JPH0355858A - 半導体素子の実装構造およびその実装方法 - Google Patents
半導体素子の実装構造およびその実装方法Info
- Publication number
- JPH0355858A JPH0355858A JP1192098A JP19209889A JPH0355858A JP H0355858 A JPH0355858 A JP H0355858A JP 1192098 A JP1192098 A JP 1192098A JP 19209889 A JP19209889 A JP 19209889A JP H0355858 A JPH0355858 A JP H0355858A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor element
- lead terminals
- substrate
- mounting
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 19
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000565 sealant Substances 0.000 claims description 9
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/50—Tape automated bonding [TAB] connectors, i.e. film carriers; Manufacturing methods related thereto
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体素子の実装構造およびその実装方法に
関し、特に、TAB(Tape Automated
Bondingの略)実装方法を用いた、半導体素
子の実装構造およびその実装方法に関する。
関し、特に、TAB(Tape Automated
Bondingの略)実装方法を用いた、半導体素
子の実装構造およびその実装方法に関する。
[従来の技術]
薄型電子機器の生産コスト低減を目指して、半導体素子
(以下、ICチップと称す)の実装にテープ状フィルム
使い効果的にICパッケージの薄型化を図っている。こ
のようなICチップの実装方法にTAB実装方法があり
、幅、長さ共に十分であるテープ状フィルムにICチッ
プ搭載用の配線パターンを次々と形成し、ここにICチ
ップを一括ボンディングしていく実装方法がある。TA
B実装方法において用いられるテープ状フィルムを以下
TABテープと称する。
(以下、ICチップと称す)の実装にテープ状フィルム
使い効果的にICパッケージの薄型化を図っている。こ
のようなICチップの実装方法にTAB実装方法があり
、幅、長さ共に十分であるテープ状フィルムにICチッ
プ搭載用の配線パターンを次々と形成し、ここにICチ
ップを一括ボンディングしていく実装方法がある。TA
B実装方法において用いられるテープ状フィルムを以下
TABテープと称する。
第3図は、従来のTAB実装後のICチップを基板上に
実装した状態の断面構造を示す概略図である。
実装した状態の断面構造を示す概略図である。
第4図は、第3図に示す実装構造を形成するための実装
過程を説明する概略断面図である。
過程を説明する概略断面図である。
第3図および第4図を参照して、従来のTAB実装後の
ICチップの実装構造とその実装方法について詳細に説
明する。
ICチップの実装構造とその実装方法について詳細に説
明する。
ICチップ1のTAB実装に際して、予めICチップ1
とTABテープ10が準備される。ICチップ1には、
予めその表面に電極(図示しない)が形成されこの電極
に対応するように電極上にバンプ2が形或される。バン
ブ2は、ICチップ1をTABテープ10にボンディン
グするための金属系であり、両者の電気的接合を可能に
する。
とTABテープ10が準備される。ICチップ1には、
予めその表面に電極(図示しない)が形成されこの電極
に対応するように電極上にバンプ2が形或される。バン
ブ2は、ICチップ1をTABテープ10にボンディン
グするための金属系であり、両者の電気的接合を可能に
する。
一方、TABテープ10には、予めICチップ1表面上
の電極配置に対応して導電性のリード3が形戊され、リ
ード3上には加熱などによるり一ド3の歪を吸収するよ
うにサポートリング14が形成される。サポートリング
14は、TABテープ10と同様なフィルム状の材料よ
りなる。なお、リード3のサポートリング14を境にし
てICチップ1側をインナーリード部、他方側をアウタ
ーリード部と称する。
の電極配置に対応して導電性のリード3が形戊され、リ
ード3上には加熱などによるり一ド3の歪を吸収するよ
うにサポートリング14が形成される。サポートリング
14は、TABテープ10と同様なフィルム状の材料よ
りなる。なお、リード3のサポートリング14を境にし
てICチップ1側をインナーリード部、他方側をアウタ
ーリード部と称する。
第4図(a)において、上述のように予め準備されたT
ABテーブ10とICチップ1は、バンプ2とリード3
との共晶などにより電気的に接続される。
ABテーブ10とICチップ1は、バンプ2とリード3
