KR102583663B1 - 임피던스 매칭 레이어 - Google Patents

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재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
경북대학교 산학협력단
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Abstract

본 발명의 일실시예는 상세하게는 요구되는 임피던스에 매칭될 수 있도록 제조 가능한 임피던스 매칭 레이어를 제공한다. 여기서, 임피던스 매칭 레이어는 입체 형상으로 형성되고, 변에 해당하는 영역에 형성되는 기둥부와, 기둥부에 의해 둘러싸인 내부 영역에 형성되는 공간부를 가지는 단위 구조셀을 포함하고, 단위 구조셀은 복수 개 마련되며, 음향 파동이 전달되는 제1방향 및 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연속적으로 배치된다.

Description

임피던스 매칭 레이어{IMPEDANCE MATCHING LAYER}
본 발명은 임피던스 매칭 레이어에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 요구되는 임피던스에 매칭될 수 있도록 제조 가능한 임피던스 매칭 레이어에 관한 것이다.
음향 파동 장치, 예를 들어 초음파 검사 장치는 초음파를 사람, 동물, 물체 등의 피검체에 조사하고, 피검체 내에서 반사되는 에코 신호를 검출하여 피검체 내 조직의 단층상 등을 모니터에 표시하고, 피검체의 검사에 필요한 정보를 제공한다.
초음파 검사는 접촉 초음파 검사와 비접촉 초음파 검사로 대별될 수 있으며, 접촉 초음파 검사는 물이나 접촉매질(Couplant)을 매개체로 초음파를 송수신한다. 그리고, 비접촉 초음파 검사는 물이나 접촉매질 대신 공기(대기)를 매개체로 초음파를 송수신한다. 초음파 검사는 의료용, 비파괴 탐지용 등 다양한 분야에서 광범위 하게 사용되고 있다.
한편, 접촉매질이 물이던 공기던 간에, 발생되는 초음파가 접촉매질에 잘 전달되도록 하기 위해서는 접촉매질과의 임피던스(Impedance)를 매칭시키는 것이 중요하며, 이에 따라, 종래의 초음파 장치에는 임피던스 매칭 레이어가 사용되고 있다.
그러나, 임피던스 매칭 레이어의 이론적 설계 값을 만족하는 강성을 가지는 상용소재는 존재하지 않는다. 따라서, 종래에는 복수의 소재를 적절하게 혼합하여 임피던스 매칭 레이어를 제조하였으나, 이러한 방법은 균질한 물성 구현이 어렵고 생산성이 낮은 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제2017-0139698호(2017.12.19. 공개)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 요구되는 임피던스에 매칭될 수 있도록 제조 가능한 임피던스 매칭 레이어를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 입체 형상으로 형성되고, 변에 해당하는 영역에 형성되는 기둥부와, 상기 기둥부에 의해 둘러싸인 내부 영역에 형성되는 공간부를 가지는 단위 구조셀;을 포함하고, 상기 단위 구조셀은 복수 개 마련되며, 음향 파동이 전달되는 제1방향 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연속적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 단위 구조셀은 직육면체 형상으로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 임피던스 매칭 레이어는 음향 파동을 발생하는 진동체와 접촉되는 제1접촉면을 가지고, 상기 제1접촉면은 빈 공간이 형성되지 않고 채워진 면의 형태로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1접촉면의 반대측에 형성되고 외부 매질에 접촉되는 상기 임피던스 매칭 레이어의 제2접촉면은 빈 공간이 형성되지 않고 채워진 면의 형태로 형성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 복수 개의 상기 단위 구조셀 중에, 음향 파동을 발생하는 진동체에 가깝게 배치된 단위 구조셀의 기둥부의 단면적은 상기 진동체에 멀리 배치된 단위 구조셀의 기둥부의 단면적보다 넓을 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 복수 개의 상기 단위 구조셀 중에, 음향 파동을 발생하는 진동체에 가깝게 배치된 단위 구조셀의 크기는 상기 진동체에 멀리 배치된 단위 구조셀의 크기보다 작을 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 단위 구조셀은, 이격된 2개의 꼭짓점을 서로 연결하고 상기 공간부를 가로지르면서 배치되는 보조 기둥부를 더 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 임피던스 매칭 레이어는 요구되는 임피던스를 구현할 수 있는 임피던스 매칭 레이어의 형태, 예를 들면, 단위 구조셀의 기둥부의 길이 및 굵기, 공간부의 부피, 배열되는 단위 구조셀의 개수 등이 이론적 계산을 통해 산출되기만 하면, 3D 프린팅 기술을 통해 용이하게 제조가 가능하다. 이를 통해, 다양한 요구 임피던스 조건을 만족시킬 수 있는 임피던스 매칭 레이어가 맞춤형으로 획득될 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어가 초음파 센서에 설치된 예를 나타낸 단면 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어의 일부를 나타낸 예시도이다.
