JP2013172032A - ボンディングワイヤの製造方法 - Google Patents
ボンディングワイヤの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013172032A JP2013172032A JP2012035496A JP2012035496A JP2013172032A JP 2013172032 A JP2013172032 A JP 2013172032A JP 2012035496 A JP2012035496 A JP 2012035496A JP 2012035496 A JP2012035496 A JP 2012035496A JP 2013172032 A JP2013172032 A JP 2013172032A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- annealing
- bonding wire
- bonding
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/741—Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
- H01L24/745—Apparatus for manufacturing wire connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/43—Manufacturing methods
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/43—Manufacturing methods
- H01L2224/432—Mechanical processes
- H01L2224/4321—Pulling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/43—Manufacturing methods
- H01L2224/438—Post-treatment of the connector
- H01L2224/43848—Thermal treatments, e.g. annealing, controlled cooling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/4501—Shape
- H01L2224/45012—Cross-sectional shape
- H01L2224/45015—Cross-sectional shape being circular
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45144—Gold (Au) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/45001—Core members of the connector
- H01L2224/45099—Material
- H01L2224/451—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
- H01L2224/45147—Copper (Cu) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4554—Coating
- H01L2224/45565—Single coating layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/44—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
- H01L2224/45—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4554—Coating
- H01L2224/45599—Material
- H01L2224/456—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
- H01L2224/45663—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than 1550°C
- H01L2224/45664—Palladium (Pd) as principal constituent
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00011—Not relevant to the scope of the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/00014—Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01015—Phosphorus [P]
Abstract
【課題】ワイヤボンディングの際に、ボール形状のバラツキが小さく、電極からはみ出ることのない安定したボール形状が得られるボンディングワイヤを提供する。
【解決手段】複数のダイスを通過させて金属細線10を所定の線径まで伸線加工する伸線工程と、アニール炉120を通過させて伸線加工された金属細線をアニールするアニール工程とを有するボンディングワイヤの製造方法であって、アニール工程において、アニール後の金属細線に大気圧プラズマを照射して金属細線の表面を洗浄する。
【選択図】図2
