JPH03506108A - 少なくとも一列の超音波エレメントを含む超音波変換器 - Google Patents

少なくとも一列の超音波エレメントを含む超音波変換器

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JPH03506108A
JPH03506108A JP1507730A JP50773089A JPH03506108A JP H03506108 A JPH03506108 A JP H03506108A JP 1507730 A JP1507730 A JP 1507730A JP 50773089 A JP50773089 A JP 50773089A JP H03506108 A JPH03506108 A JP H03506108A
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JP1507730A
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デ・ラ・フォンテーニュ,マルセル・ローランド
Original Assignee
ベー・ファウ・オプティシェ・インダストリー・“デ・オウデ・デルフト”
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    • B06GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06BMETHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
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  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 少なくとも一列の超音波エレメントを含む超音波変換器本発明は、少なくとも一 列の超音波エレメントを含む超音波変換器であって、連続的なエレメントの横断 方向側縁が列の横方向中心軸線に関して斜めに延在する超音波変換器に関する。
以下「配列」と称す超音波エレメントの列を含むそのような超音波変換器は米国 特許明細書第4.425,525号から知られている。そのような配列が超音波 振動の助けによって検査のために、例えば医学検査のために使用される時、配列 中のエレメントのそれぞれが主ローブおよび多数のサイドローブを有する圧カバ ターンを被駆動時に送出することか問題である。前記サイドローブは圧カバター ンが配列の長手方向軸線、横方向軸線、に対して平行に検査されている時に現れ るのみならず、それに対して垂直な方向、横断方向、へも現れる。前記サイドロ ーブは主ローブに関して比較的高い強度を有し、配列の助けによって得られたロ ーブエコー像の解釈をひどく阻害することがある。
既知の配列では、サブエレメントのそれぞれにダイヤモンドの形状を与えること が提案されており、エレメントのそれぞれの横断方向軸線に沿ってみてダイヤモ ンドの端は平らに切られている。このように成形されたエレメントでは配列の横 方向中心軸線からその2つの長手方向側縁の方へみた各エレメントの幅がそのた め徐々に減少しており、このようなエレメントの助けによって、サイドローブが 明らかに抑制された圧カバターンが配列の横断方向に得られる。しかしながら、 既知の配列の欠点は横方向にみた圧カバターンのサイドローブが全く抑制されな いことである。超音波エレメントの配列では、そのようなサイドローブは隣接し たエレメントのサイドコープの干渉を生じ、その結果として、所謂「格子ローブ Jが発生され、それはそのような格子ローブが成る状態では主ローブと同し位強 いことがあるので圧カバターンに非常に不利に作用することがある。エレメント を鋸断によってサブエレメントに分割すること(「サブダイシング」)によって そのような格子ローブを成る程度まで抑制することはそれ自体知られている技術 であり、鋸断の幅とサブエレメントの幅との間の特別の比はこの技術では格子ロ ーブの最善に可能な抑制のために選ばれる。格子ローブのより良い抑制を得るた めに、その原因、つまりエレメントのそれぞれの圧カバターンでのサイドローブ の存在、に対処することは望ましい。
本発明は、横方向にみて超音波エレメントの幅が列の連続的なエレメントのピッ チよりも大きい前述した種類の超音波変換器を提供することによってこれを達成 するための解決策を提供する。
本発明による方策の結果として、以下で詳細に説明されるように、横断方向およ び横方向の両方への圧カバターン中のサイドローブを抑制し、それにより該サイ ドローブ、および特にそれから干渉によって発生される格子ローブが超音波エコ ー像の分析に不利に作用しないようにすることが可能であることが立証されてい る。
超音波変換器のエレメントのサイドローブを抑制することがドイツ特許明細書3 .304,666から知られることが指摘される。このために、配列の長手方向 へ、配列の2つの端の方へ、より弱く徐々に偏向されるエレメントが使用され、 その結果として配列の中心のエレメントはビームへ最大の貢献をする。しかしな がら、この解決策は相互に拡散する程度の偏向を存するエレメントが使用されね ばならないので厄介である。
本発明は図面と関連して例示的な実施例に基づいて以下でより詳細に説明される 0図面において、 図1は既知の超音波配列の斜視概略図であり、図2a、b、、bおよびdは図1 に従う配列で使用するための超音波エレメントの既知の形状の平面図および本発 明に従う超音波エレメントの3つの形状の平面図を示す。
