JPH0351776A - 半導体デバイス用ソケット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （概要〕 複数のキャリアが連ねて装着される形式の半導体デバイ
ス用ソケットに関し、 半導体デバイスの装着の自動化を図ることを目的とし、 キャリアがセットされるキャリアセット部が複数並んで
配されたソケット本体と、下面の長手方向に沿う両側に
上記キャリアを複数連ねて嵌合保持する溝を有する蓋と
、半導体デバイスが載置されたキャリアが複数保持され
た上２！蓋を上記ソケット本体に固定するクランパとよ
りなり、上記蓋がソケット本体に固定されて、半導体デ
バイスが載置された複数のキャリアが各キャリアセット
部上にセットされる様構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は複数のキャリアが連ねて装着される形式の半導
体デバイス用ソケットに関する。

被測定デバイス（半導体デバイス）は検査用ソケットに
装着されて検査される。

この検査工程において、電気特性の測定に加えて、被測
定デバイスを検査用ソケットに装着する動作も自動化さ
れる傾向にある。

従って、検査用ソケットは自動化に適した構造であるこ
とが望ましい。

〔従来の技術〕

第４図は従来のバーンインのための被測定デバイス検査
用ソケット１を示す。

２はソケット本体であり、バーンイン用ボード３上に固
定しである。

４は蓋であり、両側にクランパ５．６を有する。

７はキャリアである。

被測定デバイス８をソケット１に装着する場合には、ま
ず被測定デバイス８をキャリア７に載置する作業■を行
ない、次にキャリア７をソケット本体２のキャリアセッ
ト部２ａ上にセットする作業■を行ない、最後に、蓋４
をクランパ５，６によりソケット本体２に固定する作業
■を行なう。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のように、−の被測定デバイス８をソケット１に装
着するのに三つの作業が必要となる。

従って例えば三つの被測定デバイス８．８−ｉ。

８−２を装着するには、第５図に示すように、９つもの
作業■〜■が必要となり、しがも、比較的複雑となる装
着作業が−のデバイス毎に必要となり、被測定デバイス
をソケットに装着する作業の自動化が図りにくい。

本発明は半導体デバイスの装着の自動化を図ることを可
能とする半導体デバイス用ソケットを提供することを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、キャリアがセットされるキャリアセット部が
複数並んで配されたソケット本体と、下面の長手方向に
沿う両側に上記キャリアを複数連ねて嵌合保持する溝を
有する蓋と、半導体デバイスが載置されたキャリアが複
数保持された上記蓋を上記ソケット本体に固定するクラ
ンパとよりなり、 上記蓋がソケット本体に固定されて、半導体デバイスが
載置された複数のキャリアが各キャリアセット部上にセ
ットされる様構成したものである。

〔作用〕

−の蓋をソケット本体に固定するーの作業により、複数
個の半導体デバイスのソケットへの装着が可能となり、
比較的複雑である固定作業の回数が減り、ロボットによ
る装着の自動化を実現し易くなる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例になるバーンイン用である被
測定デバイス（半導体デバイス）検査用ソケット２０を
示す。

２１は細長のソケット本体であり、中央の凸段部２１ａ
の上面に、キャリアがセットされるキャリアセット部２
２．２３．２４が三つ並んで配されており、バーンイン
用ボード２５上に固定しである。２１ｂ、２１ｃは両側
の凹段部である。

ソケット本体２１には、各キャリアセット部２２．２３
．２４毎に、一対のキャリア位置決めビン２６が植設し
てあり、且つ凹段部２１ｂ。

２１ｃの夫々反対側の端近層に、蓋位置決めビン２７が
植設しである。

２８．２９は夫々蓋をクランプするクランパであり、ソ
ケット本体２１の長手方向上中央の部位に設けである。

３０は蓋であり、ソケット本体２１に対応した細長形状
を有し、下面の長手方向に沿う両側に、キャリアを保持
するためのガイド溝３１．３２を有する。

３３．３４は夫々ガイド溝３１．３２を形成するための
フランジ部である。

３５はキャリア収容空間であり、蓋の下面に形成されて
いる。

３６は位置決め用孔である。

４０、．４０−２．４０−３は夫々同じキャリアであり
、夫々中央に被測定デバイス載置部４０−１ａ。

４０　　．４（１３ａを有し、且つ位置決め用孔２８ ４０−Ｂ、、４０−２ｂ、４０−３ｂを有する。

５ｏ−１，５ｏ−２，５ｏ−３は夫々被測定デバイスで
ある。

次に被測定デバイス５０−１〜５０−３を上記のソケッ
ト２０に装着する作業手順について、第２図を併せ参照
して説明する。

まず、被測定デバイス５０−１〜５０−３を夫々キャリ
ア４０−１〜４０−３の載置部４０−１ａ〜４０−３．
に載置する作業（！Ｅ）、　ｏ、　ｏを行なう。

次にこのキャリア４０〜４０−３を、その両側１ をガイド溝３１．３２に嵌合させて、蓋３０の下面側に
連ねて挿入する作業＠、　Ｏ，Ｃｊ；ｗ行なう。

最後に三つのキャリア４０〜４０−３が収容中１ 間３５内に収まって連なって保持された蓋３０をソケッ
ト本体２１上に載置し、クランパ２８゜２９によりクラ
ンプする作業Ｏを行なう。