도 3은 도 2의 임피던스 매칭 레이어를 나타낸 정면도이다.
도 4는 도 2의 임피던스 매칭 레이어의 인장 압축 하중 특성을 나타낸 이미지이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어의 제1접촉면 및 제2접촉면을 설명하기 위한 예시도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어에서 단위 구조셀의 배치 예를 설명하기 위한 예시도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어에서 단위 구조셀의 다른 배치 예를 설명하기 위한 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어의 다른 예를 나타낸 예시도이다.
도 9는 도 8의 임피던스 매칭 레이어를 나타낸 정면도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결(접속, 접촉, 결합)"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어가 초음파 센서에 설치된 예를 나타낸 단면 예시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어의 일부를 나타낸 예시도이고, 도 3은 도 2의 임피던스 매칭 레이어를 나타낸 정면도이다.
도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이, 임피던스 매칭 레이어(100)는 진동체(11)의 전면에 구비될 수 있으며, 진동체(11)에서 발생시키는 초음파를 방사할 수 있다.
도 1의 초음파 센서는 케이스(10)와, 케이스(10)의 내측에 진동체(11) 및 흡수부(12)가 배치되는 형태일 수 있다. 그리고, 진동체(11)는 압전소자일 수 있으며, 흡수부(12)는 진동체(11)의 후면에 구비될 수 있다. 흡수부(12)는 진동체(11)에서 발생시키는 초음파를 흡수함으로써 진동체(11)의 후방에서 진동이 제한되도록 하는 댐퍼 역할을 할 수 있다. 도 1에는 초음파 센서가 케이스(10)와, 케이스(10)의 내측에 진동체(11) 및 흡수부(12)가 배치되는 형태인 것으로 도시되고 있으나, 반드시 이러한 형태로 한정되는 것은 아니다.
임피던스 매칭 레이어(100)는 진동체(11)의 전면에 배치될 수 있으며, 진동체(11)와 외부 매질 사이의 임피던스 차이를 개선할 수 있고, 초음파의 투과성을 증가시킬 수 있다.
임피던스 매칭 레이어(100)는 복수 개의 단위 구조셀(110)을 포함할 수 있다. 단위 구조셀(110)은 입체 형상으로 형성될 수 있으며, 바람직하게는 직육면체 형상으로 형성될 수 있고, 더욱 바람직하게는 정육면체 형상으로 형성될 수 있다.
또한, 복수 개의 단위 구조셀(110)은 연속적으로 배치될 수 있다. 구체적으로 단위 구조셀(110)은 음향 파동이 전달되는 제1방향(A1)을 따라 연속적으로 배치될 수 있다. 그리고, 단위 구조셀(110)은 제1방향(A1)과 교차하는 제2방향(A2)을 따라서도 연속적으로 배치될 수 있다. 직육면체 형상의 단위 구조셀(110)이 연속적으로 배치될 수 있도록, 제2방향(A2)은 서로 수직한 제2-1방향(A2-1) 및 제2-2방향(A2-2)을 포함할 수 있다. 제1방향(A1), 제2-1방향(A2-1) 및 제2-2방향(A2-2)은 서로 수직할 수 있으며, 이를 통해, 복수 개의 단위 구조셀(110)은 3차원 적으로 연속되게 배치될 수 있다. 단위 구조셀(110)의 한 변의 길이는 수 내지 수백 ㎛ 정도로 작을 수 있으며, 이를 통해, 단위 구조셀(110)이 직육면체 형상으로 형성됨에도 임피던스 매칭 레이어(100)는 원기둥 형태 등 다양한 형태로 형성될 수 있다.