との共晶などにより電気的に接続される。
第4図(b)において、第4図(a)の段階でTABテ
ープ10にリード接合されたICチップ1を、金型など
を用いてインナーリード部を含んで封止剤15で封止す
る。封止剤15は、たとえば樹脂材料からなる。
ープ10にリード接合されたICチップ1を、金型など
を用いてインナーリード部を含んで封止剤15で封止す
る。封止剤15は、たとえば樹脂材料からなる。
第4図(C)において、第4図(b)の段階で封止剤1
5により固定成形されたICチップ1を、TABテープ
10より専用の金型などを用いて打抜く。このとき、固
定成形されたICチップ1は、封止されないリード3部
分(アウターリード部)を定型に曲げ加工されてTAB
テープ10より打抜かれる。
5により固定成形されたICチップ1を、TABテープ
10より専用の金型などを用いて打抜く。このとき、固
定成形されたICチップ1は、封止されないリード3部
分(アウターリード部)を定型に曲げ加工されてTAB
テープ10より打抜かれる。
第4図(d)において、第4図(C)の段階でTABテ
ープ10より打抜かれたICチップ1は、予め、その表
面に導体パターン5が形成された基板9上にリード3と
導体パターン5とが対応するように設置される。その後
、ヒートッール16を用いて、リード3と導体パターン
5の接触部を半田付け(熱圧着)して、ICチップ1を
アウターリード接合し基板9上に実装している。この熱
圧着時の加熱によるリード3の歪をサポートリング14
で吸収するようにしている。第3図に、第4図(d)の
段階終了後の実装構造の断面を示す。
ープ10より打抜かれたICチップ1は、予め、その表
面に導体パターン5が形成された基板9上にリード3と
導体パターン5とが対応するように設置される。その後
、ヒートッール16を用いて、リード3と導体パターン
5の接触部を半田付け(熱圧着)して、ICチップ1を
アウターリード接合し基板9上に実装している。この熱
圧着時の加熱によるリード3の歪をサポートリング14
で吸収するようにしている。第3図に、第4図(d)の
段階終了後の実装構造の断面を示す。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、従来のTAB実装されたICチップの基
板への実装においては、以下に示すような問題点がある
。
板への実装においては、以下に示すような問題点がある
。
(1) ICチップをアウターリード接合によって
基板上に実装するため、ICチップ1個あたりの実装面
積が大きくなってしまい、高密度実装に適さない。
基板上に実装するため、ICチップ1個あたりの実装面
積が大きくなってしまい、高密度実装に適さない。
(2) アウターリード接合に、半田を使用するので基
板の導体パターン上に半田めっきを行なう工程が必要で
ある。
板の導体パターン上に半田めっきを行なう工程が必要で
ある。
(3) アウターリード接合に、ヒートツールを用いる
ので熱によってICチップを破壊するおそれがある。
ので熱によってICチップを破壊するおそれがある。
(4) アウターリード接合に半田接合を用いているの
で、基板が半田接合に適する必要がある。
で、基板が半田接合に適する必要がある。
以上のような問題点があるために、TAB実装されたI
Cチップの基板への実装はコストアップにならざるを得
ないという問題もある。
Cチップの基板への実装はコストアップにならざるを得
ないという問題もある。
それゆえに本発明の目的は、リード端子が設けられた半
導体素子をヒートツールを用いずに基板上に実装すると
ともに、その実装密度の向上を図ることができるような
、半導体素子の実装構造およびその実装方法を提供する
ことである。
導体素子をヒートツールを用いずに基板上に実装すると
ともに、その実装密度の向上を図ることができるような
、半導体素子の実装構造およびその実装方法を提供する
ことである。
[課題を解決するための手段]
本発明にかかる半導体素子の実装構造は、基板上に実装
される半導体素子の実装構造であって、リード端子が設
けられた前記半導体素子と、加圧導電材料を介して前記
リード端子が加圧されて接触する導体パターンを有する
基板と、前記半導体素子を囲み、光を透過するような壁
部材と、前記壁部材内に注入され、前記半導体素子のリ
ード端子が加圧導電材料を加圧した状態で光硬化する封
止剤とを備えたものである。
される半導体素子の実装構造であって、リード端子が設
けられた前記半導体素子と、加圧導電材料を介して前記
リード端子が加圧されて接触する導体パターンを有する
基板と、前記半導体素子を囲み、光を透過するような壁
部材と、前記壁部材内に注入され、前記半導体素子のリ
ード端子が加圧導電材料を加圧した状態で光硬化する封
止剤とを備えたものである。
また、上記の半導体素子の実装構造を形戊する実装方法
は、半導体素子にリード端子を接合する。
は、半導体素子にリード端子を接合する。
また、前記リード端子が接触するような導体パターンが
その表面に形威された基板を準備し、加圧導伝材料を介
して前記導体パターンと前記リードとを位置合わせし、
位置合わせされた前記半導体素子と基板に、封止壁と透
光板からなる光透過性の壁部材を被せて加圧接合し、そ
の後前記壁部材内に光硬化封止剤を流し込み、光により