上記の作業によって、第３図に示すように、蓋３０がソ
ケット本体２１上に固定され、各キャリア４０〜４０−
３が夫々キャリアセット部２２゜１ ２３．２４にセットされ、各被測定デバイス５０−〜５
０−３が各リードをソケット本体２１内のリードと電気
的に接続された状態とされる。

蓋３０は位置決め用孔３６をビン２７に嵌合されて位置
決めされ、各キャリア４０−１〜４０−３は夫々位置決
め用孔’４ｏ−１ｂ〜４０−３ｂを夫々ビン２６に嵌合
されて個別に位置決めされる。これにより各キャリア４
０−１〜４０−３は各キャリアセット部２２．２３．２
４に精度良く位置決めされてセットされ、各被測定デバ
イス５０−１〜５０−３は各リードがソケット本体２１
と正しく電気的に接続された状態となり、バーンインは
正常に行われる。

なお、蓋３０は、７ランジ部３３．３４を凹段部２１ｂ
、２ＩＣに当接させて、ソケット本体２１上に載置され
る。

上記より分かるように、■　三つの被測定デバイス５０
−〜５０−３をソケット２０にセットする作業の数は７
つであり、従来の９つより２つ少ない。

■　キャリア４０−１〜４０−３を蓋３０に収容する作
業についてみると、作業の数は従来と同じく３つである
が、蓋３０が同一物であり、同じ蓋３０にキャリア４０
−１〜４０−３を連ねて挿入する作業となり、蓋を一つ
一つ取り換える手間がなく、作業はその分単純なものと
なる。

■　蓋３０をソケット本体２１に固定する作業が上記の
作業のうち最も複雑なものである。この作業が上記三つ
のキャリアについて一回で済んでいる。

上記のＩ、　Ｉｌ、　ＩＩＩの理由により、上記の作業
をロボットによる自動化とすることが容易となる。

また、三つのキャリア４０−１〜４０−３を蓋３０内に
収容する作業Ｏｎ、　Ｏ，［相］を別の場所で行なって
おけば、被測定デバイス５０−１〜５０−３をソケット
２０に装着する作業は、デバイス三つ毎に一回の作業伽
足り、作業回数が従来の場合の１／３にまで削減でき、
自動化が更に容易となる。

なお、被測定デバイス５０−１〜５０−３の種類に応じ
て、ソケット本体２１についてはキャリアセット部２２
．２３．２４の構成の異なるものを用意しておき、キャ
リアについては外形寸法及び位置決め用孔の位置は変え
ずに被測定デバイス載置部の寸法形状を変えたものを用
意しておくことにより、蓋３０については同じものを共
用することが出来、好都合である。

また、蓋３０内体を、複数のキャリアを搬送するコンテ
ナとして使用することもできる。

また上記実施例は二連式の例であるが、これに限らず、
四速式、五速式の構成とすることもできる。

また蓋３０には、キャリアがみえるように上面に開口窓
を形成してもよい。

〔発明の効果〕

以上説明した様に、本発明によれば、複数のキャリアを
一度にソケット本体に固定できるため、蓋をソケット本
体に固定する作業回数が減り、被測定デバイスをソケッ
トに装着する作業のロボットによる自動化に好適である
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の半導体デバイス用ソケットの一実施例
を示す図、 第２図は被測定デバイスのソケットへの装着作業を説明
する図、 第３図は被測定デバイスが装着された状態を示す図、 第４図は従来の被測定デバイス検査用ソケットの１例を
示す図、 第５図は第４図のソケットにおいて被測定デバイスのソ
ケットへの装着作業を説明する図である。 図において、 ２０は被測定デバイス検査用ソケット、２１はソケット
本体１ ２２〜２４はキャリアセット部、 ２５はバーンイン用ボード、 ２６はキャリア位置決めビン、 ２７は上蓋位置決めビン、 ２８．２９はクランパ、 ３０は蓋、 ３１．３２は溝、 ３５はキャリア収容空間、 ３６は位置決め用孔、 ４０−１〜４０−３はｔ”？！Ｊ７． ４０　〜４０−３ａは被測定デバイス載置部、Ｉａ ４０−ｔｂ〜４０−３ｂは位置決め用孔、５０〜５０−
３は被測定デバイス １ を示す。 第２図 クク」（シｉ−（員り定デノ（４スＡ嘩１噴を閂）ンケ
ート１１−ダ９１Σ１（す７第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 キャリア（４０＿−＿１、４０＿−＿２、４０＿−＿３
   ）がセットされるキャリアセット部（２２、２３、２４
   ）が複数並んで配されたソケット本体（２１）と、下面
   の長手方向に沿う両側に上記キャリアを複数連ねて嵌合
   保持する溝（３１、３２）を有する蓋（３０）と、 半導体デバイス（５０＿−＿１〜５０＿−＿３）が載置
   されたキャリア（４０＿−＿１〜４０＿−＿３）が複数
   保持された上記蓋（３０）を上記ソケット本体（２１）
   に固定するクランパ（２８、２９）とよりなり、上記蓋
   （３０）がソケット本体（２１）に固定されて、半導体
   デバイス（５０＿−＿１〜５０＿−＿３）が載置された
   複数のキャリア（４０＿−＿１〜４０＿−＿３）が各キ
   ャリアセット部（２２、２３、２４）上にセットされる
   構成の半導体デバイス用ソケット。