JPH0348780A

JPH0348780A - バーンイン装置及びバーンイン装置の温度制御方法

Info

Publication number: JPH0348780A
Application number: JP1183737A
Authority: JP
Inventors: Takao Endo; 遠藤　孝男
Original assignee: AIR TESUTO SYST JAPAN KK
Current assignee: AIR TESUTO SYST JAPAN KK
Priority date: 1989-07-18
Filing date: 1989-07-18
Publication date: 1991-03-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〈産業上の利用分野〉この発明は、ＩＣのバーンインテストに使用するダイナ
ミック・バーンイン装置に関するものであり、特に高さ
に比べて奥行の大きな扁平型のバーンイン装置に適しま
たものであり、また、奥行が大きく扁平なオーブン部を
均一に適切に温度制御できるようにしたものである。

〈従来の技術〉バーンイン装置はＩＣをバーンイン処理するために使用
する装置である。バーンインテストは生産されたＩＣの
品質管理の完全を期するために広く行なわれているもの
である。工場で生産したＩＣをダイナミック・バーンイ
ン装置により常温乃至２００℃に加熱し、この状態で各
種の信号を各ＩＣに与えて実際の稼動状態と同じ環境を
設定して、長時間にわたりこのような状態を保持する。

これがバーンイン処理であり、そしてこの後各ＩＣをバ
ーンイン試験機により各種テストパターンの入出力を比
較して良否を判定又は判定無しのスクリーニングをする
のである。

バーンイン処理を行なうには、テスト用のＩＣ取付ソケ
ットを多数配設し、各種の信号を入力できるバーインボ
ードに、生産されたＩＣを差し込み、そしてダイナミッ
ク・バーンイン装置のオーブン部内に並べてバーイン処
理を行なうのである。

ところで、従来のバーンイン装置は装置を積み重ねて使
用するようなことを想定していないので、各装置の全高
は高く、従って装置を扁平にして全高を低くするような
工夫はない。よって送風ファンも小型化する必要がない
ので、例えば特開昭６２−１６９０６５号公報に示され
るようにプロペラファンや、実開昭６２−１．９４４３
９号公報に示されるように軸流ファンが使用されている
。また、実開昭６１−９８５３号公報に示されるように
シロッコファンを王台使用したものもあるが、１一つの
オーブン部を複数のファンにより加熱するようにしたも
のではない。

また、外気吸入口を設けた例としては実開昭６１−５４
２７９号公報に示されるものがあるが、これは、複数の
送風ファンに対応するものではない。そして、特開昭６
１−１４４５８０号公報に示されるように、従来のオー
ブン部の温度制御はヒーターのＯＮ、ＯＦＦにより行っ
ており、加熱中の温度制御のために外気取入れ口の開閉
は行っていない。

〈発明が解決しようとする問題点〉ところで、最近は多種多様なＩＣをバーンイン処理する
必要が生じてきている。ＩＣはその種類によりそれぞれ
異なったバーンイン処理を行う必要があるので、同一の
装置で異なったＩＣを同時に処理することはできない。

しかし、前記のようにバーンイン処理は長時間にわたり
行なわれるので、多品種のＩＣを同時に処理するために
は、多数のバーンイン装置を必要とすることになる。こ
れを従来のような全高の高い大型なバーンイン装置を使
用して行っていたのでは、積み重ねて使用することがで
きず、限られたスペースに多数の装置を設置することが
できない。

また、装置全体を扁平とした場合には、処理量を確保す
るためには奥行を大きくする必要があるが、このような
扁平で奥行のあるオーブン部を均一に加熱するためには
、装置を扁平にするために大型の送風ファンは使用でき
ず、一方扁平なオーブン部を均一に加熱するためにはオ
ーブンの隅々まで空気が循環するようにするために多量
の空気量を必要とする。

