JPH0344774A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の目的】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えばＩＣ，ＬＳＩなどのチップのパターン
や、表面波フィルタや磁気ヘッドなどの素子の良品、不
良品の選別のために使用される検査装置に関する。 （従来の技術） ＩＣＳＬＳＩなどのチップのパターンや、表面波フィル
タや磁気ヘッドなどの素子の良品、不良品の選別のため
には、画像処理の技術を応用した検査装置が使用されて
いる。 すなわち、被検査体の表面をレーザ光でスキャニングし
てその反射光を取り込みながら標準パターンとの差分を
とり、差分の大きさで良、不良の判定をするものである
が、一方被検査体の画像データの取り込みをテレビカメ
ラを使用して行うものもあった。 このような検査装置では、被検査体と標準パターンの画
像全体について差分をとるので、水平、垂直方向につい
て精度の高い位置合わせが必要であった。また、一般に
は、ｇｘｎ画素の画像について標準画像との差分の検出
にｇ画素当たりｍ秒かかるものとすると、１画面の検査
に要する時間は、ＪＸｎＸｍ秒となり、位置合わせの難
しさとともに、検査に時間が掛かり過ぎるものであった
。 （発明が解決しようとする課題） 従来の検査装置は、水平、垂直の両方向について精度の
高い位置合わせが必要であり、このことが検査を容易に
することに対して１つのネックになっているとともに、
１画面の画素数に比例した検査時間を要し、検査に時間
がかかりすぎるという問題もあった。 そこで本発明は、位置合わせを容易にするとともに、検
査時間を短縮することのできる検査装置を提供すること
を０向とする。 ［発明の構成］ （課題を解決するための手段） この発明による検査装置は、被検査体の画像データを取
り込む画像データ取り込み手段と、この画像データ取り
込み手段によって取り込まれた画像の水平方向の位置合
わせを行う位置合わせ手段と、位置合わせされた画像デ
ータについて水平方向画素毎に垂直方向の画素の輝度を
加算して被検査パターンを形成する被検査パターン形成
手段と、この被検査パターンと予め形成されている標準
パターンとを比較する比較手段と、比較結果に基づき前
記被検査体の良否を判定する判定手段とを備えることを
特徴とする。 （作　用） 上記の手段によれば、水平方向の位置合わせを確実に行
えば、水平方向の画素毎に垂直方向に加算した輝度レベ
ルと標準パターンの輝度レベルとを比較するだけなので
、検査を短時間に容易に実施することができるようにな
る。 （実施例） 以下本発明の一実施例を第１図ないし第６図を参照して
詳細に説明する。 先ず、本発明の詳細な説明する。 第２図は、被検査体の一例として、ＩＣなどの櫛状パタ
ーンをした物体の表面を示したもので、垂直方向の画素
数が２１水平方向の画素数がｎで、全画素数が、１ｌＸ
ｎだとする。そこで、水平方向のｎ個の画素毎に垂直方
向にｐ画素分の輝度レベルを加算すると、第３図のよう
な輝度レベルパターン図が得られ、これは第２図のパタ
ーンに相当したものとなる。そこで、照明の明るさの影
響を除去するためのノーマライズ処理などを施した後、
予め記録しである基準となる輝度レベルパターンと比較
して、被検査体の良否を判定するものである。従って比
較するデータ数はｎ個であり、４個の輝度レベルの加算
時間は無視できるほど短いので、１画面当たりの検査時
間はｎＸｍ秒となり、従来のｌ／Ｉに短縮される。 なお、２つのパターンの差をとる場合、水平方向に前後
して数ないし数十画素分ずらしたもので計算し、その最
小値を差のデータとすると誤差を軽減することができる
。 次に、本発明の具体的な実施例について説明する。 第４図は本発明にかかる検査装置の一実施例のシステム
ブロック図であり、１はテレビカメラ、２はそのレンズ
、３は画像処理装置、４はコンピュータである。このコ
ンピュータ４としては、通常パーソナルコンピュータや
マイクロコンピュータが使用される。 レンズ２を通して図示しない被検査体の画像が捕えられ
、テレビカメラｌからその画像信号が画像処理装置３へ
供給される。画像処理装置３の一例を第５図にブロック