前記封止剤を硬化させる工程を含んでいる。
その表面に形威された基板を準備し、加圧導伝材料を介
して前記導体パターンと前記リードとを位置合わせし、
位置合わせされた前記半導体素子と基板に、封止壁と透
光板からなる光透過性の壁部材を被せて加圧接合し、そ
の後前記壁部材内に光硬化封止剤を流し込み、光により
前記封止剤を硬化させる工程を含んでいる。
[作用]
上記のように形成される半導体素子の実装構造において
は、半導体素子をリード接合によって、基板上に実装し
、半導体素子1個あたりの実装面積を縮小するようにし
ている。また、半導体素子の基板上への実装過程におい
ては、加熱処理が行なわれないので、熱による各部材(
半導体素子を含む)への影響を防止するように働く。
は、半導体素子をリード接合によって、基板上に実装し
、半導体素子1個あたりの実装面積を縮小するようにし
ている。また、半導体素子の基板上への実装過程におい
ては、加熱処理が行なわれないので、熱による各部材(
半導体素子を含む)への影響を防止するように働く。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明す
る。
る。
第1図は、本発明の一実施例のTAB実装後のICチッ
プを基板上に実装した状態の断面構造の概略図である。
プを基板上に実装した状態の断面構造の概略図である。
第2図は、第1図に示す実装構造を形成するための実装
過程を説明する断面図である。
過程を説明する断面図である。
第1図および第2図を参照して、本発明のICチップの
実装構造とその実装方法の一実施例について詳細に説明
する。
実装構造とその実装方法の一実施例について詳細に説明
する。
従来同様に、予めバンブ2が形或されたICチップ1お
よびリード3が形成されたTABテープ10が準備され
る。但し、サポートリング14は形成されない。
よびリード3が形成されたTABテープ10が準備され
る。但し、サポートリング14は形成されない。
第2図(a)において、予め準備されたTABテーブ1
0とICチップ1は、バンブ2とリード3との共晶など
により電気的に接続されICチップ1はTABテーブ1
0に実装される。
0とICチップ1は、バンブ2とリード3との共晶など
により電気的に接続されICチップ1はTABテーブ1
0に実装される。
第2図(b)おいて、第2図(a)の段階でTAB実装
されたICチップ1を金型などを用いてインナーリード
部でTABテーブ10より打抜く。
されたICチップ1を金型などを用いてインナーリード
部でTABテーブ10より打抜く。
このとき、リード3の曲げ加工などは施されないので、
歪吸収のためのサポートリング14を廃することができ
、また、リード端子を短くできる。
歪吸収のためのサポートリング14を廃することができ
、また、リード端子を短くできる。
第2図(C)において、第2図(b)の段階でTABテ
ーブ10より打抜かれたICチップ1は、予め、その表
面に導体パターン5が形成された基板9上に、加圧導電
ゴムの層4を介してリード3と導体パターン5を位置合
わせする。
ーブ10より打抜かれたICチップ1は、予め、その表
面に導体パターン5が形成された基板9上に、加圧導電
ゴムの層4を介してリード3と導体パターン5を位置合
わせする。
第2図(d)において、透光板6と透光性のある封止壁
8とで蓋状に一体形成された型を、位置合わせされたリ
ード3上に、封止壁8が位置するように載せる。
8とで蓋状に一体形成された型を、位置合わせされたリ
ード3上に、封止壁8が位置するように載せる。
第2図(e)において、第2図(d)の段階で設置され
た透光板6の上方向から透光性のある加圧ツール13に
より基板9方向に加圧して、各部の接合強度を強化する
。加圧ツール13には、ICチップ1を封止するような
封止剤を流入するための封止ノズル11が設けられてい
る。このとき、加圧導電ゴムの層4の導電特性によりI
Cチツブ1と導体パターン5間は電気的に接合された状
態になる。したがって、この状態で導通試験を行なうこ
とができる。またこの試験結果が良好であるもののみ次
の段階に進めることもできる。
た透光板6の上方向から透光性のある加圧ツール13に
より基板9方向に加圧して、各部の接合強度を強化する
。加圧ツール13には、ICチップ1を封止するような
封止剤を流入するための封止ノズル11が設けられてい
る。このとき、加圧導電ゴムの層4の導電特性によりI
Cチツブ1と導体パターン5間は電気的に接合された状
態になる。したがって、この状態で導通試験を行なうこ
とができる。またこの試験結果が良好であるもののみ次
の段階に進めることもできる。
第2図(f)において、第2図(e)の段階で行なわれ
る導通試験が良好であるものに限って、封止ノズル11
より封止樹脂7をICチツプ1を封止するように注入す
る。このとき、封止樹脂7の注入に並行して、発光源1
2からの光照射により、注入された封止樹脂7が硬化さ
れる。この場合、封止樹脂7はUV(Ultra V
ioletの略)効果により硬化が進行する特性を有し
ており、発光iFj12から照射される紫外線を吸収し
硬化が進行するものである。
る導通試験が良好であるものに限って、封止ノズル11
より封止樹脂7をICチツプ1を封止するように注入す
る。このとき、封止樹脂7の注入に並行して、発光源1