【解決手段】複数のダイスを通過させて金属細線10を所定の線径まで伸線加工する伸線工程と、アニール炉120を通過させて伸線加工された金属細線をアニールするアニール工程とを有するボンディングワイヤの製造方法であって、アニール工程において、アニール後の金属細線に大気圧プラズマを照射して金属細線の表面を洗浄する。
【選択図】図2
Description
本発明は、ボンディングワイヤの製造方法に関し、特に、複数のダイスを通過させて金属細線を所定の線径まで伸線加工する伸線工程と、アニール炉を通過させて伸線加工された前記金属細線をアニールするアニール工程とを有するボンディングワイヤの製造方法に関する。
近年、半導体パッケージの製造において、コストダウンを目的とし、金ボンディングワイヤから銅ボンディングワイヤへ切り替えがなされている。
しかしながら、単独の銅ボンディングワイヤは、リードフレームとの接合強度を安定して得ることが難しいため、従来から、銅ボンディングワイヤにパラジウムメッキを施したパラジウム被覆銅ボンディングワイヤが用いられている(例えば、特許文献1参照)。
パラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、ワイヤボンディングを行う際、アーク放電によりワイヤ先端部を溶融し、ボールを形成することにより半導体素子の電極と接合する。その際、パラジウムがボールの表面を覆っていれば、銅の酸化を防ぐとともに、接合強度を安定させることができる。
しなしながら、近年、半導体パッケージは高密度化が進み、電極の大きさも著しく小さくなり、異形状のボールで接合させると、隣接するボールと接触することで半導体の機能を失うこととなる。
パラジウム被覆銅ボンディングワイヤは、ボールを生成するときに、ワイヤ表面層に施したパラジウムメッキ膜がボール表面近傍に存在するが、パラジウムの溶け方に偏りがある場合、電極にボンディングされたボールは異形状となりやすく、隣接するボールと接触し不良を発生させてしまうという問題があった。
そこで、本発明は、ワイヤボンディングの際に、ボール形状のバラツキが小さく、電極からはみ出ることのない安定したボール形状が得られるボンディングワイヤを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の一態様に係るボンディングワイヤの製造方法は、複数のダイスを通過させて金属細線を所定の線径まで伸線加工する伸線工程と、アニール炉を通過させて伸線加工された前記金属細線をアニールするアニール工程とを有するボンディングワイヤの製造方法であって、
前記アニール工程において、アニール後の前記金属細線に大気圧プラズマを照射して前記金属細線の表面を洗浄することを特徴とする。
前記アニール工程において、アニール後の前記金属細線に大気圧プラズマを照射して前記金属細線の表面を洗浄することを特徴とする。
ここで、前記大気圧プラズマの照射は、アニール後の前記金属細線を前記スプールに巻き取る際に行われてもよい。
また、伸線加工された前記金属細線をアニールする前に、水で超音波洗浄が行われることとしてもよい。
ここで、前記水の温度は、45℃〜60℃であることが好ましい。
また、前記超音波洗浄は、前記アニール炉の前に浴槽を設けて行われる構成としてもよい。
更に、前記伸線工程において、前記金属細線が最終ダイスを通過した後に、45℃〜60℃の水で水洗が行われることとしてもよい。
なお、前記水洗は、前記最終ダイスの後に浴槽を設けて行われる構成としてもよい。
ここで、前記伸線工程は、前記金属細線を最終線径まで伸線する最終伸線工程であり、
前記アニール工程は、最終アニール工程である構成であってもよい。
前記アニール工程は、最終アニール工程である構成であってもよい。
また、前記金属細線は、銅を主成分とする芯材の周囲に、パラジウムを主成分とする被覆層を形成したパラジウム被覆銅ボンディングワイヤである構成であってもよい。
本発明によれば、ワイヤボンディングの際、ボールが異形状になることを防止し、安定して電極内に収めることができる。
以下、図面を参照して、本発明を実施するための形態の説明を行う。
図1は、本発明の実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法の伸線工程の一例を示した図である。図1において、本実施形態に係るボンディングワイヤの伸線工程に用いられる伸線機100が示されている。伸線機100は、スプール20、21と、駆動キャプスタン30と、案内キャプスタン31と、ダイス40〜47と、洗浄ユニット90とを備える。洗浄ユニット90は、洗浄槽50と、ノズル70とを備え、洗浄槽50には水60が満たされている。また、図1において、伸線加工の対象である金属細線10が示されている。
なお、本実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法の伸線工程は、製造工程中の種々の伸線工程に適用することができるが、例えば、最終伸線工程に適用されてもよい。
金属細線10は、最終的に半導体実装に用いられるボンディングワイヤとして製品化される金属線材である。本実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法は、種々の金属細線10に適用することができ、金属細線10は、例えば、金線のように単独金属から構成されてもよいし、銅を主成分とする芯材の周囲に、パラジウムを主成分とする被覆層を形成したパラジウム被覆銅線のような被覆金属線であってもよい。なお、金属細線10が金線の場合には、金ボンディングワイヤが製造され、金属細線10がパラジウム被覆銅線の場合には、パラジウム被覆銅ボンディングワイヤが製造される。
