JPS6034740B2 - 十字動載物台 - Google Patents

十字動載物台

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JPS6034740B2
JPS6034740B2 JP51020153A JP2015376A JPS6034740B2 JP S6034740 B2 JPS6034740 B2 JP S6034740B2 JP 51020153 A JP51020153 A JP 51020153A JP 2015376 A JP2015376 A JP 2015376A JP S6034740 B2 JPS6034740 B2 JP S6034740B2
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JP
Japan
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base plate
guide
cross
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moving stage
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JP51020153A
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English (en)
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JPS52104247A (en
Inventor
幸雄 柿崎
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Nikon Corp
Original Assignee
Nippon Kogaku KK
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Publication date
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    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
    • F16C29/008—Systems with a plurality of bearings, e.g. four carriages supporting a slide on two parallel rails
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
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    • F16M11/20—Undercarriages with or without wheels
    • F16M11/2085—Undercarriages with or without wheels comprising means allowing sideward adjustment, i.e. left-right translation of the head relatively to the undercarriage
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002—Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C2322/00—Apparatus used in shaping articles
    • F16C2322/39—General build up of machine tools, e.g. spindles, slides, actuators
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、Ｘ、Ｙ方向のストローク（移動距離）を有す
る十字勤戦物台に関する。
軽量の試料でもＸＹ方向にストロークを大きくとり得る
、精度の良い、測定機類の十字動戦物台の開発を、ＩＣ
メーカをはじめ各方面で望んでいる。
この要求を満たすのに、コンパウンド型や顕微鏡の十字
勤載物台といった従来からの構造を踏襲した十字勤敷物
台を設計すると、大型化はまぬがれず、載せる試料の軽
量に関係なく、載物台自体の自重に耐えうるように各構
成部材を堅牢にする必要があり、また構成部品点数を減
らし‘こくい欠点を有することになる。
ここで、本発明では、上下２つのベース間に、別々に直
角に緊締した案内部材を井桁状に組んだ十字動戦物台に
よってＸＹ方向のストロークを得て上記の欠点を解決し
ている。
図は本発明の十字勤載物台の一実施例の、説明用分解図
である。
十字動戦物台のベース１，１′は、上部に配置されて一
般に十字動を行なうベースプレート１と、固定されてい
るベースプレート１′とから成る。
ビス４によって別々に直角定規等で正確にはかって直角
に緊縦された台形断面形状の案内部材２，２′：３，３
′を井桁状に組んである。井桁状の案内部材の一対角線
上にある２交点のみを正確な直交度を保ってＬ字型に緊
縦する。この案内部材によって、ベースプレート１を固
定ベースプレート１′に対してＸＹ方向に動かす。ベー
スプレート１と案内部材２，２′；３，３′の間にニー
ドルベアリング５とセパレータ６を、ベースプレート′
と案内部材２，２′：３，３′の間にニードルベアリソ
グ５とセパレータ６を配設する。すなわち、ベースプレ
ート１のＹ方向に断面が台形状の案内溝ａ，ａ′を設け
、この溝に断面が台形状の案内部村３，２を俵合し、各
案内部材の両斜辺と、各溝の両斜辺との間にニードルベ
アリング５とセパレータ６とを隊挿してある。一方ベー
スプレート１′の×方向に逆台形状の案内溝ｂ，ｂ′を
設け、この溝に逆台形状の案内部材２′，３′を競合し
、各案内部材の両斜辺との間にニードルベアリング５と
セパレータ６とを鉄挿してある。ニードルベアリング５
、セパレータ６はすべりを円滑にするためのもので必要
なければ省いてよい。次にこの戦物台の操作について説
明する。今、ベースプレート１を矢印×方向へ動かすと
、ベースプレートーの案内溝ａ，ａ′‘こ井桁状に組ま
れた案内部材３，２が鉄合しそして案内部材３，２が案
内部材３′，２′に緊締されているから案内部材３′，
２′がベースプレート１と一緒に動く。このとき固定ベ
ースプレート１′の案内溝ｂ，ｂ′内を案内部材２′，
３′はニードルベアリング５を介して移動する。また、
ベースプレート１を矢印Ｙ方向へ動かすと固定ベースプ
レート１′の案内溝ｂ，ｂ′に井桁状に組まれた案内部
材２′，３′が鉄合しそして案内部材２′，３′が案内
部材２，３に緊綿されているからベースプレートーは案
内部材３，２に取付けたニードルベアリング５を介して
移動する。
以上の如く、ベースプレ−トーは見かけ上、固定ベース
プレート１′で十字動を簡単に行なうことができる。な
お、ベースプレートの中を図の一点鎖線Ｃに示すように
くり抜く必要のある場合には、例えば顕微鏡の十字動戦
物台の照明用くり抜きの場合にはくり抜いた孔を取り囲
むように案内部材を井桁状に配設するのがよい。
また、本実施例では、井桁状に組んだ案内部村の断面形
状を台形にしたが、丸、正四角形、長方形等の形状でも
よい。
以上の如き構成の本発明によれば、井桁状の案内部村を
両ベースプレート間に配したので載物台の自重を含む、
耐荷重性が増大する。
井桁状に組んだ案内部村の一対角線上の２交点部分の直
角度を正確に測ってからＬ字型に緊緒し、繁稀してし、
ない自由端部を両ベースプレートの案内溝ａ，ａ′；ｂ
，ｂ′の図の直交状態にならわせておいてあから、正確
な直角度をもつ案内部材にならって他方の直交した案内
部材がにげるので、ＸＹ送り方向の直交度がきわめて良
いし、ベースプレートの案内溝の各平行度を気にする必
要がない。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の−実施例を説明るための分解図である。 （主要部分の符号の説明）、１，１′・・…・ベースプ
レート、ａ，ａ，ｂ，ｂ′……案内溝、２，２′，３，
３′・・・…案内部材、４・・・・・・ピス、５・・・
・・・ニードルベアリング、６・・・…セパレータ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １ ２つの略々平行な案内溝ｂ，ｂ′を形成した固定ベ
    ースプレート１′と、前記案内溝と対向しかつ略々直交
    した、２つの略々平行な案内溝ａ，ａ′を形成した移動
    ベースプレート１と、前記両ベースプレートの各案内溝
    にそれぞれ嵌合すると共に井桁状に組まれた案内部材２
    ，２′；３，３′とから構成し、該案内部材の一対角線
    上にある２つの交点のみを正確な直交度を保つてＬ字型
    に緊締したことを特徴とする十字動載物台。
JP51020153A 1976-02-27 1976-02-27 十字動載物台 Expired JPS6034740B2 (ja)

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JP51020153A JPS6034740B2 (ja) 1976-02-27 1976-02-27 十字動載物台
US05/768,608 US4113223A (en) 1976-02-27 1977-02-14 Cross-movable carriage

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JPS52104247A JPS52104247A (en) 1977-09-01
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