JPH10115658A - 温度試験装置 - Google Patents

温度試験装置

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JPH10115658A
JPH10115658A JP29325696A JP29325696A JPH10115658A JP H10115658 A JPH10115658 A JP H10115658A JP 29325696 A JP29325696 A JP 29325696A JP 29325696 A JP29325696 A JP 29325696A JP H10115658 A JPH10115658 A JP H10115658A
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air
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Masayuki Wakui
正幸 涌井
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】ファンの交換が容易で試験能力が高い試験装置
を開示する。 【解決手段】断熱壁1で囲まれた箱形空間を仕切板4で
仕切って、空気冷却器11、加熱器12、複数の送風フ
ァン20をもつ空気流路5と、気流分散板7a,bに囲
まれた温度試験室6とを画成し、恒温空気を温度試験室
に循環させるようにした温度試験装置において、空気流
路5の天井部にインペラ27が通過可能な複数の開口2
1を設け、夫々の開口を着脱自在に閉塞するパネル13
にモータMとその出力軸にインペラ27を固定し、前記
インペラの回転中心を結ぶ仮想線分Lが、気流方向に対
して鋭角をなすように、互に隣接して設けられていると
共に、空気流路5の左右側壁面に近接する一対の送風フ
ァンの吹出口が、該左右側壁面に沿って開口している温
度試験装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として半導体の
回路基板などを高温下において耐久試験を行うのに適し
た温度試験装置に関するものである。
【0002】
【従来技術】この種の温度試験装置は、バーンイン装置
と呼ばれているが、その一例として、例えば、図4〜5
に示すような構成をもつ装置が知られている。これは、
断熱壁1によって囲まれた箱形空間を、該箱形空間の上
部において左右の断熱側壁面1a、1bとの間に空気入
口2と出口3とをなす間隙をおいて設けた仕切板4によ
り、上下に仕切って、該水平仕切板4の上側に空気流路
5を、下側に温度試験室6を夫々画成し、前記水平仕切
板4の左右両端4a,4bから床面1cに一対の気流分
散板7a、7bを垂設することにより、前記温度試験室
6の左右何れか一側に気流分配室8を他側に気流集合室
9を画成し、前記空気流路5中に、冷凍機の蒸発器から
成る空気冷却器11と空気加熱器12と及び送風ファン
13とを収納して恒温空気供給手段10とし、該恒温空
気供給手段10から供給される恒温空気が、前記気流分
配室8と気流集合室9とを介して前記空気流路5と温度
試験室6との間を循環するように構成されている。
【0003】この装置は、半導体回路基板などの被試験
品を、所定のラック100などに積載して、温度試験室
6の中に搬入し、例えば、125℃といった高温下で数
日間通電試験を行い、将来の耐久性に不安のある部品
を、前記のような悪条件というフルイにかけて、予め排
除する目的で行われる。このような目的をもつ試験装置
は、試験効率(生産効率でもある)を上げるために、で
きるだけ短時間で、試験室内の温度が均一になるように
して、試験に要する時間を短縮することと、試験期間が
数日間と長期にわたるため、1回の試験で処理できる被
試験品の数をできるだけ多くすること等が望まれてい
る。従来は、送風ファン13を、装置の規模に応じて複
数個用いて、図5に示すように、空気流路5を直角に横
断するように配設して風量の増大に対処していた。
【0004】しかしながら、試験装置の寸法は、材料、