スプール20、21は、金属細線10が巻回された状態で、金属細線10を保持するための部材であり、金属細線10を巻回した状態で移動・搬送が可能である。スプール20は、巻き回された金属細線10を巻き出して伸線機100に供給するための巻き出し用スプールである。一方、スプール21は、伸線機100により伸線加工された金属細線10を巻き取るための巻き取り用スプールである。
駆動キャプスタン30は、回転駆動して金属細線10を引っ張り込み、金属細線10を移動させる手段である。一方、案内キャプスタン31は、金属細線10をガイドして送り出す手段である。
ダイス40〜47は、金属細線10を縮径するための手段である。ダイス40〜47は、入口側から出口側に向けて径が小さくなる形状を有しており、金属細線10を挿通させることにより、縮径することができる。ダイス40〜47は、順に径が小さくなり、複数のダイス40〜47を通過することにより、金属細線10は段階的に縮径化する。上述のように、図1に示す伸線工程は、最終伸線工程であってもよく、その場合には、最終ダイス47を通過した金属細線10は、最終製品であるボンディングワイヤの最終径に縮径される。
伸線工程においては、金属細線10が複数のダイス40〜47を引き抜かれるようにして通過するため、金属細線10の表面に潤滑剤が塗られている。かかる潤滑剤は、伸線工程においては必要なものであるが、最終製品のボンディングワイヤでは除去されるべきものである。特に、パラジウム被覆銅ボンディングワイヤにおいては、表面に油分が残っていると、ワイヤボンディングの際に、ボールが電極からはみ出すという問題を生じる。
水洗ユニット90は、金属細線10の表面を水60により洗浄し、金属細線10の表面に存在する有機物、つまり油分を除去するための洗浄手段である。上述のように、伸線工程を経た金属細線10は、表面に潤滑剤が付着しているため、水洗ユニット90は、潤滑剤を含めた有機物を除去する。図1に示すように、洗浄ユニット90は、最終ダイス47と巻き取り用のスプール21との間に設けられ、最終ダイス47による伸線加工が終了した金属細線10の有機物を除去するように構成される。水洗ユニット90は、洗浄槽50内にノズル70から供給された水60が満たされ、水60の内部を金属細線10が通過することにより連続的に洗浄されるが、水洗ユニット90及びこれによる水洗の詳細は後述する。
図2は、本発明の実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法のアニール工程の一例を示した図である。図2において、本実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法のアニール工程に用いるアニール装置140が示されている。アニール装置140は、スプール21、22と、超音波洗浄ユニット91と、ガイドローラ110、111と、アニール炉120と、プラズマ照射装置130とを備える。また、超音波洗浄ユニット91は、洗浄槽51と、ノズル71と、超音波発振器80とを備え、洗浄槽51の内部には、ノズル71から供給された水61が満たされている。
なお、本アニール工程も、ボンディングワイヤの製造工程中の種々のアニール工程に適用することができるが、例えば、最終アニール工程に適用してもよい。
スプール21、22は、図1で説明したスプール20、21と同様であり、スプール21は巻き出し用スプールであり、スプール22は巻き取り用スプールである。なお、スプール21は、伸線工程で伸線加工された金属細線10を巻き取ったスプール21が、そのままアニール装置140に搬送されて用いられているので、同一の参照符号を付している。このように、伸線工程とアニール工程は連続的に行われる。
超音波洗浄ユニット91は、伸線加工され、水洗ユニット90で水洗された金属細線10を更に洗浄するための洗浄手段である。超音波洗浄ユニット91は、アニール炉120の前に設けられているので、実質的には、水洗ユニット90による水洗と連続して金属細線10の洗浄を行うことになる。
超音波洗浄ユニット91は、洗浄槽51にノズル71から供給された水61が満たされ、水61の中を連続的に金属細線10が通過することにより金属細線10の表面が洗浄され、表面の有機物を除去しようとする点では水洗ユニット90と同様であるが、洗浄槽51の内部に超音波発振器80が設置され、超音波発振器80から発振された超音波振動を利用して金属細線10の洗浄を行う点で、水洗ユニット90と異なっている。なお、超音波洗浄ユニット91による超音波洗浄の内容の詳細は、後述する。
ガイドローラ110、111は、金属細線10の移動方向をガイドするためにローラであり、アニール炉120の前にガイドローラ110、アニール炉120の後にガイドローラ111がそれぞれ設けられており、アニール炉120の前後で金属細線10をガイドしている。
アニール炉120は、伸線加工された金属細線10をアニールするための加熱炉(焼鈍炉)である。アニール炉120は、円筒形状を有し、円筒内を通過する金属細線10を外周面から加熱する。本アニール工程が最終アニール工程の場合には、アニール炉120を金属細線10が通過し、アニール工程を終了することにより、本実施形態に係るボンディングワイヤが完成する。なお、アニール工程は焼鈍工程と呼んでもよい。
プラズマ照射装置130は、アニールされた金属細線10に大気圧プラズマを照射し、プラズマ洗浄を行うための洗浄手段である。プラズマ照射装置130は、アニール炉120の後に設けられ、アニールされてほぼボンディングワイヤとして完成した金属細線10に、最後の洗浄を行う。なお、プラズマ照射装置130及びプラズマ照射装置130を用いたプラズマ洗浄の詳細については、後述する。
次に、図3〜図5を用いて、水洗ユニット90、超音波洗浄ユニット91及びプラズマ洗浄装置120の詳細と、これらによる洗浄処理の詳細について説明する。