그리고, 본 실시예에서 단위 구조셀(110)은 기둥부(111) 및 공간부(112)를 가질 수 있다.
기둥부(111)는 단위 구조셀(110)의 변에 해당하는 영역에 형성될 수 있다. 그리고 공간부(112)는 기둥부(111)에 의해 둘러싸인 내부 영역에 형성될 수 있다. 본 실시예에 따른 단위 구조셀(110)은 3차원 트러스-격자(Truss-Lattice) 구조를 가질 수 있다.
임피던스 매칭 레이어(100)는 3D 프린팅 기술을 이용하여 제조될 수 있으며, 이를 통해, 임피던스 매칭 레이어(100)는 다양한 3차원 구조체로 용이하게 제조될 수 있다.
전술한 바와 같이, 전면추에 요구되는 기계적 특성 임피던스를 만족하는 상용 소재는 없기 때문에, 이러한 특성 임피던스를 맞출 수 있는 임피던스 매칭 레이어의 제작이 힘들다. 그러나, 본 발명에 따르는 임피던스 매칭 레이어(100)는 요구되는 임피던스를 구현할 수 있는 임피던스 매칭 레이어(100)의 형태, 예를 들면, 단위 구조셀(110)의 기둥부(111)의 길이 및 굵기, 공간부(112)의 부피, 배열되는 단위 구조셀(110)의 개수 등이 이론적 계산을 통해 산출되기만 하면, 3D 프린팅 기술을 통해 용이하게 제조가 가능하다. 이를 통해, 다양한 요구 임피던스 조건을 만족시킬 수 있는 임피던스 매칭 레이어가 맞춤형으로 획득될 수 있다.
도 4는 도 2의 임피던스 매칭 레이어의 인장 압축 하중 특성을 나타낸 이미지이다.
도 4에서 보는 바와 같이, 본 실시예에 따른 단위 구조셀(110)은 축방향으로는 탄성계수가 매우 크고 인장 압축 하중에 강성이 큼을 알 수 있다. 따라서, 이러한 단위 구조셀(110)을 가지는 임피던스 매칭 레이어(100)는 전면추의 굽힘 진동 영향이 적고, 축방향 인장 압축 하중이 큰 환경에서 효과적으로 성능이 구현될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어의 제1접촉면 및 제2접촉면을 설명하기 위한 예시도이다.
도 1과 함께 도 5에서 보는 바와 같이, 임피던스 매칭 레이어(100)는 음향 파동을 발생하는 진동체(11)와 접촉되는 제1접촉면(101)을 가질 수 있다. 진동체(11)에서 발생하는 음향의 진행 방향을 기준으로 할 때, 제1접촉면(101)은 임피던스 매칭 레이어(100)의 후면일 수 있다.
제1접촉면(101)은 빈 공간이 형성되지 않고 채워진 면의 형태로 형성됨이 바람직하다. 이를 통해, 제1접촉면(101)의 압축변형 방지의 효과가 있을 뿐만 아니라, 임피던스 매칭 레이어(100) 및 진동체(11)가 더욱 긴밀하게 접촉될 수 있어, 초음파 투과성이 개선될 수 있다.
제1접촉면(101)은, 임피던스 매칭 레이어(100)에서 진동체(11)와 접촉되는 부분에 배치되는 복수 개의 단위 구조셀의 후단측의 기둥부를 연결하면서 동일한 높이로 형성되거나(도 5의 (a) 참조), 또는 복수 개의 단위 구조셀의 후단측의 기둥부보다 더 후방으로 돌출되어 두께를 가지도록 형성될 수 있다(도 5의 (b) 참조).
그리고, 임피던스 매칭 레이어(100)는 제1접촉면(101)의 반대측에 형성되고 외부 매질에 접촉되는 제2접촉면(102)을 가질 수 있다. 진동체(11)에서 발생하는 음향의 진행 방향을 기준으로 할 때, 제2접촉면(102)은 임피던스 매칭 레이어(100)의 앞면일 수 있다.