図1は、実際の超音波エレメントが形成される圧電セラミック物質の棒10を含 む通常の超音波配列を示す。この棒は担持体11上にそれ自体知られた様態で取 付けられる。捧10の頂部に電極層12が付着され且つ底部に電極理工3が付着 される0図1に示した配列では、2つの電極層を有する捧10および担持体11 を通して鋸断することによって分離した超音波エレメントが形成され、その結果 として多数の個別の木質的に同し超音波ニレメン[4が形成され、それぞれは上 方電極12と下方電極13とを有する。超音波配列はこの多数の超音波エレメン トからそれ自体知られた様態で形成されることができる。
図1に示した配列では、超音波エレメントは、図1に従う配列からのニレメン) 14の3つを示す図2も示すように平面図で長方形の形状を有する。図2b、c 、dは配列でそれぞれの場合に本発明による3つの連続した超音波エレメントの 形状を平面図で示し、その超音波エレメントは14b、14cおよび14dでそ れぞれ指示され、かつ図2aに従う既知の超音波エレメント14と対照的にサイ ドローブが主ローブに関してかなりの程度まで常に抑制された圧カバターンを発 生し、それにより全配列の圧カバターンでの格子ローブの発生が大きく抑制され ることができる。
本発明は、配列の長手方向軸線と平行な方向へおよびそれと垂直な方向への両方 への超音波エレメントの放射パターンでのサイドローブのかなりの抑制が、もし 配列の連続的なエレメントのピッチがエレメントのそれぞれの幅よりも小さいな らば得られることの洞察に基づいている。図2bで、超音波エレメント14bの それぞれは翼の形状を有し、エレメント幅は2aで示され、エレメント高さは2 bで示され、長手方向軸線の両側での第1の対の側縁の間の角度は2αで示され 、長手方向軸線の両側での第2の対の側縁の間の角度は2βで示される。列中の 連続したエレメント14bの間のピッチはpで示される。
本発明に従う超音波ニレメンH4cおよび14dのそれぞれ図20および図2d に示した形状は本質的に図2bに従う実施例の変形例を形成する。寸法および角 度は図2bにおけると同じ参照符号で図20および図2dで示される。図2Cに 従う実施例について、2α−2βがあてはまるが、図2dに従う実施例について は配列の長手方向軸線と平行な超音波エレメントの極限は0に等しい長さを有す る。図20および図2dに従う実施例について、ニレメン)−幅2aが連続的な エレメントの間のピンチPよれも大きいことがあてはまる。
実際に、図20に従う実施例について圧カバターンのサイドローブの良好な抑制 はもし2α−2β−140°があてばまるならば得られることが判明している。
図2bおよび図2dに従う実施例について、要求2a>pを満足することができ るために2αく2β<180”があてはまる。
図1に示したような直線配列の変換器での超音波ニレメンH4b、14cまたは 14dの使用において、多数の配列をI断Y方向へ互いに次々に配置することに よって変換器を作り上げることは明らかに可能である。
また、配列での超音波エレメント14b、14cまたは14dの使用において、 格子およびサイドローブを抑制するためにそれ自体既に知られた技術を利用する ことは可能である。これらの既知の技術は、サイドローブを抑制するためにエレ メントの所謂「サブダイシング」、即ち配列の両端に配置されたエレメントの貢 献度が中心に配置されたエレメントの貢献度よりも少ない重さの重みを付けられ 、その結果としてサイドローブのより一層の抑制が可能であるように配列中の前 記エレメントの位置の関数としてエレメントの圧力振幅を重み付けることを含む 。
もし多数の配列がY方向へ互いに次々に使用されるならば、そのような重み付け はY方向へ実行されることができる。サイドローブを減衰する別の方法は、配列 の前方に配置された超音波レンズの吸収を位置依存させること、即ちエレメント の電極をその縁の方問へ一部エッチング除去することおよび配列中のエレメント の位置に対してエレメントの偏向をi[節することを含む。
図2b、cまたはdに従う超音波エレメントを有する配列を製作するための可能 な手順は、配列の横方向中心軸線に関して互いに鏡像をなす2つの剛度換器配列 を製作することを含む。図2の平面図でみてXthb線より上および下の超音波 エレメント部分を構成するそのような開度換器では、エレメントは、両側に電極 を存しかつ担持体上に取付けられた圧電セラミック物質の欅でエレメントを互い に鋸断によってまたはレーザーの助けによる切断によって分離しかつそれらに必 要な形を与えることによって簡単に作られることができる。最終的な配列は次に 2つの開度換器を互いに付着することによって作られることができる。
X軸線の両側の配列の部分は上述した実施例では互いに鏡像をなすが、これらの 配列部分を互いにX方向へ変位させることまたはXll1ll線の両側で異なる 形状にされたエレメント部分を使用することが原理的に可能である。
ロ            b            c          d補正書の翻訳文提出書 (特許法第184条の8) 平成 3年ノ月l/日 特許庁長官   植 松   敏  殿                   ウ11、特許出願の表示 PCT/EP89100739 2、発明の名称 少なくとも一列の超音波エレメントを含む超音波変換器3、特許出願人 住 所  オランダ国エヌニル−2612イクスエー デルフト。