図3は、本発明の実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法の伸線工程で用いられる水洗ユニット90の構成を示した拡大図である。
図3において、水洗ユニット90は、洗浄槽50より上方にノズル70が配置され、ノズル70から供給された水60を蓄えている。なお、供給する水60は、純水を用いるようにしてよい。水洗ユニット90は、上述のように、最終ダイス47の後であって、巻き取り用のスプール21の前に設置されている。そして、水60が満たされた洗浄槽50を貫くように、水60中を金属細線10が通過している。金属細線10がスプール21に巻き取られることにより、連続的に金属細線10が水60内を通過して洗浄される。伸線工程においては、金属細線10の表面に潤滑剤が塗布されているが、最終ダイス47を通過したすぐ後に水洗ユニット90で水洗し、潤滑剤を可能な限り除去した状態で巻き取り用のスプール21に金属細線10を巻き取る構成としている。
なお、水60は、潤滑剤を除去するとともに、表面の有機物を除去できる適切な温度に設定されてよいが、例えば、45〜60℃の温度に設定されてもよい。
水60の供給は、金属細線10が存在し、洗浄を行っている場合には、連続的に供給されることが好ましい。金属細線10の進行方向にある洗浄槽50の側面は、例えば、金属細線10が通過できるような溝が形成されていてもよく、水60をノズル70から供給してオーバーフローさせながら金属細線10を水洗するようにしてもよい。
このように、最終ダイス47と巻き取り用のスプール21との間に水洗ユニット90を設置し、連続的に金属細線10を水60に浸漬して洗浄することにより、伸線工程における潤滑剤を含む有機物を効率よく除去できる。
図4は、本発明の実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法のアニール工程で用いられる超音波洗浄ユニット91の構成を示した拡大図である。
図4において、巻き出し用のスプール21とアニール炉120との間に超音波洗浄ユニット91が設けられている。超音波洗浄ユニット91は、洗浄槽51よりも上方にノズル71が設けられ、ノズル71から供給された水61で洗浄槽51が満たされている。洗浄槽51の内部、例えば洗浄槽51の底面上には超音波発振器80が設けられ、超音波振動を水61に加えることができるように構成されている。そして、金属細線10が、水61中を通り、水61内に浸漬した状態で、超音波振動を印加されながら洗浄される。金属細線10は、スプール21から巻き出され、アニール炉120を通過する前に超音波洗浄ユニット91を通り、超音波を受けながら水中で連続的に洗浄されることになる。超音波の印加により、水61に振動が与えられるので、水洗ユニット90よりも効果的に表面の有機物を除去することができると考えられる。
なお、水61は、表面の潤滑剤を含む有機物を除去できる適切な温度に設定されてよいが、例えば、45〜60℃の温度に設定されてもよい。
また、金属細線10の進行方向にある側面には、金属細線10が通過できる溝が形成され、洗浄槽51のノズル71から供給される水がオーバーフローにより供給されてよい点は、水洗ユニット90と同様である。また、水洗ユニット90による水洗と、超音波洗浄ユニット91による超音波洗浄が、実質的に連続する洗浄となることは、図1及び図2において説明した通りである。水洗と超音波洗浄の処理を連続させることにより、水洗による粗洗浄と超音波洗浄によるよりきめ細かい洗浄の2段階洗浄となり、伸線加工された金属細線10の表面を効果的に洗浄することができ、潤滑剤を含む表面の有機物を効果的に除去することができる。
図5は、本発明の実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法のアニール工程で用いられるプラズマ照射装置130の一例を示した図である。
プラズマ照射装置130は、アニール炉120を通過してアニールされた金属細線10に大気圧プラズマPを照射し、金属細線10の表面をプラズマ洗浄し、表面に残存する有機物を除去するための洗浄手段である。プラズマ洗浄装置120は、大気圧下でプラズマPを生成して金属細線10に照射し、イオン化されているプラズマが金属細線10の表面に衝突して表面にある有機物を吸引した状態で反射し、金属細線10の表面の有機物を除去する。
プラズマ照射装置130は、アニール炉120よりも後段であれば、種々の位置に配置してよいが、図5に示すように、例えば、巻き取り用のスプール22に対向して設けられ、スプール22で巻き取った金属細線10にプラズマPを照射するようにしてもよい。スプール22には、アニールされた直後の金属細線10の箇所だけでなく、アニールされてスプール22に既に巻き取られた金属細線10も隣接して存在するので、アニールされた直後の金属細線10と、既にスプール22に巻き取られた金属細線10に継続的にプラズマPを照射することができ、効果的にプラズマ洗浄を行うことができる。なお、十分な洗浄効果が得られる場合には、アニール炉120とスプール22との間の金属細線10が1本でピンと張った状態の箇所にプラズマPを照射してもよい。
プラズマ照射装置130によるプラズマ洗浄は、水洗ユニット90及び超音波洗浄ユニット91による水洗及び超音波洗浄よりも、有機物を除去する洗浄効果は高いと考えられる。よって、洗浄効果が十分であれば、水洗ユニット90及び超音波洗浄ユニット91を設けず、プラズマ照射装置130のみを設けるようにしてもよい。又は、水洗ユニット90と超音波洗浄ユニット91のいずれか一方のみと、プラズマ照射装置130の組み合わせで設置するようにしてもよい。水洗ユニット90、超音波洗浄ユニット91及びプラズマ照射装置130をいかに組み合わせるかは、用途に応じて種々定めることができる。但し、最大の洗浄効果を得るためには、伸線工程において、伸線加工が行われた金属細線10を水洗ユニット90にて水洗し、更にアニール工程において、アニール前の金属細線10を超音波洗浄ユニット91にて超音波洗浄する処理を行うことが好ましい。