제2접촉면(102)은 빈 공간이 형성되지 않는 채워진 면의 형태로 형성됨이 바람직하며, 이를 통해, 방사하는 음향 파동이 외부 매질로 효과적으로 전달되도록 하고, 임피던스 매칭 레이어(100)의 마모가 효과적으로 방지될 수 있다.
외부 매질이 물과 같은 액체인 경우에는 제2접촉면(102)에 의해 수밀성이 향상될 수 있으며, 외부 매질에 포함된 이물질이 임피던스 매칭 레이어(100)의 내측으로 유입되는 것이 방지될 수 있다.
제2접촉면(102)은, 임피던스 매칭 레이어(100)의 전면부에 배치되는 복수 개의 단위 구조셀의 전단측의 기둥부를 연결하면서 동일한 높이로 형성되거나(도 5의 (a) 참조), 또는 복수 개의 단위 구조셀의 전단측의 기둥부보다 더 전방으로 돌출되어 두께를 가지도록 형성될 수 있다(도 5의 (b) 참조).
한편, 복수 개의 단위 구조셀 중에, 음향 파동을 발생하는 진동체에 가깝게 배치된 단위 구조셀의 기둥부의 단면적은 진동체에 멀리 배치된 단위 구조셀의 단면적보다 넓게 형성될 수 있다.
그리고, 복수 개의 단위 구조셀 중에, 음향 파동을 발생하는 진동체에 가깝게 배치된 단위 구조셀의 크기는 진동체에 멀리 배치된 단위 구조셀의 크기보다 작게 형성될 수 있다.
이에 따라, 임피던스 매칭 레이어에서 진동체(11)에 가깝게 배치되는 부분일수록 밀도가 더 높아질 수 있으며, 이를 통해, 임피던스 매칭 레이어의 두께 방향으로 선형적으로 변하는 임피던스 특성을 가질 수 있다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어에서 단위 구조셀의 배치 예를 설명하기 위한 예시도이다.
도 6에서 보는 바와 같이, 임피던스 매칭 레이어(100)에서 진동체(11)를 기준으로 진동체(11)에 가장 가깝게 배치된 임피던스 매칭 레이어 영역(100-1)의 단위 구조셀(110-1)의 크기가 가장 작고, 그 다음으로 가깝게 배치된 임피던스 매칭 레이어 영역(100-2)의 단위 구조셀(110-2)의 크기는 그 다음으로 작으며, 제일 멀게 배치된 임피던스 매칭 레이어 영역(100-3)의 단위 구조셀(110-3)의 크기가 가장 클 수 있다.
또는, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어에서 단위 구조셀의 다른 배치 예를 설명하기 위한 예시도인데, 도 7에서 보는 바와 같이, 임피던스 매칭 레이어(100)에서 진동체(11)에 가장 가깝게 배치된 임피던스 매칭 레이어 영역(100-1)의 단위 구조셀(110-1)의 기둥부(111-1)의 단면적이 가장 넓을 수 있다. 즉, 기둥부(111-1)가 가장 굵을 수 있다. 그리고 상기 임피던스 매칭 레이어 영역(100-1) 보다 진동체(11)에서 멀리 배치된 임피던스 매칭 레이어 영역(100-2)의 단위 구조셀(110-2)의 기둥부(111-2)의 단면적은 상기 기둥부(111-1)의 단면적보다 좁아 더 얇을 수 있고, 상기 임피던스 매칭 레이어 영역(100-2) 보다 진동체(11)에서 멀리 배치된 임피던스 매칭 레이어 영역(100-3)의 단위 구조셀(110-3)의 기둥부(111-3)의 단면적은 상기 기둥부(111-2)의 단면적보다 좁아 더 얇을 수 있다.
그리고, 각 임피던스 매칭 레이어 영역(100-1,100-2,100-3)의 두께는 진동체(11)에서 발생되는 초음파의 작동파장에 따라 달라질 수 있다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어의 다른 예를 나타낸 예시도이고, 도 9는 도 8의 임피던스 매칭 레이어를 나타낸 정면도이다. 본 실시예에서는 단위 구조셀의 구성이 도 2 내지 도 4에서 설명한 단위 구조셀과 다를 수 있으며, 다른 구성은 동일하므로 반복되는 내용은 가급적 생략한다.