一方、複数の送風ファンを使用する場合には、オーブン
部の温度を均一に保つために、各送風ファンごとに外気
に通じた吸気口を設け、外気の吸入量を適切に制御する
必要がある。そして、この外気の吸入量とヒーターのＯ
Ｎ、ＯＦＦとを適切に制御して、オーブン部を所望の温
度に保つ必要がある。

〈問題点を解決するための手段〉すなわち、バーンイン装置を扁平とするためには、送風
ファンを小型化する必要があり、しかも小型の送風ファ
ンによりオーブン部を均一に加熱し十分な風量を確保す
るためには、送風ファンを送風チャンバーに複数並設す
る必要があるのである。

また、このような扁平で奥行のあるオーブン部を均一に
加熱するためには、外気吸入口を設けると共に、この外
気吸入口を同時に開閉して温度制御する必要がある。

そこで、この発明にかかるバーンイン装置は送風チャン
バーから出たヒーターにより加熱された空気が通風路を
経てオーブン部に入り、オーブン部から送風チャンバー
に戻り空気が装置内を循環するようにしたバーンイン装
置において、送風チャンバーにシロッコファンを３台以
上並設し、扁平で奥行のあるオーブン部を均一に加熱で
きるようにし、また各シロッコファンに、それぞれ吸気
口を臨ませ、各吸気口をそれぞれ独立して外気に開口し
ている外気取入れ口に接続すると共に、各外気取り入れ
口の開度な同時に調整できる様にし、そして各外気取入
れ口を装置外壁の同一平面上に直線状に設けるとともに
、各外気取入れ口に相当する位置に外気取入れ口と同形
の通風孔を穿設した一枚の開度調整板を、外気取入れ口
を閉鎖可能なように装置の外壁に摺動正能に配設し、各
吸気口から各シロッコファンに吸気されろ外気を同時に
調整することができるようにしたものである。

また、この発明にかかるバーンイン装置の温度制御方法
（よ、送風チャンバーから畠だヒーター！こより加熱さ
れた空気が通風路を経てオーブン部に入り、オーブン部
から送風チャンバーに戻り空気が装置内を循環するよう
にしたバーンイン装置において、開度調整可能な装置内
への外気取入れ口を設けるとともに、ヒーターが作動中
は外気取入れ口を全閉とし、ヒーター非作動時には外気
取入れ口を全閉から全開の間で開閉し、オーブン部の温
度を調整するようにし、設定温度に達するまではヒータ
ーを作動させ外気取入れ口を全開とし１、設定温度に達
した後はヒーターをＯＦＦとし外気取入れ口の開度を適
当に調整して、オーブン部の温度が設定温度に対し速や
かに安定状態となるようにしたものである。

〈実　施　例〉次に、この発明にがかるバーンイン装置及びバーンイン
装置の温度制御方法の一実施例を図面に基づいて述べる
と、１はバーンイン装置本体であり、２はオーブン部、
３は通風路、４は送風チャンバーである。オーブン部２
は扁平で奥行の大きな形をしており、オーブン部２の上
面と奥は密閉されており、左右はパンチング板５により
囲われている。オーブン部２の下面は通風路３に対して
開放されている。そして、この開放部分はバーンインボ
ード６により丁度塞がれるようになっている。送風チャ
ンバー４は、オーブン部２とパンチング板５を境に隣り
合っており、そしてそれぞれモーター７に直結されてい
るシロッコファン８が回合間隔を置いて直線状に並設し
である。送風チャンバー４のシロッコファン８とパンチ
ング板５の間にはヒーター９が配設しである。

なお、図示しまた例ではシロッコファン８を回合とした
が、これは必要な送風量を確保できればよいのであるか
ら、３台以上送風チャンバー４に並設してあればよく、
またモーター７を一台にして、これですべてのシロッコ
ファン８を駆動してもよい。