このように、本実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法においては、伸線工程とアニール工程において効果的な洗浄を導入することにより、表面の有機物が除去され、ワイヤボンディング時に電極内にボールが収まるボンディングワイヤを製造することができる。
次に、本実施例に係るボンディングワイヤの製造方法の実施結果について説明する。本実施例においては、本実施形態に係るボンディングワイヤの製造方法によって製造された直径20.0μmの本実施例に係るパラジウム被覆銅ボンディングワイヤと、従来製法で得られた直径20.0μmの比較例に係るパラジウム被覆銅ボンディングワイヤを用いてボンディングを行い、電極に接合されたボールの直径のバラツキについて、比較を実施した。なお、測定は、ボンディングワイヤ自動測定装置で行い、対象とするボールは、本実施例及び比較例に1344個のボールで実施した。
表1は、本実施例に係るボンィングワイヤの製造方法により製造されたボンディングワイヤと比較例に係るボンィングワイヤの製造方法により製造されたボンディングワイヤとのボンディングボールバラツキ比較結果を示す。
標準偏差は、本実施例に係る製法が0.73、比較例に係る製法が1.06であり、本実施例による製法の方が、ボール径のバラツキが小さいことが確認できた。
工程能力係数Cpkについては、上限規格置を直径47μm、下限規格値を直径39μmとして計算した。なお、工程能力指数Cpkは、
Cpu=(上限規格値−平均値)/3σ
Cpl=(下限規格値−平均値)/3σ
とし、CpuとCplの小さい方をCpkとしている。ここで、σは標準偏差を示している。
Cpu=(上限規格値−平均値)/3σ
Cpl=(下限規格値−平均値)/3σ
とし、CpuとCplの小さい方をCpkとしている。ここで、σは標準偏差を示している。
表1に示すように、工程能力指数Cpkは、本実施例に係る製法がCpk=1.78で1.33を超えており、工程能力があることが示されている。一方、比較例に係る製法は、Cpk=1.21となっており、1.33を下回り、工程能力があるとは言えない結果となった。
図6は、本実施例に係る製法により製造されたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤと比較例に係る製法により製造されたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤのボール径のヒストグラム及び正規分布を示した図である。
図6に示すように、本実施例に係る製法により製造されたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤの方が、比較例に係る製法により製造されたパラジウム被覆銅ボンディングワイヤよりも、ヒストグラム及び正規分布とも幅が狭くなっており、ボール径のバラツキが小さくなっていることが示されている。
このように、本実施例に係るボンディングワイヤの製法で製造されたボンディングワイヤは、比較例に係るボンディングワイヤの製法に比較してボンディングボールのバラツキを低減させ安定したボンディングボールを得ることができる。
以上、本発明の好ましい実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施例に制限されることはなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。
本発明は、半導体実装に用いられるボンディングワイヤに利用することができる。
10 金属細線
20、21、22 スプール
30 駆動キャプスタン
31 案内キャプスタン
40〜47 ダイス
50、51 洗浄槽
60、61 水
70、71 ノズル
80 超音波発振器
90 水洗ユニット
91 超音波洗浄ユニット
100 伸線機
110、111 ガイドローラ
120 アニール炉
130 プラズマ照射装置
140 アニール装置
20、21、22 スプール
30 駆動キャプスタン
31 案内キャプスタン
40〜47 ダイス
50、51 洗浄槽
60、61 水
70、71 ノズル
80 超音波発振器
90 水洗ユニット
91 超音波洗浄ユニット
100 伸線機
110、111 ガイドローラ
120 アニール炉
130 プラズマ照射装置
140 アニール装置
Claims (9)
- 複数のダイスを通過させて金属細線を所定の線径まで伸線加工する伸線工程と、アニール炉を通過させて伸線加工された前記金属細線をアニールするアニール工程とを有するボンディングワイヤの製造方法であって、
前記アニール工程において、アニール後の前記金属細線に大気圧プラズマを照射して前記金属細線の表面を洗浄することを特徴とするボンディングワイヤの製造方法。 - 前記大気圧プラズマの照射は、アニール後の前記金属細線を前記スプールに巻き取る際に行われることを特徴とする請求項1に記載のボンディングワイヤの製造方法。
- 伸線加工された前記金属細線をアニールする前に、水で超音波洗浄が行われることを特徴とする請求項1又は2に記載のボンディングワイヤの製造方法。
- 前記水の温度は、45℃〜60℃であることを特徴とする請求項3に記載のボンディングワイヤの製造方法。
- 前記超音波洗浄は、前記アニール炉の前に浴槽を設けて行われることを特徴とする請求項3又は4に記載のボンディングワイヤの製造方法。
