JPH0349763Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、半導体チツプの電極部とパツケーゲ
の導体ピンを連結するボンデイングワイヤー等の
目的に使用される極細線のに伸線機に関するもの
である。

「従来の技術」 一般にこの種の極細線の伸線機は、界面活性剤
を含んだ伸線油を入れた油槽の中に複数の伸線ダ
イスを設けた伸線装置と、この伸線装置の側方に
設けられた仕上げダイスと、この仕上げダイスの
側方に設けられた巻き取りローラとから構成され
ている。そして前記伸線機によつて極細線を形成
するには、伸線油中のダイスによつて種線を伸線
して素線を形成し、この素線を仕上げダイスによ
つて水切りし、巻き取りローラに巻き取ることに
よつて行つていた。

「考案が解決しようとする問題点」 前記構成の伸線機にあつては、種線が伸線油を
通過するために、巻き取られた極細線の表面に、
伸線油の油分、塩素、ごみ等の不純物が付着する
ことになり、後工程に影響を与えるとともに、こ
の不純物が外観検査において発見される不良の主
原因となつていた。

「考案の目的」 本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、
不純物の付着を防止して不良の発生を防止でき、
品質の安定化をなしうるようにした伸線機を提供
することを目的とする。

「問題点を解決するための手段」 本発明は、伸線油に浸した種線を伸線加工して
素線を形成する複数の伸線ダイスを有する伸線装
置と、この伸線装置を通過した素線の水切りを行
つて極細線を形成する仕上げダイスと、前記伸線
装置と仕上げダイスの間に設けられて前記素線及
び前記仕上げダイスのダイス孔の開口部に超純水
を掛ける洗浄管と、前記仕上げダイスを通過した
極細線を巻き取る巻き取りローラとから構成され
るものである。

「作用」 伸線油が種線の伸線を円滑にするとともに、素
線に付着した伸線油中の不純物及びダイス孔内に
付着した微少なゴミを洗浄管から出された超純水
が除去し、仕上げダイスは素線の水切りを行つて
極細線を形成する。

「実施例」 図面は、本考案の一実施例を示すもので、伸線
機Ａは、基台１と、この基台１の上に設置された
伸線装置２と洗浄装置３と仕上げダイス４と巻き
取りローラ５とからなつている。

前記伸線装置２は、図面に示す基台１の左端に
設けられた油槽２ａと、この油槽２ａの内部の中
央に基台１の奥行き方向に並び、かつ、各ダイス
孔の開口面を基台１の左右に向けて設置された複
数の伸線ダイス２ｂと、これら伸線ダイス２ｂ…
を挟むように配置された一対のキヤプスタンロー
ラ２ｃ，２ｃとからなり、水槽２ａの中には界面
活性剤を含有した公知の伸線油が満たされてい
る。

前記洗浄装置３は、上面に排水口を形成した排
水ボツクス３ａと、この排水ボツクス３ａの下部
に接続されて前記排水口に連絡された排水管３ｂ
と、前記基台１に設置された洗浄管３ｃとからな
つている。前記排水ボツクス３ａの上面中央部に
は仕上げダイス４がそのダイス孔の開口面を前記
油槽２ａに向けて設置され、前記洗浄管３ｃの出
口３ｄは、この仕上げダイス４のダイス孔におけ
る油槽２ａ側の開口部に向けて開口されている。
そして、前記洗浄管３ｃは超純水の供給源に連絡
され、洗浄管３ｃの出口３ｄから超純水を仕上げ
ダイス４のダイス孔の油槽２ａ側の開口部に向け
て油槽２ａ側から出すことができるようになつて
いる。なお、前記超純水は、水道水をフイルタを
通してろ過し、イオン交換装置を通して純水と
し、この純水を更にフイルタを通し、イオン交換
装置を通し、フイルタを通して製造されるもの
で、その中に含まれるゴミ粒子の大きさが最大
0.2μ以下であつて、電気伝導度が0.05〜0.1μs／
cmのものである。なお、比較のために、前記純
水のデータを記述するならば、前記純水に含まれ
るゴミ粒子の大きさは最大0.2μ以下であるが、電
気伝導度は1μs／cm以上である。