ファン拳ミーレフエルトラーン 9 名 称  ベー・ファウ・オプティシェーインダストリー・デ・オウデ・デルフ ド 4、代理人 住 所  東京都千代田区大手町二丁目2番1号新大手町ビル 206区 電話 270 6641〜6646 5、補正書の提a日 超音波エレメントの配列では、そのようなサイドローブは隣接したエレメントの サイドローブの干渉を生じ、その結果として、所謂「格子ローブ」が発生され、 それはそのような格子ローブが成る状態では主ローブと同じ位強いことがあるの で圧カバターンに非常に不利に作用することがある。エレメントを鋸断よってサ ブエレメントに分割すること(「サブダイシング」)によってそのような格子ロ ーブを成る程度まで抑制することはそれ自体知られている技術であり、鋸断の幅 とサブエレメントの幅との間の特別の比はこの技術では格子ローブの最善可能な 抑制のために選ばれる。格子ローブのより良い抑制を得るために、その原因、エ レメントのそれぞれの圧カバターンでのサイドローブの存在、に対処することは 望ましい。
本発明は、横方向への超音波エレメント(14b、1.4c、14d)のそれぞ れの全体的伸長(2a)が列の横方向中心軸線(x)上の連続するエレメントの 中心点の間の距11(p)より大きい前述した種類の超音波変換器を提供するこ とによってこれを達成するための解決策を提供する。
本発明による方策の結果として、以下で詳細に説明されるように、横断方向およ び横方向の両方への圧カバターン中のサイドローブを抑制し、それにより該サイ ドローブ、および特にそれから干渉によって発生される格子ローブが超音波エコ ー像の分析に不利に作用しないようにすることが可能であることが立証されてい る。
超音波変換器のエレメントのサイドローブを抑制することがドイツ特許明細書3 .304.666から知られることが指摘される。このために、配列の長手方向 へ、配列の2つの端の方へ、より弱く徐々に偏向されるエレメントが使用され、 その結果として配列の中心のエレメントはビームへ最大の貢献をする。しかしな がら、この解決策は相互に拡散する程度の偏向を存するエレメントが使用されね ばならないので厄介である。
本発明は図面と関連して例示的な実施例に基づいて以下でより詳細に説明される 。
審査 謹求少範皿 1、超音波ニレメン)(14)の少なくとも1つの列を含む超音波変換器であっ て、連続するエレメントの横断方向側縁が列の横方向中心軸線(x)に関して斜 めに延在する超音波変換器において、横方向への超音波エレメント(14b、1 4c、14d)のそれぞれの全体的伸長(2a)が列横方向中心軸線(x)上で の連続するエレメントの中心点の間の距1(p)よりも大きいことを特徴とする 超音波変換器。
2 請求項1に記載された超音波変換器であって、エレメント(14b、14c 、14cl)が列の横方向中心軸線(x)に関して鏡対称関係にあり、一対の横 断方向側縁を存するエレメント(14b、14c、14d)のそれぞれが一対の 側縁部分を含む超音波変換器において、横方向中心軸線(x)に沿った特別の方 向にみて1、側縁部分のそれぞれが横方向中心軸線(x)と90“より小さい角 度(α、β)をなすことを特徴とする超音波変換器。
3、請求項2に記載された超音波変換器において、全ての側縁部分が横方向中心 軸線(x)と同一の角度(α、β)をなすことを特徴とする超音波変換器。
4、請求項2に記載された超音波変換器において、側縁部分が横方向中心軸線( X)の1つの側で常に収斂することを特徴とする超音波変換器。
国際調査報告 国際調査報告

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.超音波エレメントの少なくとも1つの列を含む超音波変換器であって、連続 するエレメントの横断方向側縁が列の横方向中心軸線に関して斜めに延在する超 音波変換器において、横方向にみた超音波エレメントの幅が列中の連続するエレ メントのピツチよりも大きいことを特徴とする超音波変換器。
  2. 2.請求項1に記載された超音波変換器であって、エレメントが列の横方向中心 軸線に関して鏡対称関係にあり、エレメントのそれぞれが一対の横断方向側縁を 有し、前記横断方向側縁のそれぞれが一対の側縁部分を含む超音波変換器におい て、横方向中心軸線に沿った特別の方向にみて、側縁部分のそれぞれが横方向中 心軸線と90°より小さい角度をなすことを特徴とする超音波変換器。
  3. 3.請求項2に記載された超音波変換器において、全ての側縁部分が横方向中心 軸線と同一の角度をなすことを特徴とする超音波変換器。
  4. 4.請求項2に記載された超音波変換器において、側縁部分が横方向中心軸線の 1つの側で常に収歛することを特徴とする超音波変換器。
JP1507730A 1988-07-13 1989-06-28 少なくとも一列の超音波エレメントを含む超音波変換器 Pending JPH03506108A (ja)

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NL8801776A NL8801776A (nl) 1988-07-13 1988-07-13 Ultrasone transducent omvattende tenminste een rij ultrasone elementen.
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EP (1) EP0440655B1 (ja)
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WO1990000792A1 (en) 1990-01-25
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US5182485A (en) 1993-01-26
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