可動体３
を固定軸１，２と非接触状態に支承するため可動
体３の移動が可能となつている。
一実施例を第１図を参照して具体的に説明する。
この実施例の直線案内装置は、２本の平行な固定
軸１，２と、固定軸１，２の軸方向に直線移動す
る可動体３とからなつている。固定軸１，２はい
ずれも図示しない固定台に掛け渡されており、一
の固定軸１が円筒軸からなり、他の固定軸２が矩
形軸からなつている。従つて、矩形軸２によつて
左右方向の傾きや開きが防止されている。前記可
動体３はこの２本の固定軸１，２が挿通してお
り、円筒軸からなる固定軸１側の部分３ａが長
く、軸受幅が長くなつている。このように軸受幅
が長いことから、この固定軸１側部分３ａ上には
移送される部品が搭載されて、その荷重を受ける
ようになつている。この可動体３の矩形軸２側の
部分３ｂは細くなつており、端部に矩形溝が形成
され、この矩形溝内に前記矩形軸２が挿通してい
る。そして、このような可動体３には圧縮気体を
固定軸１，２と可動体３との間の軸受〓間４，５
に供給する給気口６，７，８が開設されている。
この給気口はいずれも可動体３の上下から開設さ
れて対となつており、前記円筒軸１側には二対の
給気口６，７が形成され、前記矩形軸２側には一
対の給気口８が形成されている。給気口６，７，
８から供給された圧縮気体は固定軸１，２との可
動体３との軸受〓間４，５内に充填して可動体３
を固定軸１，２と非接触状態に支承するため可動
体３の移動が可能となつている。
第２図は荷重を受ける一の固定軸１側部分３ａ
が二又に分岐され、各分岐部分に給気口６，７が
開設されたものである。
が二又に分岐され、各分岐部分に給気口６，７が
開設されたものである。
ここで、他の固定軸２部分の断面図〔第１図の
−線断面〕は第３図に示すごとく挿通部分９
の吐出口面が固定軸２方向に隆起する円弧面に形
成し、固定軸１，２が上下左右方向の傾きや開き
の狂いを生じても、可動体３はスムーズに移動す
るようにしてある。
−線断面〕は第３図に示すごとく挿通部分９
の吐出口面が固定軸２方向に隆起する円弧面に形
成し、固定軸１，２が上下左右方向の傾きや開き
の狂いを生じても、可動体３はスムーズに移動す
るようにしてある。
以上のとおり本考案によると、一の固定軸に対
して給気口を二対形成し、他の固定軸に対して給
気口を一対形成して、固定軸の上下、左右方向の
取付精度の影響を受けることがなく、可動体の移
動がスムーズに行なわれる。又、構造が極めて簡
単であるから製造が容易で安価である。
して給気口を二対形成し、他の固定軸に対して給
気口を一対形成して、固定軸の上下、左右方向の
取付精度の影響を受けることがなく、可動体の移
動がスムーズに行なわれる。又、構造が極めて簡
単であるから製造が容易で安価である。
第１図は本考案に係る気体軸受式直線案内装置
の一実施例の斜視図、第２図はその平面図、第３
図は挿通部分９の部分断面図、第４図は従来装置
の正面図、第５図および第６図はそれぞれ別の従
来装置の一部切り欠き斜視図および断面図であ
る。 １，２…固定軸、３…可動体、６，７，８…給
気口、９…挿通部分。
の一実施例の斜視図、第２図はその平面図、第３
図は挿通部分９の部分断面図、第４図は従来装置
の正面図、第５図および第６図はそれぞれ別の従
来装置の一部切り欠き斜視図および断面図であ
る。 １，２…固定軸、３…可動体、６，７，８…給
気口、９…挿通部分。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 円柱状固定軸に平行させて矩形固定軸を配設
し、円柱状固定軸に遊合する貫通孔に固定軸に向
けて穿設した上下一対の静圧空気の吐出口と矩形
固定軸に遊合する端部を開放したコ字形断面部に
穿設した上下一対の静圧空気の吐出口を設けた可
動体を支持案内する静圧直線案内装置において、 前記コ字形断面部に穿設した静圧空気挿通部分
の吐出口面を前記矩形固定軸方向に隆起する円弧
面に形成した ことを特徴とする気体軸受式直線案内装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985150195U JPH035688Y2 (ja) | 1985-10-01 | 1985-10-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985150195U JPH035688Y2 (ja) | 1985-10-01 | 1985-10-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6259324U JPS6259324U (ja) | 1987-04-13 |
| JPH035688Y2 true JPH035688Y2 (ja) | 1991-02-14 |
Family
ID=31066115
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985150195U Expired JPH035688Y2 (ja) | 1985-10-01 | 1985-10-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH035688Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533987A (en) * | 1978-08-29 | 1980-03-10 | Philips Nv | Structure system for manufacturing construction member |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57187926U (ja) * | 1981-05-25 | 1982-11-29 |
-
1985
- 1985-10-01 JP JP1985150195U patent/JPH035688Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5533987A (en) * | 1978-08-29 | 1980-03-10 | Philips Nv | Structure system for manufacturing construction member |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6259324U (ja) | 1987-04-13 |
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