図として示してあり、５はテレビカメラｌからの画像信
号が供給される入力端子である。６はテレビカメライン
タフェースであり、テレビカメラｌからのアナログの画
像信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、デジ
タル化された画像信号を取り込む画像メモリとを備えて
いる。 次に、画像信号は高速データバス７を経由してプロセッ
サボード８へ転送され、ここで照明の明るさに対する影
響を除去するためのノーマライズ処理や画像処理が実行
される。９は標準の制御バスである。プロセッサボード
８の一例を第６図にブロック図として示してあり、高速
データバス７と制御バス９とに跨がってデジタル・シグ
ナル◆プロセッサ（ＤＳＰ）　１０と３つのデータメモ
リ１１．１２゜１３とから構成される装置 第５図において１４は基準となる画像データなどを蓄え
ておくためのフレームメモリであり、プロセッサボード
８とフレームメモリ１４との間で信号のやりとりを行っ
て各種の処理が実行されるが、それらは制御バス９とイ
ンタフェース１５を経由して接続されているコンピュー
タ４の制御のもとで行われるものである。そして、良否
の判定もコンピュータ４によって行う。 これらの処理の流れを示すと第１図のようになる。すな
わち、１個の被検査体について画像の取り込みから始ま
り、その後水平の位置合わせを行う。水平の位置合わせ
が済むとすべての画素の輝度の総和をとり記録する。そ
して水平方向の画素毎に垂直方向の輝度の和をとり、先
にとった総和でノーマライズする。次ぎに予め蓄えであ
る基準データとの差分をとり、２値化して面積を計算す
る。この差分に基づく面積の大小からその被検査体の良
否を判定し、不良品にはマーキングを施す。 これで１個の被検査体の検査が終了し、次ぎの被検査体
の検査のためにスタート位置ヘリターンする。このよう
な動作を順次繰り返して被検査体の検査を行い、その結
果はコンピュータ４が処理する。 なお、本発明は、上述の一実施例に限定されることなく
要旨を逸脱しない範囲内で種々変形して実施できること
は言うまでもない。例えば、差分をとって検査するのに
代えて、相関係数を計算して検査するようにしてもよい
。近時、相関演算処理速度の速いプロセッサが供給され
るようになり、手軽に使用できるので、これを使用すれ
ば、照明の明るさに対するノーマライズ処理が不要とな
り、検査を更に高速化することができる。 ［発明の効果］ 以上詳述したように本発明は、水平方向の位置合わせを
確実に行ない、水平方向の画素毎に垂直方向に加算した
輝度レベルと標準パターンの輝度レベルとを比較するよ
うにしたので、検査時間を短縮できるとともに検査を容
易に実施することができる検査装置が提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る検査装置の一実施例を説明した流
れ図、第２図は被検査体の一例を示した平面図、第３図
は本発明の詳細な説明するために示した第２図の被検査
体の輝度レベル図、第４図は本発明に係る検査装置の一
実施例のシステムブロック図、第５図は本発明に使用さ
れる画像処理装置の一例を示したブロック図、第６図は
同じくプロセッサボードの一例を示したブロック図であ
る。 １・・・テレビカメラ、３・・・画像処理装置、４・・
・コンピュータ、 ６・・・テレビカメラインタフェース、８・・・プロセ
ッサボード、 ｌＯ・・・デジタル・シグナル・プロセッサ、１１〜１
３・・・データメモリ、 １４・・・メモリボード、 １５・・・インタフェース。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検査体の画像データを取り込む画像データ取り込み手
   段と、この画像データ取り込み手段によって取り込まれ
   た画像の水平方向の位置合わせを行う位置合わせ手段と
   、位置合わせされた画像データについて水平方向画素毎
   に垂直方向の画素の輝度を加算して被検査パターンを形
   成する被検査パターン形成手段と、この被検査パターン
   と予め形成されている標準パターンとを比較する比較手
   段と、比較結果に基づき前記被検査体の良否を判定する
   判定手段とを備えることを特徴とする検査装置。