輸送、被試験品の出し入れその他の操作などの都合で、
自ずから一定の限界があるため、前述のような要請に応
えるためには、恒温空気供給手段を大型化することな
く、恒温空気量の供給能力を増大することにより、達成
する以外に方法がない。そのためには、空気流路の容積
の拡大を伴わずに送風能力を増大することが、まず要求
される。さらに又、送風ファンも、苛酷な連続運転を強
いられるが、従来の装置は、天板1dに貫通孔を開け
て、これに送風ファンの回転軸を貫通させて天板1d上
の駆動モータMの出力軸に接続する構成であったため
に、送風ファンに故障が生じた場合、装置の天板をすべ
て取り外してから修理を行う必要性があるなど、修理交
換が容易ではなく、その修理に長時間を要し、その間温
度試験を中断せざるを得ないという欠点があった。
【0005】
【解決すべき課題】本発明の第1の目的は、送風ファン
の修理交換が短時間に容易に行える温度試験装置を開示
することにある。
【0006】本発明の第2の目的は、装置の大型化を伴
うことなく、試験効率を増大することができる温度試験
装置を開示することにある。
【0007】
【課題の解決手段】本発明の第一の要旨は、断熱壁
(1)によって囲まれた室内を、仕切板(4)により仕
切って、該仕切板の一側に空気流路(5)を、他側に温
度試験室(6)を夫々画成し、該温度試験室を挟む何れ
か一側に気流分配室(8)を他側に気流集合室(9)を
画成して、該気流分配室と気流集合室を前記空気流路に
よって連通すると共に、該空気流路中に空気冷却器(1
1)と空気加熱器(12)と及び送風ファンとを収納し
て恒温空気供給手段を形成し、該恒温空気供給手段から
供給される恒温空気が、前記気流分配室を経て前記温度
試験室に入り、次いで前記気流集合室を経て再び恒温空
気供給手段へ戻るように循環する温度試験装置におい
て、前記空気流路を構成する断熱壁に前記送風ファンの
インペラ(27)が通過可能な開口部が形成されてお
り、該開口部を着脱自在に閉塞する閉塞部材にファン駆
動モータが固着されており、該ファン駆動モータの出力
軸が前記閉塞部材を貫通して前記空気流路内に突出した
突出部に、前記インペラが固着されていることを特徴と
する温度試験装置にある。
【0008】上記において、送風ファンは、ファンが占
める容積に比して大風量を発生することを必要とするの
で、多翼ファンなどが好ましい。上記第一要旨に係る温
度試験装置は、送風ファンと閉塞部材とファン駆動モー
タとを、交換部品として、ユニット化しておけば、故障
に際して、極めて短時間のうちに、修理が完了し、しか
も、修理に特別な熟練は不要である。
【0009】本発明の第二の要旨は、前記第一要旨にお
いて規定した温度試験装置において、空気流路に気流方
向を横断する方向に向かって並設した複数の送風ファン
の回転中心を結ぶ仮想線分(L)が、気流方向に対して
鋭角をなすか、若しくは、ジグザグ状をなすように、相
互に隣接して設けられていると共に、空気流路の左右側
壁面に近接する一対の送風ファンの吹出口が、該空気流
路の左右側壁面に沿って開口していることを特徴とする
温度試験装置にある。
【0010】上記第二要旨に係る温度試験装置は、空気
流路の左右(気流方向を基準とする)方向の幅を一定に
制限した条件下において、送風ファンとして、シロッコ
ファンを用いて、ファンが一対の場合は、前記仮想線分
が気流方向に対して鋭角をなすように、又、ファンが、
3以上の場合には、該仮想線分がジグザグ状をなすよう
に、相互に隣接状態で配設したとき、最大の風量が得ら
れる。又、気流は、壁面との接触抵抗により、壁面側に
送風圧力の損失が生じるが、左右壁面に近接して位置す
る送風ファンの吹出口を壁面に沿って設けることによ
り、空気流路における中央部と左右壁面寄りとの、流速
の不均一が解消される。
【0011】
【発明の実施形態】図1〜3は、本発明に係る温度試験
装置の第1実施形態の要部を示すものである。尚、従来
技術として、図5に示した温度試験装置とは、送風ファ
ンの取付構造が異なるのみで、他の構成は、実質的に同
じであるので、図示を省略すると共に、同一機能の部材