2からの光照射により、注入された封止樹脂7が硬化さ
れる。この場合、封止樹脂7はUV(Ultra V
ioletの略)効果により硬化が進行する特性を有し
ており、発光iFj12から照射される紫外線を吸収し
硬化が進行するものである。
第1図に第2図(f)の段階が終了し、加圧ツール13
を取除いた後の断面構造を示す。
を取除いた後の断面構造を示す。
[発明の効果コ
以上のように、本発明によれば以下に示すような効果が
ある。
ある。
(1) 半導体素子に設けられるリード端子を短<シ、
リード接合によって、基板上に実装するようにしている
ので、半導体素子1個あたりの実装面積を縮小すること
ができる。
リード接合によって、基板上に実装するようにしている
ので、半導体素子1個あたりの実装面積を縮小すること
ができる。
(2) TAB実装された半導体素子を、加圧導電性
のゴム層を介して基板上に実装していることより、半導
体素子の樹脂封止前に半導体素子と基板との導通確認が
可能となる。したがって、基板への実装完了後に出る不
良製品の割合を低減することができ製品の信頼性を向上
できる。
のゴム層を介して基板上に実装していることより、半導
体素子の樹脂封止前に半導体素子と基板との導通確認が
可能となる。したがって、基板への実装完了後に出る不
良製品の割合を低減することができ製品の信頼性を向上
できる。
(3) 半導体素子の実装過程においては、加熱処理が
行なわれないので、熱による各部材(半導体素子を含む
)への影響を防ぐことができる。
行なわれないので、熱による各部材(半導体素子を含む
)への影響を防ぐことができる。
(4) 前記の効果(2)に記す加圧導電性のゴム層に
より、従来の半田接合が廃されるので、基板材料が制限
されず、安価なフイルム状の基板の使用も可能となる。
より、従来の半田接合が廃されるので、基板材料が制限
されず、安価なフイルム状の基板の使用も可能となる。
したがって、TAB実装方法によるコストアップは、上
述の安価な基板を用いることや実装過程で行なわれる導
通試験による信頼性向上によって十分に相殺することが
できる。
述の安価な基板を用いることや実装過程で行なわれる導
通試験による信頼性向上によって十分に相殺することが
できる。
第1図は、本発明の一実施例のTAB実装後のICチッ
プを基板上に実装した状態の断面構造の概略図である。 第2図は、第1図に示す実装構造を形成するための実装
過程を説明する断面図である。第3図は、従来のTAB
実装後のICチップを基板上に実装した状態の断面構造
を示す概略図である。第4図は、第3図に示す実装構造
を形成するための実装過程を説明する概略断面図である
。 図において、1はICチップ、3はリード、4は加圧導
電ゴムの層、9は基板および10はTABテープである
。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 9l
プを基板上に実装した状態の断面構造の概略図である。 第2図は、第1図に示す実装構造を形成するための実装
過程を説明する断面図である。第3図は、従来のTAB
実装後のICチップを基板上に実装した状態の断面構造
を示す概略図である。第4図は、第3図に示す実装構造
を形成するための実装過程を説明する概略断面図である
。 図において、1はICチップ、3はリード、4は加圧導
電ゴムの層、9は基板および10はTABテープである
。 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 9l
Claims (2)
- (1) 基板上に実装される半導体素子の実装構造であ
って、 リード端子が設けられた前記半導体素子と、加圧導電材
料を介して前記リード端子が加圧されて接触する導体パ
ターンを有する基板と、前記半導体素子を囲み、光を透
過するような壁部材と、 前記壁部材内に注入され、前記リード端子が加圧導電材
料を加圧した状態で光硬化する封止剤とを備えた、半導
体素子の実装構造。 - (2) 基板上に半導体素子を実装する方法であって、 半導体素子にリード端子を接合し、 加圧導電材料を介して前記リード端子が接触する前記基
板の導体パターンと前記リード端子とを位置合わせし、 位置合わせされた前記半導体素子と基板に、封止壁と透
光板からなる壁部材を被せて加圧接合し、前記壁部材内
に光硬化封止剤を流し込み、光により硬化させる工程を
含む、半導体素子の実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1192098A JPH0355858A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 半導体素子の実装構造およびその実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1192098A JPH0355858A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 半導体素子の実装構造およびその実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0355858A true JPH0355858A (ja) | 1991-03-11 |
Family