前記構成の伸線機Ａによつて半導体製造用のボ
ンデイングワイヤー等の極細線を製造するには、
まず、所定の直径の種線B₁を用意してこれを伸
線油の中のキヤプスタンローラ２ｃ，２ｃに適宜
巻き付けつつ各伸線ダイス２ｂ…に通して伸線加
工を施す。この伸線加工は伸線油の中で行うため
に円滑になされ、この伸線加工によつて種線B₁
は素線B₂になる。

次に、これらの伸線ダイス２ｂを通過して形成
された素線B₂を仕上げダイス４に通す。この際、
洗浄管３の出口３ｄから超純水を連続的に出して
素線B₂に掛けるようにする。出口３ｄから出た
超純水は素線の移動方向に沿つて移動方向の斜め
後方から噴き出し、仕上げダイス４のダイス孔と
素線B₂に吹き掛かつて素線B₂に付着した不純物
とダイス孔内に付着した微細なゴミを洗い流す。
なお、この洗浄に使用した超純水は使い捨てにす
る。

仕上げダイス４によつて素線B₂は水切りされ
て極細線B₃にされ、この極細線B₃は巻き取りダ
イス５に巻き取られる。巻き取られた極細線B₃
にあつては、仕上げダイス４を通過する前に超純
水によつて不純物が除去されているために、不純
物の付着は見られない。また、素線B₂に付着し
た不純物の除去と同時に、仕上げダイス４のダイ
ス孔内に付着した微細なゴミの除去も行われるた
め、ダイス孔内にゴミが堆積せず、ダイス孔内の
ゴミが極細線B₃に付着することもない。即ち、
前記伸線機Ａによつて極細線を伸線するならば、
後工程に影響を与えることがなく、品質の安定し
た極細線を得ることができる。したがつて、半導
体製造用として優秀な極細線（ボンデイングワイ
ヤー）を製造することができる。

なお、洗浄管３から出す超純水を通常の純水や
水道水に変更すると、純水や水道水に含まれる不
純物を素線B₂に付着させてしまう可能性があつ
て、好ましくない。

ところで、前記伸線機Ａはボンデイングワイヤ
ー用の極細線の伸線の他に、他の目的のために用
いられる極細線の伸線に用いても良いのは勿論で
ある。

「考案の効果」 以上説明したように、本考案の伸線機は、伸線
油に通過して仕上げダイスを通過する前の素線及
び仕上げダイスのダイス孔の開口部に洗浄管から
出した超純水を掛けて、素線に付着した不純物の
除去とともにダイス孔内に付着した微細なゴミの
除去を行うことができるため、不純物やゴミの付
着が無い、優れた極細線を製造することができ
る。したがつて本考案の伸線機によつて製造した
極細線は半導体製造用のボンデイングワイヤーと
して好適である。

【図面の簡単な説明】

図面は、本考案の一実施例を示す斜視図であ
る。 Ａ……伸線機、B₁……種線、B₂……素線、B₃
……極細線、２ｂ……伸線ダイス、３……洗浄装
置、３ｃ……洗浄管、３ｄ……出口、４……仕上
げダイス、５……巻き取りローラ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 伸線油に浸した種線Ｂ１を伸線加工して素線Ｂ
   ２を形成する複数の伸線ダイス２ｂを有する伸線
   装置２と、この伸線装置２を通過した素線Ｂ２の
   水切りを行つて極細線Ｂ３を形成する仕上げダイ
   ス４と、前記伸線装置２と仕上げダイス４の間に
   設けられて前記素線Ｂ２及び前記仕上げダイス４
   のダイス孔の開口部に超純水を掛ける洗浄管３ｃ
   と、前記仕上げダイス４を通過した極細線Ｂ３を
   巻き取る巻き取りローラ５とからなることを特徴
   とする極細線の伸線機。