には、同一の符号を用いて、詳細な説明を省略する。図
1において、断熱壁1によって囲まれた箱形空間内を、
該空間の上部において、水平な仕切板4によって仕切っ
て、該仕切板の上側に空気流路5を、下側に温度試験室
6が、画成されている。
【0012】仕切板4の左右両端縁4a、4bと、左右
の断熱壁面1a、1bとの間には、若干の間隙が設けら
れて、循環空気の入口3と出口2をなしている。この左
右両端4a、4bからは、多孔板によって構成された気
流分散板7a、7bが、温度試験室5の床面に向けて垂
設されて、温度試験室6を左右から囲むと共に、左右の
断熱壁との間に、気流分配室8と気流集合室9とを画成
している。温度試験室6の前面側には、被試験品を適宜
な空間を隔てて等間隔に収納するラックを出し入れする
ための開口(図示せず)があり、扉によって開閉自在な
構成となっており、更に、背面側には、被試験品への通
電部(図示せず)が設けられている。
【0013】天板1dと、左右側壁1e,1fと仕切板
4とによって囲まれた空気流路5には、循環空気の入口
3から出口2にかけて、冷凍機の蒸発器から成る空気冷
却器11、電熱線ヒータから成る空気加熱器12と送風
ファンがこの順序に設けられている。送風ファンは、一
対のシロッコファン20、20によって構成されてい
る。シロッコファン20は、天板1dに形成された略正
方形の開口21に合わせて、該開口21に嵌合可能な方
形パネル22と、該パネル22上に固設された方形ブロ
ック状のモータ支持台25と該モータ支持台25に装着
されたモータMとを有し、該モータMの出力軸は、モー
タ支持台25の中央部と方形パネル22の中央部とを同
心状に貫通して設けた回転軸挿通孔23、26に回転自
在に収納されている延長軸24と、一体回転自在に連結
している。
【0014】この延長軸24の回転軸挿通孔23からの
突出端に、シロッコファンのインペラ27が、その回転
中心において固着している。天板に設けられた開口21
は、インペラ27が余裕をもって通過できるように、そ
の大きさが定められている。この開口21の下端周縁部
から、開口中心側に、若干の幅の突縁部21aが設けら
れており、この突縁部21aに、断熱性パッキン28を
介して、パネル22の周縁部が圧接気味に当接し、開口
21の天板上面側の周縁と、パネル22の上部周縁との
突き合わせ部に跨がって、ネジ止め固定された押え板2
9が、パネル22を開口21に固定している。
【0015】30は、インペラ27を囲むように、天板
下面に固設されたシロッコファンのケーシングである。
これら一対のシロッコファンは、図2に示すように、そ
の回転中心(24)、(24)を結ぶ仮想線分Lが、空
気流路を斜めに横断する(気流の方向に対して鋭角をな
している)ように、配設され、且つ、互いのケーシング
が、互いに接するか、若しくは、互いに極めて近接した
状態で、設けられており、更に、両シロッコファンの吹
出口20a、20aを構成するケーシングの一側の側面
を、夫々、空気流路5の左右側壁1e、1fの一部によ
って代替することにより、両吹出口20a、20aは、
左右側壁面1e、1fに沿って設けられている。気流の
方向(左右壁面の方向)と仮想線分とのなす角度は、3
0〜45度の範囲が、設置効率が高く、設置面積に対し
て得られる風量増加が大きい。
【0016】図3は、シロッコファンを3基用いた第2
実施形態を示すもので、前記第1実施形態と同様に、従
来技術と同一の機能を備えた部品には、同一の符号を付
して説明を省略する。シロッコファン20、20、20
の回転中心24を結んだ仮想線分Lは、ジグザグ状の折
れ線状態をなしており、折れ線を構成する各直線分は、
気流方向に、鋭角をなしている。これら3基のシロッコ
ファンのケーシング30、30、30は、相互に、一部
が近接若しくは接しており、空気流路5の左右側壁1
e,f側に配設されたファンの吹出口20a、20a
は、左右側壁に沿って、設けられており、中央のシロッ
コファンの吹出口20bのみは、両吹出口20a。20
aに挟まれた位置に開口している。他の構成は、第一実