ID=16285617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1192098A Pending JPH0355858A (ja) | 1989-07-24 | 1989-07-24 | 半導体素子の実装構造およびその実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0355858A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007236845A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Yoshio Watanabe | 折畳み財布 |
JP2013155101A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Equos Research Co Ltd | 水素製造装置 |
-
1989
- 1989-07-24 JP JP1192098A patent/JPH0355858A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007236845A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Yoshio Watanabe | 折畳み財布 |
JP2013155101A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Equos Research Co Ltd | 水素製造装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2924830B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US6501525B2 (en) | Method for interconnecting a flat panel display having a non-transparent substrate and devices formed | |
US7368818B2 (en) | Methods of making microelectronic assemblies including compliant interfaces | |
US6723584B2 (en) | Methods of making microelectronic assemblies including compliant interfaces | |
KR960043137A (ko) | 반도체장치와 반도체장치의 제조방법 및 리드프레임의 제조방법 | |
JPH02273946A (ja) | 半導体装置の実装構造および実装方法 | |
JPH0883866A (ja) | 片面樹脂封止型半導体装置の製造方法及びこれに用いるキャリアフレーム | |
KR19980068001A (ko) | 반도체 패키지의 제조방법 | |
US5628111A (en) | Methods of fabricating of semiconductor package and mounting of semiconductor device | |
US5382546A (en) | Semiconductor device and method of fabricating same, as well as lead frame used therein and method of fabricating same | |
JPH0394460A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JPH0355858A (ja) | 半導体素子の実装構造およびその実装方法 | |
JP3026204B1 (ja) | ベアチップ実装方法 | |
KR20080074468A (ko) | 초음파를 이용한 반도체 칩의 표면실장방법 | |
JP3014577B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH08236560A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
JP2803211B2 (ja) | 半導体装置のボンディング方法及びボンディング装置 | |
JP2004253529A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JPH0888248A (ja) | フェイスダウンボンディング方法及びそれに用いる接続材料 | |
JP2712654B2 (ja) | 電子部品の実装構造及び製造方法 | |
JPH0574829A (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
JPS63151031A (ja) | 半導体装置の接続方法 | |
KR200179421Y1 (ko) | 적층형 반도체 패캐이지 | |
JPS6396692A (ja) | 液晶装置の作製方法 | |
JPH06244238A (ja) | マルチチップモジュールの実装方法 |