- 前記伸線工程において、前記金属細線が最終ダイスを通過した後に、45℃〜60℃の水で水洗が行われることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの製造方法。
- 前記水洗は、前記最終ダイスの後に浴槽を設けて行われることを特徴とする請求項6に記載のボンディングワイヤの製造方法。
- 前記伸線工程は、前記金属細線を最終線径まで伸線する最終伸線工程であり、
前記アニール工程は、最終アニール工程であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの製造方法。 - 前記金属細線は、銅を主成分とする芯材の周囲に、パラジウムを主成分とする被覆層を形成したパラジウム被覆銅ボンディングワイヤであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載のボンディングワイヤの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012035496A JP2013172032A (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | ボンディングワイヤの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012035496A JP2013172032A (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | ボンディングワイヤの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013172032A true JP2013172032A (ja) | 2013-09-02 |
Family
ID=49265789
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012035496A Pending JP2013172032A (ja) | 2012-02-21 | 2012-02-21 | ボンディングワイヤの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013172032A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3121841A4 (en) * | 2015-05-26 | 2018-02-28 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
CN109536678A (zh) * | 2018-12-22 | 2019-03-29 | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 | 一种退火和复绕一体的键合丝生产设备 |
KR102243949B1 (ko) * | 2020-12-18 | 2021-04-26 | 이완규 | 철선세척장치 |
KR20220087983A (ko) * | 2020-12-18 | 2022-06-27 | 이완규 | 냉간단조용 철선가공시스템 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06151497A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-31 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | 半導体素子のボンディング用ワイヤ並びにその製造方法 |
JP2000106384A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ボンディングワイヤーの製造方法 |
JP2008172009A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ボンディングワイヤとその製造方法 |
JP2009140942A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Nippon Steel Materials Co Ltd | 半導体装置用ボンディングワイヤ |
KR20110047582A (ko) * | 2009-10-30 | 2011-05-09 | 엠케이전자 주식회사 | 대기압 플라즈마 세정을 이용한 본딩 와이어 제조 장치 및 그를 이용한 본딩 와이어 제조 방법 |
-
2012
- 2012-02-21 JP JP2012035496A patent/JP2013172032A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06151497A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-31 | Tanaka Denshi Kogyo Kk | 半導体素子のボンディング用ワイヤ並びにその製造方法 |
JP2000106384A (ja) * | 1998-09-29 | 2000-04-11 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ボンディングワイヤーの製造方法 |
JP2008172009A (ja) * | 2007-01-11 | 2008-07-24 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ボンディングワイヤとその製造方法 |
JP2009140942A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Nippon Steel Materials Co Ltd | 半導体装置用ボンディングワイヤ |