１０は各シロッコファン８の吸入側に臨ませた吸気口で
あり、吸気管１１を経て、外気に開口している外気取入
れ口１２に接続されている。外気取入れ口１２は長方形
に開口しており、バーンイン装置本体１の外壁の同一平
面状に直線状の位置にに開口するように設けである。１
３は外気取入れ口１２の開閉を行うための開度調整板で
あり、各外気取入れ口１２に相当する位置に外気取入れ
口１２と同形の長方形の通風孔１４が穿設しである。ま
た、開度調整板１３には長孔１５が穿設してあり、バー
ンイン装置本体１の外壁に設けたビン１６と摺動可能に
係合している。１７は開度調整板１３移動用の揺動モー
ターである。揺動モーター１７の回転軸１８には揺動杆
１９が固定してあり、揺動杆１９に穿設した長孔２ｏが
開度調整板１３に配設したビン２１と摺動可能に係合し
ている。

バーンイン装置本体ｌの正面は、バーンインボード６の
出し入れ用の扉２２となっており、また、通風路３は開
閉可能な排気口２３と連通ずるようになっている。送風
チャンバー４から通風路３にかけて空気を通風路３に導
くための風向制御板２４が配設してあり、また通風路３
の空気をオーブン部２に導（ために風案内板２５が配設
しである。なお、図示した例では各シロッコファン８の
吸入を独立させるために、吸入口２６を設けてあり、下
方は風向制御板２４方向に開放しているファンカバー２
７によりそれぞれを囲っである。

〈作　　用〉しかして、バーンインボード６をオーブン部２内にセッ
トし、シロッコファン８を回転させ、次にヒーター９を
作動させてオーブン部２を規定の温度まで加熱する。ヒ
ーター９を作動させてオーブン部２を設定温度まで加熱
する時には、開度調整板１３により外気取入れ口１２を
密閉し、加熱された空気が装置内だけで循環するように
する。

なお、本実施例ではシロッコファン８の直径８３ｍｍの
ものを６台２６５　Ｏｒｐｍ、で回転させたところ２．
３ａ＋／ｓの風速が得られた。なお、同様のシロッコフ
ァンを王台では１．６ａ＋／ｓであって十分な風速であ
るが、三台では１．２ｍ／ｓＬか得れず不十分である。

ちなみに、軸流ファンでは通常１　ｍ／ｓ位が最大であ
り、またクロスファンでは風速２　ｍ／ｓを得るために
はファンの直径を２００ｍｍくらいにする必要がある。

シロッコファンを複数台使用することにより、初めて小
型であっても十分な風量を確保できるのである。

そして、例えば設定温度が１２５℃であるとしたら、１
２２℃でヒーター９をＯＦＦとする。

ヒーター９をＯＦＦにしてもＩＣの発熱によりオーブン
部２の温度は上昇するので、モーター１７を駆動して開
度調整板１３を動かし、外気取入れ口１２の開度を調整
して、オーブン部２の温度が丁度１２５℃に保たれるよ
うに外気取入れ量を調整してオーブン部２の温度を制御
するのである。もしも、オーブン部２の温度が下限温度
より下がった時には、再度ヒーター２を作動させると同
時に外気取入れ口１２を開度調整板１３により密閉する
。そして、１２２℃となったらヒーター９をＯＦＦとし
、またモーター１７を駆動して開度調整板１３を動かし
、外気取入れ口１２０開度を調整して、オーブン部２の
温度が丁度１２５℃に保たれるように外気取入れ量を調
整する。

なお、設定温度に達した後は、シロッコファン８の回転
数や回転台数を適当に調整してもよい。

また、排気口２３の開度を調整して、オーブン部２の温
度が上昇しすぎることを防止してもよい。

バーンイン処理が完了したら、オーブン部２を冷やすた
めに、外気取入れ口１２を全開しオーブン部２の加熱さ
れた空気が排気口２３から排出されるようにしオーブン
部２が外気温度となるように冷却する。