施例と何ら変わりはない。送風ファンを、4基以上にし
た場合、回転中心を結ぶ仮想線分は、回転中心24にお
いて、順次、逆方向に折り返して、ジグザグ状になるよ
うに配設されることになる。
【0017】
【効果】従来の温度試験装置は、空気冷却器や空気加熱
器の能力増大の場合に比して、送風能力の増大が、その
まま設置面積の拡大につながり、装置の大型化が避けら
れなかったが、上記装置においては、送風ファンの装着
に際して、設置スペースを有効に利用されているため、
極めて密度の高い装着が可能で、しかも、空気流路の左
右壁面に沿って開口する吹出口は、壁面の抵抗により減
速される左右壁面沿いの流速と、中央部の流速とのギャ
ップを解消し、温度試験室に、均一な気流を供給し、試
験精度を向上させる効果がある。又、送風ファンの故障
に当たっては、押え片29を取り外して、予め準備した
新しい送風ファンユニットと交換すればよいので、故障
発見者が直ちに対応でき、試験中断による影響を小さく
する事ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の要部を示す断面説明図
である。
【図2】図1のA−A断面説明図である。
【図3】本発明の第2実施形態の要部を示す断面説明図
である。
【図4】従来技術の一例を示す断面説明図である。
【図5】図4のB−B断面説明図である。
【符号の説明】
1 断熱壁 2 出口 3 入口 4 仕切板 5 空気流路 6 温度試験室 7a,b 気流分散板 8 気流分散室 9 気流集合室 11 空気冷却器 12 空気加熱器 20 シロッコファン 21 開口 22 方形パネル 25 モータ支持台 28 断熱性パッキング 27 インペラ 30 ケーシング

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】断熱壁によって囲まれた室内を、仕切板に
    より仕切って、該仕切板の一側に空気流路を、他側に温
    度試験室を夫々画成し、該温度試験室を挟む何れか一側
    に気流分配室を他側に気流集合室を画成して、該気流分
    配室と気流集合室を前記空気流路によって連通すると共
    に、該空気流路中に空気冷却器と空気加熱器と及び送風
    ファンとを収納して恒温空気供給手段を形成し、該恒温
    空気供給手段から供給される恒温空気が、前記気流分配
    室を経て前記温度試験室に入り、次いで前記気流集合室
    を経て再び恒温空気供給手段へ戻るように循環する温度
    試験装置において、前記空気流路を構成する断熱壁に前
    記送風ファンのインペラが通過可能な開口部が形成され
    ており、該開口部を着脱自在に閉塞する閉塞部材にファ
    ン駆動モータが固着されており、該ファン駆動モータの
    出力軸が前記閉塞部材を貫通して前記空気流路内に突出
    した突出部に、前記インペラが固着されていることを特
    徴とする温度試験装置。
  2. 【請求項2】空気流路に気流方向を横断する方向に向か
    って並設した複数の送風ファンの回転中心を結ぶ仮想線
    分が、気流方向に対して鋭角をなすか、若しくは、ジグ
    ザグ状をなすように、相互に隣接して設けられていると
    共に、空気流路の左右側壁面に近接する一対の送風ファ
    ンの吹出口が、該空気流路の左右側壁面に沿って開口し
    ている、請求項1の温度試験装置。
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KR100406062B1 (ko) * 2001-06-12 2003-11-17 미래산업 주식회사 핸들러의 챔버용 팬장치
CN107072108A (zh) * 2016-12-29 2017-08-18 深圳日海电气技术有限公司 机柜
CN104181095B (zh) * 2013-05-24 2018-05-15 爱斯佩克株式会社 评价基板、环境试验装置和试样的评价方法
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