KR20110047582A (ko) * | 2009-10-30 | 2011-05-09 | 엠케이전자 주식회사 | 대기압 플라즈마 세정을 이용한 본딩 와이어 제조 장치 및 그를 이용한 본딩 와이어 제조 방법 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3121841A4 (en) * | 2015-05-26 | 2018-02-28 | Nippon Micrometal Corporation | Bonding wire for semiconductor device |
US10236272B2 (en) | 2015-05-26 | 2019-03-19 | Nippon Micrometal Corporation | Cu alloy core bonding wire with Pd coating for semiconductor device |
US10497663B2 (en) | 2015-05-26 | 2019-12-03 | Nippon Micrometal Corporation | Cu alloy core bonding wire with Pd coating for semiconductor device |
US10672733B2 (en) | 2015-05-26 | 2020-06-02 | Nippon Micrometal Corporation | Cu alloy core bonding wire with Pd coating for semiconductor device |
CN109536678A (zh) * | 2018-12-22 | 2019-03-29 | 北京达博有色金属焊料有限责任公司 | 一种退火和复绕一体的键合丝生产设备 |
KR102243949B1 (ko) * | 2020-12-18 | 2021-04-26 | 이완규 | 철선세척장치 |
KR20220087983A (ko) * | 2020-12-18 | 2022-06-27 | 이완규 | 냉간단조용 철선가공시스템 |
KR102484648B1 (ko) | 2020-12-18 | 2023-01-04 | 이완규 | 냉간단조용 철선가공시스템 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013172032A (ja) | ボンディングワイヤの製造方法 | |
TW201211309A (en) | Method and device of manufacturing solder plating wire | |
JP2018048405A (ja) | 放電加工用電極線およびその製造方法 | |
RU2017108970A (ru) | Способ и устройство для производства оптического волокна с металлическим покрытием и полученное оптическое волокно | |
JP2007231433A (ja) | 糸条水洗装置および糸条の水洗方法 | |
CN101603166B (zh) | 用于半柔性同轴电缆屏蔽层的垂直镀锡设备及其镀锡方法 | |
US10307848B2 (en) | Electrical discharge machining electrode wire and manufacturing method for same | |
JP5786042B2 (ja) | ボンディングワイヤ及びその製造方法 | |
JPH0741991A (ja) | 超極細複合金属めっき線の製造装置 | |
JP2015202502A (ja) | 金属導体線の伸線加工治具、該伸線加工治具を用いた金属導体線の製造方法、および該金属導体線の製造方法を利用したエナメル線の製造方法 | |
JP6340204B2 (ja) | 樹脂封止型半導体装置およびその製造方法 | |
TWI640652B (zh) | 由第一金屬製成且具有由第二金屬製成之外鞘層之線的製造方法 | |
JP2011031264A (ja) | 銅被覆アルミニウム線の製造方法 | |
JP2001248000A (ja) | ワイヤを製造するための方法及び装置 | |
JP2013201182A (ja) | パラジウム被覆銅ボンディングワイヤの製造方法 | |
JP3963067B2 (ja) | 錫めっき銅線 | |
KR101755826B1 (ko) | 웨이퍼 세정장치 및 웨이퍼 세정방법 | |
KR100245191B1 (ko) | 귀금속세선기의세정장치 | |
TWI591215B (zh) | 一種供成綑不銹鋼線可連續進行電漿拋光及降低表面粗糙度之裝置 | |
TW201312121A (zh) | 螺旋偵測器及其製造方法 | |
JP5429269B2 (ja) | ボンディングワイヤの製造方法 | |
JP2537813B2 (ja) | タングステン線の製造方法 | |
JP2010133815A (ja) | 超電導臨界電流測定装置 | |
CN115449735A (zh) | 一种同轴电缆屏蔽层镀锡工艺 | |
TW201410385A (zh) | 晶錠切削冷卻裝置及其冷卻方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140117 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140520 |