〈発明の効果〉以上述べたように、この発明にがかるバーンイン装置に
よれば、送風チャンバーから出たヒーターにより加熱さ
れた空気が通風路を経てオーブン部に入り、オーブン部
から送風チャンバーに戻り空気が装置内を循環するよう
にしたバーンイン装置において、送風チャンバーにシロ
ッコファンを３台以上並設したので、小型のファンでも
十分な風量を確保できるので、装置全体を扁平なものと
することができ、装置数台を積み重ねて使用することが
できるという効果を有する。

また、各シロッコファンに、それぞれ吸気口を臨ませ、
各吸気口をそれぞれ独立して外気に開口している外気取
入れ口に接続すると共に、各外気取り入れ口の開度な同
時に調整できる様にし、各外気取入れ口を装置外壁の同
一平面上に直線状に設けるとともに、各外気取入れ口に
相当する位置に外気取入れ口と同形の通風孔を穿設した
一枚の開度調整板を、外気取入れ口を閉鎖可能なように
装置の外壁に摺動可能に配設したので、各吸入口への外
気取入れ量を同時に調整することができ、オーブン部の
温度調整を均一に行えると云う効果を有する。

また、送風チャンバーから出たヒーターにより加熱され
た空気が通風路を経てオーブン部に入り、オーブン部か
ら送風チャンバーに戻り空気が装置内を循環するように
したバーンイン装置において、開度調整可能な装置内へ
の外気取入れ口を設けるとともに、ヒーターが作動中は
外気取入れ口を全閉とし７、ヒーター非作動時には外気
取入れ口を全開から全開の間で開閉し、オーブン部の温
度を調整するようにしたので、オーブン部を所定の温度
に速やかに安定させることができ、適切なバーンイン処
理を行うことができると言う効果を何する。

【図面の簡単な説明】

図面はこの発明にかかるバーンイン装置及びバーンイン
装置の温度制御方法の一実施例を示したものであり、第
１図は概略平面断面図、第２図は概略正面断面図、第３
図は概略側面断面図である。１・・・バーンイン装置本体２・・・オーブン部３・・・通風路４・・・送風チャンバー５・・・パンチング板６・・・バーンインボード７・・・モーター８・・・シロッコファン９・・・ヒーター０・・・吸気口１・・・吸気管２・・・外気取入れ口３・・・開度調整板４・・・通風孔５．２０・・・長孔６．２１・・・ビン７・・・揺動モーター８・・・回転軸９・・・揺動杆２・・・扉３・・・排気口４・・・風向制御板５・・・風案内板６・・・吸入口ア・・・ファン力バ−

Claims

【特許請求の範囲】１　送風チャンバーから出たヒーターにより加熱された
空気が通風路を経てオーブン部に入り、オーブン部から
送風チャンバーに戻り空気が装置内を循環するようにし
たバーンイン装置において、送風チャンバーにシロッコ
ファンを３台以上並設したことを特徴とするバーンイン
装置。２　各シロッコファンに、それぞれ吸気口を臨ませ、各
吸気口をそれぞれ独立して外気に開口している外気取入
れ口に接続するとともに、各外気取り入れ口の開度を同
時に調整できるようにした請求項１記載のバーンイン装
置。３　各外気取入れ口を装置外壁の同一平面上に直線状に
設けるとともに、各外気取入れ口に相当する位置に外気
取入れ口と同形の通風孔を穿設した一枚の開度調整板を
、外気取入れ口を閉鎖可能なように装置の外壁に摺動可
能に配設した請求項２記載のバーンイン装置。４　送風チャンバーから出たヒーターにより加熱された
空気が通風路を経てオーブン部に入り、オーブン部から
送風チャンバーに戻り空気が装置内を循環するようにし
たバーンイン装置において、開度調整可能な装置内への
外気取入れ口を設けるとともに、ヒーターが作動中は外
気取入れ口を全閉とし、ヒーター非作動時には外気取入
れ口を全閉から全開の間で開閉し、オーブン部の温度を
調整するようにしたことを特徴とするバーンイン装置の
温度制御方法。