도 8 및 도 9에서 보는 바와 같이, 본 실시예에 따른 임피던스 매칭 레이어(100a)의 단위 구조셀(110a)은 보조 기둥부(115)를 더 가질 수 있다. 즉, 본 실시예에 따른 단위 구조셀(110a)은 공간부(112)에 보조 기둥부(115)를 가지는 3차원 트러스-격자(Truss-Lattice) 구조일 수 있다.
보조 기둥부(115)는 이격된 2개의 꼭짓점을 서로 연결하고 공간부(112)를 가로지르면서 배치될 수 있다. 보조 기둥부(115)에 의해 단위 구조셀(110a)은 대각 방향의 보강이 이루어질 수 있기 때문에, 보조 기둥부(115)를 가지는 임피던스 매칭 레이어(100a)는 전단력 및 굽힘 하중에 대한 강성이 보강될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
11: 진동체
100,100a,100b: 임피던스 매칭 레이어
101: 제1접촉면
102: 제2접촉면
110,110a,110b: 단위 구조셀
111: 기둥부
112: 공간부
115: 보조 기둥부

Claims (7)

  1. 음향 파동을 발생하는 진동체와, 상기 진동체의 일면에 배치되고 상기 진동체와 외부 매질 사이의 임피던스 차이를 조절하는 임피던스 매칭 레이어로서,
    입체 형상으로 형성되고, 변에 해당하는 영역에 형성되는 기둥부와, 상기 기둥부에 의해 둘러싸인 내부 영역에 형성되는 공간부를 가지는 단위 구조셀;을 포함하고,
    상기 단위 구조셀은 복수 개 마련되며, 상기 진동체에서 발생하는 음향 파동이 전달되는 제1방향 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연속적으로 배치되고,
    복수 개의 상기 단위 구조셀 중에, 음향 파동이 전달되는 상기 제1방향을 기준으로 상기 진동체에 가깝게 배치될수록 밀도가 더 높아지도록, 상기 진동체에 가깝게 배치되는 단위 구조셀의 기둥부의 단면적은 상기 진동체에서 멀리 배치되는 단위 구조셀의 기둥부의 단면적보다 넓은 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어.
  2. 음향 파동을 발생하는 진동체와, 상기 진동체의 일면에 배치되고 상기 진동체와 외부 매질 사이의 임피던스 차이를 조절하는 임피던스 매칭 레이어로서,
    입체 형상으로 형성되고, 변에 해당하는 영역에 형성되는 기둥부와, 상기 기둥부에 의해 둘러싸인 내부 영역에 형성되는 공간부를 가지는 단위 구조셀;을 포함하고,
    상기 단위 구조셀은 복수 개 마련되며, 상기 진동체에서 발생하는 음향 파동이 전달되는 제1방향 및 상기 제1방향과 교차하는 제2방향을 따라 연속적으로 배치되고,
    복수 개의 상기 단위 구조셀 중에, 음향 파동이 전달되는 상기 제1방향을 기준으로 상기 진동체에 가깝게 배치될수록 밀도가 더 높아지도록, 상기 진동체에 가깝게 배치되는 단위 구조셀의 크기는 상기 진동체에서 멀리 배치되는 단위 구조셀의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 단위 구조셀은 직육면체 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 임피던스 매칭 레이어는 음향 파동을 발생하는 진동체와 접촉되는 제1접촉면을 가지고,
    상기 제1접촉면은 빈 공간이 형성되지 않고 채워진 면의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1접촉면의 반대측에 형성되고 외부 매질에 접촉되는 상기 임피던스 매칭 레이어의 제2접촉면은 빈 공간이 형성되지 않고 채워진 면의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어.
  6. 삭제
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 단위 구조셀은, 이격된 2개의 꼭짓점을 서로 연결하고 상기 공간부를 가로지르면서 배치되는 보조 기둥부를 더 가지는 것을 특징으로 하는 임피던스 매칭 레이어.
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